JP2016031952A - インプリント装置及び物品の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】パーティクルの除去効率の点で有利な構成を提供すること。【解決手段】パターンが形成されたモールドを用いて基板の上のインプリント材を成形するインプリント装置が提供される。インプリント装置は、モールドの側面を加圧する加圧部を有する。この加圧部は、モールド6と接触する部分の近傍に、パーティクルを除去するための流体を通す開口を有する。【選択図】 図6
Description
本発明はインプリント装置に関する。
パターンが形成されたモールドを用いて基板の上のインプリント材を成形するインプリント技術は、微細構造デバイスを生産する技術として注目されている。インプリント技術では、凹凸構造のパターンを持つモールドを原版として、ウエハやガラス基板などの基板上のインプリント材(レジスト)にパターンを転写する。
インプリント技術を用いたパターン転写装置であるインプリント装置は、基板とモールドを装置内に搬送して、それぞれを保持する基板保持部及びモールド保持部を有する。
モールド保持部は、例えばインプリントヘッドの下に設置され、その下面においてモールドの上面を吸着保持する。更に、モールドの周辺には、側面方向からモールドに圧力を加えるための複数の加圧フィンガが配置される。この加圧フィンガは、モールドの側面を複数の点で加圧することにより、モールドに形成されたパターン領域を変形せしめるためのものである。
パターン領域の表面が要求される平坦度等を維持するために、モールド保持部や加圧フィンガに対して定期的なクリーニングを実施して、モールド保持部とモールドとの間に、異物が挟み込まれないようにしている。クリーニング時は、モールド及び基板の代わりに砥石材料を成形したクリーニングプレートが使用される(例えば特許文献1)。例えば、モールド保持部にクリーニングプレートを接触させた状態でクリーニングプレートを保持部の保持面に沿って駆動することでモールド保持部の表面が研磨される。これによりモールド保持部のクリーニングが行われる。
また、インプリント工程において、モールドに形成された数十nm幅のパターン凹部内に基板上のインプリント材が充填されやすいように、モールド周辺の空気をヘリウムやペンタフルオロプロパン(PFP)ガスで置換することが行われる。特許文献2は、図9に示すようにモールド4にその厚み方向に貫通するガス導通孔33を設け、モールド4のパターン領域32の直近へのガスの導入を促進する構成を開示している。
しかし、モールド保持部のクリーニングにおいて、クリーニングプレートとモールド保持部との摩擦による研削片がパーティクルとしてインプリント装置内に飛散する。クリーニングプレートの表面に研削材を塗布してクリーニングを行う場合には、研削材もパーティクルとしてインプリント装置内に飛散する。このように飛散した物質がパーティクルとして、再びモールド保持部や加圧フィンガに付着すると、インプリント不良の原因となる。特に、モールド保持部や加圧フィンガ近辺に付着していたパーティクルがモールドのパターン領域に付着した場合には、基板上に転写したパターンに欠陥が発生してしまい、製品の品質に大きなダメージを与えかねない。
そこで、本発明は、パーティクルの除去効率の点で有利な構成を提供する。
本発明の一側面によれば、パターンが形成されたモールドを用いて基板の上のインプリント材を成形するインプリント装置であって、前記モールドの側面を加圧する加圧部を含み、前記加圧部は、前記モールドと接触する部分の近傍に、パーティクルを除去するための流体を通す開口を有することを特徴とするインプリント装置が提供される。
本発明によれば、パーティクルの除去効率の点で有利な構成が提供される。
以下、図面を参照して本発明の好適な実施形態について詳細に説明する。なお、本発明は以下の実施形態に限定されるものではなく、本発明の実施に有利な具体例を示すにすぎない。また、以下の実施形態の中で説明されている特徴の組み合わせの全てが本発明の課題解決のために必須のものであるとは限らない。
