WO2005049238A1 - ダスト除去装置及びダスト除去方法 - Google Patents

ダスト除去装置及びダスト除去方法 Download PDF

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Shinichi Soga
Ryoji Saito
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Nix, Inc.
Watanabe, Akihito
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    • H05K2203/1509—Horizontally held PCB

Definitions

  • the present invention relates to a dust removing apparatus and a dust removing method capable of effectively removing dust adhering to a workpiece.
  • the dust removing device described in this publication includes a first removing unit that removes dust adhered to a divided surface of the liquid crystal display panel by rotating a brush, and a dust removing device that removes dust attached to a divided surface of the liquid crystal display panel. And second removing means for removing the attached dust by intermittently blowing air.
  • the rotation of the rotating brush for removing the dust is performed.
  • the rotation direction is set so as to be the same as the transport direction of the liquid crystal display panel (that is, the direction of rotation for transporting the liquid crystal display panel).
  • the blown air and dust removed by the rotating brush are collected and exhausted by vacuuming from below the liquid crystal display panel.
  • the rotating direction of the rotating brush is the same as the transport direction of the liquid crystal display panel. Since the air blown to the LCD panel and dust removed by the rotating brush are collected and exhausted from below, it is difficult to reduce the size of the entire dust removal device. is there. Disclosure of the invention
  • An object of the present invention is to solve such a conventional problem, and it is possible to effectively remove dust adhering to a workpiece, and to reduce the size of the entire apparatus. It is an object of the present invention to provide a dust removing apparatus capable of performing the above-mentioned.
  • Another object of the present invention is to provide a dust removing method capable of effectively removing dust adhering to a workpiece.
  • the present invention relates to a dust removing device for removing dust adhering to a work, comprising: a work transfer unit for transferring the work; and an air blower for blowing air to the transferred work.
  • a rotating brush that is disposed so as to be capable of contacting the workpiece to be transported and rotates in a direction opposite to the transport direction of the workpiece; and a dust attached to the rotating brush and a part of the air pro. It is intended to provide a dust removing device provided with a dust collecting portion for sucking and removing air blown to the work, and a dust collecting device.
  • the dust removing device having this configuration can be used to move the rotating brush in a direction opposite to the direction in which the workpiece is transported (for example, counterclockwise when the workpiece is transported from right to left; the workpiece is transported from left to right).
  • the air is rotated clockwise, etc.), so that the blown air can be prevented from being widely scattered, so that the entire apparatus can be downsized.
  • the dust collecting unit may be disposed above the rotating brush.
  • the air can be blown from the work entry side more than the m-type self-rotating brush.
  • the flow of the air blown onto the work from the air flow section can be guided to the dust collecting section by the rotation of the rotating brush.
  • the dust removing apparatus may further include an auxiliary roller capable of pressing the work on the work transfer section and rotating in the work transfer direction.
  • the dust removing apparatus includes at least two of the rotating brushes, and one of the rotating brushes carries the conveyed workpiece. And the other rotating brush may be provided so as to be able to contact the other surface of the conveyed work.
  • a plate-like substrate can be used as the work.
  • the work include a printed wiring board, a liquid crystal glass substrate, a flexible substrate, a ceramic substrate, a plastic plate, a liquid crystal display panel, a vacuum tray, a lens, a light guide plate, a film, and paper. You can also use.
  • the present invention is a dust removing method for removing dust adhering to a work, comprising: a work transferring step of transferring the work; an air blowing step of blowing air to the transferred work; A dust attaching step of bringing a rotating brush that rotates in a direction opposite to the transport direction of the workpiece into contact with the workpiece to be transported, and attaching a dust to the rotary brush; and a dust attaching step of attaching the dust to the rotating brush. And a dust collecting step of sucking and removing air blown from the air blow section onto the work.
  • the air can be blown from a position on the work entering side rather than the rotary brush, and the flow of the air can be formed by rotation of the rotary brush.
  • the dust removing method according to the present invention may further include a work guiding step of pressing the conveyed work and guiding the work in a 'conveying direction' of the work.
  • FIG. 1 is a front view of the dust removing device according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a left side view of the dust removing apparatus shown in FIG.
  • FIG. 3 is a right side view of the dust removing device shown in FIG.
  • FIG. 4 is a plan view of the dust removing device shown in FIG.
  • FIG. 5 is an enlarged view of a rotating brush portion of the dust removing device shown in FIG.
  • FIG. 6 is a left side view of FIG.
  • FIG. 7 is an enlarged view showing the vicinity of the auxiliary roller of the dust removing device shown in FIG.
  • FIG. 8 is a left side view of FIG.
  • FIG. 9 is a schematic diagram showing each step of the dust removal method according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 1 is a front view of the dust removing device according to the first embodiment of the present invention
  • FIG. 2 is a left side view of the dust removing device shown in FIG. 1
  • FIG. 3 is a dust removing device shown in FIG.
