JP2002028596A - 除塵装置 - Google Patents
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- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
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Abstract
(57)【要約】
【課題】 シリコーンの移行による電子材料等の除塵対
象物への悪影響を防止できるとともに、除塵用ローラー
に付着している塵埃を粘着テープローラーにスムーズに
転写して除去できる除塵装置を得る。 【解決手段】 除塵装置は、除塵対象物の表面に回転し
ながら接触して前記表面の塵埃を付着させて除去する除
塵用ローラーと、該除塵用ローラーの外周面と周面接触
しながら回転して該外周面に付着した塵埃を粘着剤層に
転写して除去する粘着テープローラーとを備えた除塵装
置であって、上記除塵用ローラーの外周層が非シリコー
ン系弾性体で構成され、且つ該非シリコーン系弾性体の
溶解度パラメーター（ＳＰ値）δAと前記粘着テープロ
ーラーの粘着剤層を構成する粘着剤の溶解度パラメータ
ー（ＳＰ値）δBとの差Δδが、１．０［Ｊ／ｃｍ3］
1/2以上であることを特徴とする。
象物への悪影響を防止できるとともに、除塵用ローラー
に付着している塵埃を粘着テープローラーにスムーズに
転写して除去できる除塵装置を得る。 【解決手段】 除塵装置は、除塵対象物の表面に回転し
ながら接触して前記表面の塵埃を付着させて除去する除
塵用ローラーと、該除塵用ローラーの外周面と周面接触
しながら回転して該外周面に付着した塵埃を粘着剤層に
転写して除去する粘着テープローラーとを備えた除塵装
置であって、上記除塵用ローラーの外周層が非シリコー
ン系弾性体で構成され、且つ該非シリコーン系弾性体の
溶解度パラメーター（ＳＰ値）δAと前記粘着テープロ
ーラーの粘着剤層を構成する粘着剤の溶解度パラメータ
ー（ＳＰ値）δBとの差Δδが、１．０［Ｊ／ｃｍ3］
1/2以上であることを特徴とする。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】本発明は、プリント基板、液
晶板等の各種電子材料等に付着している塵埃を除去する
除塵装置に関するものである。
晶板等の各種電子材料等に付着している塵埃を除去する
除塵装置に関するものである。
【０００２】
【従来の技術】プリント基板や液晶板等の電子材料など
の製造工程において、材料に付着している塵埃を除去す
るため、除塵用ローラーを備えた乾式除塵装置が使用さ
れている。この乾式除塵装置は、互いに周面接触しなが
ら回転する除塵用ローラーと粘着テープローラーとで構
成されており、除塵対象物に除塵用ローラーを接触させ
て塵埃を付着させ、さらに除塵用ローラーに付着した塵
埃を粘着テープローラーに転写させることにより、除塵
用ローラーを常に清浄な状態で使用するものである。
の製造工程において、材料に付着している塵埃を除去す
るため、除塵用ローラーを備えた乾式除塵装置が使用さ
れている。この乾式除塵装置は、互いに周面接触しなが
ら回転する除塵用ローラーと粘着テープローラーとで構
成されており、除塵対象物に除塵用ローラーを接触させ
て塵埃を付着させ、さらに除塵用ローラーに付着した塵
埃を粘着テープローラーに転写させることにより、除塵
用ローラーを常に清浄な状態で使用するものである。
【０００３】従来、上記乾式除塵装置の除塵用ローラー
の外周層としては、剥離性に優れ、粘着テープローラー
に密着せず、しかも除塵用ローラーに付着した塵埃が粘
着テープローラーに転写され易いことから、シリコーン
ゴムが使用されている（特開平８−２１５１３２号公報
等参照）。しかし、プリント基板等の高細密化、ファイ
ン化に伴い、上記シリコーンゴムからのシリコーンの移
行によるプリント基板等への悪影響が問題となってい
る。
の外周層としては、剥離性に優れ、粘着テープローラー
に密着せず、しかも除塵用ローラーに付着した塵埃が粘
着テープローラーに転写され易いことから、シリコーン
ゴムが使用されている（特開平８−２１５１３２号公報
等参照）。しかし、プリント基板等の高細密化、ファイ
ン化に伴い、上記シリコーンゴムからのシリコーンの移
行によるプリント基板等への悪影響が問題となってい
る。
【０００４】一方、非シリコーン系ゴムを除塵用ローラ
ーの外周層とした場合には、一般に、除塵用ローラーと
粘着テープローラーとの密着が強くなり過ぎて、除塵用
ローラーの回転が阻害されたり、粘着テープローラーの
粘着剤層を構成する粘着剤が除塵用ローラーに取られて
しまうといった不具合が発生する。
ーの外周層とした場合には、一般に、除塵用ローラーと
粘着テープローラーとの密着が強くなり過ぎて、除塵用
