JP7149284B2 - 光学ポリマーフィルムおよびそれを鋳造する方法 - Google Patents
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Description
本願は、米国仮出願第62/472,380号(2017年3月16日出願)の出願日の利益を主張し、米国仮出願第62/472,380号の内容は、その全体が参照により本明細書に引用される。
本開示は、光学ポリマーフィルムに関する。
ウェアラブル結像ヘッドセット等の光学結像システムは、ユーザに投影画像を提示する1つ以上の接眼レンズを含むことができる。接眼レンズは、1つ以上の高屈折性材料の薄層を使用して構築されることができる。例として、接眼レンズは、高屈折性ガラス、シリコン、金属、またはポリマー基板の1つ以上の層から構築されることができる。
ポリマーフィルムを生産するためのシステムおよび技法が、本明細書に説明される。説明される実装のうちの1つ以上のものが、高度に精密であり、制御され、再生産可能である様式でポリマーフィルムを生産するために使用されることができる。結果として生じるポリマーフィルムは、フィルム寸法に対する極めて厳しい許容誤差が所望される種々の変動に敏感な用途において使用されることができる。例えば、ポリマーフィルムは、材料均質性および寸法制約が光学波長またはそれを下回るほどである光学用途において(例えば、光学結像システムにおける接眼レンズの一部として)使用されることができる。
本明細書は、例えば、以下の項目も提供する。
(項目1)
システムであって、前記システムは、
前記システムの使用中、第1の金型表面を有する第1の実質的に平面の金型を支持するように構成された第1のチャックと、
前記システムの使用中、第2の金型表面を有する第2の実質的に平面の金型を支持するように構成された第2のチャックであって、前記第2のチャックは、前記第2の金型に隣接した少なくとも一部を備え、前記少なくとも一部は、光硬化性材料を光硬化させるために好適な放射の1つ以上の波長に実質的に対して透明である、第2のチャックと、
前記第1のチャックおよび/または前記第2のチャックに結合された作動可能ステージであって、前記作動可能ステージは、前記システムの使用中、前記第1の金型表面と第2の金型表面とが互いに面し、ある間隙だけ分離されているように前記第1のチャックおよび/または前記第2のチャックを位置付けるように構成されている、作動可能ステージと、
前記システムの使用中、少なくとも3つの場所の各々における前記第1の金型表面と第2の金型表面との間の距離および/または少なくとも3つの場所の各々における前記第1のチャックと第2のチャックとの間の圧力を示す測定情報を取得するためのセンサ配列と、
前記作動可能ステージに通信可能に結合された制御モジュールと
を備え、
前記制御モジュールは、前記システムの使用中、前記測定情報を受信し、前記受信された測定情報に基づいて、前記第1の金型表面と第2の金型表面との間の前記間隙を制御するように構成されている、システム。
(項目2)
前記第2のチャックは、前記放射の前記1つ以上の波長に対して透明な材料から形成されている、項目1に記載のシステム。
(項目3)
前記放射の前記1つ以上の波長は、紫外線波長または可視波長のうちの少なくとも1つを備えている、項目1に記載のシステム。
(項目4)
前記システムは、放射源をさらに備え、前記放射源は、前記システムの使用中、前記放射を前記第1の金型表面と前記第2の金型表面との間の領域に導くように構成されている、項目1に記載のシステム。
(項目5)
前記第1のチャックは、第1の実質的に平坦なチャック面を備え、前記第2のチャックは、前記第1のチャック面に面する第2の実質的に平坦なチャック面を備えている、項目1に記載のシステム。
(項目6)
前記第1のチャック面の平坦度および前記第2のチャック面の平坦度の各々は、理想的平坦面の平坦度から100nm以下外れている、項目5に記載のシステム。
(項目7)
前記第1のチャック面または前記第2のチャック面のうちの少なくとも1つは、研磨面またはラップ面である、項目5に記載のシステム。
(項目8)
