JP5015365B2 - クリーニングシステム - Google Patents

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Description

本発明は、被クリーニング材の表面に静電気力により付着する異物(塵挨など)を除去するクリーニングシステムに関するものである。特に、被クリーニング材が、薄物(例えばガラス基板、プリント基板(PCB,PCBAなど)、フィルム、シート、プラスチック板などの比較的表面平滑性の高いもの)である場合に適する。
従来、フラットパネルディスプレイ(FPD)のガラス基板や、貼り合わせフィルム、プリント基板などの薄い被クリーニング材の表面上に付着する塵挨などの異物を除去するクリーニングシステムとしては、粘着ローラを用い、それの粘着力を利用して前記異物を除去するようにしたのものが知られている(例えば、特許文献1参照)。
このような粘着ローラでは、微小異物(例えば、平均径1μm以下の異物)を除去することができず、また粘着ローラの表面(粘着層)に一且付着した塵挨などの異物を完全に除去するのが困難であり、メンテナンス性に劣る。また、被クリーニング材に粘着ローラをある程度圧力を加えて押し付け、異物を除去するようにしているので、被クリーニング材が、例えばフィルムであると、前記異物を除去するだけでなく、フィルムがローラ表面に張り付くおそれがある。
そこで、発明者は、被クリーニング材から塵挨などの異物を除去する際に、印加電圧によりクリーニングローラの表面に前記異物を静電気力により吸着し得る電荷を帯電させておけば、前記クリーニングローラにより前記異物を、静電気力を利用して除去することができることに基づき、別途特許出願をしている(特願2008−271797参照)。
しかしながら、前述したものでは、クリーニングローラによって、被クリーニング材の表面から静電気力による吸着力を利用して除去された異物は、前記クリーニングローラのローラ表面(外周面)に順次蓄積されていくので、そのローラ表面より異物を除去するというメンテナンス作業を定期的に行う必要がある。
ところで、粘着ローラの粘着力を利用したクリーニングシステムでは、クリーニングローラ(粘着ローラ)より強い粘着力を有する転写ローラ(粘着ローラ)を接触させることで、前記クリーニングローラから異物を転写ローラ側へ移行させる機構が一般的に用いられている。
そこで、前述したクリーニングシステムに、前記強い粘着力を有する転写ローラを利用することが考えられる。
特許文献1:特開2008−168188号公報
しかしながら、そのように前記強い粘着力を有する転写ローラを用いると、クリーニングローラの表面に異物を静電気力により吸着し得る電荷を安定して帯電させることができない。よって、クリーニングローラに対しメンテナンス作業を施すことなく、クリーニングローラによる異物の吸着動作を長期に亘って継続することが困難になる。
この発明は、クリーニングローラに対しメンテナンス作業を施すことなく、クリーニングローラによる異物の吸着動作を長期に亘って継続することができるクリーニングシステムを提供することを目的とする。
また、静電気力(クーロン力)で異物を吸着する場合、ローラ表面に保持される電荷は多い方が吸着力は強くなるが、ローラ表面が過剰な帯電圧になると、クリーニングローラと相手材である被クリーニング材との間に火花放電が起こり、ローラ表面や被クリーニング材の帯電状態にムラが生じ、そのムラに異物が引き寄せられ、安定したクリーニング性能を発揮することができなくなるおそれがある。それに加えて、火花放電によって相手材を傷つけるおそれもある。さらに被クリーニング材が、静電気に弱い半導体などの電子部品の場合には、火花放電に至らない電荷の蓄積でも発生する静電気破壊が問題となる。
そこで、本発明は、前記目的に加えて、異物を静電気力により吸着するためにローラ表面に発生する帯電圧が必要以上に高くなるのを抑制し、前記帯電圧を安定させることができるクリーニング装置を提供することも目的とする。
請求項1の発明は、被クリーニング材の表面に接触しつつ回転しながら相対移動するクリーニングローラを備え、前記被クリーニング材の表面上に付着する塵挨などの異物を前記クリーニングローラによって静電気力を利用して除去するクリーニングシステムであって、前記クリーニングローラに対し、前記クリーニングローラの表面に接触しながら回転する転写ローラが設けられ、前記クリーニングローラは、前記被クリーニング材の表面上に付着する異物を静電気力により吸着するための電荷を表面に帯電し得るものであり、前記転写ローラは、前記クリーニングローラの表面上に付着する異物を静電気力により吸着するための電荷を表面に帯電し得るものであり、前記クリーニングローラは、電圧安定化回路を介してアースされ、前記転写ローラには、外部電源が直接的または間接的に接続され、前記電圧安定化回路は、前記転写ローラの、前記異物を静電気力により吸着するための帯電圧を変更可能であることを特徴とする。
このようにすれば、クリーニングローラは、被クリーニング材の表面上に付着する異物を静電気力により吸着するための電荷を表面に帯電し得るものであるので、被クリーニング材の表面上の異物は前記クリーニングローラに吸着される。また、転写ローラは、前記クリーニングローラの表面上に付着する異物を静電気力により吸着するための電荷を表面に帯電し得るので、クリーニングローラに吸着された異物は前記転写ローラに吸着される。よって、クリーニングローラに対し、定期的に除去(清掃)したり定期的に交換したりするというメンテナンス作業を施す必要がなくなる。
それに加えて、クリーニングローラに対し接続された電圧安定化回路の設定電圧値を変更することで、異物を静電気力により吸着するためにローラ表面に発生する帯電圧が必要以上に高くなるのを抑制し、前記帯電圧を安定させることができる。また、静電気に弱い半導体などの電子部品に対する静電気破壊も防止できる。
この場合、請求項2に記載のように、前記電圧安定化回路は、固定抵抗器、可変抵抗器、または複数の固定抵抗器を有し使用する固定抵抗器を切り換えて抵抗値を変更する切替え式抵抗器を用いることができる。
このようにすれば、固定抵抗器、可変抵抗器または切替え式抵抗器の抵抗値を変更することで、前記転写ローラの、前記異物を静電気力により吸着するための帯電圧を変更可能である電圧安定化回路を簡単に構成することができる。なお、固定抵抗器を用いる場合も
、固定抵抗器を交換して抵抗値を変更することができる。
つまり、前記抵抗値を変更することで、前記クリーニングローラの、前記異物を静電気力により吸着するための帯電圧を変更可能であるので、前記転写ローラに外部電源により電圧が印加されていても、その印加電圧を変更することなく、前記クリーニングローラについて、前記クリーニングローラに吸着している異物についての吸着力を変化させることができる。例えば、前記クリーニングローラに対し接続された抵抗器の抵抗値を限りなく小さくすれば、前記クリーニングローラの表面上に付着する異物を静電気力により吸着するための電荷が減少し、前記クリーニングローラに吸着している異物についての吸着力を前記クリーニングローラが失うようにすることができる。その結果、クリーニングローラに吸着された異物は前記転写ローラに吸着される。よって、前述したようなメンテナンス作業が容易になる。