ローラーの回転が阻害されたり、粘着テープローラーの
粘着剤層を構成する粘着剤が除塵用ローラーに取られて
しまうといった不具合が発生する。
【０００５】
【発明が解決しようとする問題】従って、本発明の目的
は、シリコーンの移行による電子材料等の除塵対象物へ
の悪影響を防止できるとともに、除塵用ローラーに粘着
テープローラーが密着し過ぎることなく、除塵用ローラ
ーに付着している塵埃を粘着テープローラーにスムーズ
に転写して除去できる除塵装置を提供することにある。
は、シリコーンの移行による電子材料等の除塵対象物へ
の悪影響を防止できるとともに、除塵用ローラーに粘着
テープローラーが密着し過ぎることなく、除塵用ローラ
ーに付着している塵埃を粘着テープローラーにスムーズ
に転写して除去できる除塵装置を提供することにある。
【０００６】
【課題を解決するための手段】本発明者らは、前記目的
を達成するため鋭意検討した結果、除塵用ローラーの外
周層を非シリコーン系弾性体で構成するとともに、該非
シリコーン系弾性体の溶解度パラメーターと粘着テープ
ローラーの粘着剤層を構成する粘着剤の溶解度パラメー
ターとの差を一定値以上に設定すると、シリコーンの除
塵対象物への移行がなく、しかも該除塵対象物から塵埃
を円滑に効率よく除去できることを見いだし、本発明を
完成した。
を達成するため鋭意検討した結果、除塵用ローラーの外
周層を非シリコーン系弾性体で構成するとともに、該非
シリコーン系弾性体の溶解度パラメーターと粘着テープ
ローラーの粘着剤層を構成する粘着剤の溶解度パラメー
ターとの差を一定値以上に設定すると、シリコーンの除
塵対象物への移行がなく、しかも該除塵対象物から塵埃
を円滑に効率よく除去できることを見いだし、本発明を
完成した。
【０００７】すなわち、本発明は、除塵対象物の表面に
回転しながら接触して前記表面の塵埃を付着させて除去
する除塵用ローラーと、該除塵用ローラーの外周面と周
面接触しながら回転して該外周面に付着した塵埃を粘着
剤層に転写して除去する粘着テープローラーとを備えた
除塵装置であって、上記除塵用ローラーの外周層が非シ
リコーン系弾性体で構成され、且つ該非シリコーン系弾
性体の溶解度パラメーター（ＳＰ値）δAと前記粘着テ
ープローラーの粘着剤層を構成する粘着剤の溶解度パラ
メーター（ＳＰ値）δBとの差Δδが、１．０［Ｊ／ｃ
ｍ3］1/2以上であることを特徴とする除塵装置を提供す
る。
回転しながら接触して前記表面の塵埃を付着させて除去
する除塵用ローラーと、該除塵用ローラーの外周面と周
面接触しながら回転して該外周面に付着した塵埃を粘着
剤層に転写して除去する粘着テープローラーとを備えた
除塵装置であって、上記除塵用ローラーの外周層が非シ
リコーン系弾性体で構成され、且つ該非シリコーン系弾
性体の溶解度パラメーター（ＳＰ値）δAと前記粘着テ
ープローラーの粘着剤層を構成する粘着剤の溶解度パラ
メーター（ＳＰ値）δBとの差Δδが、１．０［Ｊ／ｃ
ｍ3］1/2以上であることを特徴とする除塵装置を提供す
る。
【０００８】
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を必要
に応じて図面を参照しつつ説明する。図１は本発明の除
塵装置の使用状態の一例を示す説明図である。図中の矢
印は移動方向、回転方向を示す。
に応じて図面を参照しつつ説明する。図１は本発明の除
塵装置の使用状態の一例を示す説明図である。図中の矢
印は移動方向、回転方向を示す。
【０００９】除塵装置１は、除塵対象物４の表面に回転
しながら接触して前記表面の塵埃を付着させて除去する
除塵用ローラー３と、該除塵用ローラー３の外周面と周
面接触しながら回転して該外周面に付着した塵埃を粘着
剤層22に転写して除去する粘着テープローラー２とで構
成されており、この例では、１対の除塵装置１がシート
状（板状）の除塵対象物４を挟んで対向して配設されて
いる。
しながら接触して前記表面の塵埃を付着させて除去する
除塵用ローラー３と、該除塵用ローラー３の外周面と周
面接触しながら回転して該外周面に付着した塵埃を粘着
剤層22に転写して除去する粘着テープローラー２とで構
成されており、この例では、１対の除塵装置１がシート
状（板状）の除塵対象物４を挟んで対向して配設されて
いる。
【００１０】この除塵装置１によれば、塵埃で汚れた除
塵対象物４を２つの除塵用ローラー３，３の間に接触さ
せて通すことにより、除塵対象物４の両面の塵埃が除塵
用ローラー３の表面に付着して除塵対象物４がクリーニ
ングされる。そして、粘着剤層22を有する粘着テープロ
ーラー２が除塵用ローラー３の外周面と周面接触しなが
ら回転するので、前記除塵用ローラー３に付着した塵埃
は粘着テープローラー２に転写される。従って、除塵用
ローラー３は常にきれいな状態で除塵対象物４に接触す
るため、効率よく除塵対象物４を清浄化できる。