前記作動可能ステージは、前記システムの使用中、少なくとも1つの次元に関して前記第1のチャックおよび/または第2のチャックを平行移動させるように構成されている、項目1に記載のシステム。
(項目9)
前記作動可能ステージは、前記システムの使用中、3つの直交次元に関して前記第1のチャックおよび/または第2のチャックを平行移動させるように構成されている、項目1に記載のシステム。
(項目10)
前記作動可能ステージは、前記システムの使用中、少なくとも1つの軸の周りに前記第1のチャックおよび/または第2のチャックを回転させるように構成されている、項目1に記載のシステム。
(項目11)
前記作動可能ステージは、前記システムの使用中、3つの直交軸の周りに前記第1のチャックおよび/または第2のチャックを回転させるように構成されている、項目1に記載のシステム。
(項目12)
前記センサ配列は、前記第1のチャックおよび/または前記第2のチャック上に配置された少なくとも1つの容量センサを備えている、項目1に記載のシステム。
(項目13)
前記センサ配列は、前記第1のチャックおよび/または前記第2のチャック上に配置された複数の容量センサを備えている、項目1に記載のシステム。
(項目13)
前記第1のチャックの少なくとも一部および/または前記第2のチャックの少なくとも一部は、導電性である、項目12に記載のシステム。
(項目14)
前記センサ配列は、少なくとも1つの圧力センサを備え、
各圧力センサアセンブリは、前記システムの使用中、前記第1のチャックと前記第2のチャックとの間に配置された対応する機械的スペーサに加えられた圧力を決定するように構成されている、項目1に記載のシステム。
(項目15)
各機械的スペーサは、前記第1のチャック、前記第2のチャック、前記第1の金型、または前記第2の金型のうちの1つの上に配置されている、項目14に記載のシステム。
(項目16)
前記センサ配列は、複数の圧力センサを備え、
各圧力センサアセンブリは、前記システムの使用中、前記第1のチャックと前記第2のチャックとの間に配置された対応する機械的スペーサに加えられた圧力を決定するように構成されている、項目1に記載のシステム。
(項目17)
真空アセンブリをさらに備え、前記真空アセンブリは、前記システムの使用中、真空圧力を前記第1の金型に加え、前記第1の金型を前記第1のチャックに固定すること、および/または、真空圧力を前記第2の金型に加え、前記第2の金型を前記第2のチャックに固定することを行うように構成されている、項目1に記載のシステム。
(項目18)
前記第1の金型表面と第2の金型表面との間の前記間隙を制御することは、
前記第1の金型表面が前記第2の金型表面に対して斜めにされるように前記第1のチャックおよび/または前記第2のチャックを位置付けることと、
前記第1の金型表面が前記第2の金型表面に対して斜めにされるように前記第1のチャックおよび/または前記第2のチャックを位置付けることに続いて、前記第2のチャックに向かって前記第1のチャックを移動させることと
を含む、項目1に記載のシステム。
(項目19)
前記第1の金型表面が前記第2の金型表面に対して斜めにされるように前記第1のチャックおよび/または前記第2のチャックを位置付けることは、前記第1の金型表面と前記第2の金型表面との間の角変位が約1°~10°であるように前記第1のチャックおよび/または前記第2のチャックを位置付けることを含む、項目18に記載のシステム。
(項目20)
前記第1の金型表面と第2の金型表面との間の前記間隙を制御することは、前記第1の金型表面と前記第2の金型表面とが実質的に平行であるように前記第1のチャックおよび/または前記第2のチャックを位置付けることを含む、項目1に記載のシステム。
(項目21)
前記第1の金型表面と第2の金型表面との間の前記間隙を制御することは、前記第1の金型表面と前記第2の金型表面との間の角変位が10μrad未満であるように前記第1のチャックおよび/または前記第2のチャックを位置付けることを含む、項目1に記載のシステム。
(項目22)
前記第1の金型表面と第2の金型表面との間の前記間隙を制御することは、前記光硬化性材料の光硬化中、前記第2のチャックに向かって、またはそれから離れるように前記第1のチャックを移動させることを含む、項目4に記載のシステム。
(項目23)