よって、粘着ローラの粘着力を利用する従来のクリーニングシステムのように、クリーニングローラのローラ表面に付着している異物を定期的に除去(清掃)したり、前記異物が付着しているクリーニングローラを定期的に交換するというメンテナンス作業を施す必要がなくなり、メンテナンス性に優れるクリーニングシステムを得ることができる。また、転写ローラに印加される電圧をこまめに制御しなくてよいので、転写ローラに電圧を印加する外部電源の設計をコンパクトにできる。
請求項3に記載のように、前記転写ローラは、前記クリーニングローラの表面に接触しながら回転することで、前記クリーニングローラとの間で、前記転写ローラと前記クリーニングローラとの表面特性の違い(例えば帯電序列)に応じて電位差を生じるものであることが望ましい。
このようにすれば、クリーニングローラと転写ローラの回転による接触剥離により、前記転写ローラに、前記クリーニングローラとの表面特性(例えば、帯電序列)の違いに応じた電位差が生じ、被クリーニング材の表面上に付着する異物を静電気力により吸着するための電荷が帯電される。
また、請求項4に記載のように、前記転写ローラに対し、連れ回り方向または逆方向に回転するクリーニングブラシが設けられ、このクリーニングブラシに対し連れ回り方向または逆方向に回転するように金属ローラが設置され、前記外部電源は、前記金属ローラに接続されて、前記転写ローラ、前記クリーニングブラシおよび前記金属ローラの間に電位差を生じさせるように構成されていることが望ましい。
このようにすれば、クリーニングブラシによって転写ローラから異物が取り除かれ、静電気力により金属ローラに移り、前記転写ローラから異物がより効率よく除去される。特に、金属ローラに接続された外部電源により生じる、前記転写ローラとの間の電位差をも合わせて変更が可能であり、効果的に前記金属ローラに異物を搬送することができる。
この場合、請求項5に記載のように、前記金属ローラの表面近傍に、前記金属ローラの表面上に付着する異物を先端掻き取り部にて掻き取るクリーニングブレードが配置されているようにすることができる。
このようにすれば、金属ローラの表面に静電気力により吸着されている異物が、クリーニングブレードの先端掻き取り部によって掻き取られるため、前記金属ローラから異物が効率よく除去される。
さらに、請求項6に記載のように、前記クリーニングブレード近傍に、異物を真空圧に
より吸引可能であるエアバキューム手段の吸い込み口、またはクリーニングブレードによって掻き取られた異物を回収蓄積するための異物収容ボックスが配置されていることが望ましい。
このようにすれば、前記金属ローラの表面に静電気力により吸着されている異物が、クリーニングブレードの先端掻き取り部によって掻き取られ、エアバキューム手段の吸い込み口を通じて前記異物が負圧により吸引され、または異物収容ボックスに回収されるので、前記異物が前記金属ローラ周辺を汚すおそれがなくなる。特に、異物収容ボックスが配置される場合には、新たに動力を設けることなく、異物を異物収容ボックスに回収することができる。
請求項7に記載のように、前記被クリーニング材を挟んで、前記クリーニングローラとは反対側にガイドローラが配置され、前記ガイドローラは、前記クリーニングローラが前記被クリーニング材の表面上に付着する異物を静電気力により吸着させるための電界強度を高めることも可能である。
このようにすれば、2本のローラが被クリーニング材を挟んで対向しており、被クリーニング材がクリーニングローラ及びガイドローラが接触する位置において上下から支持され、安定性よく支持された状態で、被クリーニング材の表面上の異物の除去が行われる。
また、クリーニングローラは、ガイドローラによって、前記被クリーニング材の表面上に付着する異物を静電気力により吸着するための電界強度が高められ、与えられた電界に応じて被クリーニング材上の帯電異物がクリーニングローラに吸着され、効率よく除去される。
請求項8の発明は、被クリーニング材の表面に接触しつつ回転しながら相対移動するクリーニングローラを備え、前記被クリーニング材の表面上に付着する塵挨などの異物を前記クリーニングローラによって静電気力を利用して除去するクリーニングシステムであって、前記クリーニングローラに対し、前記クリーニングローラの表面に接触しながら回転する転写ローラが設けられ、前記クリーニングローラは、前記被クリーニング材の表面上に付着する異物を静電気力により吸着するための電荷を表面に帯電し得るものであり、前記転写ローラは、前記クリーニングローラの表面上に付着する異物を静電気力により吸着するための電荷を表面に帯電し得るものであり、前記転写ローラには、外部電源の電圧が直接的または間接的に印加される構成とされ、前記クリーニングローラが、前記クリーニングローラの帯電圧を設定電圧以下に制御する第1の電圧安定化回路を介して接地される一方、前記クリーニングローラと前記転写ローラと間には、それらの間に電位差を生じさせる第2の電圧安定化回路が設けられていることを特徴とする。
このようにすれば、前述した発明と同様に、クリーニングローラは、被クリーニング材の表面上に付着する異物を静電気力により吸着するための電荷を表面に帯電し得るので、被クリーニング材の表面上の異物は前記クリーニングローラに吸着される。また、転写ローラは、前記クリーニングローラの表面上に付着する異物を静電気力により吸着するための電荷を表面に帯電し得るので、クリーニングローラに吸着された異物は前記転写ローラに吸着される。よって、クリーニングローラに対し、定期的に除去(清掃)したり定期的に交換したりするというメンテナンス作業を施す必要がなくなる。よって、粘着ローラの粘着力を利用する従来のクリーニングシステムのように、クリーニングローラのローラ表面に付着している異物を定期的に除去(清掃)したり、前記異物が付着しているクリーニングローラを定期的に交換するというメンテナンス作業を施す必要がなくなり、メンテナンス性に優れるクリーニングシステムを得ることができる。
特に、クリーニングローラに対し接続された電圧安定化回路の設定電圧値を変更することで、異物を静電気力により吸着するためにローラ表面に発生する帯電圧が必要以上に高くなるのを抑制し、前記帯電圧を安定させることができる。また、静電気に弱い半導体などの電子部品に対する静電気破壊も防止できる。
また、前記第1の電圧安定化回路の設定電圧値を変更することで、前記クリーニングローラについて、前記クリーニングローラに吸着している異物についての吸着力を弱めることができる。例えば、前記第1の電圧安定化回路の設定電圧値を正負逆の極性にすれば、前記クリーニングローラの表面上に付着する異物を静電気力により吸着するための電荷が反転し、前記クリーニングローラに吸着している異物についての吸着力を前記クリーニングローラが失うようにすることができる。その結果、クリーニングローラに吸着された異物は前記転写ローラに吸着される。よって、前述したようなメンテナンス作業が容易になる。
この場合、請求項9に記載のように、前記転写ローラは、前記クリーニングローラの表面に接触しながら回転することで、前記クリーニングローラとの間で、前記転写ローラと前記クリーニングローラとの表面特性の違い(例えば帯電序列)に応じて電位差を生じるものであることが望ましい。
このようにすれば、クリーニングローラと転写ローラの回転による接触剥離により、前記転写ローラに、前記クリーニングローラとの表面特性(例えば、帯電序列)の違いに応じた電位差が生じ、被クリーニング材の表面上に付着する異物を静電気力により吸着するための電荷が帯電される。