図1に本実施形態におけるインプリント装置の構成を示す。図1(A)において、基板24は、基板ステージ26上に設置された基板保持部25に吸着保持されており、基板ステージ26の動きに従ってモールド4(型)に対して相対的に移動することが可能である。モールド4は、Z方向に移動可能なインプリントヘッド11の下に設置されたモールド保持部9の下面に吸着保持されている。インプリントヘッド11が上下駆動することで、基板24上に供給されたインプリント材とモールド4とを接触させることが可能である。更に、モールド4の周辺には、側面方向からモールド4に圧力を加えるための加圧部を構成する複数の加圧フィンガ5が配置されている。この加圧フィンガ5は、モールド4の側面を複数の点で加圧してモールド4(パターン領域)を変形せしめる機構である。
図1(B)は、上記のインプリント装置において、モールド4及びその周辺を下方より見た図である。加圧フィンガ5は、矩形の外形を有するモールド4を四方から取り囲むように配置され、各フィンガ(5a〜5n)の端面がモールド4の側面を独立した点で加圧している。
ここで、インプリントによって転写されるパターンは、例えば線幅が十nmから数十nmで、高さが数十nmの細線で構成されていることから、基板保持部及びモールド保持部の表面は、数十nm以下の平坦度が要求される。また、基板とモールドは、それぞれの保持部に保持された状態での平坦度も、同様に数十nm以下の平面度が要求されるので、基板と基板保持部との間、及び、モールドとモールド保持部との間に、数十nm以上の大きさの異物を挟み込むことも許されない。
そのため、インプリント装置では、モールド保持部9や加圧フィンガ5に対して定期的なクリーニングが実施される。図2はこのようなクリーニングの一例を示したもので、基板保持部25上に基板24の代わりに砥石材料を成形したクリーニングプレート19が吸着保持される。インプリントヘッド11を下降させて、このクリーニングプレート19の上面にモールド保持部9を密着させる。この状態で基板ステージ26を水平方向に駆動すれば、クリーニングプレート19とモールド保持部9の摩擦により、モールド保持部9の表面の凹凸や付着物を除去することができる。基板ステージ26を駆動させる代わりにモールド保持部9を水平方向に駆動してもよく、基板ステージ26とモールド保持部9を相対的に移動することでモールド保持部9を研磨することができる。
図3はインプリント装置を用いたインプリント工程を説明する図である。図3(A)において、基板24は基板保持部25上に吸着保持され、基板ステージ26によって、矢印方向に搬送されて、モールド4の下に位置決めされる。インプリント装置には、インプリント材20として光硬化樹脂を基板24上に供給するディスペンサ23が配置されている。ディスペンサ23には、液滴状にインプリント材を吐出するノズル(吐出口)が形成されている。本実施形態では紫外線を照射することによって樹脂が硬化する紫外線硬化樹脂をインプリント材20として用いる。このディスペンサ23により、搬送途中の基板24の表面に、吐出されたインプリント材20の液滴が供給される。モールド4の下面には、半導体装置の電気回路などの形状が、パターン18として凹凸反転した形態で彫り込まれている。図3(B)に示すようにモールド4と基板24の相対位置を合わせた後に、図3(C)に示すようにモールド4を下降させて基板24と数nmの隙間を残して密着させると、インプリント材20はパターン18の彫り込まれた溝に流入する。モールド4はインプリント材を硬化させる光(紫外線)に対して透明な材料で形成されており、モールド4の上方から光源22により発せられた紫外線を照射すると、インプリント材20は硬化する。その後、図3(D)に示すようにモールド4を上昇させれば、凝固したインプリント材20によるパターン18の反転像が基板24上に形成される。
図4は、モールド4に形成されたパターン18の表面を基板24側から見た概略図であり、パターン18の形状歪みを修正する方法を示している。モールド4上のパターン18は、上記のように、歪みを持った状態で、基板24と相対的に位置決めされる。ここで、モールド4の四辺の側面には、それぞれ複数の加圧フィンガ5が配置されている。加圧フィンガ5は個々に例えば1000Nまでの力でモールド4の側面に力を加える能力を持っている。