塵対象物４を２つの除塵用ローラー３，３の間に接触さ
せて通すことにより、除塵対象物４の両面の塵埃が除塵
用ローラー３の表面に付着して除塵対象物４がクリーニ
ングされる。そして、粘着剤層22を有する粘着テープロ
ーラー２が除塵用ローラー３の外周面と周面接触しなが
ら回転するので、前記除塵用ローラー３に付着した塵埃
は粘着テープローラー２に転写される。従って、除塵用
ローラー３は常にきれいな状態で除塵対象物４に接触す
るため、効率よく除塵対象物４を清浄化できる。
【００１１】前記除塵用ローラー３は、芯材（軸部を含
む）31と、該芯材31の外側に同心円状に形成された非シ
リコーン系弾性体からなる外周層32とで構成されてい
る。前記非シリコーン系弾性体の種類としては、弾性を
有するものであれば特に限定されず、例えば、天然ゴム
やブチルゴム、アクリルゴム、ニトリルゴムなどの合成
ゴム、熱可塑性エラストマー、ポリウレタンなどを使用
できる。非シリコーン系弾性体からなる外周層32の厚さ
は特に限定されないが、通常１ｍｍ〜２０ｍｍ程度であ
る。
む）31と、該芯材31の外側に同心円状に形成された非シ
リコーン系弾性体からなる外周層32とで構成されてい
る。前記非シリコーン系弾性体の種類としては、弾性を
有するものであれば特に限定されず、例えば、天然ゴム
やブチルゴム、アクリルゴム、ニトリルゴムなどの合成
ゴム、熱可塑性エラストマー、ポリウレタンなどを使用
できる。非シリコーン系弾性体からなる外周層32の厚さ
は特に限定されないが、通常１ｍｍ〜２０ｍｍ程度であ
る。
【００１２】本発明では、除塵用ローラー３の外周層32
が非シリコーン系弾性体で構成されているため、シリコ
ーンの移行による電子材料等の除塵対象物への悪影響が
生じない。
が非シリコーン系弾性体で構成されているため、シリコ
ーンの移行による電子材料等の除塵対象物への悪影響が
生じない。
【００１３】前記粘着テープローラー２は、円筒状芯材
21と、該円筒状芯材21に巻回された粘着テープ22とで構
成されている。図２は前記粘着テープ22の一例を示す断
面図である。この粘着テープ22は基材23と、該基材23の
片面に設けられた粘着剤層24とからなり、上記の円筒状
芯材21には粘着剤層24を外側に向けてロール状に巻装さ
れている。
21と、該円筒状芯材21に巻回された粘着テープ22とで構
成されている。図２は前記粘着テープ22の一例を示す断
面図である。この粘着テープ22は基材23と、該基材23の
片面に設けられた粘着剤層24とからなり、上記の円筒状
芯材21には粘着剤層24を外側に向けてロール状に巻装さ
れている。
【００１４】基材23としては、自己支持性を有するもの
であれば特に限定されず、例えば、ポリプロピレン、ポ
リエステル、塩化ビニル等のプラスチックフィルム、
紙、合成紙、あるいはこれらの積層体などを使用でき
る。基材23の厚さは特に限定されないが、通常０．０２
ｍｍから０．２ｍｍ程度である。
であれば特に限定されず、例えば、ポリプロピレン、ポ
リエステル、塩化ビニル等のプラスチックフィルム、
紙、合成紙、あるいはこれらの積層体などを使用でき
る。基材23の厚さは特に限定されないが、通常０．０２
ｍｍから０．２ｍｍ程度である。
【００１５】粘着剤層24を構成する粘着剤の種類として
は特に限定されず、例えば、アクリル系粘着剤、ゴム系
粘着剤、ウレタン系粘着剤、オレフィン系粘着剤などを
使用できる。これらの中でもアクリル系粘着剤やゴム系
粘着剤を用いる場合が多い。この粘着剤層24の厚さは、
除塵用ローラー３からの塵埃除去性能等を考慮して適宜
設定できるが、通常５μｍ〜２００μｍ、好ましくは１
０μｍ〜５０μｍ程度である。
は特に限定されず、例えば、アクリル系粘着剤、ゴム系
粘着剤、ウレタン系粘着剤、オレフィン系粘着剤などを
使用できる。これらの中でもアクリル系粘着剤やゴム系
粘着剤を用いる場合が多い。この粘着剤層24の厚さは、
除塵用ローラー３からの塵埃除去性能等を考慮して適宜
設定できるが、通常５μｍ〜２００μｍ、好ましくは１
０μｍ〜５０μｍ程度である。
【００１６】基材23のうち粘着剤層24とは反対側の面に
は、必要に応じて、例えば長鎖アルキル基含有ポリマー
などからなる剥離剤層を設けることができる。
は、必要に応じて、例えば長鎖アルキル基含有ポリマー
などからなる剥離剤層を設けることができる。
【００１７】本発明の除塵装置は、上記除塵用ローラー
３の外周層32を構成する非シリコーン系弾性体の溶解度
パラメーター（ＳＰ値）δAと上記粘着テープローラー
２の粘着剤層24を構成する粘着剤の溶解度パラメーター
（ＳＰ値）δBとの差Δδ（絶対値）が、１．０［Ｊ／
ｃｍ3］1/2以上（例えば、１．０〜８．０［Ｊ／ｃ
ｍ 3］1/2程度）、好ましくは２．０［Ｊ／ｃｍ3］1/2以
上（例えば、２．０〜６．０［Ｊ／ｃｍ3］1/2程度）と