前記第1のチャックは、前記光硬化性材料の光硬化中、前記第2のチャックに向かって、またはそれから離れるように連続的に移動させられる、項目22に記載のシステム。
(項目24)
前記第1のチャックは、前記光硬化性材料の光硬化中、前記第2のチャックに向かって、またはそれから離れるように断続的に移動させられる、項目22に記載のシステム。
(項目25)
回転可能プラットフォームをさらに備えている、項目1に記載のシステム。
(項目26)
前記作動可能ステージは、前記回転可能プラットフォーム上に配置されている、項目25に記載のシステム。
(項目27)
前記回転可能プラットフォームは、開口を画定し、前記作動可能ステージは、前記開口を通って延びるように構成されている、項目25に記載のシステム。
(項目28)
方法であって、前記方法は、
第1の金型の第1の表面上に光硬化性材料を分注することと、
前記第1の表面および第2の金型の第2の表面がある間隙だけ分離されているように前記第1の金型および前記第2の金型を位置付けることと、
システムの使用中、少なくとも3つの場所の各々における前記第1および第2の金型間の距離および/または前記第1および第2の金型間の少なくとも3つの場所の各々における圧力を示す測定情報を取得することと、
前記測定情報に基づいて、前記第1の金型表面と第2の金型表面との間の前記間隙を制御することと
を含む、方法。
(項目29)
前記光硬化性材料に、前記光硬化性材料を光硬化させるために好適な放射の1つ以上の波長を導くことをさらに含む、項目28に記載の方法。
(項目30)
前記放射の前記1つ以上の波長は、紫外線波長または可視波長のうちの少なくとも1つを備えている、項目29に記載の方法。
(項目31)
前記測定情報は、1つ以上の容量センサを使用して取得される、項目28に記載の方法。
(項目32)
前記測定情報は、3つ以上の容量センサを使用して取得される、項目28に記載の方法。
(項目33)
前記測定情報を取得することは、1つ以上の圧力センサを使用して、1つ以上の機械的スペーサの各々に加えられた圧力を決定することを含み、前記1つ以上の機械的スペーサの各々は、前記第1および第2の金型間に配置され、および/または、前記第1および第2の金型の周辺に沿って配置されている、項目28に記載の方法。
(項目34)
前記測定情報を取得することは、3つ以上の圧力センサを使用して、3つ以上の機械的スペーサの各々に加えられた圧力を決定することを含み、前記3つ以上の機械的スペーサの各々は、前記第1および第2の金型間に配置され、および/または、前記第1および第2の金型の周辺に沿って配置されている、項目28に記載の方法。
(項目35)
第1の構成において、第2の金型に対して前記第1の金型を配列することをさらに含み、前記第1の構成において、
前記第1の金型の前記第1の表面は、前記第2の金型の前記第2の表面に面し、前記第2の表面に対して斜めにされ、
前記光硬化性材料は、前記第2の金型の前記第2の表面に接触している、項目28に記載の方法。
(項目36)
前記第1の構成において、前記第1の金型の前記第1の表面と前記第2の金型の前記第2の表面との間の角変位は、約1°~10°である、項目35に記載の方法。
(項目37)
前記第1の構成において、前記第2の金型の前記第2の表面は、前記第1の表面に対して湾曲させられている、項目35に記載の方法。
(項目38)
前記第2の金型の前記第2の表面は、圧力を前記第2の金型の中心部分に印加することによって湾曲させられている、項目37に記載の方法。
(項目39)
前記第1の構成において、
前記第1の金型の前記第1の表面と前記第2の金型の前記第2の表面との間の角変位は、約1°~10°であり、
前記第2の金型の前記第2の表面は、前記第1の表面に対して湾曲させられている、項目35に記載の方法。
(項目40)
前記第1の構成において前記第1の金型および前記第2の金型を配列することに続いて、第2の構成において前記第1の金型および前記第2の金型を配列することをさらに含み、前記第2の構成において、前記第1の表面と前記第2の表面とは、実質的に平行である、項目35に記載の方法。
(項目41)