また、請求項10に記載のように、前記転写ローラに対し、連れ回り方向または逆方向に回転するようにクリーニングブラシが設けられ、このクリーニングブラシに対し連れ回り方向または逆方向に回転するように金属ローラが設けられ、この金属ローラに前記外部電源が接続され、前記転写ローラと前記クリーニングブラシとの間には、前記転写ローラと前記クリーニングブラシとの間に電位差を生じさせる第3の電圧安定化回路を、前記クリーニングブラシと前記金属ローラとの間には、前記クリーニングブラシと前記金属ローラとの間に電位差を生じさせる第4の電圧安定化回路が設けられていることが望ましい。
このようにすれば、クリーニングブラシによって転写ローラから異物が取り除かれ、静電気力により金属ローラに移り、第4の電圧安定化回路により前記金属ローラの帯電圧を変更して前記金属ローラがそれに吸着された異物に対する吸着力を失った際には、前記金属ローラから異物がより効率よく除去される。特に、前記金属ローラに接続された外部電源により生じる、前記転写ローラとの間の電位差をも合わせて変更が可能であり、効果的に前記金属ローラに異物を搬送することができる。
また、請求項11に記載のように、前記第1〜第4の電圧安定化回路は、それぞれ第1〜第4の抵抗器を有するものであり、前記第1〜第4の抵抗器によって、互いに接触している前記ローラまたは前記ブラシ間に印加される電圧が分圧される構成とすることができる。ここで、抵抗器は,固定抵抗器であっても可変抵抗器であってもよい。
このようにすれば、第1〜第4の電圧安定化回路が、抵抗器による分圧された回路を構成することで、前記ローラまたは前記ブラシの間でそれぞれ所望の第1〜第4の電圧を得ることができる。
請求項12に記載のように、前記第1〜第4の抵抗器は、接触している前記ローラまたは前記ブラシ間の接触抵抗より小さい抵抗値に設定されることが望ましい。
このようにすれば、接触しているローラまたはブラシ間の接触抵抗より小さい抵抗値の抵抗器で分圧されていることで、接触しているローラまたはクリーニングブラシ間の接触抵抗の誤差や変化に対して安定した電圧を得ることができる。
請求項13に記載のように、前記第1〜第3の電圧安定化回路は、定電圧ダイオード若しくはバリスタ(非直線性抵抗素子)を有するものであり、前記第4の電圧安定化回路は、固定抵抗器または可変抵抗器を有するものであることが望ましい。
このようにすれば、第1〜第3の電圧安定化回路は定電圧ダイオード若しくはバリスタを有し、前記第4の電圧安定化回路は固定抵抗器または可変抵抗器を有することで、分圧により安定した電圧を得ることができる。
請求項14に記載のように、前記第1〜3の電圧安定化回路の前記定電圧ダイオードは、それらを直列に向かい合わせ、または背中合わせに接続していることが望ましい。
このようにすれば、ツェナー効果を有する定電圧ダイオードを直列に向かい合わせ、または背中合わせに接続することで、極性にかかわりなく、一定の電位差を保持することができる。
この場合、請求項15に記載のように、前記外部電源により前記ローラまたは前記ブラシに印加される電圧の、正負の極性を切り換える手段を備えることが望ましい。
このようにすれば、前記外部電源の正負の極性を自由に反転させることが可能になる。
請求項16に記載のように、前記金属ローラの表面近傍に、前記金属ローラの表面上に付着する異物を先端掻き取り部にて掻き取るクリーニングブレードが配置されているようにすることができる。
このようにすれば、金属ローラの表面に静電気力により吸着されている異物が、クリーニングブレードの先端掻き取り部によって掻き取られるため、前記金属ローラから異物が効率よく除去される。
その場合には、請求項17に記載のように、前記クリーニングブレード近傍に、異物を真空圧により吸引可能であるエアバキューム手段の吸い込み口、またはクリーニングブレードによって掻き取られた異物を回収蓄積するための異物収容ボックスが配置されていることが望ましい。
このようにすれば、前記金属ローラの表面に静電気力により吸着されている異物が、クリーニングブレードの先端掻き取り部によって掻き取られ、エアバキューム手段の吸い込み口を通じて前記異物が負圧により吸引され、または異物収容ボックスに回収されるので、前記異物が前記金属ローラ周辺を汚すおそれがなくなる。特に、異物収容ボックスが配置される場合には、新たに動力を設けることなく、異物を異物収容ボックスに回収することができる。
請求項18に記載のように、前記被クリーニング材を挟んで、前記クリーニングローラとは反対側にガイドローラが配置され、前記ガイドローラは、前記クリーニングローラが前記被クリーニング材の表面上に付着する異物を静電気力により吸着させるための電界強度を高めることも可能である。
このようにすれば、2本のローラが被クリーニング材を挟んで対向しており、被クリーニング材がクリーニングローラ及びガイドローラが接触する位置において上下から支持され、安定性よく支持された状態で、被クリーニング材の表面上の異物の除去が行われる。
また、クリーニングローラは、ガイドローラによって、前記被クリーニング材の表面上に付着する異物を静電気力により吸着するための電界強度が高められ、与えられた電界に応じて被クリーニング材上の帯電異物がクリーニングローラに吸着され、効率よく除去される。
本発明は、上記のように構成したから、クリーニングローラの表面上に吸着している異物についての吸着力を変更することが可能であり異物を転写ローラ側に安定して転写させることができるので、粘着ローラの粘着力を利用する従来のクリーニングシステムのように、クリーニングローラのローラ表面に付着している異物を定期的に除去(清掃)したり、前記異物が付着しているクリーニングローラを定期的に交換するというメンテナンス作業を施す必要がなくなり、メンテナンス性に優れるクリーニングシステムを得ることができる。
特に、請求項1の発明は、クリーニングローラに対し接続された電圧安定化回路の設定電圧値を変更することで、前記クリーニングローラについて、前記クリーニングローラに吸着している異物についての吸着力を弱めることができ、クリーニングローラに吸着された異物を前記転写ローラに吸着させることが可能となる。
それに加えて、クリーニングローラに対し接続された電圧安定化回路の設定電圧値を変更することで、異物を静電気力により吸着するためにローラ表面に発生する帯電圧が必要以上に高くなるのを抑制し、前記帯電圧を安定させることができる。また、静電気に弱い半導体などの電子部品に対する静電気破壊も防止できる。
請求項8の発明は、前記クリーニングローラの、前記異物を静電気力により吸着するための帯電圧を変更可能であるので、前記転写ローラに接続された外部電源による印加電圧を変更することなく、前記クリーニングローラについて、前記クリーニングローラに吸着している異物についての吸着力を弱めることができる。その結果、クリーニングローラに吸着された異物は前記転写ローラに吸着される。よって、前述したようなメンテナンス作業が容易になる。
この場合も、クリーニングローラに対し接続された電圧安定化回路の設定電圧値を変更することで、異物を静電気力により吸着するためにローラ表面に発生する帯電圧が必要以上に高くなるのを抑制し、前記帯電圧を安定させることができる。また、静電気に弱い半導体などの電子部品に対する静電気破壊も防止できる。