モールド4は、一般的に石英ガラスなどの結晶材料によって作られるが、例えば1000Nの力を加えれば、数ppmの変形を生じさせることができる。従って、加圧フィンガ5による加圧を制御することでモールド4の歪みを修正することが可能である。例えば、図4(A)のように樽型に変形したパターン18を考える。この場合、図4(B)に示すようにモールド4が糸巻き型に変形するような分布で加圧フィンガ5によって加圧すれば、加圧後のモールド外形37は糸巻き型に変形し、パターン18の形状を曲線から直線に修正することができる。
このような加圧フィンガ5は、1nm以下の精密な駆動制御が必要とされる。そのため、加圧フィンガ5がモールド4に接する面の表面状態が精密に仕上げられる。また、加圧フィンガ5がモールド4に接する面で異物の噛み込みによる集中荷重が生じると、加圧時にモールド4を破壊する危険がある。そのため、定期的に表面をクリーニングする必要がある。
(実施例1)
図5は、加圧フィンガ5及びその周辺の要部構成を示す図である。加圧フィンガ5は、フィンガ本体部5aとモールドに接する先端部材としての加圧チップ1とを含む。フィンガ本体部5aと加圧チップ1は互いに別部材で構成されたものでもよいし一体形成されたものあってもよい。ここではフィンガ本体部5aと加圧チップ1は別体構造であり、両者の間に圧力センサ6が設けられている。また、加圧フィンガ5の後端部(モールド4と接触しない側)にはインプリントヘッド11に固定されたアクチュエータ7が配置されている。このアクチュエータ7を駆動することで、加圧フィンガ5はモールドの側面を上述したように最大1000N程度の力で加圧することができる。アクチュエータ7は、不図示の制御部により、モールド4の側面に加えられる圧力(圧力センサ6の出力)に応じて、その駆動量が制御される。なお、図5は、加圧チップ1がモールドの側面と接する加圧面10と、モールド保持部9がモールドの上面と接する面とをクリーニングする時の図である。そのため、モールド4の代わりに、クリーニングプレート19がモールド保持部9に吸着保持されている。
図5は、加圧フィンガ5及びその周辺の要部構成を示す図である。加圧フィンガ5は、フィンガ本体部5aとモールドに接する先端部材としての加圧チップ1とを含む。フィンガ本体部5aと加圧チップ1は互いに別部材で構成されたものでもよいし一体形成されたものあってもよい。ここではフィンガ本体部5aと加圧チップ1は別体構造であり、両者の間に圧力センサ6が設けられている。また、加圧フィンガ5の後端部(モールド4と接触しない側)にはインプリントヘッド11に固定されたアクチュエータ7が配置されている。このアクチュエータ7を駆動することで、加圧フィンガ5はモールドの側面を上述したように最大1000N程度の力で加圧することができる。アクチュエータ7は、不図示の制御部により、モールド4の側面に加えられる圧力(圧力センサ6の出力)に応じて、その駆動量が制御される。なお、図5は、加圧チップ1がモールドの側面と接する加圧面10と、モールド保持部9がモールドの上面と接する面とをクリーニングする時の図である。そのため、モールド4の代わりに、クリーニングプレート19がモールド保持部9に吸着保持されている。
クリーニングプレート19は、モールド4と同じ外形寸法となっている。クリーニング工程において、クリーニングプレート19が、モールド保持部9のリブ8と接する位置まで不図示の搬送装置によって搬送される。リブ8にクリーニングプレート19の上面が接したところで、リブ8とクリーニングプレート19の上面によって閉空間13が形成される。閉空間13はモールド用接続部15に接続された不図示の吸引装置によって負圧に制御され、クリーニングプレート19はその負圧によって、例えば300〜1000Nの吸着力で吸着される。その後、加圧フィンガ5を駆動して加圧チップ1がクリーニングプレート19の側面に接し、加圧力が例えば10Nに達すると、閉空間13内の負圧を大気圧側に修正して、クリーニングプレート19にかかる吸着力を例えば50〜200Nまで弱める。この状態で、加圧チップ1に加える圧力を増加させていくと、クリーニングプレート19は、リブ8の表面を滑りながら移動する。
