JPH0254447A - 光学的記録媒体用基板の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明はコンパクトディスク、ビデオディスク、ホロデ
ィスク等の光学的記録媒体用基板の製造方法に関するも
のである。

〔従来の技術〕

近年、高密度大容量の記憶、非接触の記録再生、アクセ
スの容易さ等の観点から光ディスク等の光学的記録媒体
が注目されている。このような記録媒体の複製量産には
、プリフォーマットや案内溝あるいは記録信号に対応す
る凹凸微細パターンが形成されているスタンパ（金型）
が一般に使用されている。

以下、第１図を参照してスタンパの作製方法について説
明する。

先ず、ソーダガラスよりなる板ガラスを円板状に切断し
表面を研磨してガラス基板１１となし、このガラス基板
１１の片面にフォトレジスト１２を塗布する（第１図（
ａ））、そして該フォトレジスト１２に露光、現像を施
すことにより凹凸微細パターン１２′を形成してガラス
原盤１ｏを得る（第１図（ｂ））、次に、ガラス原盤１
０の表面に導電化皮膜１３を形成した（第１図（Ｃ））
後、電鋳法によりニッケル皮膜１４を形成しく第１図（
ｄ））、これら導電化皮膜１３及びニッケル皮膜１４を
一体としてガラス原盤１０より剥離させることによりス
タンパ１５を得る（第１図（ｅ））。

このようにして得られたスタンパ１５を用いて多数の光
ディスクを複製する方法としては、圧縮成形法、射出成
形法、２Ｐ（フォトポリマー）法等多数の方法があり、
以下そのうちの代表的なものにつき説明する。

（、）圧縮成形法・・・スタンパを油圧プレス機械のモ
ールディングダイスの片側に取り付け、両側を蒸気で加
熱しながら、あらかじめ加熱したプラスチック材料をセ
ットし、プレス後冷却して成形する方法（従来のＬＰレ
コード等はほとんど本法により作製されている）。

（ｂ）射出成形法・・・溶融した樹脂を高圧力でディス
クのスタンパを含む金型内に入れて固まらせる方法（Ｃ
Ｄ（コンパクトディスク）等の光デイスク基板は本法で
作製されている）。

（ｃ）２Ｐ法・・・光学特性の良いプラスチック平板を
用意し、これとスタンパの間に紫外線により硬化する樹
脂を充填し、プラスチック板側から紫外線を照射して樹
脂を硬化させる方法。

上記の方法のうち、２Ｐ法については、量産性の点では
前二者に劣っているものの、高い圧力を加えることなく
しかも樹脂を加熱することなく常温で成形が行えるため
に前二者に比べ転写性が優れ、また欠陥の少いディスク
基板を作製することができるという特長がある。そこで
、以下に第２図を参照しながら２Ｐ法を用いた従来のデ
ィスク基板の製造方法について説明する。

先ず、上記で作製したスタンパ１５の面上に紫外線硬化
樹脂２２を被着した後、プラスチック基板２１をあてが
う。なお、紫外線硬化樹脂２２とプラスチック基板２１
を同時にあてがってもよい。すると紫外線硬化樹脂２２
はプラスチック基板２１により押し広げられ、スタンパ
１５上にほぼ均一に分布する。

そして、このように均一分布した紫外線硬化樹脂２２に
対して、反射板２４に覆われた紫外線ランプ２３を点灯
し、紫外線を所定のパワーで所定時間照射して紫外線硬
化樹脂２２を硬化させる。紫外線硬化樹脂２２が充分硬
化した後、第２図（ｂ）に示す如く、プラスチック基板
２１と紫外線硬化樹脂２２を一体としてスタンパ１５よ
り剥離してディスク基板２０を得る。

〔発明が解決しようとする課題〕

しかしながら、２Ｐ法を用いた従来のディスク基板の製
造方法には以下に述べるような問題点があった。

第２図（ｂ）に示すようにスタンパ１５よりディスク基
板２０を剥離する際、第３図の拡大図に示すように、デ
ィスク基板２０に形成された凹凸微細パターン２０ａの
エツジが、相対するスタンパ１５の凹凸微細パターン１
５ａにひっかかり、凹凸微細パターン１５ａの形状の転
写が忠実に行われないで、ディスク基板２０の凹凸微細
パターン２０ａに欠落部２５を生じる事が少くなかった
。

ここで、欠落部２５の発生原因について第３図により考
察してみる。第４図はスタンパ１５の凹凸微細パターン
１５ａの溝底コーナ部での剥離抵抗発生原理図である。

剥離の回転中心が仮にＡであれば軌跡Ａから分る如くひ
っかかりはないが、もしＢの如く溝底の平面上より僅か
１声でも上方に存在すると軌跡Ｂで分る如くスタンパ１
５の溝部内壁は明らかにディスク基板２０側の凹凸微細
パターン２０ａのエツジを削り取るような作用をするこ
とが容易に推定できる。したがって、実際には剥離の回
転中心がＡでな（、Ｂもしくはそれより上方にあるため
に欠落部２５が発生することになる。

一方、スタンパからディスク基板への転写において生じ
る欠陥ではないが、特開昭５９−１１４０３２号公報は
、フォトレジストからスタンパへの転写の際にレジスト
の一部がスタンパ表面に付着することにより生じる欠陥
に言及している。このようなレジスト残についてはアッ
シャ−やＵＶ１０３装置により除去することが一般にな
されており、また同公報の発明においては金属より強い
接着剤を用いて除去することが示されている。ところが
、スタンパからディスク基板への転写に関しては、得ら
れるディスク基板の一部に欠陥があった場合、そのまま
光ディスクの欠陥となってしまい、上記のような除去法
が適用できない６ 本発明は以上の点に鑑み、スタンパ面に形成された凹凸
微細パターンを忠実に転写することが可能な光学的記録
媒体用基板の製造方法を提供することを目的とする。