なるような除塵用ローラー３と粘着テープローラー２と
の組み合わせにより構成される。
３の外周層32を構成する非シリコーン系弾性体の溶解度
パラメーター（ＳＰ値）δAと上記粘着テープローラー
２の粘着剤層24を構成する粘着剤の溶解度パラメーター
（ＳＰ値）δBとの差Δδ（絶対値）が、１．０［Ｊ／
ｃｍ3］1/2以上（例えば、１．０〜８．０［Ｊ／ｃ
ｍ 3］1/2程度）、好ましくは２．０［Ｊ／ｃｍ3］1/2以
上（例えば、２．０〜６．０［Ｊ／ｃｍ3］1/2程度）と
なるような除塵用ローラー３と粘着テープローラー２と
の組み合わせにより構成される。
【００１８】前記Δδが１．０［Ｊ／ｃｍ3］1/2以上で
ある場合には、除塵用ローラー３に粘着テープローラー
２を接触させた状態で使用しても除塵用ローラー３と粘
着テープローラー２との密着強度が強くなり過ぎること
はなく、除塵用ローラー３の回転が阻害されたり、粘着
テープローラー２の粘着剤層24を構成する粘着剤が除塵
用ローラー３に取られてしまうといった不具合が発生し
ない。そのため、除塵用ローラー３の外周層32に付着し
た塵埃を粘着テープローラー２の粘着剤層24に円滑に移
行させつつ、除塵対象物４からの塵埃の除去作業を効率
よく行うことができる。これに対して、前記Δδが１．
０［Ｊ／ｃｍ3］1/2未満である場合には、除塵用ローラ
ー３と粘着テープローラー２とが強く密着して上記の不
具合が発生する。
ある場合には、除塵用ローラー３に粘着テープローラー
２を接触させた状態で使用しても除塵用ローラー３と粘
着テープローラー２との密着強度が強くなり過ぎること
はなく、除塵用ローラー３の回転が阻害されたり、粘着
テープローラー２の粘着剤層24を構成する粘着剤が除塵
用ローラー３に取られてしまうといった不具合が発生し
ない。そのため、除塵用ローラー３の外周層32に付着し
た塵埃を粘着テープローラー２の粘着剤層24に円滑に移
行させつつ、除塵対象物４からの塵埃の除去作業を効率
よく行うことができる。これに対して、前記Δδが１．
０［Ｊ／ｃｍ3］1/2未満である場合には、除塵用ローラ
ー３と粘着テープローラー２とが強く密着して上記の不
具合が発生する。
【００１９】上記の溶解度パラメーター（ＳＰ値）δA
及びδBは、例えば以下の方法により求められる。すな
わち、前記非シリコーン系弾性体又は粘着剤を溶解度パ
ラメーター（ＳＰ値）の異なる数種類（少なくとも３種
類）の溶剤中に浸漬して、非シリコーン系弾性体又は粘
着剤の膨潤度を測定し、膨潤度が最大を示す溶剤の溶解
度パラメーター（ＳＰ値）を該非シリコーン系弾性体又
は粘着剤の溶解度パラメーター（ＳＰ値）（代表値）と
定める。なお、前記溶剤の溶解度パラメーター（ＳＰ
値）は、フェーダー（Ｆｅｄｏｒｓ）法による計算又は
既知のデータ集により得ることができる。
及びδBは、例えば以下の方法により求められる。すな
わち、前記非シリコーン系弾性体又は粘着剤を溶解度パ
ラメーター（ＳＰ値）の異なる数種類（少なくとも３種
類）の溶剤中に浸漬して、非シリコーン系弾性体又は粘
着剤の膨潤度を測定し、膨潤度が最大を示す溶剤の溶解
度パラメーター（ＳＰ値）を該非シリコーン系弾性体又
は粘着剤の溶解度パラメーター（ＳＰ値）（代表値）と
定める。なお、前記溶剤の溶解度パラメーター（ＳＰ
値）は、フェーダー（Ｆｅｄｏｒｓ）法による計算又は
既知のデータ集により得ることができる。
【００２０】前記非シリコーン系弾性体又は粘着剤の膨
潤度は以下のようにして測定することができる。 （１）測定に用いるテフロン（登録商標）膜（１０ｃｍ
角程度）及びタコ糸（１２ｃｍ程度）を精秤する（Ａ
ｇ）。 （２）非シリコーン系弾性体（又は前記粘着剤）約０．
５〜１ｇを上記テフロン膜とタコ糸とを用いて包む。 （３）前記（２）で作製した包みを精秤し、（１）で測
定したテフロン膜とタコ糸の重量を差し引き、試料重量
とする（Ｂｇ）。 （４）上記の包みを５０〜３００ｍｌのガラス瓶に入
れ、測定の対象とする溶剤を加えて蓋をし、室温で７日
間浸漬する。 （５）包みを取り出し、テフロン膜に付いた溶剤を手早
く拭き取り、精秤する（Ｃｇ）。 （６）これを乾燥器にて１３０℃で２時間乾燥させる。 （７）乾燥後の包みを精秤する（Ｄｇ）。 （８）次式により膨潤度を算出する。 膨潤度（％）＝｛（Ｃ−Ａ）／（Ｄ−Ａ）｝×１００
潤度は以下のようにして測定することができる。 （１）測定に用いるテフロン（登録商標）膜（１０ｃｍ
角程度）及びタコ糸（１２ｃｍ程度）を精秤する（Ａ
ｇ）。 （２）非シリコーン系弾性体（又は前記粘着剤）約０．
５〜１ｇを上記テフロン膜とタコ糸とを用いて包む。 （３）前記（２）で作製した包みを精秤し、（１）で測
定したテフロン膜とタコ糸の重量を差し引き、試料重量
とする（Ｂｇ）。 （４）上記の包みを５０〜３００ｍｌのガラス瓶に入
れ、測定の対象とする溶剤を加えて蓋をし、室温で７日