(a)(b)はそれぞれ本発明に係るクリーニングシステムの第1の実施の形態の動作原理の説明図である。 前記第1の実施の形態の一例を示す説明図である。 図2に示す実施の形態の第1の変形例を示す図である。 図2に示す実施の形態の第2の変形例を示す図である。 図2に示す実施の形態の第3の変形例を示す図である。 図2に示す実施の形態の第4の変形例を示す図である。 (a)(b)(c)(d)は本発明に係るクリーニングシステムの第2の実施の形態の動作原理の説明図である。 (a)(b)は前記第2の実施の形態の一例を示す説明図である。 図8に示す実施の形態の第1の変形例を示す図である。 図8に示す実施の形態の第2の変形例を示す図である。 図8に示す実施の形態の第3の変形例を示す図である。 (a)(b)は図8に示す実施の形態の第4の変形例を示す図である。 図8に示す実施の形態の第5の変形例を示す図2と同様の図である。 クリーニングユニットを2連配置した実施の形態を示す図である。
以下、本発明の実施の形態を図面に沿って説明する。
(第1の実施の形態)
図1(a)(b)は本発明に係るクリーニングシステムの第1の実施の形態の動作原理の説明図である。
図1(a)に示すように、クリーニングシステム1は、クリーニングローラ11と、このクリーニングローラ11に対しクリーニングローラ11の表面に接触しながら回転する転写ローラ21とを備える。
クリーニングローラ11は、被クリーニング材Sの表面に接触しつつ回転しながら相対移動するもので、被クリーニング材Sの表面上に付着する塵挨などの異物を静電気力を利用して除去することができるものである。このクリーニングローラ11は、被クリーニング材Sの表面上に付着する異物を静電気力により吸着する電荷を外周面に帯電し得るもので、このクリーニングローラのローラ表面(外周面)の帯電性を利用して異物を吸着するものである。
転写ローラ21は、クリーニングローラ11の表面に接触しながら回転することで、クリーニングローラ11との間で、転写ローラ21とクリーニングローラ11との表面特性の違い(例えば帯電序列)に応じて電位差を生じるものである。クリーニングローラ11と転写ローラ21の回転による接触剥離により、転写ローラ21に、クリーニングローラ11との表面特性(例えば、帯電序列)の違いに応じた電位差が生じ、被クリーニング材Sの表面上に付着する異物を静電気力により吸着するための電荷が帯電される。
このように、クリーニングローラ11の、被クリーニング材Sと反対側には転写ローラ21をクリーニングローラ11と接触するように設けることで、クリーニングローラ11に静電気力により付着した異物を、転写ローラ21側に転写(移動)させることができる。これにより、クリーニングローラ11の外周面に付着している異物が、転写ローラ21に転写された状態で、クリーニングローラ11は被クリーニング材Sに接触することになる。よって、クリーニングローラ11の外周面上の異物は転写ローラ21側に絶えず転写され、クリーニングローラ11はいつでもクリーニング効果を発揮できる状態になるので、クリーニングローラ11は、比較的長期間に亘って異物の吸着動作を継続して行うことができる。その結果、クリーニングローラ11の外周面の異物を定期的に除去したりクリーニングローラ11を交換したりするメンテナンス作業は必要なくなり、メンテナンス性の向上を図る上で有利となる。
転写ローラ21の芯金には、外部電源31により一定の電圧が印加されている。クリーニングローラ11には、第1の電圧安定化回路12を介して接地され、被クリーニング材Sの表面上に付着する異物を静電気力により吸着するための電荷をローラ表面に安定して帯電し得るようになっている。第1の安定化回路12は、可変抵抗器12aで構成される(図1(a)参照)。第1の安定化回路12は、図1(b)に示すように、固定抵抗器12bであってもよいのはもちろんである(以下同様)。
このようにクリーニングローラ11は、被クリーニング材Sの表面上に付着する異物を静電気力により吸着するための電荷を表面に帯電し得るので、被クリーニング材Sの表面上の異物はクリーニングローラ11の表面に吸着される。また、転写ローラ21は、クリーニングローラ11の表面上に付着する異物を静電気力により吸着するための電荷をローラ表面に帯電し得るので、クリーニングローラ11の表面に吸着された異物は転写ローラ21の表面に吸着され、クリーニングローラ11から転写ローラ21に移動することになる。よって、クリーニングローラ11に対し、定期的に除去(清掃)したり定期的に交換したりするというメンテナンス作業を施す必要がなくなり、メンテナンス性に優れるクリーニングシステムを得ることができる。
また、クリーニングローラ11に対し接続された第1の電圧安定化回路12を備えるので、第1の電圧安定化回路12(可変抵抗器12a)の抵抗値を変更して、クリーニングローラの、前記異物を静電気力により吸着するための帯電圧を変更可能であるので、クリーニングローラ11について、クリーニングローラ11に吸着している異物についての吸着力を変化させることができる。よって、転写ローラ21に外部電源31により電圧が印加されていてもその印加電圧を変更することなく、クリーニングローラ11について、クリーニングローラ11に吸着している異物についての吸着力を変化させることができる。例えば、クリーニングローラ11に対し接続された可変抵抗器12aの抵抗値を限りなく小さくすれば、クリーニングローラ11の表面上に付着する異物を静電気力により吸着するための電荷が減少し、クリーニングローラ11に吸着している異物についての吸着力をクリーニングローラ11が失うようにすることができる。その結果、クリーニングローラ11に吸着された異物は転写ローラ21に吸着される。よって、前述したようなメンテナンス作業が容易になる。
よって、粘着ローラの粘着力を利用する従来のクリーニングシステムのように、クリーニングローラのローラ表面に付着している異物を定期的に除去(清掃)したり、前記異物が付着しているクリーニングローラを定期的に交換するというメンテナンス作業を施す必要がなくなり、メンテナンス性に優れるクリーニングシステムを得ることができる。また、転写ローラ21に接続されたの外部電源31による印加電圧をこまめに制御しなくてよくなるため、外部電源31の設計をコンパクトにできる。
続いて、クリーニングローラ11および転写ローラ21について説明する。
クリーニングローラ11は、導電性軸部材である芯金(芯棒)11aと、この芯金11aの外周部に設けられ導電性を有する内層部11bと、その内層部11bの外側に設けられ内層部11bよりも高抵抗の材料からなる薄い円筒状の外層部11cとを備え、二層構造となっている。
このようなクリーニングローラ11の外層部11cを形成する材料は、被クリーニング材Sの表面上に付着する塵埃などの異物を静電気力により吸着する電荷を帯電し得るものが選択される。
クリーニングローラ11の外層部11cの厚さとしては、2〜500μm(より好ましくは、5〜50μm)が好ましい。これは、外層部11cの厚さが2μm未満ではローラ表面(外層部表面)に電荷が帯電しにくい傾向にある一方、500μmを超える厚さにするのは工業的に効率的でないからである。なお、芯金11aに代えて、導電性を有するカーボン材や合成樹脂複合材等からなる芯棒を用いることもできる。芯金(芯棒)11aは、芯金中腹部と芯金端部との間の抵抗値として、105Ω以下が望ましい。
内層部11bには、導電性を有する弾性材料(例えば、カーボン(導電材)を含むポリエステル系ウレタン等)が用いられ、外層部11cよりも低硬度あるいは略同一の硬度とされる。また、内層部11bは、外層部11cよりも低抵抗であれば特に限定されないが、体積抵抗率は104〜1012Ωcm程度であることが好ましい。
外層部11cに用いる材料は、50°以上(望ましくは50°以上100°未満、より望ましくは55°以上100°未満、さらに望ましくは65°以上100°未満)の硬度(JIS−A)を有する。また、外層部11cは内層部11bよりも体積抵抗率が高い。外層部11cは、望ましくは108Ωcm以上の体積抵抗率、より望ましくは1010Ωc
