JP5286152B2 - 樹脂モールド方法及び樹脂モールド装置 - Google Patents
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Description
前記樹脂付着層の樹脂を不活性化させ、また、前記金型面に付着している樹脂を不活性化する方法として、金型面にレーザ光を照射する方法、金型面にプラズマガスを放射する方法を利用することができる。
(樹脂モールド装置:第1の実施の形態)
図1は、本発明に係る樹脂モールド装置の第1の実施形態の構成を示す平面図である。本実施形態の樹脂モールド装置は、第1のプレス装置10及び第2のプレス装置20と、第1のプレス装置10と第2のプレス装置20との中間に配置された不活性化装置30とを備える。不活性化装置30は第1のプレス装置10と第2のプレス装置20に装着された樹脂モールド金型の金型面(樹脂成形面)に付着して残留する樹脂を不活性化する作用をなす。
第1のプレス装置10と第2のプレス装置20には、樹脂モールド金型(上型、下型)が装着され、樹脂モールド金型はプレス機構により型開き位置と型締め位置間を昇降駆動され、被成形品5を樹脂モールドする。
給排機構は、ワークローダー50から被成形品5を搬出して、第1及び第2のプレス装置10、20に供給するロードハンド70と、成形品5aを第1及び第2のプレス装置10、20から搬出して、ワークオフローダー55に収納するオフロードハンド80とを備える。ロードハンド70とオフロードハンド80は、ガイドレール60によって、その移動方向が、第1のプレス装置10と第2のプレス装置20が配置されている列方向と平行になるようにガイドされる。
ロードハンド70は第1及び第2のプレス装置10、20の側方におけるロード停止1、ロード停止2の位置において、第1及び第2のプレス装置10、20に向けて被成形品5の支持ハンドを進退動させて被成形品5を搬入する操作をなす。オフロードハンド80はオフロード停止1、オフロード停止2の位置において、第1及び第2のプレス装置10、20に向けて成形品5aの支持ハンドを進退動させ、樹脂モールド後の成形品5aを搬出する操作をなす。
エネルギー線照射部31は、樹脂モールド金型の金型面に付着して残留する樹脂の接着性を失わせる不活性化を目的とするから、エネルギー線の照射エネルギー自体はそれほど大きなものである必要はない。したがって、エネルギー線照射源として特別の照射源を用意する必要がない。
本実施形態においては、複数個の半導体レーザダイオード素子を、樹脂モールド金型の金型面の全面にエネルギー線が照射されるように、ヘッド部34の進退動方向と長手方向が直交する方向に整列させて配列している。
微細なミスト状に離型剤を噴霧するには、離型剤スプレー缶の吐出部に特殊ノズルを装着し、ノズルヘッドを電磁ソレノイド、エアシリンダー等のアクチュエータにより押動制御する方法、ノズルヘッドにピエゾ素子を用いた噴霧回路を形成し、ピエゾ素子を制御して噴霧する方法、超音波を利用する方法等が利用できる。
本実施形態の樹脂モールド装置においては、不活性化装置30を使用し、樹脂モールド金型の金型面に付着する樹脂を不活性化しながら樹脂モールドする。以下では、この不活性化装置30を使用して樹脂モールドする方法について説明する。
樹脂モールド金型のクリーニングが終了したら、クリーニング後の樹脂モールド金型を樹脂モールド装置にセットし、はじめに、オペレータによって樹脂モールド金型に離型剤を噴霧して供給するか、あるいはマイクロミスト供給部32を使用して離型剤を供給する。離型剤にはアルコールを使用することもできる。離型剤にアルコールを使用した場合は、アルコールに含まれる不純物が層をなすようにして金型面を覆い、さらに毛細管現象によって金型面の欠陥的な凹部を選択的に塞いで離型作用を奏するようになる。
本実施形態においては、微細なミスト状として離型剤を供給することにより、金型面に供給される離型剤の分量を抑えることができ、金型面に過剰に離型剤が供給されることを防止することができる。また、離型剤を微細なミスト状とすることにより、ミスト粒子の指向性が弱まり、金型表面の凹凸に左右されずに、金型面に均一に離型剤を供給することができる。
マイクロミスト供給部32に形成されるミスト噴射口は、ヘッド部34が樹脂モールド金型内を進退動する際に、金型面の全面に離型剤が放射されるように配列されている。
ポット13aとキャビティ13c、13dとは、金型ランナ13g、13h及びゲート13i、13jを介して連通する。
図3は、下型13の金型面に離型剤Aが付着した状態を説明的に示している(破線)。離型剤Aはキャビティ13c、13dの内面やゲート13i、13j等の内面を被覆するように付着する。
次いで、樹脂モールド操作を行い、金型面に樹脂付着層を形成する。図4は、セット部13e、13fにダミー品16a、16bをセットし、上型12と下型13とによりダミー品16a、16bをクランプし、プランジャ14により、ポット13aからキャビティ13c、13dに樹脂15を圧送して充填した状態を示す。ポット13aに供給する樹脂15は、実際の製品の製造に使用する樹脂であってもよいし、樹脂付着層を形成するための専用の樹脂であってもよい。