  • Fig. 4 is a plan view of the dust removing device shown in Fig. 1
  • Fig. 5 is an enlarged view of the rotating brush part of the dust removing device shown in Fig. 1
  • Fig. 6 is the left side of Fig. 5.
  • 7 is an enlarged view showing the vicinity of the auxiliary roller of the dust removing device shown in FIG. 1
  • FIG. 8 is a left side view of FIG. 7
  • FIG. 9 is a dust view according to the first embodiment of the present invention. It is a schematic diagram which shows each process of a removal method.
  • the dust removing device 1 As shown in FIGS. 1 to 9, the dust removing device 1 according to the first embodiment is provided on a gantry 2 and is inserted from a work input port 10.
  • the substrate transport unit 4 that transports the substrate 3 while supporting both sides of the substrate 3 in the transport direction and the substrate 3 transported by the substrate transport unit 4 is supplied with air 101 (FIGS. 9 (5) and (5)). 6)), a rotary brush 6 that is disposed so as to be able to contact the substrate 3 transported by the substrate transport unit 4 and rotates in a direction opposite to the transport direction of the substrate 3, Dust adhered to bush 6 100 (see Fig.
  • the apparatus is provided with: a dust collecting section 7 for sucking and removing the air 101 collected; and an auxiliary port 8 for sending the substrate 3 conveyed by the substrate conveying section 4 in the conveying direction.
  • the board transfer unit 4 drives the belt conveyors 11 A and 11 B for supporting the board 3 and supporting the both ends of the board 3 and transferring the board 3 and the belt conveyors 11 A and 11 B, respectively. And a motor 12. Further, a width adjusting lever 19 for adjusting the width between the belt conveyors 11A and 11B is attached to the substrate transfer section 4, and the width adjusting lever 19 is arbitrarily operated. Thus, the width between the velvet conveyor 11A and the velvet conveyor 11B can be appropriately adjusted according to the width of the substrate 3 to be transported.
  • the air blow section 5 includes air outlets 13 A, 13 B, and 13 C for blowing air 101 toward the substrate 3 conveyed in the dust removing device 1, and the air outlets 13. And an air supply unit 14 for supplying air 101 to A, 13B, and 13C.
  • the air outlets 13 A, 13 B, and 13 C are provided with, for example, 0.4 MPa or more air 101 from the entrance side of the substrate 3 in the transport direction with respect to the substrate 3 to be transported. So that it can be sprayed at an angle of about 45 ° ⁇ 10 ° Is provided.
  • the air 101 blown onto the substrate 3 generates a flow toward the dust collecting hood 21 of the dust collecting portion 7 by the rotation of the rotating brush 6, and the dust collecting hood is formed. From 21 it is more efficient to inhale.
  • Both ends of the rotating brush 6 are attached to the height adjusting sections 15A and 15B so that the rotating brush 6 can move up and down with respect to the substrate 3 to be transported.
  • the height adjusters 15A and 15B have ball plungers 16A and 16B for height adjustment, as shown in detail in FIGS. 5 and 6, in particular. It is provided in.
  • Height adjustment knobs 17 A and 17 B are provided above the height adjustment sections 15 A and 15 B. These height adjustment knobs 17 A and 17 B are provided.
  • the rotating brush 6 is composed of, for example, a cylindrical brush having hairs having a diameter of about several tens of meters, and the substrate 3 is conveyed at a constant speed while rotating the brush. This is to remove the dust 100 adhered to the substrate 3 while minimizing the load on the substrate 3.
  • the rotating brush 6 is made of, for example, a material having a performance capable of removing dust 100 attached to the substrate 3, such as a conductive brush or a carbon brush.
  • the dust collecting section 7 is connected to a dust collecting hood 22 provided with a suction port 21 for sucking the dust 100 together with the air 101, and a dust collecting hood 21.
  • a dust collecting hood 21 Exhaust pipe 24 that exhausts dust 100 and air 101 sucked from 1 to the outside, and exhaust pipe 24 installed inside of gantry 2 and dust 100 and air 10 from suction port 21 And a vacuum mechanism 23 for sucking 1.
  • An exhaust port 25 continuous from the exhaust pipe 24 is formed on a side surface of the gantry 2.
  • the auxiliary roller 8 is arranged on the belt conveyor 11A and is designed to rotate in the transport direction of the substrate to be transported.
  • the auxiliary roller 8 facilitates the transfer of the substrate 3 by sandwiching the end of the transferred substrate 3 together with the belt conveyor 11A.
  • the auxiliary roller 8 is attached, for example, to a height adjusting unit 25 that adjusts the height of the auxiliary roller 8 and the pressure (load) on the substrate 3 by a compression spring.