m以上の体積抵抗率を有する。
クリーニングローラ11の外層部11cを形成する材料の好ましい例としては、ウレタン樹脂が挙げられ、さらにはアクリル混合ウレタンあるいはフッ素混合ウレタンが挙げられる。ここで、「アクリル混合ウレタン」とは、ポリエステルポリウレタンまたはポリエーテルポリウレタンを主成分とし、(i)熱可塑性ウレタン樹脂とシリコン・アクリル共重
合樹脂の混合物、(ii)アクリル樹脂(例えば、メタクリル酸ーメタクリル酸メチル共重合体からなる主鎖にアミノエチル基がグラフトされてなるグラフト化合物)と熱可塑性ウレタン樹脂からなる混合物、(iii)アクリル樹脂・ウレタン樹脂・フッ素系表面コーティン
グ剤からなる混合物を意味し、「フッ素混合ウレタン」とは、ポリウレタンを主成分とするもので、熱可塑性ウレタン樹脂にウレタン・フッ素共重合体を混合したものを意味する。
転写ローラ21は、クリーニングローラ11と同様に、導電性を有する芯金21aと、この芯金21aの外側に設けられる円筒状の内層部21bと、この内層部21bの外側に設けられる外層部21c(弾性層部)とを備え、外層部21cは内層部21bよりも体積抵抗率が高くなっているものとすることができる。ただし、転写ローラ21も、芯金21aに円筒状の外層部(弾性層部)を直接備える構造でもよい。また、転写ローラ21の外層部21cは、芯金21aよりも体積抵抗率が高く、クリーニングローラ11の外周面に付着する異物を外周面に静電気力により吸着する電荷を帯電し得るものが選択される。
転写ローラ21は、クリーニングローラ11と連れ周りし、接触剥離により帯電して、転写ローラ21の外周面と、クリーニングローラ11の外周面との間には、クリーニングローラ11の外周面に付着している異物を転写ローラ21の外周面に静電気力により転写(移動)させ得る程度の電位差が生じるようになっている。つまり、転写ローラ21は、ローラ表面特性(例えば帯電序列)の違いにより、クリーニングローラ11に対し、ローラ11に帯電される電荷(正電荷あるいは負電荷)と同一符号で、かつ帯電圧の絶対値がローラ11よりも大きく、異物を吸着し得る電位差を有するようになっている。このことから、転写ローラ21の外層部21cを形成する素材としては、クリーニングローラ11に対し同一極性で、安定した吸着性を損なわない範囲で、生じる電位差がなるべく大きくなるものが選定されていることが望ましい。
クリーニングローラ11と転写ローラ21との接触剥離により生じた電位差で転写ローラ21側に転写された異物は、転写ローラ21の回転を止めることにより、転写ローラ21自体が、静電気力による吸着力を失うので、転写ローラ21から比較的容易に除去することができる。
前述したほか、図2に示すように、転写ローラ21に対し、連れ回り方向と逆方向に回転するクリーニングブラシ41を設け、このクリーニングブラシ41に対し連れ回り方向に回転するように金属ローラ42を設置することもできる。この場合、外部電源31は、金属ローラ42に対し接続される。この場合、図3に示すように、可変抵抗器に代えて、
複数の固定抵抗器43aを有し切替スイッチ43bによって使用する固定抵抗器43aを切り換えて抵抗値を変更する切替え式抵抗器43を用い、第1の電圧安定化回路12Aとすることも可能である。
また、図4に示すように、金属ローラ42の上側であって表面近傍に、金属ローラ42の表面上に付着する異物を先端掻き取り部にて掻き取るクリーニングフレート44を配置し、そのクリーニングブレード44近傍であって金属ローラ42の上方に異物を負圧により吸引可能であるエアバキューム手段(図示せず)の吸い込み口45が配置することもできる。これにより、クリーニングブレード44の先端掻き取り部によって掻き取られた異物が、エアバキューム手段の吸い込み口45を通じて負圧により吸引されるので、前記異物が金属ローラ42周辺を汚すおそれがなくなる。
図5に示すように、金属ローラ42の表面上に設置されたクリーニングブレード44で掻き取った異物を、回収・蓄積する異物収容ボックス46を設けることができ、ブラシの回転で撒き散らした異物を、回収・蓄積する異物収容ボックスを設けることも可能である。
図6に示すように、被クリーニング材Sを挟んで、クリーニングローラ11とは反対側にガイドローラ51が配置され、ガイドローラ51は、前記クリーニングローラが前記被クリーニング材の表面上に付着する異物を静電気力により吸着するための電界強度を高めるものとすることができる。
(方法)
図2に示すクリーニングシステムにおいて、絶縁性を有する部材(図示せず)で保持されたクリーニングローラ11及び転写ローラ21を接触させて5m/minの周速で連れ回り回転させ,クリーニングローラ11の芯金11aに可変抵抗器12aを介したアースを設置した。また転写ローラ21に対しクリーニングブラシ41を介して設ける金属ローラ42に外部電源31を接続した。クリーニングブラシ41は、転写ローラ21に対し連れ回り方向とは逆方向に回転するように設け、金属ローラ42は、クリーニングブラシ41に対し連れ回り方向に回転するように設置した。
上記状態にて、可変抵抗器12aの抵抗値の変化に対する各部材の表面電位を表面電位計(トレック社製 Mode1
341B)を用いて測定した。
Figure 0005015365
この測定結果から、可変抵抗器12aの抵抗値を調整することで、クリーニングローラ11の表面電位を調整することができ、クリーニングローラ11に吸着している異物についての吸着力を変化させることができることがわかる。
(第2の実施の形態)
図7(a)に示すように、クリーニングローラ11は、被クリーニング材の表面上に付着する異物を静電気力により吸着するための電荷を表面に帯電し得るものであって、定電圧ダイオード13aを有する電圧安定化回路13を介して接地されている。このクリーニングローラ11に対し、クリーニングローラ11の表面に接触しながら回転する転写ローラ21が設けられ、転写ローラ21には、外部電源31が接続され、クリーニングローラの表面上に付着する異物を静電気力により吸着するための電荷を表面に帯電し得る。
このように、第1及び第2の電圧安定化回路13,14が、可変抵抗器14aとツェナー効果を有する定電圧ダイオード13aで構成されていることで、安定した帯電圧を得ることができる。なお、可変抵抗器14aに代えて、図7(b)に示すように、固定抵抗器14bとしてもよいのはもちろんである。
第1の電圧安定化回路13は、図7(c)(d)に示すように、向かい合わせ(あるいは背合わせ)に設けられた一対の定電圧ダイオード13a,13a(ツェナダイオード)を有する構造とすることも可能である。このようにツェナー効果を有する定電圧ダイオードを直列に向かい合わせ、または背中合わせに接続すると、極性にかかわりなく、安定した帯電圧を得ることができる。
クリーニングローラ11と転写ローラ21との間には第2の電圧安定化回路14を設けることで、クリーニングローラ11と転写ローラ21との間に電位差を生じさせるように構成されている。この第2の安定化回路14は、可変抵抗器14aを有するが、固定抵抗器14bとすることができるのはもちろんである。