前記第1の構成において前記第1の金型および前記第2の金型を配列することに続いて、第2の構成において前記第1の金型および前記第2の金型を配列することをさらに含み、前記第2の構成において、前記第1の表面と前記第2の表面との間の角変位は、10μrad未満である、項目35に記載の方法。
(項目42)
前記第2の構成において前記第1の金型および前記第2の金型を配列することに続いて、前記光硬化性材料に、前記光硬化性材料を光硬化させるために好適な放射の1つ以上の波長を導くことをさらに含む、項目41に記載の方法。
(項目43)
前記光硬化性材料に前記放射を導いている間、ある期間にわたって前記第1および第2の金型間の距離を減少させること、または増加させることをさらに含む、項目42に記載の方法。
(項目44)
前記第1および第2の金型間の前記距離は、前記期間にわたって連続的に減少または増加させられる、項目43に記載の方法。
(項目45)
前記第1および第2の金型間の前記距離は、前記期間にわたって断続的に減少または増加させられる、項目43に記載の方法。
(項目46)
回転可能プラットフォームを使用して、前記第1の金型または前記第2の金型のうちの少なくとも1つの位置を調節することをさらに含む、項目28に記載の方法。
ポリマーフィルムを生産するためのシステムおよび技法が、本明細書に説明される。説明される実装のうちの1つ以上のものは、高度に精密であり、制御され、再生産可能である様式でポリマーフィルムを生産するために使用されることができる。結果として生じるポリマーフィルムは、種々の変動に敏感な用途において(例えば、光学結像システムにおける接眼レンズの一部として)使用されることができる。
Claims (42)
- システムであって、前記システムは、
前記システムの使用中、第1の金型表面を有する第1の実質的に平面の金型を支持するように構成された第1のチャックと、
前記システムの使用中、第2の金型表面を有する第2の実質的に平面の金型を支持するように構成された第2のチャックであって、前記第2のチャックは、前記第2の金型に隣接した少なくとも一部を備え、前記少なくとも一部は、光硬化性材料を光硬化させるために好適な放射の1つ以上の波長に対して実質的に透明である、第2のチャックと、
前記第1のチャックおよび/または前記第2のチャックに結合された作動可能ステージであって、前記作動可能ステージは、前記システムの使用中、前記第1の金型表面と第2の金型表面とが互いに面し、ある間隙だけ分離されているように前記第1のチャックおよび/または前記第2のチャックを位置付けるように構成されている、作動可能ステージと、
前記第1の実質的に平面の金型と前記第2の実質的に平面の金型との間に配置された3つ以上の機械的スペーサであって、前記3つ以上の機械的スペーサは、少なくとも、第1の機械的スペーサ、第2の機械的スペーサ、および第3の機械的スペーサを含む、3つ以上の機械的スペーサと、
前記システムの使用中、少なくとも3つの場所の各々における前記第1のチャックと第2のチャックとの間の圧力を示す測定情報を取得するためのセンサ配列であって、
前記センサ配列は、少なくとも、前記第1の機械的スペーサに加えられた第1の圧力を測定するための第1の圧力センサと、前記第2の機械的スペーサに加えられた第2の圧力を測定するための第2の圧力センサと、前記第3の機械的スペーサに加えられた第3の圧力を測定するための第3の圧力センサとを備え、
前記第1の圧力センサは、前記第1の実質的に平面の金型および前記第2の実質的に平面の金型のうちの一方上で前記少なくとも3つの場所のうちの第1の場所に配置され、前記第1の実質的に平面の金型および前記第2の実質的に平面の金型のうちの他方に面する端部を有し、前記第1の機械的スペーサは、前記第1の圧力センサの前記端部に搭載されるか、または、前記第1の圧力センサの前記端部に面する前記第1の実質的に平面の金型および前記第2の実質的に平面の金型のうちの他方上の場所に配置され、
前記第2の圧力センサは、前記第1の実質的に平面の金型および前記第2の実質的に平面の金型のうちの一方上で前記少なくとも3つの場所のうちの第2の場所に配置され、前記第1の実質的に平面の金型および前記第2の実質的に平面の金型のうちの他方に面する端部を有し、前記第2の機械的スペーサは、前記第2の圧力センサの前記端部に搭載されるか、または、前記第2の圧力センサの前記端部に面する前記第1の実質的に平面の金型および前記第2の実質的に平面の金型のうちの他方上の場所に配置され、