例えば、図1(B)における加圧フィンガ5a〜5nの12個全てがモールド4に代わって吸着されたクリーニングプレート19に対して接しており、各加圧フィンガの加圧チップ1に例えば10Nの圧力が加わっている状態にする。その後、加圧フィンガ5h、5i、5jの3か所をクリーニングプレート19の側面から数ミクロンだけ退避させ、加圧フィンガ5a、5b、5cの3箇所にかかる圧力を例えば500Nまで上げていく。すると、クリーニングプレート19は図中+X方向へ押されて移動する。このとき、図5のリブ8と、加圧フィンガ5d、5e、5f、5k、5m、5nはクリーニングプレート19に圧力を加えたままで、相対的に位置がずれるので、摩擦により表面がクリーニングされる。
このような動作を、+X方向に続いて、−X方向、+Y方向、−Y方向に実行することで、すべての加圧フィンガ5の先端と、リブ8の表面をクリーニングすることができる。しかし、このクリーニングよって研削片や研削材、摩耗片などのパーティクルが発生し、クリーニングプレート19の周辺に付着する。
そこで、本実施形態におけるインプリント装置では、図6に示すように、加圧チップ1のモールドと接触する部分である加圧面10の近傍に開口2を設け、この開口2に配管3を接続する。そして、開口2は、この配管3を介して、不図示の吸引装置と接続される。前述のクリーニングを実施する際に、吸引装置によって配管3の内部はクリーニングプレート19の雰囲気に対して負圧となり、開口2から、周囲の気体を吸引する。このとき、周囲の気体と共に、摩耗片などのパーティクルが取り込まれ、加圧チップ1およびモールド保持部9の周辺のパーティクルが除去される。なお、パーティクルを加圧チップ周辺から除去する目的で、吸引装置の代わりに、加圧気体等の流体を供給する流体供給装置を開口2に接続してもよい。開口2から流体を供給することでパーティクルを加圧チップ1やモールド保持部9の周囲から離して、パーティクルの付着を防ぐ。このように、本実施形態のインプリント装置では、クリーニングプレート19を用いてモールド保持部をクリーニングした後、加圧チップ1に設けられた開口2から周囲の気体を吸引することで、クリーニング時に発生したパーティクルを除去する。モールド保持部9や加圧チップ1の周囲のパーティクルを除去した後、インプリント装置に搬送されたモールド4をモールド保持部9で保持することにより、モールド4とモールド保持部9との間に異物の挟み込むことを低減することができる。
図6の加圧チップ1において、例えばモールドとの接触面積を小さくする目的で、加圧面10に隣接し加圧面10に対して傾斜する斜面11が形成される。開口2は、この斜面11に形成することができる。こうすることでクリーニングプレート19付近のパーティクルを効果的に吸引することができる。
(実施例2)
また、図7に示されるように、配管3は、切替弁71を介して、吸引装置72と、加圧気体等の流体を供給する流体供給装置73とに選択的に接続することができる。クリーニングプレート19の周辺に付着したパーティクルは、摩擦によって発生した静電気によって周囲の部品に強く付着している場合があり、単純に周囲の気体を吸引しただけでは吸い取れない場合も発生しうる。そこで、クリーニングプレート19を使用したクリーニングを実施する際には、まず切替弁71を流体供給装置側に切り替える(図7(a))。これにより流体供給装置73によって開口2から加圧気体を噴出させ、周囲の部品に付着しているパーティクルを剥がして、舞い上がらせる。その後、切替弁71を吸引装置側に切り替えて(図7(b))、吸引装置72により、浮遊したパーティクルを吸引する。