特に、定電圧ダイオード13a(第1の電圧安定化回路13)の設定電圧値を変更することで、クリーニングローラ11について、クリーニングローラ11に吸着している異物についての吸着力を弱めることができる。例えば、第1の電圧安定化回路13の設定電圧値を正負逆の極性にすれば、クリーニングローラ11の表面上に付着する異物を静電気力により吸着するための電荷が反転し、クリーニングローラ11に吸着している異物についての吸着力をクリーニングローラ11が失うようにすることができる。その結果、クリーニングローラ11に吸着された異物は転写ローラ21に吸着される。よって、前述したようなメンテナンス作業が容易になる。
よって、第1の実施の形態と同様に、クリーニングローラ11に対し、定期的に除去(清掃)したり定期的に交換したりするというメンテナンス作業を施す必要がなくなる。
この第2の実施の形態の場合も、第1の実施の形態と同様に、図8(a)に示すように、転写ローラ21に対し、連れ回り方向と逆方向に回転するクリーニングブラシ41を設け、このクリーニングブラシ41に対し連れ回り方向に回転するように金属ローラ42を設置することもできる。
この場合、クリーニングローラ11と転写ローラ21との間には第2の電圧安定化回路15(定電圧ダイオード15a)が接続され、転写ローラ21とクリーニングブラシ41との間には第3の電圧安定化回路16(定電圧ダイオード16a)が接続され、クリーニングブラシ41と金属ローラ42と間には第4の電圧安定化回路17(可変抵抗器17a)が接続され、転写ローラ21、クリーニングブラシ41および金属ローラ42の間に電位差を生じさせるように構成されている。なお、第4の電圧安定化回路17は、図8(b)に示すように、可変抵抗器17aに代えて,固定抵抗器17bとすることもできる(以下同様)。
このようにすれば、クリーニングブラシ41によって転写ローラ21から異物が取り除かれ、静電気力により金属ローラ42に移る。そして、第4の電圧安定化回路17により金属ローラ42の帯電圧を変更して金属ローラ42がそれに吸着された異物に対する吸着力を失った際には、金属ローラ42から異物がより効率よく除去されるようにすることができる。特に、金属ローラ42に接続された外部電源31により生じる、転写ローラ21との間の電位差をも合わせて変更が可能であり、効果的に金属ローラ42に異物を搬送することができる。
また、第1〜第4の電圧安定化回路13,15〜17が、ツェナー効果を有する定電圧ダイオード13a,15a,16aと可変抵抗器17aとで構成されていることで、安定した電圧を得ることができる。
また、図9に示すように、金属ローラ42の上側であって表面近傍に、金属ローラ42の表面上に付着する異物を先端掻き取り部にて掻き取るクリーニングフレート44を配置し、そのクリーニングブレード44近傍であって金属ローラ42の上方に異物を負圧により吸引可能であるエアバキューム手段の吸い込み口45を配置することもできる。
このようにすれば、金属ローラ42の表面に静電気力により吸着されている異物が、クリーニングブレード44の先端掻き取り部によって掻き取られる。このように、金属ローラ42の表面に静電気力により吸着されている異物が、クリーニングブレード44の先端掻き取り部によって掻き取られるため、金属ローラ42から異物が効率よく除去される。また、エアバキューム手段の吸い込み口45を通じて前記異物が負圧により吸引されるので、前記異物が金属ローラ45周辺を汚すおそれがなくなる。
図10に示すように、金属ローラ42の表面上であって側方に設置されたクリーニングブレード44で掻き取った異物を、回収・蓄積する異物収容ボックス46を設けることもできる。
このようにすることで、新たに動力を設けることなく、異物を異物収容ボックス46に回収することができる。異物収容ボックス46は、ブラシ41の回転で撒き散らした異物を回収・蓄積できる位置に設けることも可能である。
図11に示すように、被クリーニング材Sを挟んで、クリーニングローラ11とは反対側にガイドローラ51を配置することもできる。このガイドローラ51は、クリーニングローラ11が被クリーニング材Sの表面上に付着する異物を静電気力により吸着するための電界強度を高めるものである。
このようにすれば、2本のローラ11,51が被クリーニング材Sを挟んで対向しており、被クリーニング材Sがクリーニングローラ11及びガイドローラ51が接触する位置において上下から支持され、安定性よく支持された状態で、被クリーニング材S表面上の異物の除去が行われる。
また、クリーニングローラ11は、ガイドローラ51によって、被クリーニング材Sの表面上に付着する異物を静電気力により吸着するための電界強度が高められ、与えられた電界に応じて被クリーニング材S上の帯電異物がクリーニングローラ11に吸着され、効率よく除去される。
また、図12(a)に示すように、第1、第2、第3及び第4の電圧安定化回路13B,15B,16B,17も、可変抵抗器13b,15b,16b,17aで構成し、それらの可変抵抗器13b,15b,16b,17aによる分圧された回路を構成することで、第1〜第4の電圧を安定して得ることも可能である。この場合も、図12(b)に示すように、第1、第2、第3及び第4の電圧安定化回路13B,15B,16B,17として、固定抵抗器13c,15c,16c,17bを用いることも可能である。
この場合、接触しているローラ11,21,42またはブラシ41間の接触抵抗より小さい抵抗値となる可変抵抗器13b、15b、16b,17aで分圧されていることで、接触しているローラ11,21,42またはクリーニングブラシ41間の接触抵抗の誤差
や変化にかかわりなく、安定した電圧を得ることができる。
図13に示すように、外部電源31による印加電圧の正負の極性を切り替えることができる極性切替回路61を設けると、簡単に前記極性の切り替えができる。この場合は、第1〜第3の電圧安定化回路13A,15A,16Aを、向かい合わせに接した2つの定電圧ダイオード13a,15a,16aでもって構成し、極性にかかわりなく、安定した電圧を得ることができるようにしている。
次いで、図13に示すクリーニングシステムにおいて、絶縁性を有する部材(図示せず)で保持されたクリーニングローラ11及び転写ローラ21を接触させ、5m/minの周速で連れまわり回転させ、クリーニングローラ11の芯金に定電圧ダイオード13a(ツェナダイオード)からなる第1の電圧安定化回路13(定電圧ダイオード13a)を介したアースを設置した。また、転写ローラ21に対しクリーニングブラシ41および金属ローラ42を設置し、クリーニングローラ11と転写ローラ21との芯金の間に第2の電圧安定化回路15(定電圧ダイオード15a)を、転写ローラ21とクリーニングブラシ41との芯金の間に第3の電圧安定化回路16(定電圧ダイオード16a)を、クリーニングブラシ41と金属ローラ42との芯金の間に第4の電圧安定化回路17(可変抵抗器17a)をそれぞれ設置した。クリーニングブラシ41は、転写ローラ21に対し連れ回り方向とは逆方向に回転するように設け、金属ローラ42は、クリーニングブラシ41に対し連れ回り方向に回転するように設置した。
上記状態にて、電圧安定化回路13,15〜17によるクリーニングローラ11、転写ローラ21、クリーニングブラシ41、金属ローラ42の表面電位を表面電位計(トレック社製 Model 341B)を用いて測定した。
Figure 0005015365
この結果から、クリーニングローラ11、転写ローラ21、クリーニングブラシ41、金属ローラ42の電位を、絶縁破壊することなく、任意の値に保つことができることがわかる。よって、クリーニングローラ11の表面上に吸着している異物についての吸着力を安定させ、異物を、転写ローラ21、クリーニングブラシ41、金属ローラ42側に安定して転写させることができる。