  • the auxiliary roller 8 may be provided on the entrance side of the substrate 3 or on the exit side of the rotary brush 6. Further, it may be provided on both the entrance side and the exit side of the rotating brush 6.
  • a receiving sensor 9 for monitoring the transport state of the substrate 3 is provided on the dust removing device 1 on the input side of the substrate 3.
  • the receiving sensor 9 when the receiving sensor 9 is turned on, the tomb plate transporting section 4, the air blow section 5, the rotating brush 6, the dust collecting section 7, and the auxiliary roller 8 are turned on. Set to. Next, a specific operation of the dust removing apparatus 1 according to the present embodiment will be described with reference to the drawings.
  • the width adjusting lever 19 By operating the width adjusting lever 19, the distance between the velvet conveyor 11A and the velvet conveyor 11B is adjusted to the width of the substrate 3 conveyed in the dust removing device 1. Is adjusted as appropriate. Also, height adjustment knob 1 By operating 7 A and 17 B, the height of the rotating brush 6 is adjusted so that the rotating brush 6 can be brought into contact with the substrate 3 to be rotatable according to the thickness of the substrate 3. Further, the height of the auxiliary roller 8 is appropriately adjusted by the height adjustment unit 25 in accordance with the thickness of the substrate 3.
  • the receiving sensor 9 detects the board 3. Then, it turns ON.
  • the motor 12 is driven to operate the belt conveyors 11A and 11B. By this operation, the substrate 3 is automatically conveyed toward the position where the auxiliary roller 8 is provided.
  • the auxiliary roller 8 starts rotating in the direction in which the substrate 3 is transported (the same direction as the direction in which the substrate 3 is transported: the direction of the arrow X shown in FIG. 9).
  • the substrate 3 together with the belt conveyors 11A and 11B is moved to the position where the rotating brush 6 is disposed. In addition, it is automatically and smoothly conveyed. (See Figure 9 (3)).
  • the rotating brush 6 rotates in the direction opposite to the direction in which the substrate 3 is transported (the direction of the arrow Y shown in FIG. 9).
  • the height of the rotating brush 6 is adjusted to a position where the rotating brush 6 can come into contact with the substrate 3 by the height adjusting units 15A and 15B.
  • the vacuum mechanism 23 of the dust collecting section 7 enters the ON state, and starts suction from the suction port 21. (See Figure 9 (4)).
  • the substrate 3 is smoothly and automatically turned by the rotation of the belt conveyors 11 and 1 18 and the catching roller 8. Conveyed.
  • the substrate 3 is also applied with an appropriate pressure (load) from above by the catching roller 8. Therefore, the substrate 3 is also prevented from floating due to the rotation of the rotating brush 6.
  • the air supply section 14 of the air blow section 5 is turned on, and the air outlets 13 A, 13 8 and 13 Air 101 is blown out.
  • the blown air 101 is directed to the suction port 21 of the dust collecting hood 22 by the rotation of the rotating brush 6 (rotation in the direction opposite to the direction in which the substrate 3 is conveyed).
  • the flow is created and is efficiently sucked from the suction port 21.
  • the dust 100 adhered to the surface of the substrate 3 is removed by the rotation of the rotating brush 6, and is efficiently collected from the suction port 21 together with the air 101.
  • by blowing the air 101 and collecting dust it is possible to prevent the dust 100 from re-adhering to the substrate 3 due to static electricity.
  • the dust 100 and air 101 collected from the suction port 21 are discharged to the outside from the discharge port 25.
  • dust 100 adhering to substrate 3 can be efficiently removed, and production efficiency (yield) can be improved.
  • the rotating brush 6 is disposed so as to be able to contact one surface (upper surface) of the substrate 3 .
  • the present invention is not limited to this, and the rotating brush 6 may be disposed on both surfaces of the substrate 3. Two may be provided so as to be in contact with each other and sandwich the substrate 3 therebetween.
  • auxiliary roller 8 is disposed on the belt conveyor 11A.
  • the present invention is not limited to this. 8 can also be placed on the belt conveyor 11B
  • a substrate 3 represented by a printed wiring board, a liquid crystal glass substrate, a flexible substrate, a ceramic substrate, a plastic plate, a liquid crystal display panel, or the like is used as a work.
  • a substrate 3 represented by a printed wiring board, a liquid crystal glass substrate, a flexible substrate, a ceramic substrate, a plastic plate, a liquid crystal display panel, or the like is used as a work.
  • the use / opening has been described, the invention is not limited to this, and various forms of marks such as a vacuum tray, a lens light guide plate, a film, and paper may be used.
  • the dust removing apparatus uses the rotary brush rotating in the direction opposite to the workpiece transfer direction to control the flow of air blown to the dust by the suction port of the dust collecting section. Can be guided to For this reason, the dust adhered to the rotating brush and the air blown to the work can be suppressed from being widely scattered, and the suction can be efficiently removed. As a result, the entire dust removing device can be reduced in size.
