JPS63197611A - 情報記録担体の製造方法 - Google Patents

情報記録担体の製造方法

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Publication number
JPS63197611A
JPS63197611A JP2925787A JP2925787A JPS63197611A JP S63197611 A JPS63197611 A JP S63197611A JP 2925787 A JP2925787 A JP 2925787A JP 2925787 A JP2925787 A JP 2925787A JP S63197611 A JPS63197611 A JP S63197611A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
photopolymer
original plate
information recording
recording carrier
master
Prior art date
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Pending
Application number
JP2925787A
Other languages
English (en)
Inventor
Wataru Ogawa
渉 小川
Asae Horie
堀江 朝江
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Victor Company of Japan Ltd
Original Assignee
Victor Company of Japan Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Victor Company of Japan Ltd filed Critical Victor Company of Japan Ltd
Priority to JP2925787A priority Critical patent/JPS63197611A/ja
Publication of JPS63197611A publication Critical patent/JPS63197611A/ja
Pending legal-status Critical Current

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  • Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
  • Casting Or Compression Moulding Of Plastics Or The Like (AREA)
  • Manufacturing Optical Record Carriers (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 (産業上の利用分野) 本発明は情報記録担体の製造方法に係り、特にフォトポ
リマー樹脂を用いて原盤を作成し、前記原盤に対して更
にフォトポリマー樹脂を用いて複製を行うディスクの複
製方法に関するものである。
(従来技術と問題点) ディスクは情報記録担体として、光ディスクに代表され
るように、記録密度が高く容量が大きい、ランダムアク
セスに優れている、ビット当りの価格が安い、等の利点
があり、高度情報社会において大きく期待され、各分野
に盛んに応用され゛ている。
次に、従来技術によるこれらディスクの基本的な製造方
法を図面と共に説明する。第2図(A)乃至第2図(G
)は、従来技術によるディスクの製造方法の概要を示す
図である。
先ず、第2図<A)に示す如く研磨したガラス盤1上に
フォトレジスト2を塗布し、Ar十レーザー等のカッテ
ィング光源3を用いて信号を記録する。
次に、第2図(B)に示す如く、現像を行いビット4を
形成する。これが原盤5となる。
次に、第2図(C)に示す如く、ニッケルめっき処理−
によりマスタ6を作成し、続いてこれから再びニッケル
めっき処理により、第2図(D)に示す如くマザー7を
作成する。更に再びニッケルめっき処理により、第2図
(E)に示す如くスタンバ8を作成する。
このスタンバ8より、第2図(F)に示す如くプラスチ
ック成型により、プラスチック成形品9を作成し、保護
膜10を設ける等の後工程を経て、第2図(G)に示す
如くディスク11が完成する。
上記した従来技術によるディスクの製造方法においては
、非常に精密なめっき工程が中心となっており、これは
かなり長時間を必要とする工程であり、大規模な設備投
資の問題があり、公害等の問題も深刻である。
又、プラスチック成形の方法としては、インジェクショ
ン法、フォトポリマー法等がある。
しかし、インジェクション法では成形樹脂の問題から信
号ビット形状が劣化し、この劣化を防止するため用いら
れているフォトポリマー法においても、ニッケルの表面
状態によっては液状フォトポリマーに対するニッケルの
接触角が大きいため濡れ性が悪くなり、気泡が入り易(
なるといった問題点がある。
次に、従来技術によるフォトポリーマー法について図面
と共に説明する。
第3図(A)乃至第3図(C)は従来技術によるフォト
ポリマー法のJR要を示す図である。
先ず、塩化ビニル、エポキシ樹脂、アクリル樹脂、ポリ
カーボネート樹脂等を材料としたベースプレート12を
用意し、第3図(A)に示す如く、このベースプレート
12とスタンパ8との間にフォトポリマー13を充てん
する。
次に、第3図(B)に示す如く、水銀灯19により、紫
外線20を露光し、フォトポリマー13を硬化させる。
次に、第3図(C)に示す如く硬化したフォトポリマー
13及びベースプレート12をスタンパ8から剥離し、
フォトポリマー成型品14を得る。
これは、特公昭6l−8762rプラスチック記録担体
の製造方法及び製造装置」に述べられている。
上記した従来技術によるフォトポリマー法においては、
ニッケルにて作成されたスタンパ8に対してのみフォト
ポリマーが使用できるもので、フォトポリマーにて作成
されたスタンパに対して、更にフォトポリマーを用いて
