JP2015049356A - 露光装置 - Google Patents
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Abstract
Description
これにより、マスク板のパターン面を効率よく、かつ、確実に除塵することができる。
マスク除塵部として、このような吸引式マスクの除塵部を用いることによっても、上記[1]〜[3]の発明によって得られる効果と同様の効果を得ることができる。
これにより、マスク板のパターン面の除塵だけではなく、基板の少なくとも感光面の除塵も行うことができる。
図1は、実施形態に係る露光装置10を説明するために示す全体的な構成図である。なお、図1は、実施形態1係る露光装置10を模式的に示すものであり、実施形態に係る露光装置10を説明する上で特に必要としない構成要素については図示が省略されている。また、図1は模式図であるため、実際の構成要素の寸法を同一比率で縮小したものとはなっておらず、構成要素が誇張されて描かれていたり、より縮小されて描かれていたりしている。
なお、実施形態1に係る露光装置10においては、マスク板210のx軸沿った長さとマスク板保持部220のx軸の沿った長さは、同じ長さL1(図1参照。)であるとする。また、マスク板保持部220は、z軸に沿って所定の厚みを有しているものとする。
このように構成されているマスク除塵部駆動機構部250は、マスク除塵部制御装置400によって制御され、それによって、マスク除塵ローラー230が制御される。
このように構成されている露光ステージ駆動機構部260は、露光ステージ制御装置500によって駆動制御される。
マスク除塵ローラー230がこのような初期位置にあるときには、当該マスク除塵ローラー230はマスク板210のパターン面Mに非接触となっている。
Claims (9)
- 送り出し部と巻き取り部との間に架け渡されている長尺シート状の基板を間欠的に所定量ずつ搬送させて行く過程で、前記基板の感光面とマスク板のパターン面とを対面させて、前記基板の感光面を露光する露光装置であって、
前記基板がx軸及びy軸によって形成されるxy平面におけるx軸に沿って前記巻き取り部に向かう側を前方側とし、当該前方側とは反対側を後方側としたとき、
前記基板を挟んで前記マスク板と対向する位置に配置され、xy平面に直交するz軸に沿って前記基板とともに昇降可能な露光ステージと、
x軸に沿った往復動が可能で前記露光ステージとともにz軸に沿って昇降可能であり、かつ、前記基板の感光面からz軸に沿って離間した状態で前記マスク板の側に位置するように前記露光ステージに設けられ、少なくとも、前記マスク板の前記後方側の端部からx軸に沿ってさらに後方側に所定間隔離間した第1位置と前記マスク板の前記前方側の端部からx軸に沿ってさらに前方側に所定間隔離間した第2位置との間の範囲を、前記往復動する際の可動範囲として、当該可動範囲内を進行しながら前記マスク板のパターン面を除塵する動作を行うマスク除塵部と、
前記マスク除塵部を前記往復動させるためのマスク除塵部駆動機構部と、
前記マスク除塵部駆動機構部を制御することによって前記マスク除塵部の前記往復動を制御するマスク除塵部制御装置と、
前記露光ステージをz軸に沿って昇降可能とするための露光ステージ駆動機構部と、
前記露光ステージ駆動機構部を制御することによって前記露光ステージの昇降を制御する露光ステージ制御装置と、
を有し、
前記基板の感光面を露光する際には、
前記マスク除塵部制御装置は、前記マスク除塵部が、前記第1位置又は前記第2位置に達した状態となるように前記マスク除塵部駆動機構部を制御し、
前記露光ステージ制御部は、前記マスク除塵部が、前記第1位置又は前記第2位置に達した状態において、前記露光ステージをz軸に沿って移動させて前記基板の感光面と前記マスク板のパターン面とが接触又は近接した状態となるように前記露光ステージ駆動機構部を制御することを特徴とする露光装置。 - 請求項1に記載の露光装置において、
前記マスク除塵部は、前記基板を間欠的に所定量ずつ搬送させている間に前記マスク板のパターン面を除塵する動作を行うことを特徴とする露光装置。 - 請求項1又は2に記載の露光装置において、
前記マスク除塵部が前記可動範囲内を前記前方側に進行する動作を前方進行動作とし、前記マスク除塵部が前記可動範囲内を前記前方側に進行する動作を後方進行動作としたとき、
前記マスク除塵部は、前記前方進行動作及び前記後方進行動作それぞれにおいて前記マスク板のパターン面を除塵する動作を行い、
前記前方進行動作及び前記後方進行動作それぞれにおいて前記マスク板のパターン面を除塵する動作は、前記基板を間欠的に所定量ずつ搬送させて行く間に交互に行うことを特徴とする露光装置。 - 請求項1〜3のいずれかに記載の露光装置において、
前記マスク除塵部は、少なくとも表面に粘着力を有するロール状をなしており、
前記マスク除塵部が前記マスク板のパターン面を除塵する動作は、前記マスク板のパターン面に接触した状態で回転して行く動作であることを特徴とする露光装置。 - 請求項4に記載の露光装置において、
前記マスク除塵部は、前記マスク板のパターン面に接触した状態となると、バネの伸張力によって前記パターン面を押圧する力が働くように前記露光ステージに設けられていることを特徴とする露光装置。 - 請求項4又は5に記載の露光装置において、
前記マスク除塵部が前記マスク板に対してx軸及びz軸に沿ってそれぞれ離間している位置から前記マスク除塵部を前記マスク板のパターン面に接触させる際においては、
マスク除塵部制御装置は、
前記マスク除塵部が前記マスク板のパターン面におけるx軸に沿った端部付近に対向する位置に達するように前記マスク除塵部駆動機構部を制御し、
前記露光ステージ制御部は、
前記マスク除塵部が前記マスク板のパターン面におけるx軸に沿った端部付近に対向する位置に達すると、前記マスク除塵部を前記マスク板のパターン面におけるx軸に沿った端部付近に接触させるように前記露光ステージ駆動機構部を制御する、
ことを特徴とする露光装置。 - 請求項1〜3のいずれかに記載の露光装置において、
前記マスク除塵部は、前記マスク板のパターン面におけるy軸方向に沿った吸引口を有し、吸引によって前記マスク板のパターン面を除塵する吸引式のマスク除塵部であって、
前記吸引式のマスク除塵部が前記マスク板のパターン面を除塵する動作は、前記マスク板のパターン面との間に所定の空隙を有した状態で吸引力を発揮しながら前記マスク板のパターン面に沿ってx軸方向に沿って進行して行く動作であることを特徴とする露光装置。 - 請求項1〜7のいずれかに記載の露光装置において、
前記基板の少なくとも前記感光面を除塵する基板除塵部を有することを特徴とする露光装置。 - 請求項8に記載の露光装置において、
前記基板除塵部は、少なくとも表面に粘着力を有するロール状をなし、前記基板の少なくとも感光面に接触した状態で設けられており、前記基板を間欠的に所定量ずつ搬送させる際の前記基板の搬送に伴って回転することを特徴とする露光装置。
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