  • an air is sprayed on a conveyed work, and a rotating brush rotating in a direction opposite to a conveying direction of the work is brought into contact with the bracket work,
  • the dust adhered to the rotating brush and the air blown to the work can be removed by suction.
  • the flow of air blown to the work can be guided to the suction port of the dust collection part.
  • the dust adhered to the rotating brush and the dust The air blown to the work can be prevented from being widely scattered, and the suction can be efficiently removed.

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Description

明 細 書 ダス ト除去装置及びダス ト除去方法 技術分野
本発明は、 ワークに付着したダス トを効果的に除去することがで きるダス ト除去装置及びダス ト除去方法に関する。 背景技術
従来から、 例えば、 印刷配線板、 液晶ガラス基板、 フ レキシブル. 基板、 セラミ ック基板、 プラスチック板、 液晶表示パネル、 真空 ト レー、 レンズ、 導光板、 フィルム、 紙等のワークには、 通常、 加工 時のプレスかす、 衣服のごみ、 塵、 埃等、 様々なダス トが付着して いる。
例えば、 実装工程において、 ハンダ印刷時に、 印刷配線板にダス トが付着されたままハンダ印刷を行う と、 回路接続不良等の問題が 発生し、 歩留ま り悪化の原因の一つとなっている。
そこで、 基板 （液晶表示パネル）' に付着したダス トを除去するダ ス ト除去装置と して、 例えば、 特開平 1 1 一 2 7 1 7 0 4号公報等 に記載されたものがある。 この公報に記載されているダス ト除去装 置は、 液晶表示パネルの分断面に付着したダス トをブラシを回転さ せることで除去する第 1 の除去手段と、 前記液晶表示パネルの表示 面に付着したダス トをエアーを間欠的に吹き付けることで除去する 第 2 の除去手段と、 を備えて構成されている。
このダス ト除去装置では、 前記ダス トを除去する回転ブラシの回 転方向が、 液晶表示パネルの搬送方向と同じ方向 （すなわち、 液晶 表示パネルを搬送するよ う回転する方向） となるよ う設定されてい る。 また、 吹き付けられたエアー、 及ぴ回転ブラシによって除去さ れたダス トは、 液晶表示パネルの下方からバキュームすることによ り集塵 ' 排気される構成となっている。 この公報に記載のダス ト除 去装置は、 液晶表示素子の表示面に傷等を付けることなく 、 短時間 かつ低コス トで分断時に発生するダス トを除去することを目的と し ている。
しかしながら、 特開平 1 1 一 2 7 1 7 0 4号公報に記載されたダ ス ト除去装置は、 前述したよ うに、 回転ブラシの回転方向が、 液晶 表示パネルの搬送方向と同じであり、 当該液晶表示パネルに吹き付 けられたエアー、 及び回転ブラシによって除去されたダス トを、 下 方から集塵 · 排気する構成となっているため、 ダス ト除去装置全体 を小型化することが困難である。 発明の開示
本発明は、 このよ うな従来の問題点を解決することを課題とする ものであり、 ワークに付着したダス トの除去を効果的に行う ことが できることは勿論のこと、 装置全体を小型化することが可能である ダス ト除去装置を提供することを目的とする。
また、 ワークに付着したダス トの除去を効果的に行う ことができ るダス ト除去方法を提供することを目的とする。
この目的を達成するため、 本発明は、 ワークに付着したダス トを 除去するダス ト除去装置であって、 前記ワークを搬送するワーク搬 送部と、 前記搬送されるワークにエアーを吹き付けるエアーブロー 部と、 前記搬送されるワークに対し接触可能に配設され、 当該ヮー クの搬送方向とは逆方向に回転する回転ブラシと、 前記回転ブラシ に付着したダス ト及ぴ前記エアープロ一部からワークに吹き付けら れたエアーを吸引除去する集塵部と、 を備えたダス ト除去装置を提 供するものである。