前記第3の圧力センサは、前記第1の実質的に平面の金型および前記第2の実質的に平面の金型のうちの一方上で前記少なくとも3つの場所のうちの第3の場所に配置され、前記第1の実質的に平面の金型および前記第2の実質的に平面の金型のうちの他方に面する端部を有し、前記第3の機械的スペーサは、前記第3の圧力センサの前記端部に搭載されるか、または、前記第3の圧力センサの前記端部に面する前記第1の実質的に平面の金型および前記第2の実質的に平面の金型のうちの他方上の場所に配置され、
前記センサ配列は、前記第1の圧力に基づいて前記第1の場所における前記第1の金型表面と前記第2の金型表面との間の第1の距離を決定することと、前記第2の圧力に基づいて前記第2の場所における前記第1の金型表面と前記第2の金型表面との間の第2の距離を決定することと、前記第3の圧力に基づいて前記第3の場所における前記第1の金型表面と前記第2の金型表面との間の第3の距離を決定することとを実行するように構成されている、センサ配列と、
前記作動可能ステージに通信可能に結合された制御モジュールであって、前記制御モジュールは、前記システムの使用中、前記測定情報を受信し、前記受信された測定情報に基づいて、前記第1の金型表面と第2の金型表面との間の前記間隙を制御するように構成されている、制御モジュールと
を備える、システム。 - 前記第2のチャックは、前記放射の前記1つ以上の波長に対して透明な材料から形成されている、請求項1に記載のシステム。
- 前記放射の前記1つ以上の波長は、紫外線波長または可視波長のうちの少なくとも1つを備えている、請求項1に記載のシステム。
- 前記システムは、放射源をさらに備え、前記放射源は、前記システムの使用中、前記放射を前記第1の金型表面と前記第2の金型表面との間の領域に導くように構成されている、請求項1に記載のシステム。
- 前記第1のチャックは、第1の実質的に平坦なチャック面を備え、前記第2のチャックは、前記第1のチャック面に面する第2の実質的に平坦なチャック面を備えている、請求項1に記載のシステム。
- 前記第1のチャック面の平坦度および前記第2のチャック面の平坦度の各々は、理想的平坦面の平坦度から100nm以下外れている、請求項5に記載のシステム。
- 前記第1のチャック面または前記第2のチャック面のうちの少なくとも1つは、研磨面またはラップ面である、請求項5に記載のシステム。
- 前記作動可能ステージは、前記システムの使用中、少なくとも1つの次元に関して前記第1のチャックおよび/または第2のチャックを平行移動させるように構成されている、請求項1に記載のシステム。
- 前記作動可能ステージは、前記システムの使用中、3つの直交次元に関して前記第1のチャックおよび/または第2のチャックを平行移動させるように構成されている、請求項1に記載のシステム。
- 前記作動可能ステージは、前記システムの使用中、少なくとも1つの軸の周りに前記第1のチャックおよび/または第2のチャックを回転させるように構成されている、請求項1に記載のシステム。
- 前記作動可能ステージは、前記システムの使用中、3つの直交軸の周りに前記第1のチャックおよび/または第2のチャックを回転させるように構成されている、請求項1に記載のシステム。
- 前記センサ配列は、前記第1のチャックおよび/または前記第2のチャック上に配置された少なくとも1つの容量センサを備えている、請求項1に記載のシステム。
- 前記センサ配列は、前記第1のチャックおよび/または前記第2のチャック上に配置された複数の容量センサを備えている、請求項1に記載のシステム。
- 前記第1のチャックの少なくとも一部および/または前記第2のチャックの少なくとも一部は、導電性である、請求項13に記載のシステム。
- 真空アセンブリをさらに備え、前記真空アセンブリは、前記システムの使用中、真空圧力を前記第1の金型に加え、前記第1の金型を前記第1のチャックに固定すること、および/または、真空圧力を前記第2の金型に加え、前記第2の金型を前記第2のチャックに固定することを行うように構成されている、請求項1に記載のシステム。
- 前記第1の金型表面と第2の金型表面との間の前記間隙を制御することは、