間浸漬する。 （５）包みを取り出し、テフロン膜に付いた溶剤を手早
く拭き取り、精秤する（Ｃｇ）。 （６）これを乾燥器にて１３０℃で２時間乾燥させる。 （７）乾燥後の包みを精秤する（Ｄｇ）。 （８）次式により膨潤度を算出する。 膨潤度（％）＝｛（Ｃ−Ａ）／（Ｄ−Ａ）｝×１００
【００２１】上記の測定法において、粘度の高い溶剤を
使用する場合には、テフロン膜の代わりにナイロン紗を
用いることができる。また、高沸点溶剤を使用する場合
には、乾燥温度を該溶剤の沸点付近に設定する。
使用する場合には、テフロン膜の代わりにナイロン紗を
用いることができる。また、高沸点溶剤を使用する場合
には、乾燥温度を該溶剤の沸点付近に設定する。
【００２２】ポリイソブチレンなどの未架橋で溶剤に全
て溶出するような非シリコーン系弾性体又は粘着剤につ
いては、溶剤浸漬時間を短くし、上記と同様に測定して
非シリコーン系弾性体又は粘着剤の溶解度パラメーター
（ＳＰ値）を求めることができる。また、その実験結果
より非シリコーン系弾性体又は粘着剤の溶出速度を求
め、溶出速度の最も速い溶剤の溶解度パラメーター（Ｓ
Ｐ値）を該非シリコーン系弾性体又は粘着剤の溶解度パ
ラメーター（ＳＰ値）（代表値）とすることもできる。
て溶出するような非シリコーン系弾性体又は粘着剤につ
いては、溶剤浸漬時間を短くし、上記と同様に測定して
非シリコーン系弾性体又は粘着剤の溶解度パラメーター
（ＳＰ値）を求めることができる。また、その実験結果
より非シリコーン系弾性体又は粘着剤の溶出速度を求
め、溶出速度の最も速い溶剤の溶解度パラメーター（Ｓ
Ｐ値）を該非シリコーン系弾性体又は粘着剤の溶解度パ
ラメーター（ＳＰ値）（代表値）とすることもできる。
【００２３】なお、非シリコーン系弾性体又は粘着剤の
ポリマーの溶解度パラメーター（ＳＰ値）について、
「Polymer Handbook」（John Wiley & Sons, Inc.発
行）等の文献に、過去の実験により（又は計算により）
求められた値が記載されている場合には、その値を本発
明における非シリコーン系弾性体又は粘着剤の溶解度パ
ラメーター（ＳＰ値）δA又はδBとして採用してもよ
い。
ポリマーの溶解度パラメーター（ＳＰ値）について、
「Polymer Handbook」（John Wiley & Sons, Inc.発
行）等の文献に、過去の実験により（又は計算により）
求められた値が記載されている場合には、その値を本発
明における非シリコーン系弾性体又は粘着剤の溶解度パ
ラメーター（ＳＰ値）δA又はδBとして採用してもよ
い。
【００２４】本発明の除塵装置はプリント基板、液晶板
等の各種電子材料などに付着した塵埃を除去するのに有
用である。なお、一定量の除塵対象物を処理した後に
は、粘着テープ22を巻き戻して塵埃が付着している部分
を切除することにより新しい粘着剤層を露出させ、再び
同様にして除塵操作を行うことができる。
等の各種電子材料などに付着した塵埃を除去するのに有
用である。なお、一定量の除塵対象物を処理した後に
は、粘着テープ22を巻き戻して塵埃が付着している部分
を切除することにより新しい粘着剤層を露出させ、再び
同様にして除塵操作を行うことができる。
【００２５】
【実施例】以下に、実施例に基づいて本発明をより詳細
に説明するが、本発明はこれらの実施例により限定され
るものではない。なお、除塵用ローラーの外周層を構成
する弾性体の溶解度パラメーター（ＳＰ値）及び粘着テ
ープローラーの粘着剤の溶解度パラメーター（ＳＰ値）
は次の方法により求めた。すなわち、フェーダーの式に
より数種類の溶剤のＳＰ値を求め、その溶剤を用いて試
料の膨潤度を測定し、膨潤度の最大となった溶剤のＳＰ
値をその試料のＳＰ値の代表値とした。
に説明するが、本発明はこれらの実施例により限定され
るものではない。なお、除塵用ローラーの外周層を構成
する弾性体の溶解度パラメーター（ＳＰ値）及び粘着テ
ープローラーの粘着剤の溶解度パラメーター（ＳＰ値）
は次の方法により求めた。すなわち、フェーダーの式に
より数種類の溶剤のＳＰ値を求め、その溶剤を用いて試
料の膨潤度を測定し、膨潤度の最大となった溶剤のＳＰ
値をその試料のＳＰ値の代表値とした。
【００２６】実施例１ （除塵用ローラー）６５０ｍｍ×４０ｍｍφの芯材の外
周に、ブチルゴムを主成分とした溶解度パラメーター
（ＳＰ値）が１５．８［Ｊ／ｃｍ3］1/2の弾性体を同心
円状に厚さ１０ｍｍで成形し、表面を平滑に仕上げて除
塵用ローラーを作製した。 （粘着テープローラー）厚さ６０μｍのポリプロピレン
フィルム（基材）の片面に溶解度パラメーター（ＳＰ
値）が１９．０［Ｊ／ｃｍ3］1/2のアクリル系粘着剤を
厚さが２０μｍになるように塗布して粘着剤層を形成
し、粘着テープを得た。この粘着テープを、６００ｍｍ
×７５ｍｍφの円筒状芯材に粘着剤層を外側に向けて巻