この構成を備えたダス ト除去装置は、 回転ブラシがワークの搬送 方向とは逆の方向 （例えば、 ワークが右側から左側に搬送される場 合は、 反時計回り ； ワークが左側から右側に搬送される場合は、 時 計回り等） に回転するため、 吹き付けられたエアーが広く飛び散る ことを抑えることができ このため、 装置全体を小型化すること ができる。
前記集塵部は、 前記回転ブラシの上方に配設することができる。 また、 前記エアーは、 m §己回転ブラシよ り もワーク入側位置から 吹き付けることができる
そしてまた、 前記エア一プロー部からワークに吹き付けられたェ ァ一の流れは、 前記回転ブラシの回転によって、 前記集塵部に導く ことができる。
また、 本発明にかかるダス ト除去装置は、 前記ワーク搬送部に前 記ワークを押圧可能であると共に、 当該ワークの搬送方向に回転す る補助ローラをさらに備えることができる。
この補助ローラによつて、 前記回転ブラシがワークの搬送方向と は逆方向に回転しても、 基板の進行をよ りスムーズに行う ことがで 含る。
そしてまた、 本発明にかかるダス ト除去装置は、 前記回転ブラシ を少なく とも 2つ備え、 一方の回転ブラシを前記搬送されるワーク の一方の面に接触可能に配設し、 他方の回転ブラシを前記搬送され るワークの他方の面に接触可能に配設した構成と してもよい。
前記ワーク と しては、 板状基板を使用することができる。 また、 前記ワーク と しては、 例えば、 印刷配線板、 液晶ガラス基板、 フ レ キシブル基板、 セラミ ック基板、 プラスチック板、 液晶表示パネル、 真空ト レー、 レンズ、 導光板、 フィ ルム、 紙等を使用するこ と もで さる。
さらにまた、 本発明は、 ワークに付着したダス トを除去するダス ト除去方法であって、 前記ワークを搬送するワーク搬送工程と、 前 記搬送されるワークにエアーを吹き付けるエアーブロー工程と、 前 記搬送されるワークに対し、 当該ワークの搬送方向とは逆方向に回 転する回転ブラシを接触させ、 当該回転ブラシにダス トを付着させ るダス ト付着工程と、 前記回転ブラシに付着したダス ト及び前記ェ ァーブロー部からワークに吹き付けられたエアーを吸引除去する集 塵工程と、 を備えたダス ト除去方法を提供するものである。
また、 本発明にかかるダス ト除去方法は、 前記エアーを前記回転 ブラシよ り もワーク入側位置から吹き付けて、 このエアーの流れを 前記回転ブラシの回転によって形成することができる。
さ らにまた、 本発明にかかるダス ト除去方法は、 前記搬送される ワークを押圧して、 当該ワーク の'搬送方向に誘導するワーク誘導ェ 程をさらに備えることができる。 図面の簡単な説明
図 1 は、 本発明の実施の形態 1 にかかるダス ト除去装置の正面図 である。 図 2は、 図 1 に示すダス ト除去装置の左側面図である。
図 3は、 図 1 に示すダス ト除去装置の右側面図である。
図 4は、 図 1 に示すダス ト除去装置の平面図である。
図 5は、 図 1 に示すダス ト除去装置の回転ブラシ部分の拡大図で ある。
図 6は、 図 5の左側面図である。
図 7は、. 図 1 に示すダス ト除去装置の補助ローラ付近を示す拡大 図である。
図 8は、 図 7の左側面図である。
図 9は、 本発明の実施の形態 1にかかるダス ト除去方法の各工程 を示す模式図である。 発明を実施するための最良の形態
次に、 本発明の実施の形態にかかるダス ト除去装置及ぴダス ト除 去方法について、 図面を参照して説明する。
図 1は、 本発明の実施の形態 1にかかるダス ト除去装置の正面図、 図 2は、 図 1 に示すダス ト除去装置の左側面図、 図 3は、 図 1 に示 すダス ト除去装置の右側面図、 図 4は、 図 1 に示すダス ト除去装置 の平面図、 図 5は、 図 1 に示すダス ト除去装置の回転ブラシ部分の 拡大図、 図 6は、 図 5の左側面図、 図 7は、 図 1 に示すダス ト除去 装置の補助ローラ付近を示す拡大図、 図 8は、 図 7の左側面図、 図 9は、 本発明の実施の形態 1 にかかるダス ト除去方法の各工程を示 す模式図である。
図 1〜図 9に示すよ うに、 実施の形態 1 にかかるダス ト除去装置 1は、 架台 2上に設けられ、 ワーク投入口 1 0から挿入されるヮー ク と しての基板 3の搬送方向両側を支持して基板 3を搬送する基板 搬送部 4 と、 基板搬送部 4によって搬送される基板 3にエアー 1 0 1 (図 9 ( 5 ) 及ぴ （ 6 ) 参照） を吹き付けるエアーブロー部 5 と、 基板搬送部 4によって搬送される基板 3に対し接触可能に配設され、 かつ基板 3の搬送方向とは逆方向に回転する回転ブラシ 6 と、 回転 ブ シ 6に付着したダス ト 1 0 0 (図 9 ( 6 ) 参照） 及ぴエアーブ ロー部 5のエアー 1 0 1吹出口 1 3 A、 1 3 B及び 1 3 Cから基板 3に向けて吹き付けられたエアー 1 0 1 を吸引除去する集塵部 7 と、 基板搬送部 4によつて搬送される基板 3を搬送方向に送る補助口一 ラ 8 と、 を備えて構成されている。
