JP6006626B2 - 樹脂モールド装置および樹脂モールド方法 - Google Patents
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Description
5 ワーク
6 電圧制御装置
7 テーブル
8 カメラ
32 静電噴霧装置
33、35 粒子
100 樹脂モールド装置
200 冷却装置
Claims (10)
- ノズルと金型との間に所定の電圧を印加し、該ノズルから該金型に向けて離型剤を静電噴霧することにより該金型に該離型剤の薄膜を形成する静電噴霧装置と、
前記離型剤の薄膜が形成された金型を用いてワークの樹脂モールドを行うプレス装置と、を有し、
前記所定の電圧は、0.5kV〜10kVであり、
前記ノズルと前記金型との間の距離は、0.5mm〜20mmであり、
前記ノズルは、内部に電極棒が挿入され、
前記ノズルの先端部の径は、5μm〜400μmであり、
前記離型剤は、フッ素系またはシリコーン系の材料からなり、
前記静電噴霧装置は、前記離型剤の薄膜の厚さが、1〜5μmとなるように制御することを特徴とする樹脂モールド装置。 - 金型にレーザを照射するレーザ装置と、
前記レーザの照射後にノズルと前記金型との間に所定の電圧を印加し、該ノズルから該金型に向けて離型剤を静電噴霧することにより該金型に離型剤の薄膜を形成する静電噴霧装置と、
前記離型剤の薄膜が形成された金型を用いてワークの樹脂モールドを行うプレス装置と、を有し、
前記所定の電圧は、0.5kV〜10kVであり、
前記ノズルと前記金型との間の距離は、0.5mm〜20mmであり、
前記ノズルは、内部に電極棒が挿入され、
前記ノズルの先端部の径は、5μm〜400μmであり、
前記離型剤は、フッ素系またはシリコーン系の材料からなり、
前記静電噴霧装置は、前記離型剤の薄膜の厚さが、1〜5μmとなるように制御することを特徴とする樹脂モールド装置。 - 前記プレス装置は、前記金型に前記離型剤の薄膜が形成された後、ダミーショットを実行することなく前記ワークの樹脂モールドを行うことを特徴とする請求項1または2に記載の樹脂モールド装置。
- ノズルと金型との間に所定の電圧を印加し、該ノズルから該金型に向けて離型剤を静電噴霧することにより該金型に該離型剤の薄膜を形成する静電噴霧装置と、
前記離型剤の薄膜が形成された金型を用いてワークの樹脂モールドを行うプレス装置と、
前記離型剤を冷却する冷却装置と、を有し、
前記静電噴霧装置は、前記ノズルから前記金型に向けて、前記冷却装置により冷却された前記離型剤を静電噴霧することを特徴とする樹脂モールド装置。 - 前記所定の電圧は、直流電圧または5Hz〜1kHzのパルス電圧であることを特徴とする請求項1乃至4のいずれか1項に記載の樹脂モールド装置。
- 前記静電噴霧装置は、前記ノズルとして複数のノズル部を備え、該複数のノズル部のそれぞれに印加される電圧を独立に制御することを特徴とする請求項1乃至5のいずれか1項に記載の樹脂モールド装置。
- ノズルと金型との間に所定の電圧を印加し、該ノズルから該金型に向けて離型剤を静電噴霧することにより、該金型に離型剤の薄膜を形成するステップと、
前記離型剤の薄膜が形成された前記金型を用いてワークをクランプするステップと、
前記ワークに樹脂を供給して樹脂モールドを行うステップと、を有し、
前記所定の電圧は、0.5kV〜10kVであり、
前記ノズルと前記金型との間の距離は、0.5mm〜20mmであり、
前記ノズルは、内部に電極棒が挿入され、
前記ノズルの先端部の径は、5μm〜400μmであり、
前記離型剤は、フッ素系またはシリコーン系の材料からなり、
前記形成するステップは、前記離型剤の薄膜の厚さが、1〜5μmとなるように形成することを特徴とする樹脂モールド方法。 - 金型にレーザを照射するステップと、
ノズルと前記金型との間に所定の電圧を印加し、該ノズルから該金型に向けて離型剤を静電噴霧することにより、該金型に離型剤の薄膜を形成するステップと、
前記離型剤の薄膜が形成された前記金型を用いてワークをクランプするステップと、
前記ワークに樹脂を供給して樹脂モールドを行うステップと、を有し、
前記所定の電圧は、0.5kV〜10kVであり、
前記ノズルと前記金型との間の距離は、0.5mm〜20mmであり、
前記ノズルは、内部に電極棒が挿入され、
前記ノズルの先端部の径は、5μm〜400μmであり、
前記離型剤は、フッ素系またはシリコーン系の材料からなり、
前記形成するステップは、前記離型剤の薄膜の厚さが、1〜5μmとなるように形成することを特徴とする樹脂モールド方法。 - 前記金型に前記離型剤の薄膜を形成した後にダミーショットを実行することなく前記ワークの樹脂モールドを行うことを特徴とする請求項7または8に記載の樹脂モールド方法。
- ノズルと金型との間に所定の電圧を印加し、該ノズルから該金型に向けて離型剤を静電噴霧することにより、該金型に離型剤の薄膜を形成するステップと、
前記離型剤の薄膜が形成された前記金型を用いてワークをクランプするステップと、
前記ワークに樹脂を供給して樹脂モールドを行うステップと、
前記離型剤を冷却するステップと、を有し、
前記冷却された前記離型剤を前記ノズルから前記金型に向けて静電噴霧することにより、該金型に該離型剤の薄膜を形成することを特徴とする樹脂モールド方法。
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