装して粘着テープローラーを作製した。 （除塵装置）上記の除塵用ローラーと粘着テープローラ
ーとを用いて図１のような除塵装置を作製した。この除
塵装置において、除塵用ローラーの外周層を構成する弾
性体の溶解度パラメーター（ＳＰ値）と粘着テープロー
ラーの粘着剤の溶解度パラメーター（ＳＰ値）との差は
３．２［Ｊ／ｃｍ3］1/2である。
周に、ブチルゴムを主成分とした溶解度パラメーター
（ＳＰ値）が１５．８［Ｊ／ｃｍ3］1/2の弾性体を同心
円状に厚さ１０ｍｍで成形し、表面を平滑に仕上げて除
塵用ローラーを作製した。 （粘着テープローラー）厚さ６０μｍのポリプロピレン
フィルム（基材）の片面に溶解度パラメーター（ＳＰ
値）が１９．０［Ｊ／ｃｍ3］1/2のアクリル系粘着剤を
厚さが２０μｍになるように塗布して粘着剤層を形成
し、粘着テープを得た。この粘着テープを、６００ｍｍ
×７５ｍｍφの円筒状芯材に粘着剤層を外側に向けて巻
装して粘着テープローラーを作製した。 （除塵装置）上記の除塵用ローラーと粘着テープローラ
ーとを用いて図１のような除塵装置を作製した。この除
塵装置において、除塵用ローラーの外周層を構成する弾
性体の溶解度パラメーター（ＳＰ値）と粘着テープロー
ラーの粘着剤の溶解度パラメーター（ＳＰ値）との差は
３．２［Ｊ／ｃｍ3］1/2である。
【００２７】実施例２ （除塵用ローラー）６５０ｍｍ×４０ｍｍφの芯材の外
周に、アクリルゴムを主成分とした溶解度パラメーター
（ＳＰ値）が１８．６［Ｊ／ｃｍ3］1/2の弾性体を同心
円状に厚さ１０ｍｍで成形し、表面を平滑に仕上げて除
塵用ローラーを作製した。 （粘着テープローラー）厚さ６０μｍのポリプロピレン
フィルム（基材）の片面に溶解度パラメーター（ＳＰ
値）が１６．４［Ｊ／ｃｍ3］1/2のポリイソブチレンゴ
ムを主成分としたゴム系粘着剤を厚さが２０μｍになる
ように塗布して粘着剤層を形成し、粘着テープを得た。
この粘着テープを、６００ｍｍ×７５ｍｍφの円筒状芯
材に粘着剤層を外側に向けて巻装して粘着テープローラ
ーを作製した。 （除塵装置）上記の除塵用ローラーと粘着テープローラ
ーとを用いて図１のような除塵装置を作製した。この除
塵装置において、除塵用ローラーの外周層を構成する弾
性体の溶解度パラメーター（ＳＰ値）と粘着テープロー
ラーの粘着剤の溶解度パラメーター（ＳＰ値）との差は
２．２［Ｊ／ｃｍ3］1/2である。
周に、アクリルゴムを主成分とした溶解度パラメーター
（ＳＰ値）が１８．６［Ｊ／ｃｍ3］1/2の弾性体を同心
円状に厚さ１０ｍｍで成形し、表面を平滑に仕上げて除
塵用ローラーを作製した。 （粘着テープローラー）厚さ６０μｍのポリプロピレン
フィルム（基材）の片面に溶解度パラメーター（ＳＰ
値）が１６．４［Ｊ／ｃｍ3］1/2のポリイソブチレンゴ
ムを主成分としたゴム系粘着剤を厚さが２０μｍになる
ように塗布して粘着剤層を形成し、粘着テープを得た。
この粘着テープを、６００ｍｍ×７５ｍｍφの円筒状芯
材に粘着剤層を外側に向けて巻装して粘着テープローラ
ーを作製した。 （除塵装置）上記の除塵用ローラーと粘着テープローラ
ーとを用いて図１のような除塵装置を作製した。この除
塵装置において、除塵用ローラーの外周層を構成する弾
性体の溶解度パラメーター（ＳＰ値）と粘着テープロー
ラーの粘着剤の溶解度パラメーター（ＳＰ値）との差は
２．２［Ｊ／ｃｍ3］1/2である。
【００２８】比較例１ 実施例１で得た除塵用ローラーと実施例２で得た粘着テ
ープローラーとを用いて図１のような除塵装置を作製し
た。この除塵装置において、除塵用ローラーの外周層を
構成する弾性体の溶解度パラメーター（ＳＰ値）と粘着
テープローラーの粘着剤の溶解度パラメーター（ＳＰ
値）との差は、０．６［Ｊ／ｃｍ3］1/2である。
ープローラーとを用いて図１のような除塵装置を作製し
た。この除塵装置において、除塵用ローラーの外周層を
構成する弾性体の溶解度パラメーター（ＳＰ値）と粘着
テープローラーの粘着剤の溶解度パラメーター（ＳＰ
値）との差は、０．６［Ｊ／ｃｍ3］1/2である。
【００２９】比較例２ 実施例２で得た除塵用ローラーと実施例１で得た粘着テ
ープローラーとを用いて図１のような除塵装置を作製し
た。この除塵装置において、除塵用ローラーの外周層を
構成する弾性体の溶解度パラメーター（ＳＰ値）と粘着
テープローラーの粘着剤の溶解度パラメーター（ＳＰ
値）との差は、０．４［Ｊ／ｃｍ3］1/2である。
ープローラーとを用いて図１のような除塵装置を作製し
た。この除塵装置において、除塵用ローラーの外周層を
構成する弾性体の溶解度パラメーター（ＳＰ値）と粘着
テープローラーの粘着剤の溶解度パラメーター（ＳＰ
値）との差は、０．４［Ｊ／ｃｍ3］1/2である。
【００３０】評価試験１ 実施例および比較例で得た除塵装置の性能を比較するた
めに、除塵用ローラーと粘着テープローラーとを接触し