基板搬送部 4は、 基板 3 の両端部を各々支持して基板 3を搬送す るベル ト コンペャ 1 1 A及ぴ 1 1 B と、 ベル ト コ ンペャ 1 1 A及ぴ 1 1 Bを駆動させるモータ 1 2 と、 を備えて構成されている。 また、 この基板搬送部 4には、 ベルトコンべャ 1 1 A及ぴ 1 1 Bの間の幅 を調節する幅調節レバー 1 9が取付けられており、 この幅調節レバ 一 1 9を任意に操作することで、 搬送される基板 3 の幅に合わせて、 ベノレトコンべャ 1 1 Aとべノレトコンべャ 1 1 Bとの間の幅を、 適宜 調節可能となっている。
エアーブロー部 5は、 ダス ト除去装置 1 内を搬送される基板 3に 向けてエアー 1 0 1 を吹き出すエアー吹出口 1 3 A、 1 3 B及ぴ 1 3 Cと、 このエアー吹出口 1 3 A、 1 3 B及び 1 3 Cにエアー 1 0 1 を供給するエアー供給部 1 4 と、 を備えて構成されている。
エアー吹出口 1 3 A、 1 3 B及ぴ 1 3 Cは、 搬送される基板 3に 対して、 基板 3の搬送方向入側から、 例えば、 0. 4 M p a以上の エアー 1 0 1が、 約 4 5 ° ± 1 0 ° の角度で吹き付けられるよ うに 設けられている。 この基板 3に吹き付けられたエアー 1 0 1は、 後 に詳述するが、 回転ブラシ 6の回転によって、 集塵部 7の集塵フー ド 2 1 に向かう流れが作り 出され、 集塵フー ド 2 1から、 よ り効率 よく吸い込まれるよ うになつている。
回転ブラシ 6は、 搬送される基板 3に対し上下動可能なよ う に、 その両端部が高さ調節部 1 5 A及び 1 5 Bに取り付けられている。 この高さ調節部 1 5 A及ぴ 1 5 Bは、 特に図 5及ぴ図 6にその詳細 を示すよ う に、 高さを調節するためのボールプランジャ 1 6 A及び 1 6 Bが、 内部に設けられている。 また、 高さ調節部 1 5 A及ぴ 1 5 Bの上部には、 高さ調節用ノブ 1 7 A及ぴ 1 7 Bが設けられてお り、 この高さ調節用ノブ 1 7 A及ぴ 1 7 Bを操作することで、 回転 ブラシ 6の基板 3に対する高さを適宜調節することができるよ う に なっている p そしてまた、 この回転ブラシ 6は、 ベアリ ング 1 8 A 及ぴ 1 8 Bを介して高さ調節部 1 5 A及ぴ 1 5 Bに取付けられてお り、 図示しないモータによって、 基板 3の搬送方向とは逆の方向に 回転する。
なお、 この回転ブラシ 6は、 例えば、 数十 m程度の直径を有す る毛を植えた円筒状のブラシからなり、 これを回転させながら基板 3を一定速度で搬送させることによ り、 基板 3にかかる負荷を必要 最低限に抑えながら、 基板 3に付着したダス ト 1 0 0を除去するも のである。 この回転ブラシ 6は、 例えば、 導電性ブラシやカーボン ブラシ等、 基板 3に付着したダス ト 1 0 0を除去可能な性能を備え た材質から構成されている。
集塵部 7は、 エアー 1 0 1 と共にダス ト 1 0 0を吸い込む吸込口 2 1 を備えた集塵フード 2 2、 集塵フード 2 1 に接続され、 吸込口 2 1から吸引されたダス ト 1 0 0 とエアー 1 0 1 を外部に排出する 排気管 2 4 と、 架台 2の内部に配設され、 吸込口 2 1からダス ト 1 0 0 とエアー 1 0 1 を吸引するバキューム機構 2 3 と、 を備えて構 成されている。 なお、 排気管 2 4から連続した排気口 2 5は、 架台 2の側面に形成されている。
補助ローラ 8は、 ベルトコンべャ 1 1 A上に配設されると共に、 搬送される基板の搬送方向に回転するよ う設計されている。 この補 助ローラ 8は、 搬送される基板 3の端部をベルトコンべャ 1 1 Aと 共に挟むよ う にして、 基板 3 の搬送を促進 ' 補助する。 また、 この 補助ローラ 8は、 例えば、 圧縮ばねによって、 捕助ローラ 8 の高さ 及び基板 3に対する圧力 （負荷） を調節する高さ調節部 ' 2 5に取り 付けられている。