本発明は,前述したほか、次のように変更して実施することも可能である。
(i)図14に示すように、クリーニングユニットU1(クリーニングローラ11、転写
ローラ21、クリーニングブラシ41、金属ローラ42)とクリーニングユニットU2(クリーニングローラ11’、転写ローラ21’、クリーニングブラシ41’、金属ローラ42’)を2連配置し、各ユニットU1,U2において、クリーニングローラ11,11’に対し、クリーニングローラ11,11’の外周面に帯電される電荷の符号を逆とすることもできる。このようにすれば、被クリーニング材Sの表面上に付着するプラス帯電性の異物をマイナス帯電したクリーニングローラ11(クリーニングユニットU1)で、マイナス帯電性の異物をプラス帯電したクリーニングローラ11’(クリーニングユニットU2)でそれぞれ除去することができ、除去できる異物の範囲が大きくなる。なお、図14には図2に示すものを2連配置したものを図示しているが、そのほかの実施の形態につ
いても同様に2連配置して、除去できる異物の範囲を大きくできるのはいうまでもない。
(ii)本発明は、被クリーニング材が、特にフィルム、シート、プリント基板(PCB,PCBA)などの薄物である場合に適するが、それに制限されるものではない。
S 被クリーニング材
11 クリーニングローラ
12,12A 電圧安定化回路
12a 可変抵抗器
12b 固定抵抗器
13,13A,13B 第1の電圧安定化回路
13a,15a,16a 定電圧ダイオード
14,15,15A,15B 第2の電圧安定化回路
14a,17a,13b,15b,16b 可変抵抗器
14b,17b,13c,15c,16c 固定抵抗器
16,16A,16B 第3の電圧安定化回路
17 第4の電圧安定化回路
21 転写ローラ
31 外部電源
41 クリーニングブラシ
42 金属ローラ
43 切替え式抵抗器
44 クリーニングブレード
45 吸い込み口
46 異物収容ボックス
51 ガイドローラ
61 極性切替回路

Claims (18)

  1. 被クリーニング材の表面に接触しつつ回転しながら相対移動するクリーニングローラを備え、前記被クリーニング材の表面上に付着する塵挨などの異物を前記クリーニングローラによって静電気力を利用して除去するクリーニングシステムであって、
    前記クリーニングローラに対し、前記クリーニングローラの表面に接触しながら回転する転写ローラが設けられ、
    前記クリーニングローラは、前記被クリーニング材の表面上に付着する異物を静電気力により吸着するための電荷を表面に帯電し得るものであり、
    前記転写ローラは、前記クリーニングローラの表面上に付着する異物を静電気力により吸着するための電荷を表面に帯電し得るものであり、
    前記クリーニングローラは、電圧安定化回路を介してアースされ、前記転写ローラには、外部電源が直接的または間接的に接続され、
    前記電圧安定化回路は、前記転写ローラの、前記異物を静電気力により吸着するための帯電圧を変更可能であることを特徴とするクリーニングシステム。
  2. 前記電圧安定化回路は、固定抵抗器、可変抵抗器、または複数の固定抵抗器を有し使用する固定抵抗器を切り換えて抵抗値を変更する切替え式抵抗器であることを特徴とする請求項1記載のクリーニングシステム。
  3. 前記転写ローラは、前記クリーニングローラの表面に接触しながら回転することで、前記クリーニングローラとの間で、前記転写ローラと前記クリーニングローラとの表面の帯電特性の違いに応じて電位差を生じるものであることを特徴とする請求項1記載のクリーニングシステム。
  4. 前記転写ローラに対し、連れ回り方向または逆方向に回転するクリーニングブラシが設けられ、このクリーニングブラシに対し連れ回り方向または逆方向に回転するように金属ローラが設置され、
    前記外部電源は、前記金属ローラに接続されて、前記転写ローラ、前記クリーニングブラシおよび前記金属ローラの間に電位差を生じさせるように構成されていることを特徴とする請求項1記載のクリーニングシステム。
  5. 前記金属ローラの表面近傍に、前記金属ローラの表面上に付着する異物を先端掻き取り部にて掻き取るクリーニングブレードが配置されていることを特徴とする請求項4に記載のクリーニングシステム。
  6. 前記クリーニングブレード近傍に、異物を真空圧により吸引可能であるエアバキューム手段の吸い込み口、またはクリーニングブレードによって掻き取られた異物を回収蓄積するための異物収容ボックスが配置されていることを特徴とする請求項5記載のクリーニングシステム。
  7. 前記被クリーニング材を挟んで、前記クリーニングローラとは反対側にガイドローラが配置され、前記ガイドローラは、前記クリーニングローラが前記被クリーニング材の表面上に付着する異物を静電気力により吸着させるための電界強度を高めるものであることを
    特徴とする請求項1記載のクリーニングシステム。
  8. 被クリーニング材の表面に接触しつつ回転しながら相対移動するクリーニングローラを備え、前記被クリーニング材の表面上に付着する塵挨などの異物を前記クリーニングローラによって静電気力を利用して除去するクリーニングシステムであって、
    前記クリーニングローラに対し、前記クリーニングローラの表面に接触しながら回転する転写ローラが設けられ、
    前記クリーニングローラは、前記被クリーニング材の表面上に付着する異物を静電気力により吸着するための電荷を表面に帯電し得るものであり、
    前記転写ローラは、前記クリーニングローラの表面上に付着する異物を静電気力により吸着するための電荷を表面に帯電し得るものであり、
    前記転写ローラには、外部電源の電圧が直接的または間接的に印加される構成とされ、
    前記クリーニングローラが、前記クリーニングローラの帯電圧を設定電圧以下に制御する第1の電圧安定化回路を介して接地される一方、前記クリーニングローラと前記転写ローラとの間には、それらの間に電位差を生じさせる第2の電圧安定化回路が設けられていることを特徴とするクリーニングシステム。
  9. 前記転写ローラは、前記クリーニングローラの表面に接触しながら回転することで、前記クリーニングローラとの間で、前記転写ローラと前記クリーニングローラとの表面の帯電特性の違いに応じて電位差を生じるものであることを特徴とする請求項8記載のクリーニングシステム。
  10. 前記転写ローラに対し、連れ回り方向または逆方向に回転するようにクリーニングブラシが設けられ、
    このクリーニングブラシに対し連れ回り方向または逆方向に回転するように金属ローラが設けられ、
    この金属ローラに前記外部電源が接続され、
    前記転写ローラと前記クリーニングブラシとの間には、前記転写ローラと前記クリーニングブラシとの間に電位差を生じさせる第3の電圧安定化回路を、前記クリーニングブラシと前記金属ローラとの間には、前記クリーニングブラシと前記金属ローラとの間に電位差を生じさせる第4の電圧安定化回路が設けられていることを特徴とする請求項8記載のクリーニングシステム。
  11. 前記第1〜第4の電圧安定化回路は、それぞれ第1〜第4の抵抗器を有するものであり、
    前記第1〜第4の抵抗器によって、互いに接触している前記ローラまたは前記ブラシ間に印加される電圧が分圧されることを特徴とする請求項10記載のクリーニングシステム。
  12. 前記第1〜第4の抵抗器は、接触している前記ローラまたは前記ブラシ間の接触抵抗より小さい抵抗値に設定されることを特徴とする請求項11記載のクリーニングシステム。
