JP2009184236A - 成形装置及び成形方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】下型1及び上型2の外側には下型1と上型2との間に進退自在にプラズマトーチ21が設けられ、プラズマトーチ21にはArガス源23とフッ素系ガス源24と高周波電源22とが接続されている。下型1と上型2とを型締めし、キャビティ8に流動性樹脂を注入し硬化させて成形品18を形成し、下型1と上型2とを型開きし、下型1と上型2との間にプラズマトーチ21を進入させる。大気圧雰囲気下において、プラズマトーチ21から型面20にプラズマジェット25を吹き出しながらプラズマトーチ21を移動させることにより、処理前の型面SBでは離型層26が摩耗・はく離していた状態を、処理後の型面SAでは均一の膜厚を有する離型層27が形成された状態にする。
【選択図】図2
Description
2 上型
3 樹脂成形型(成形型)
4 ポット
5 プランジャ
6 カル
7 樹脂流路
8 キャビティ
9 凹部
10 基板用凹部
11 基板
12 境界線
13 領域
14 電子部品
15 ワイヤ
16 流動性樹脂
17 硬化樹脂
18 成形品
19 レンズ部
20 型面
21 プラズマトーチ
22 高周波電源
23 第1のガス源
24 第2のガス源
25 プラズマジェット(プラズマ)
26,27 離型層(機能層)
28 搬出機構
29 吸着管路
30 光学センサ
31 照射光
32 反射光
33 紫外光照射機構(活性化機構)
34 ランプ
BM 母材
SA 処理後の型面
SB 処理前の型面
UV 紫外光
Claims (9)
- 耐久性を有する素材からなる母材と、前記母材に設けられ成形品に転写されるべき形状とを有する成形型を備えた成形装置であって、
前記成形型の型面に形成された機能層を備えるとともに、
前記機能層は大気圧雰囲気下におけるプラズマ処理によって形成されたフッ素含有層からなり、
前記機能層は前記成形品に対する低密着性又は良好な摺動性を有することを特徴とする成形装置。 - 請求項1に記載の成形装置において、
前記形状は流動性樹脂が充填されるべき空間からなるキャビティ又はプレスされることによって前記成形品に転写されるべき凹凸であることを特徴とする成形装置。 - 請求項1又は2に記載の成形装置において、
前記型面に対して前記プラズマ処理を行うプラズマ処理機構を備え、
前記成形型が型開きした状態において、前記プラズマ処理機構が前記型面に対向して位置するように前記成形型と前記プラズマ処理機構とが相対的に移動することを特徴とする成形装置。 - 請求項1〜3のいずれかに記載の成形装置において、
前記型面を活性化する活性化機構を備えたことを特徴とする成形装置。 - 耐久性を有する素材からなる母材と、前記母材に設けられ成形品に転写されるべき形状とを有する成形型を使用する成形方法であって、
前記形状を構成するキャビティを流動性樹脂によって充填された状態にする工程と、
前記成形型を型締めする工程と、
前記流動性樹脂を硬化させて硬化樹脂を形成する工程と、
前記成形型を型開きする工程と、
前記硬化樹脂を有する前記成形品を取り出す工程と、
プラズマ処理機構が前記成形型の型面に対向して位置するように前記成形型と前記プラズマ処理機構とを相対的に移動させる工程と、
前記プラズマ処理機構を使用してプラズマを発生させる工程と、
前記プラズマを使用して前記型面に対するプラズマ処理を行うことによって前記型面に機能層を形成する工程と、
前記プラズマ処理機構が前記型面に対向して位置しなくなるように前記成形型と前記プラズマ処理機構とを相対的に移動させる工程とを備えるとともに、
前記プラズマを発生させる工程では大気圧雰囲気下において前記プラズマを発生させ、
前記機能層はフッ素含有層からなり前記成形品に対する低密着性を有することを特徴とする成形方法。 - 耐久性を有する素材からなる母材と、前記母材に設けられ成形品に転写されるべき形状とを有する成形型を使用する成形方法であって、
前記成形型を型締めすることによって前記形状を構成する凹凸を前記成形品に転写する工程と、
前記成形型を型開きする工程と、
前記成形品を取り出す工程と、
プラズマ処理機構が前記成形型の型面に対向して位置するように前記成形型と前記プラズマ処理機構とを相対的に移動させる工程と、
前記プラズマ処理機構を使用してプラズマを発生させる工程と、
前記プラズマを使用して前記型面に対するプラズマ処理を行うことによって前記型面に機能層を形成する工程と、
前記プラズマ処理機構が前記型面に対向して位置しなくなるように前記成形型と前記プラズマ処理機構とを相対的に移動させる工程とを備えるとともに、
前記プラズマを発生させる工程では大気圧雰囲気下において前記プラズマを発生させ、
前記機能層はフッ素含有層からなり前記成形品に対する低密着性又は良好な摺動性を有することを特徴とする成形方法。 - 請求項5又は6に記載の成形方法において、
前記機能層を形成する工程では前記プラズマ処理機構が前記型面に対向する状態で前記成形型と前記プラズマ処理機構とを相対的に移動させることを特徴とする成形方法。 - 請求項5〜7のいずれかに記載の成形方法において、
前記機能層を形成する工程の前に前記型面を活性化する工程を備えたことを特徴とする成形方法。 - 請求項5〜8のいずれかに記載の成形方法において、
前記成形型と前記プラズマ処理機構とを相対的に移動させる工程と、前記プラズマを発生させる工程と、前記機能層を形成する工程とを少なくとも有する工程群を、前記成形品に前記形状を転写する回数、又は前記型面における付着物の付着状況に応じて実行することを特徴とする成形方法。
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