また、図7に示されるように、配管3は、切替弁71を介して、吸引装置72と、加圧気体等の流体を供給する流体供給装置73とに選択的に接続することができる。クリーニングプレート19の周辺に付着したパーティクルは、摩擦によって発生した静電気によって周囲の部品に強く付着している場合があり、単純に周囲の気体を吸引しただけでは吸い取れない場合も発生しうる。そこで、クリーニングプレート19を使用したクリーニングを実施する際には、まず切替弁71を流体供給装置側に切り替える(図7(a))。これにより流体供給装置73によって開口2から加圧気体を噴出させ、周囲の部品に付着しているパーティクルを剥がして、舞い上がらせる。その後、切替弁71を吸引装置側に切り替えて(図7(b))、吸引装置72により、浮遊したパーティクルを吸引する。
(実施例3)
更に、図7に示されるように、流体供給装置73にイオナイザ74を装着して使用することも可能である。イオナイザ74により、帯電付着したパーティクルに、逆の電荷に帯電した気体を吹き付ける。これによりパーティクルを除電して付着力を弱め、効果的にパーティクルの除去を行うことができる。
更に、図7に示されるように、流体供給装置73にイオナイザ74を装着して使用することも可能である。イオナイザ74により、帯電付着したパーティクルに、逆の電荷に帯電した気体を吹き付ける。これによりパーティクルを除電して付着力を弱め、効果的にパーティクルの除去を行うことができる。
(実施例4)
図8では、加圧チップ1の異なる形態の例を示している。同図において加圧チップ1がモールド4又はクリーニングプレート19に接する加圧面10の周囲に、4箇所の開口2a、2b、2c、2dを設けている。開口2a、2c(第1の開口)は配管3aと導通しており、開口2b、2d(第2の開口)は配管3bと導通している。そして、例えば配管3aを吸引装置に直接接続し、配管3bを流体供給装置に直接接続する。これにより、開口2b、2dから加圧気体を吹き出しながら、同時に、開口2a、2cから周囲の気体を吸引することができる。
図8では、加圧チップ1の異なる形態の例を示している。同図において加圧チップ1がモールド4又はクリーニングプレート19に接する加圧面10の周囲に、4箇所の開口2a、2b、2c、2dを設けている。開口2a、2c(第1の開口)は配管3aと導通しており、開口2b、2d(第2の開口)は配管3bと導通している。そして、例えば配管3aを吸引装置に直接接続し、配管3bを流体供給装置に直接接続する。これにより、開口2b、2dから加圧気体を吹き出しながら、同時に、開口2a、2cから周囲の気体を吸引することができる。
ここで、前述した図6と同様に、加圧チップ1には、例えばモールドとの接触面積を小さくする目的で、加圧面10に隣接し加圧面10に対して傾斜する4つの斜面11が形成される。開口2a、2b、2c、2dはそれぞれ、これらの斜面11に形成することができる。こうすることでクリーニングプレート19付近のパーティクルを効果的に吸引することができる。
(実施例5)
以上の例では、クリーニングの際にパーティクルを除去する例に関して説明した。ただし、図9に示されるように、インプリント動作の際に、モールド4に開けたガス導通孔33から基板24とモールド4との間に気体を供給することがある。ガス導通孔33から供給する流体には、空気の他に、窒素、ヘリウム、ペンタフルオロプロパンなどが想定される。そのため加圧チップ1に設けられた開口2を、ガス導通孔33から供給される流体の供給口として用いることもできる。そのため、配管3は、例えばステンレスのように、上記いずれの流体にも耐性のある材料で構成してもよい。この場合、当然のことながら加圧チップ1も、上記いずれの流体にも耐性のある材料で構成するとよい。例えば、ペンタフルオロプロパンに対して耐性を有する高機能樹脂材料が用いられる。
以上の例では、クリーニングの際にパーティクルを除去する例に関して説明した。ただし、図9に示されるように、インプリント動作の際に、モールド4に開けたガス導通孔33から基板24とモールド4との間に気体を供給することがある。ガス導通孔33から供給する流体には、空気の他に、窒素、ヘリウム、ペンタフルオロプロパンなどが想定される。そのため加圧チップ1に設けられた開口2を、ガス導通孔33から供給される流体の供給口として用いることもできる。そのため、配管3は、例えばステンレスのように、上記いずれの流体にも耐性のある材料で構成してもよい。この場合、当然のことながら加圧チップ1も、上記いずれの流体にも耐性のある材料で構成するとよい。例えば、ペンタフルオロプロパンに対して耐性を有する高機能樹脂材料が用いられる。