前記第1の金型表面が前記第2の金型表面に対して斜めにされるように前記第1のチャックおよび/または前記第2のチャックを位置付けることと、
前記第1の金型表面が前記第2の金型表面に対して斜めにされるように前記第1のチャックおよび/または前記第2のチャックを位置付けることに続いて、前記第2のチャックに向かって前記第1のチャックを移動させることと
を含む、請求項1に記載のシステム。 - 前記第1の金型表面が前記第2の金型表面に対して斜めにされるように前記第1のチャックおよび/または前記第2のチャックを位置付けることは、前記第1の金型表面と前記第2の金型表面との間の角変位が約1°~10°であるように前記第1のチャックおよび/または前記第2のチャックを位置付けることを含む、請求項16に記載のシステム。
- 前記第1の金型表面と第2の金型表面との間の前記間隙を制御することは、前記第1の金型表面と前記第2の金型表面とが実質的に平行であるように前記第1のチャックおよび/または前記第2のチャックを位置付けることを含む、請求項1に記載のシステム。
- 前記第1の金型表面と第2の金型表面との間の前記間隙を制御することは、前記第1の金型表面と前記第2の金型表面との間の角変位が10μrad未満であるように前記第1のチャックおよび/または前記第2のチャックを位置付けることを含む、請求項1に記載のシステム。
- 前記第1の金型表面と第2の金型表面との間の前記間隙を制御することは、前記光硬化性材料の光硬化中、前記第2のチャックに向かって、または前記第2のチャックから離れるように前記第1のチャックを移動させることを含む、請求項4に記載のシステム。
- 前記第1のチャックは、前記光硬化性材料の光硬化中、前記第2のチャックに向かって、または前記第2のチャックから離れるように連続的に移動させられる、請求項20に記載のシステム。
- 前記第1のチャックは、前記光硬化性材料の光硬化中、前記第2のチャックに向かって、または前記第2のチャックから離れるように断続的に移動させられる、請求項20に記載のシステム。
- 回転可能プラットフォームをさらに備えている、請求項1に記載のシステム。
- 前記作動可能ステージは、前記回転可能プラットフォーム上に配置されている、請求項23に記載のシステム。
- 前記回転可能プラットフォームは、開口を画定し、前記作動可能ステージは、前記開口を通って延びるように構成されている、請求項23に記載のシステム。
- 方法であって、前記方法は、
第1の金型の第1の表面上に光硬化性材料を分注することと、
前記第1の表面および第2の金型の第2の表面がある間隙だけ分離されているように前記第1の金型および前記第2の金型を位置付けることと、
システムの使用中、前記第1および第2の金型間の少なくとも3つの場所の各々における圧力を示す測定情報を取得することであって、
前記測定情報を取得することは、
第1の圧力センサを使用して、前記第1の金型と前記第2の金型との間に配置された第1の機械的スペーサに加えられた第1の圧力を測定することと、
第2の圧力センサを使用して、前記第1の金型と前記第2の金型との間に配置された第2の機械的スペーサに加えられた第2の圧力を測定することと、
第3の圧力センサを使用して、前記第1の金型と前記第2の金型との間に配置された第3の機械的スペーサに加えられた第3の圧力を測定することと
を含み、
前記第1の圧力センサは、前記第1の金型および前記第2の金型のうちの一方上で前記少なくとも3つの場所のうちの第1の場所に配置され、前記第1の金型および前記第2の金型のうちの他方に面する端部を有し、前記第1の機械的スペーサは、前記第1の圧力センサの前記端部に搭載されるか、または、前記第1の圧力センサの前記端部に面する前記第1の金型および前記第2の金型のうちの他方上の場所に配置され、
前記第2の圧力センサは、前記第1の金型および前記第2の金型のうちの一方上で前記少なくとも3つの場所のうちの第2の場所に配置され、前記第1の金型および前記第2の金型のうちの他方に面する端部を有し、前記第2の機械的スペーサは、前記第2の圧力センサの前記端部に搭載されるか、または、前記第2の圧力センサの前記端部に面する前記第1の金型および前記第2の金型のうちの他方上の場所に配置され、