  13. 前記第1〜第3の電圧安定化回路は、定電圧ダイオード若しくはバリスタを有するものであり、
    前記第4の電圧安定化回路は、固定抵抗器または可変抵抗器を有するものであることを特徴とする請求項10記載のクリーニングシステム。
  14. 前記第1〜3の電圧安定化回路の前記定電圧ダイオードは、それらを直列に向かい合わせ、または背中合わせに接続していることを特徴とする請求項13記載のクリーニングシステム。
  15. 前記外部電源により前記ローラまたは前記ブラシに印加される電圧の、正負の極性を切り換える手段を備えることを特徴とする請求項14記載のクリーニングシステム。
  16. 前記金属ローラの表面近傍に、前記金属ローラの表面上に付着する異物を先端掻き取り部にて掻き取るクリーニングブレードが配置されていることを特徴とする請求項10記載のクリーニングシステム。
  17. 前記クリーニングブレード近傍に、異物を真空圧により吸引可能であるエアバキューム手段の吸い込み口、またはクリーニングブレードによって掻き取られた異物を回収蓄積するための異物収容ボックスが配置されていることを特徴とする請求項16記載のクリーニングシステム。
  18. 前記被クリーニング材を挟んで、前記クリーニングローラとは反対側にガイドローラが配置され、前記ガイドローラは、前記クリーニングローラが前記被クリーニング材の表面上に付着する異物を静電気力により吸着させるための電界強度を高めるものであることを特徴とする請求項8記載のクリーニングシステム。
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Families Citing this family (9)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR101377498B1 (ko) 2012-03-29 2014-03-25 현대제철 주식회사 롤 표면의 이물질 제거장치와 롤 표면의 이물질 제거방법
JP6073629B2 (ja) * 2012-10-03 2017-02-01 バンドー化学株式会社 清掃具及び清掃装置
CN108778535A (zh) * 2016-03-09 2018-11-09 阪东化学株式会社 清洁装置
KR102325908B1 (ko) * 2016-03-09 2021-11-11 반도 카가쿠 가부시키가이샤 클리닝 장치
WO2017155075A1 (ja) * 2016-03-09 2017-09-14 バンドー化学株式会社 クリーニング装置及びクリーニング方法
TWI620905B (zh) * 2017-06-14 2018-04-11 住華科技股份有限公司 除液裝置
CN109484361B (zh) * 2018-11-22 2022-02-11 深圳市威群视科技有限公司 一种自洁净车载倒车摄像头
JP7203593B2 (ja) * 2018-12-25 2023-01-13 東京エレクトロン株式会社 基板処理装置及び基板処理方法
CN118434018B (zh) * 2024-07-04 2024-08-30 常州博安和达电器有限公司 柔性电路板生产系统及方法

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08203851A (ja) * 1995-01-27 1996-08-09 Sony Corp 清浄化装置
JPH09244499A (ja) * 1996-03-04 1997-09-19 Ricoh Co Ltd 帯電ローラのクリーニング装置
JP2001075448A (ja) * 1999-09-03 2001-03-23 Fuji Xerox Co Ltd 画像形成装置
JP2009151195A (ja) * 2007-12-21 2009-07-09 Fuji Xerox Co Ltd 帯電装置および画像形成装置
JP2010099565A (ja) * 2008-10-22 2010-05-06 Bando Chem Ind Ltd クリーニングシステム

Family Cites Families (11)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US3861861A (en) * 1973-08-10 1975-01-21 Xerox Corp Fuser roll cleaning apparatus
US4440082A (en) * 1978-11-13 1984-04-03 Dayco Corporation Electrostatically assisted printing system
US6085061A (en) * 1998-12-22 2000-07-04 Xerox Corporation Active electrostatic cleaning brush
US6169872B1 (en) * 1999-09-28 2001-01-02 Xerox Corporation Electrostatic cleaning belt brush
US6980765B2 (en) * 2003-11-25 2005-12-27 Xerox Corporation Dual polarity electrostatic brush cleaner
TWM271341U (en) * 2004-11-03 2005-07-21 Jean Herl Technologies Co Substrate dusting machine
GB0514837D0 (en) * 2005-07-20 2005-08-24 Teknek Holdings Ltd Surface cleaning apparatus
JP2008168188A (ja) 2007-01-10 2008-07-24 Mitsuma Giken Kk クリーニング装置
CN101011698A (zh) * 2007-02-07 2007-08-08 马书林 自洁式静电除尘辊
JP2008271797A (ja) 2007-04-25 2008-11-13 Iseki & Co Ltd コンバイン
JP2009088244A (ja) * 2007-09-28 2009-04-23 Tokyo Electron Ltd 基板クリーニング装置、基板処理装置、基板クリーニング方法、基板処理方法及び記憶媒体

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPH08203851A (ja) * 1995-01-27 1996-08-09 Sony Corp 清浄化装置
JPH09244499A (ja) * 1996-03-04 1997-09-19 Ricoh Co Ltd 帯電ローラのクリーニング装置
JP2001075448A (ja) * 1999-09-03 2001-03-23 Fuji Xerox Co Ltd 画像形成装置
JP2009151195A (ja) * 2007-12-21 2009-07-09 Fuji Xerox Co Ltd 帯電装置および画像形成装置
JP2010099565A (ja) * 2008-10-22 2010-05-06 Bando Chem Ind Ltd クリーニングシステム

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