て回転させた状態で２４時間連続運転し、除塵用ローラ
ーと粘着テープローラーの密着が強くなり過ぎることに
よる回転阻害、粘着テープローラーの粘着剤の除塵用ロ
ーラーへの取られを以下のようにして評価した。その結
果を表１に示す。 （回転阻害評価）実施例及び比較例で得た除塵装置のト
ルクモーターの抵抗値を一定にし、除塵用ローラーの回
転数を測定した。 （粘着剤の取られ）粘着テープローラーの粘着剤の除塵
用ローラーへの取られの有無を目視観察し、以下の基準
で評価した。 ○：粘着剤の取られは見られなかった。 ×：粘着剤の取られが見られた。
めに、除塵用ローラーと粘着テープローラーとを接触し
て回転させた状態で２４時間連続運転し、除塵用ローラ
ーと粘着テープローラーの密着が強くなり過ぎることに
よる回転阻害、粘着テープローラーの粘着剤の除塵用ロ
ーラーへの取られを以下のようにして評価した。その結
果を表１に示す。 （回転阻害評価）実施例及び比較例で得た除塵装置のト
ルクモーターの抵抗値を一定にし、除塵用ローラーの回
転数を測定した。 （粘着剤の取られ）粘着テープローラーの粘着剤の除塵
用ローラーへの取られの有無を目視観察し、以下の基準
で評価した。 ○：粘着剤の取られは見られなかった。 ×：粘着剤の取られが見られた。
【００３１】
【表１】
【００３２】評価試験２ 人工的に塵埃で汚したプラスチックシートを実施例の除
塵装置に通し、除塵性を評価した。その結果、プラスチ
ックシート、除塵用ローラーのクリーニングされた状
態、および粘着テープローラーへの転写した塵埃による
汚れ状態から、実施例の装置について十分な除塵効果を
確認できた。
塵装置に通し、除塵性を評価した。その結果、プラスチ
ックシート、除塵用ローラーのクリーニングされた状
態、および粘着テープローラーへの転写した塵埃による
汚れ状態から、実施例の装置について十分な除塵効果を
確認できた。
【００３３】
【発明の効果】本発明によれば、除塵用ローラーに粘着
テープローラーが密着し過ぎることがないので、除塵用
ローラーの回転が阻害されたり、粘着テープローラーの
粘着剤が除塵用ローラーに取られるという問題が生じる
ことがなく、除塵対象物の塵埃を効率よく除去すること
ができる。また、シリコーンゴムのようにシリコーンが
除塵対象物に移行することもないので、プリント基板な
ど電子材料の除塵に用いても、該電子材料に悪影響を及
ぼさない。
テープローラーが密着し過ぎることがないので、除塵用
ローラーの回転が阻害されたり、粘着テープローラーの
粘着剤が除塵用ローラーに取られるという問題が生じる
ことがなく、除塵対象物の塵埃を効率よく除去すること
ができる。また、シリコーンゴムのようにシリコーンが
除塵対象物に移行することもないので、プリント基板な
ど電子材料の除塵に用いても、該電子材料に悪影響を及
ぼさない。
【図１】本発明の除塵装置の使用状態の一例を示す説明
図である。
図である。
【図２】本発明における粘着テープローラーを構成する
粘着テープの一例を示す断面図である。
粘着テープの一例を示す断面図である。
１ 除塵装置 ２ 粘着テープローラー ３ 除塵用ローラー ４ 除塵対象物 21 円筒状芯材 22 粘着テープ 23 基材 24 粘着剤層 31 芯材 32 外周層
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 駒野 秀男 東京都府中市清水が丘１丁目９番地の24 株式会社レヨーン工業内 Ｆターム(参考） 3B116 AA02 AA03 AA46 AB14 BC07 CD23
Claims (1)
- 【請求項１】 除塵対象物の表面に回転しながら接触し
て前記表面の塵埃を付着させて除去する除塵用ローラー
と、該除塵用ローラーの外周面と周面接触しながら回転
して該外周面に付着した塵埃を粘着剤層に転写して除去
する粘着テープローラーとを備えた除塵装置であって、
上記除塵用ローラーの外周層が非シリコーン系弾性体で
構成され、且つ該非シリコーン系弾性体の溶解度パラメ
ーター（ＳＰ値）δAと前記粘着テープローラーの粘着
剤層を構成する粘着剤の溶解度パラメーター（ＳＰ値）
δBとの差Δδが、１．０［Ｊ／ｃｍ3］1/2以上である
ことを特徴とする除塵装置。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000211881A JP2002028596A (ja) | 2000-07-12 | 2000-07-12 | 除塵装置 |