樹脂付着層を形成するに要する樹脂モールド回数は、樹脂モールド金型の表面処理や面性状に応じて適宜設定される。樹脂付着層を形成するための樹脂モールド回数は通常、1〜10ショット程度である。
また、樹脂付着層を形成する専用の樹脂として、硬化シュリンク量の大きな樹脂に離型剤を混入させた樹脂使用することもできる。この場合は、樹脂の硬化シュリンクをポンプ作用として、離型剤をパッケージ本体の表面から押し出して樹脂付着層を形成することができる。離型剤としては、低粘度の液体のワックスや、粘度の高い熱可塑性樹脂が使用できる。
図6は、下型13の金型面(樹脂成形面)に形成した樹脂付着層Bにエネルギー線照射部31からレーザ光を照射し、樹脂付着層Bの樹脂を不活性化している状態を示す。樹脂を不活性化する処理は、上型12と下型13とを型開きした状態で、ロボットハンド36によりヘッド部34を樹脂モールド金型内に進入させながら、エネルギー線照射部31から金型面に向けてレーザ光を照射する操作によってなされる。
本実施形態においては、レーザダイオード素子31a、31bをヘッド部34の進退動方向に対して直交する向きに2列に配置し、ヘッド部34を樹脂モールド金型に対して進退動させる操作によって、樹脂モールド金型の金型面の全面にレーザ光が照射されるように設定している。
樹脂付着層にエネルギー線を照射して離型界面層Cとした後、上型12と下型13とで、製品となる被成形品17a、17bをクランプして樹脂モールドする。図7に、離型界面層Cが形成された金型によって製品となる被成形品17a、17bを樹脂モールドしている状態を示す。
下型13の金型面に離型界面層が形成されていることにより、樹脂モールド後の成形品は、離型界面層から離型される。離型界面層は不活性化処理によって接着性が失われているから、成形品を樹脂モールドする際に成形品が離型界面層と一体に樹脂硬化することはなく、成形品を離型する際に離型界面層が分離面となって離型される。
樹脂モールドした際に、離型界面層が部分的に金型面から剥離して金型表面が露出する場合がある。その場合には、次回の樹脂モールドの際にその露出部分に樹脂が選択的に付着して金型面が樹脂によって被覆されるから、不活性化処理を組み込むことによって、離型界面層が修復され、成形品の離型作用が的確になされるようになる。
以下に、図1に示す樹脂モールド装置の動作について説明する。
第1のプレス装置10と第2のプレス装置20において、製品を樹脂モールド開始するまでの工程は、上述したように、まず、クリーニング後の樹脂モールド金型を第1のプレス装置10と第2のプレス装置20にセットし、マイクロミスト供給部32から樹脂モールド金型に離型剤を供給する工程と、樹脂モールド操作により金型面に樹脂付着層を形成する工程と、金型面に形成された樹脂付着層を不活性化する処理を施して離型界面層とする工程である。
第1のプレス装置10による樹脂モールド操作とは独立して、ロードハンド70によりワークローダー50から被成形品5が搬出され、ロード停止位置2において、第2のプレス装置20に被成形品5が供給され、第2のプレス装置20において被成形品5が樹脂モールドされる。
続いて、第1のプレス装置10において不活性化処理が開始される。不活性化処理は、型開きした状態で、不活性化装置30のロボットハンド36によりヘッド部34を金型内に進入させながらエネルギー線照射部31によりエネルギー線を金型面に照射することによって行う。
不活性化処理後、第1のプレス装置10に被成形品5がセットされ、ポットに成形用の樹脂が供給され、次回の樹脂モールド操作がなされる。
第2のプレス装置20の樹脂モールド金型に対して不活性化処理を施す方法も、第1のプレス装置10の樹脂モールド金型に不活性化処理を施す方法とまったく同様である。ロボットハンド36は、第1のプレス装置10の樹脂モールド金型に不活性化処理を施した後、水平面内において180度旋回し、第2のプレス装置20にヘッド部34を正対させ、第2のプレス装置20内に進入しながら、樹脂モールド金型に不活性化処理を施す。
不活性化装置30によって金型面に付着する樹脂を不活性化する処理は、第1のプレス装置10と第2のプレス装置20においてなされる1回の樹脂モールド操作ごとに行うように制御することもできるし、複数回の樹脂モールド操作ごとに行うように制御することもできる。
第1の実施の形態においては、不活性化処理を施す手段としてエネルギー線照射部31を備える不活性化装置30を使用する樹脂モールド装置を示した。不活性化装置はエネルギー線を用いて不活性化する装置に限られるものではなく、樹脂付着層の樹脂界面の活性基を不活性化する作用を有する手段であれば、適宜手段を利用することができる。
図8は、不活性化装置30aとして、プラズマ放射ユニット37を備えた装置例を示す。プラズマ放射ユニット37は、ロボットハンド36aにより支持され、ロボットハンド36aは、第1のプレス装置10と第2のプレス装置20に正対する向きにプラズマ放射ユニット37を旋回移動させる旋回機構と、第1及び第2のプレス装置10、20に向けてプラズマ放射ユニット37を進退動させる進退動機構を備える。旋回機構及び進退動機構がプラズマ放射ユニット37の搬送機構である。