複製を行おうとすると、異種のフォトポリマーであって
も、互いに接着し、それぞれを剥離することは不可能で
ある。
従って、めっき処理工程をなくすため、従来技術による
フォトポリマー法をめっき処理工程の代りに用いること
は不可能であるといった問題点がある。
そこで、本発明は上記した従来技術の問題点を解決し、
めっき処理工程をなくし、時間を大幅に短縮し、良質の
ディスクが複製できるようにした情報記録担体の製造方
法を提供することを目的とする。
(問題を解決するための手段) 本発明は前記目的を達成するために、信号を刻印した原
盤をフォトポリマーを用いて作成し、前記原盤に対し更
にフォトポリマーを用いて複製を行うことを特徴とする
情報記録担体の製造方法を提供するものである。
(実施例) 本発明になる情報記録担体の製造方法の一実施例の概要
を図面と共に説明する。第1図(A)乃至第1図([)
)は、本発明になる情報記録担体の製造方法の一実施例
の概要を示す図である。
先ず、第1図(A)に示す如く、原盤5等よりフォトポ
リマー法にて作成したフォトポリマー原盤15をプラズ
マ処理装置16の陰極18側に置き、排気した後、フロ
ン系ガスを導入し、陽極17と陰極18との間に13.
56MHzの高周波電力をかけ、プラズマ表面処理を施
す。
次に、第1図(B)に示す如く、ベースプレート12と
プラズマ表面処理の終了したフォトポリマー原盤15と
の間にフォトポリマー13を充てんし、第1図(C)に
示す如く、水銀灯19を用いて紫外線20を露光し、フ
ォトポリマー13を硬化させる。
次に、第1図(D)に示す如く、硬化したフォトポリマ
ー13及びベースプレート12を、フォトポリマー原盤
15から剥離し、フォトポリマー成型品14を得る。
このようにして作成したフォトポリマー成型品14はフ
ォトポリマー原盤15として用いることが可能である。
従って、例えば、このフォトポリマー成型品14を従来
技術によるディスクの製造方法におけるマスタ6、マザ
ー7、あるいはスタンバ8として用いることが可能であ
る。
本実施例においては、フォトポリマー同士の複製を°可
能にするために、硬化したフォトポリマー原盤15にプ
ラズマ表面処理を施した。これは、フロン系ガスを用い
るのが望ましく、フォトポリマー表面にフッ素の極性基
を植え付け、又、フッ素のフリーラジカルを付着させる
のである。
フォトポリマー表面のこれらフッ素原子は、原子核と自
由電子との間の相互作用が非常に大きいため、分極率が
小さく、電気陰性度が高い。このため、フォトポリマー
表面の表面自由エネルギーが小さくなり接着しにくくな
るためと考えられている。これは、電子材料1981年
7月!111. 120〜125「高分子材料のプラズ
マ表面処理」を参考とした。
本実施例においては、プラズマ処理装置16として、平
行平板型反応性イオンエツチング装置を用い、ガスはC
F4を用い、圧力25m Torr 。
高周波電力100W、の条件で1分間処理を打つた。
使用できるガスとしては、CHF3 。
csr F3 、C2Fs 、SFs 、03 F8 
04 F6等がある。
又、高周波電力が50W以下になると、表面処理の効果
が得られなくなり、この電力を大きくし過ぎてもフォト
ポリマー表面にダメージが生じる。
(発明の効果) 以上の如く、本発明になる情報記録担体の製造方法はフ
ォトポリマー同士で複製を行うようにしたので、従来技
術によるディスクの製造工程からめっき処理工程をなく
すことができるため、大幅な時間短縮、公害処理設備投
置の縮小、複製忠実度の向上、歩留り及び作業性の改善
等がなされるといった多くの特長を有する。
【図面の簡単な説明】
第1図(A>乃至第1図(D)は本発明になる情報記録
担体の製造方法の一実施例の概要を示す図、第2図(A
)乃至第2図(G)は従来技術によるディスクの製造方
法の概要を示す図、第3図(A>乃至第3図(C)は従
来技術によるフォトポリマー法の概要を示す図である。 1・・・ガラス盤、2・・・フォトレジスト、3・・・
カッティング光源、4・・・ビット、5・・・原盤、6
・・・マスタ、7・・・マザー、8・・・スタンバ、9
・・・プラスチック成型品、10・・・保護膜、11・
・・ディスク、12・・・ベースプレート、13・・・
フォトポリマー、14・・・フォトポリマー成型品、1
5・・・フォトポリマー原盤、16・・・プラズマ処理
装置、17・・・陽極、18・・・陰極、19・・・水
銀灯、20・・・紫外線。 ′f 1 昭 (へ〕 プ珂jlEン〕 (l)ン            づ
1〒 三さ −i1  (C)tAン (C) (D) (E) (メ「) 才2犯 手続補正書 1、事件の表示 昭和62年特許願第29257号 2、発明の名称 情報記録担体の製造方法 3、補正をする者 事件との関係  特許出願人

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. 信号を刻印した原盤をフォトポリマーを用いて作成し、
    前記原盤に対し更にフォトポリマーを用いて複製を行う
    ことを特徴とする情報記録担体の製造方法。
JP2925787A 1987-02-10 1987-02-10 情報記録担体の製造方法 Pending JPS63197611A (ja)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2010253849A (ja) * 2009-04-27 2010-11-11 Apic Yamada Corp 樹脂モールド方法及び樹脂モールド装置
JP2012019019A (ja) * 2010-07-07 2012-01-26 Toshiba Corp テンプレートの製造方法および半導体装置の製造方法

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JPS5637836A (en) * 1979-08-31 1981-04-11 Pioneer Electronic Corp Replica making method for video disk

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