なお、 この補助ローラ 8は、 回転ブラシ 6 よ り も基板 3の入側に 設けても良く、 出側に設けても良い。 また、 回転ブラシ 6のの入側 及ぴ出側の両方に設けてもよい。
また、 ダス ト除去装置 1 の基板 3 の入側には、 基板 3の搬送状態 をモニターする受け入れセンサ 9が設けられている。
なお、 本実施の形態では、 この受け入れセンサー 9が O N状態に なることによって、 墓板搬送部 4、 エアーブロー部 5、 回転ブラシ 6、 集塵部 7及び補助ローラ 8が O N状態となるよ う に設定した。 次に、 本実施の形態にかかるダス ト除去装置 1の具体的動作につ いて図面を参照して説明する。
先ず、 幅調節レバー 1 9を操作して、 ダス ト除去装置 1内を搬送 される基板 3の幅に合わせて、 ベノレ トコンべャ 1 1 Aとべノレ トコン べャ 1 1 B との間の距離を適宜調節する。 また、 高さ調節用ノブ 1 7 A及ぴ 1 7 Bを操作して、 この基板 3の厚さに合わせて、 回転ブ ラシ 6が基板 3に接触して回転可能な位置となるよ うその高さを調 節する。 さ らにまた、 高さ調整部 2 5によって、 基板 3の厚さに合 わせて、 補助ローラ 8の高さを適宜調節する。
次に、 図 9 ( 1 ) 及ぴ図 9 ( 2 ) に示すよ うに、 ヮーグ投入口 1 0から基板 3がダス ト除去装置 1 内に供給されると、 受け入れセン サ 9が基板 3 を検知し、 O N状態になる。 この受け入れセンサ 9が O N状態になると、 モータ 1 2が駆動して、 ベル トコンペャ 1 1 A 及び 1 1 Bを作動させる。 この動作によ り、 基板 3は自動的に補助 ローラ 8が配設されている位置に向けて搬送される。
これと同時に、 補助ローラ 8が基板 3を搬送する方向 （基板 3 の 搬送方向と同じ方向 ： 図 9に示す矢印 X方向） に回転を開始する。 この時、 補助ローラ 8は、 前述したよ うに、 その高さが適切に調節 されているため、 ベルトコンべャ 1 1 A及び 1 1 B と共に基板 3 を、 回転ブラシ 6が配設されている位置に、 自動的にスムーズに搬送す る。 （図 9 ( 3 ) 参照）。
これと同時に、 回転ブラシ 6が基板 3 の搬送方向と逆方向 （図 9 に示す矢印 Y方向） に回転する。 この時、 回転ブラシ 6は、 高さ調 整部 1 5 A及ぴ 1 5 Bによって、 基板 3に接触可能な位置にその高 さが調整されている。 また、 集塵部 7のバキューム機構 2 3が O N 状態となり、 吸込口 2 1から吸引を開始する。 （図 9 ( 4 ) 参照）。
なお、 回転ブラシ 6が、 基板 3 の搬送方向とは逆方向に回転して も、 基板 3は、 ベルトコンべャ 1 1 及ぴ 1 1 8 と、 捕助ローラ 8 の回転力によって、 スムーズに自動搬送される。 ここで、 基板 3は、 捕助ローラ 8によって上から適切な圧力 （負荷） もかけられている ため、 回転ブラシ 6の回転によって基板 3が浮き上がることも防止 される。
また、 図 9 ( 5 ) に示すよ うに、 エアブロー部 5 のエアー供給部 1 4が O N状態となり、 エアー吹出口 1 3 A、 1 3 8及ぴ 1 3 〇カ ら搬送される基板 3に向けてエアー 1 0 1が吹き出される。 この吹 き出されたエアー 1 0 1 は、 回転ブラシ 6 の回転 （基板 3 の搬送方 向とは逆方向の回転） によ り、 集塵フード 2 2の吸込口 2 1 に向力、 う よう、 その流れが作られ、 吸込口 2 1から効率よく吸引される。 ここで、 基板 3 の表面に付着したダス ト 1 0 0は、 回転ブラシ 6 の 回転によって取り除かれ、 前記エアー 1 0 1 と共に吸込口 2 1から 効率よく集塵される。 このため、 吹き付けられたエアー 1 0 1が外 部に広く飛び散ることを抑えることができ、 装置全体を小型化する ことができる。 （図 9 ( 6 ) 参照）。 さ らにまた、 このエアー 1 0 1 の吹き付け及ぴ集塵によ り、 静電気によるダス ト 1 0 0の基板 3へ の再付着も防止することができる。
なお、 吸込口 2 1から集塵されたダス ト 1 0 0及ぴエアー 1 0 1 は、 排出口 2 5から外部に排出される。
以上によ り、 基板 3に付着したダス ト 1 0 0を効率よく除去する ことができ、 生産効率 （歩留まり） を向上することができる。
なお、 本実施の形態では、 回転ブラシ 6を基板 3の一方の面 （上 面） と接触可能に配設した場合について説明したが、 これに限らず、 回転ブラシ 6は、 基板 3の両面に接触するよ う、 基板 3を間に挟む よ うに 2本配設してもよい。