前記第3の圧力センサは、前記第1の金型および前記第2の金型のうちの一方上で前記少なくとも3つの場所のうちの第3の場所に配置され、前記第1の金型および前記第2の金型のうちの他方に面する端部を有し、前記第3の機械的スペーサは、前記第3の圧力センサの前記端部に搭載されるか、または、前記第3の圧力センサの前記端部に面する前記第1の金型および前記第2の金型のうちの他方上の場所に配置される、ことと、
前記第1の圧力に基づいて前記第1の場所における前記第1の表面と前記第2の表面との間の第1の距離を決定することと、
前記第2の圧力に基づいて前記第2の場所における前記第1の表面と前記第2の表面との間の第2の距離を決定することと、
前記第3の圧力に基づいて前記第3の場所における前記第1の表面と前記第2の表面との間の第3の距離を決定することと、
前記測定情報に基づいて、前記第1の金型表面と第2の金型表面との間の前記間隙を制御することと
を含む、方法。 - 前記光硬化性材料に、前記光硬化性材料を光硬化させるために好適な放射の1つ以上の波長を導くことをさらに含む、請求項26に記載の方法。
- 前記放射の前記1つ以上の波長は、紫外線波長または可視波長のうちの少なくとも1つを備えている、請求項27に記載の方法。
- 前記測定情報は、1つ以上の容量センサを使用して取得された情報を含む、請求項26に記載の方法。
- 前記測定情報は、3つ以上の容量センサを使用して取得された情報を含む、請求項26に記載の方法。
- 第1の構成において、第2の金型に対して前記第1の金型を配列することをさらに含み、前記第1の構成において、
前記第1の金型の前記第1の表面は、前記第2の金型の前記第2の表面に面し、前記第2の表面に対して斜めにされ、
前記光硬化性材料は、前記第2の金型の前記第2の表面に接触している、請求項26に記載の方法。 - 前記第1の構成において、前記第1の金型の前記第1の表面と前記第2の金型の前記第2の表面との間の角変位は、約1°~10°である、請求項31に記載の方法。
- 前記第1の構成において、前記第2の金型の前記第2の表面は、前記第1の表面に対して湾曲させられている、請求項31に記載の方法。
- 前記第2の金型の前記第2の表面は、圧力を前記第2の金型の中心部分に印加することによって湾曲させられている、請求項33に記載の方法。
- 前記第1の構成において、
前記第1の金型の前記第1の表面と前記第2の金型の前記第2の表面との間の角変位は、約1°~10°であり、
前記第2の金型の前記第2の表面は、前記第1の表面に対して湾曲させられている、請求項31に記載の方法。 - 前記第1の構成において前記第1の金型および前記第2の金型を配列することに続いて、第2の構成において前記第1の金型および前記第2の金型を配列することをさらに含み、前記第2の構成において、前記第1の表面と前記第2の表面とは、実質的に平行である、請求項31に記載の方法。
- 前記第1の構成において前記第1の金型および前記第2の金型を配列することに続いて、第2の構成において前記第1の金型および前記第2の金型を配列することをさらに含み、前記第2の構成において、前記第1の表面と前記第2の表面との間の角変位は、10μrad未満である、請求項31に記載の方法。
- 前記第2の構成において前記第1の金型および前記第2の金型を配列することに続いて、前記光硬化性材料に、前記光硬化性材料を光硬化させるために好適な放射の1つ以上の波長を導くことをさらに含む、請求項37に記載の方法。
- 前記光硬化性材料に前記放射を導いている間、ある期間にわたって前記第1および第2の金型間の距離を減少させること、または増加させることをさらに含む、請求項38に記載の方法。
- 前記第1および第2の金型間の前記距離は、前記期間にわたって連続的に減少または増加させられる、請求項39に記載の方法。
- 前記第1および第2の金型間の前記距離は、前記期間にわたって断続的に減少または増加させられる、請求項39に記載の方法。
- 回転可能プラットフォームを使用して、前記第1の金型または前記第2の金型のうちの少なくとも1つの位置を調節することをさらに含む、請求項26に記載の方法。
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