(実施例6)
なお、図8に示す加圧チップでは、配管3aに吸引装置を接続し、配管3bに不図示の洗浄液供給装置を接続することも可能である。このような構成では、開口2b、2dから洗浄液を噴出して、クリーニングプレート19の周辺を液体洗浄又は蒸気洗浄しながら、開口2a、2cから洗浄後の洗浄液をパーティクルと共に回収することが可能である。
なお、図8に示す加圧チップでは、配管3aに吸引装置を接続し、配管3bに不図示の洗浄液供給装置を接続することも可能である。このような構成では、開口2b、2dから洗浄液を噴出して、クリーニングプレート19の周辺を液体洗浄又は蒸気洗浄しながら、開口2a、2cから洗浄後の洗浄液をパーティクルと共に回収することが可能である。
<物品の製造方法>
本発明の実施形態に係る物品の製造方法は、例えば、半導体デバイス等のマイクロデバイスや微細構造を有する素子等の物品を製造するのに好適である。該製造方法は、インプリント装置を用いて基板上にパターンを形成する工程を含む。さらに、該製造方法は、パターンが形成された基板を加工する他の周知の工程(酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、エッチング、インプリント材剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージング等)を含みうる。本実施形態の物品の製造方法は、従来の方法に比べて、物品の性能・品質・生産性・生産コストの少なくとも1つにおいて有利である。
本発明の実施形態に係る物品の製造方法は、例えば、半導体デバイス等のマイクロデバイスや微細構造を有する素子等の物品を製造するのに好適である。該製造方法は、インプリント装置を用いて基板上にパターンを形成する工程を含む。さらに、該製造方法は、パターンが形成された基板を加工する他の周知の工程(酸化、成膜、蒸着、ドーピング、平坦化、エッチング、インプリント材剥離、ダイシング、ボンディング、パッケージング等)を含みうる。本実施形態の物品の製造方法は、従来の方法に比べて、物品の性能・品質・生産性・生産コストの少なくとも1つにおいて有利である。
1:加圧チップ、3:配管、4:モールド、5:加圧フィンガ、6:圧力センサ、7:アクチュエータ、8:リブ、9:モールド保持部、11:インプリントヘッド
Claims (8)
- パターンが形成されたモールドを用いて基板の上のインプリント材を成形するインプリント装置であって、
前記モールドの側面を加圧する加圧部を含み、
前記加圧部は、前記モールドと接触する部分の近傍に、パーティクルを除去するための流体を通す開口を有することを特徴とするインプリント装置。 - 前記開口は、吸引装置と接続されることを特徴とする請求項1に記載のインプリント装置。
- 前記開口は、流体供給装置と接続されることを特徴とする請求項1に記載のインプリント装置。
- 前記開口は、吸引装置及び流体供給装置に選択的に接続され、
前記吸引装置及び前記流体供給装置の接続を切り替え可能であることを特徴とする請求項1に記載のインプリント装置。 - 前記流体供給装置は、供給する流体に電荷を与えて帯電させることを特徴とする請求項3又は4に記載のインプリント装置。
- 前記加圧部は、流体を吸引する吸引装置と接続される第1の開口と、流体を供給する流体供給装置と接続される第2の開口とを含むことを特徴とする請求項1に記載のインプリント装置。
- 前記加圧部は、前記モールドの側面と接触する加圧面に隣接し、前記加圧面に対して傾斜する斜面を有し、前記斜面に前記開口が形成されることを特徴とする請求項1乃至6のいずれか1項に記載のインプリント装置。
- 請求項1乃至7のいずれか1項に記載のインプリント装置を用いて樹脂のパターンを前記基板に形成するステップと、
前記ステップでパターンが形成された前記基板を加工するステップと、
を有することを特徴とする物品の製造方法
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