また、 本実施の形態では、 ベルトコンペャ 1 1 A上に補助ローラ 8を配設した場合について説明したが、 これに限らず、 補助ローラ 8は、 ベルトコンペャ 1 1 B上にも配設する とができる
そしてまた、 本実施の形態では、 3つのェァ一吹出口 1 3 A、 1
3 B及ぴ 1 3 Cを備えたエアープロ一部 5について説明したが、 こ れに限らず、 エアー吹出口の配設数、 配設位置等は、 任 ,g、によ り決 定することができる。
さ らにまた、 本実施の形態では、 ワーク と して、 例えば 、 印刷配 線板、 液晶ガラス基板、 フレキシブル基板、 セラミ ック基板、 ブラ スチック板、 液晶表示パネル等に代表される基板 3を使用 レ /こ ¾ 口 について説明したが、 これに限らず、 例えば 、 真空ト レ一 、 レンズ 導光板、 フィルム、 紙等、 種々の形態のヮークを使用することもで きる。
以上説明したよ うに、 本発明にかかるダス 卜除去装置は 、 ワーク の搬送方向とは逆方向に回転する回転ブラシによって、 フ一クに吹 き付けられたエアーの流れを集塵部の吸込口に誘導することができ る。 このため、 前記回転ブラシに付着したダス ト及び前記ワークに 吹き付けられたエアーが広く飛び散ることを抑えることができ、 効 率よく吸引除去することができる。 この結果、 ダス ト除去装置全体 を小型化することができる。
また、 本発明にかかるダス ト除去方法は、 搬送されるワークにェ ァーを吹き付け、 かっこのワークに対し、 当該ワークの搬送方向と は逆方向に回転する回転ブラシを接触させ、 当該回転ブラシにダス トを付着させ、 この回転ブラシに付着したダス ト及び当該ワークに 吹き付けられたエアーを吸引除去することができる。 このため、 ヮ ークに吹き付けられたエアーの流れを集塵部の吸込口に誘導するこ とができる。 この結果、 前記回転ブラシに付着したダス ト及び前記 ワークに吹き付けられたエアーが広く飛び散るこ とを抑えるこ とが でき、 効率よく 吸引除去するこ とができる。

Claims

請 求 の 範 囲
1 . ワークに付着したダス トを除去するダス ト除去装置であって、 前記ワークを瘢送するワーク搬送部と、
5 前記搬送されるワークにエアーを吹き付けるエアーブロー部と、 前記搬送されるワークに対し接触可能に配設され、 当該ワークの 搬送方向とは逆方向に回転する回転ブラシと、
前記回転ブラシに付着したダス ト及び前記エアーブロー部からヮ ークに吹き付けられたエアーを吸引除去する集塵部と、
0 を備えたダス ト除去装置。
2 . 前記集塵部を前記回転ブラシの上方に配設した請求項 1記載 ： のダス ト除去装置。 5
3 . 前記エアーは、 前記回転ブラシより もワーク入 ί則位置から吹 き付けられる請求項 1または請求項 2記載のダス ト除去装置。
4 . 前記エアーブロー部からワークに吹き付けられたエアーの流 れを'、 前記回転ブラシの回転によって導く請求項 1 ないし請求項 3 0 のいずれか一項に記載のダス ト除去装置。
5 . 前記ワーク搬送部に前記ワークを押圧可能であると共に、 当 該ワークの搬送方向に回転する補助ローラをさ らに備えた請求項 1 ないし請求項 4のいずれか一項に記載のダス ト除去装置。
5
6 . 前記回転ブラシを少なく とも 2つ備え、 一方の回転ブラシを 前記搬送されるワークの一方の面に接触可能に配設し、 他方の回転 ブラシを前記搬送されるワークの他方の面に接触可能に配設した請 求項 1 ないし請求項 5のいずれか一項に記載のダス ト除去装置。
7 . 前記ワークが板状基板である請求項 1 ないし請求項 6のいず れか一項に記載のダス ト除去装置。
8 . ワークに付着したダス トを除去するダス ト除去方法であって、 前記ワークを搬送するワーク搬送工程と、
前記搬送されるワークにエアーを吹き付けるエアーブロー工程と、 前記搬送されるワークに対し、 当該ワークの搬送方向とは逆方向 に回転する回転ブラシを接触させ、 当該回転ブラシにダス トを付着 させるダス ト付着工程と、
前記回転ブラシに付着したダス ト及び前記エアーブロー部からヮ ークに吹き付けられたエアーを吸引除去する集塵工程と、
を備えたダス ト除去方法。
9 . 前記回転ブラシよ り もワーク入側位置から前記エアーを吹き 付けて、 このエアーの流れを前記回転ブラシの回転によって形成す る請求項 8記載のダス ト除去方法。
1 0 . 前記搬送されるワークを押圧して、 当該ワークの搬送方向 に誘導するワーク誘導工程をさらに備えた請求項 8または請求項 9 記載のダス ト除去方法。
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