〔課題を解決するための手段〕

本発明者らは、上記のような凹凸微細パターン２０ａの
欠落部２５を発生させないディスク基板の製造方法を種
々テストした結果、この欠落部２５の発生は紫外線硬化
樹脂２２の硬化状態を依存することを見出し、この点に
着目して本発明を完成するに至った。

すなわち、本発明によれば、微細な凹凸パターンが形成
されたスタンパ上に紫外線硬化樹脂を被着しさらにその
上に基板を被着し、次いで紫外線を照射して前記紫外線
硬化樹脂を硬化させて前記基板と一体化し、さらにこの
一体化した構造体を前記スタンパより剥離することによ
り光学的記録媒体基板を得る光学的記録媒体基板の製造
方法において、前記紫外線硬化樹脂が半硬化の状態のと
きに前記構造体を面記スタンバより剥離し、剥離した構
造体の紫外線硬化樹脂部分に再度紫外線を照射し、紫外
線硬化樹脂を完全硬化させることを特徴とする光学的記
録媒体用基板の製造方法が提供される。

紫外線硬化樹脂が充分に硬化した状態で剥離を行う場合
、スタンパ面に対して垂直方向に剥離すれば理論的には
欠落部は生じないと考えられるが、現実には第２図（ｂ
）に示す如く、端部から順に剥離が進行するために欠落
部が生じやすい。そこで本発明では、紫外線硬化樹脂の
硬化状態即ち紫外線の照射状態をコントロールすること
により、欠落部を生じさせないようにする。即ち、紫外
線硬化樹脂を半硬化の状態で止めて剥離を行い、その後
で再度、酸素を含まない雰囲気中にて紫外線を照射して
完全硬化させることにより、欠落部の発生を防止する。

半硬化状の紫外線硬化樹脂はたとえ第２図（ｃ）に示す
如く剥離によって欠落が生じるような力が加わったとし
ても、紫外線硬化樹脂が半硬化状態即ち弾性体であるた
め、−時的に加わった力を吸収し、力がかからなくなっ
た時点即ち剥離した時点で元へ復帰し、欠落部の発生が
防止される。

〔実施例〕

以下、本発明を実施例により更に詳細に説明する。

実施例１ 公知の方法により得られたスタンパ上の中心付近に紫外
線硬化樹脂（例えば昭和高分子製スピラックＴ−５０２
）を約２−デイスペンサーにより吐出して配置後、その
上から厚さ１　、２ｍｍのアクリル基板をのせ、加圧す
ることにより紫外線硬化樹脂をスタンパとアクリル基板
との間で押し広げ、スタンパのほぼ全域をカバーしたと
ころで加圧を停止した。この状態でアクリル基板側より
紫外線照射（９Ｉ１ｗの照射パワーで６０秒間）を行っ
た後、紫外線硬化樹脂とアクリル基板が一体化した構造
体をスタンパより剥離した。更に、剥離した構造体に対
し、不活性ガス（チッソガス等）中にて再度紫外線照射
（１８Ｉの照射パワーで２００秒）を行い、紫外線硬化
樹脂を完全に硬化させて、ディスク基板とした。

このようにして作製されたディスク基板は欠落部のない
良好なものであった。

従来は紫外線照射を１８０ｍＶの照射パワーで１００秒
間行いこの１回の照射により紫外線硬化樹脂がほとんど
完全に硬化した状態で剥離を行っていたため欠落部が生
じやすかった。

実施例２ アクリル基板の代わりにガラス基板を用い、かつ第１回
目の紫外線照射を９ｍＶの照射パワーで１８０秒間行っ
た以外は実施例１と同様にしてディスク基板を得た。こ
のディスク基板も実施例１と同様、欠落部のない良好な
ものであった。これはスタンパから剥離時にアクリル基
板に比較してガラス基板は反りが少く、第４図に示す剥
離の回転中心が低い（スタンパに近い）ために紫外線硬
化樹脂がアクリル基板を用いた時より硬化が進んでも欠
落部が生じにくい為と思われる。

その他、実際面からみて、剥離をゆっくりと行う事も同
様な意味で効果があった。

〔発明の効果〕

以上詳細に説明したように１本発明によれば。

紫外線硬化樹脂が半硬化の状態でスタンパからの剥離を
行い、その後に再度紫外線を照射させて紫外線硬化樹脂
を完全硬化させて光学的記録媒体用基板を作製するよう
にしたので、スタンバ上に形成されている微細パターン
を忠実に基板に転写することができ、欠落部のない高品
質な光学的記録媒体用基板の提供が可能となる。

【図面の簡単な説明】

第１図はスタンバの作製方法を示す工程図、第２図はデ
ィスク基板の製造方法の説明図、第３図は欠落部の発生
箇所付近の拡大図、第４図は欠落部発生原理の説明図で
ある。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. （１）微細な凹凸パターンが形成されたスタンパ上に紫
   外線硬化樹脂を被着しさらにその上に基板を被着し、次
   いで紫外線を照射して前記紫外線硬化樹脂を硬化させて
   前記基板と一体化し、さらにこの一体化した構造体を前
   記スタンパより剥離することにより光学的記録媒体基板
   を得る光学的記録媒体基板の製造方法において、 前記紫外線硬化樹脂が半硬化の状態のときに前記構造体
   を前記スタンパより剥離し、 剥離した構造体の紫外線硬化樹脂部分に再度紫外線を照
   射し、紫外線硬化樹脂を完全硬化させることを特徴とす
   る光学的記録媒体用基板の製造方法。