ロボットハンド36aによりプラズマ放射ユニット37を第1及び第2のプレス装置10、20の外部の退避位置から第1及び第2のプレス装置10、20内の進入位置に向けて進退動させる際に、金型面にプラズマガスを放射し、金型面に付着した樹脂付着層を不活性化し、樹脂の接着性を失わせて離型界面層を形成する。
プラズマガスを用いて不活性化処理する場合も、樹脂モールド操作の1回ごとにプラズマガスを金型面に放射して不活性化してもよいし、複数回の樹脂モールド操作ごとに不活性化処理してもよい。プラズマガスを金型面に放射することによって樹脂付着層の樹脂の活性基を無力化することは容易である。
本実施形態の樹脂モールド装置の場合も、金型面を被覆した樹脂を成形品を離型させる離型界面層として利用することによって、金型面に樹脂を堆積させないようにして樹脂モールドすることが可能となり、連続して樹脂モールドできる回数を増やすことによって、樹脂モールド金型のクリーニング回数を減らすことができ、樹脂モールド装置の稼動を停止させる時間を短縮させ、樹脂モールド装置の生産効率を効果的に向上させることが可能になる。
また、製品を樹脂モールドする前工程として行う離型剤の供給工程、ダミー成形工程、離型界面層を形成する工程は、クリーニングを施した金型を用いて、製品の樹脂モールドを開始する場合に適用する場合に限らず、新規に製作した金型を用いて製品の樹脂モールドを開始する場合にも適用される。
5a 成形品
10 第1のプレス装置
12 上型
13 下型
13a ポット
13c、13d キャビティ
14 プランジャ
15 樹脂
16a、16b ダミー品
17a、17b 被成形品
20 第2のプレス装置
30、30a 不活性化装置
31 エネルギー線照射部
31a、31b レーザダイオード素子
32 マイクロミスト供給部
34 ヘッド部
36、36a ロボットハンド
37 プラズマ放射ユニット
38 ガス供給部
50 ワークローダー
55 ワークオフローダー
70 ロードハンド
80 オフロードハンド
90 制御部
Claims (10)
- クリーニング後の樹脂モールド金型、あるいは新規に製作された樹脂モールド金型をプレス装置に装着して樹脂モールドする方法において、
製品を樹脂モールドする前工程として、
前記樹脂モールド金型の金型面に離型剤を供給する工程と、
前記離型剤が供給された樹脂モールド金型を用いて樹脂モールド操作を行い、金型面に樹脂付着層を形成する工程と、
前記金型面に付着した樹脂付着層の樹脂を不活性化させる処理を施し、樹脂付着層を離型界面層とする工程とを備え、
製品を樹脂モールドする工程において、1回あるいは複数回の樹脂モールド操作ごとに、金型面に付着する樹脂を不活性化させる処理を施すことを特徴とする樹脂モールド方法。 - 前記金型面に樹脂付着層を形成する工程において、
金型面に樹脂付着層を形成するための専用の樹脂を用いて樹脂モールドすることを特徴とする請求項1記載の樹脂モールド方法。 - 前記樹脂付着層の樹脂を不活性化させ、また、前記金型面に付着している樹脂を不活性化する方法として、
金型面にレーザ光を照射することを特徴とする請求項1または2記載の樹脂モールド方法。 - 前記樹脂付着層の樹脂を不活性化させ、また、前記金型面に付着している樹脂を不活性化する方法として、
金型面にプラズマガスを放射することを特徴とする請求項1または2記載の樹脂モールド方法。 - 前記離型界面層を形成した後、離型界面層が形成された金型面に離型剤を供給する工程を備えることを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項記載の樹脂モールド方法。
- 前記離型剤として、粒子径が平均20μmのミスト状の離型剤を供給することを特徴とする請求項5記載の樹脂モールド方法。
- 前記離型界面層を形成する工程に続いて、離型剤を混入した樹脂を用いて、1回もしくは複数回の樹脂モールド操作を行い、離型界面層に離型剤を供給することを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項記載の樹脂モールド方法。
- 被成形品を樹脂モールドする樹脂モールド金型を備えるプレス装置と、
該プレス装置に被成形品及び成形品を給排する給排機構と、
前記プレス装置に装着された樹脂モールド金型の金型面に離型剤を供給する機構と、
前記プレス装置に装着された樹脂モールド金型の金型面に付着して残留する樹脂に不活性化処理を施す不活性化装置と、
を備えることを特徴とする樹脂モールド装置。 - 前記不活性化装置は、前記給排機構に併設されていることを特徴とする請求項8記載の樹脂モールド装置。
- 前記不活性化装置には、前記樹脂モールド金型の金型面に離型剤を供給する手段が付設されていることを特徴とする請求項8または9記載の樹脂モールド装置。
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Families Citing this family (1)
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Family Cites Families (6)
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