| US09/902,638 US20020023307A1 (en) | 2000-07-12 | 2001-07-12 | Dust remover |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2000211881A JP2002028596A (ja) | 2000-07-12 | 2000-07-12 | 除塵装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JP2002028596A true JP2002028596A (ja) | 2002-01-29 |
Family
ID=18707906
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2000211881A Pending JP2002028596A (ja) | 2000-07-12 | 2000-07-12 | 除塵装置 |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US20020023307A1 (ja) |
| JP (1) | JP2002028596A (ja) |
Cited By (11)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2009279921A (ja) * | 2008-04-23 | 2009-12-03 | Toshiba Corp | ローラのクリ−ニング装置及びこのクリ−ニング装置を用いた印刷装置 |
| JP2012503538A (ja) * | 2008-09-26 | 2012-02-09 | ティーエイチ グループ リミテッド | 洗浄用表面構造 |
| JP2012532013A (ja) * | 2009-06-29 | 2012-12-13 | アイティーダブリュ シーエス（ユーケー）リミティド | 粘着シートロールの改良 |
| JP2013173105A (ja) * | 2012-02-24 | 2013-09-05 | Polymer Tech:Kk | 除塵粘着ロールおよび除塵装置 |
| CN103962322A (zh) * | 2014-05-08 | 2014-08-06 | 无锡博一光电科技有限公司 | Pol表面清洁粘尘机 |
| JP2015178091A (ja) * | 2014-02-25 | 2015-10-08 | バンドー化学株式会社 | クリーニング装置、粘着ローラユニット及び粘着ローラ |
| CN105921465A (zh) * | 2016-06-22 | 2016-09-07 | 京东方科技集团股份有限公司 | 清胶装置 |
| CN107297366A (zh) * | 2017-08-15 | 2017-10-27 | 浙江欧易新能源有限公司 | 一种导光板粘尘设备 |
| CN110743834A (zh) * | 2019-10-25 | 2020-02-04 | 上海精测半导体技术有限公司 | 显示面板切割载台清洁装置及显示面板制造设备 |
| CN110871200A (zh) * | 2018-09-04 | 2020-03-10 | 航天信息股份有限公司 | 清洁机构及单卡清洁系统 |
| CN111842257A (zh) * | 2019-04-30 | 2020-10-30 | 志圣工业股份有限公司 | 自动清洁底片装置 |
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| US8429787B2 (en) * | 2005-07-27 | 2013-04-30 | Zih Corp. | Dual use cleaning apparatus and method |
| US7882590B2 (en) * | 2005-07-27 | 2011-02-08 | Zih Corp. | Double-sided media cleaning apparatus and method |
| US20090324823A1 (en) * | 2006-11-28 | 2009-12-31 | Ulvac, Inc. | Roll-to-roll vacuum deposition method and roll-to-roll vacuum deposition apparatus |
| KR20080051961A (ko) * | 2006-12-07 | 2008-06-11 | 한국전자통신연구원 | 플렉시블 기판의 세정 방법 |
| JP2009088244A (ja) * | 2007-09-28 | 2009-04-23 | Tokyo Electron Ltd | 基板クリーニング装置、基板処理装置、基板クリーニング方法、基板処理方法及び記憶媒体 |
| US20110041274A1 (en) * | 2009-08-20 | 2011-02-24 | Kumar Ogale | Cleaning article |
| CN103240252B (zh) * | 2011-01-13 | 2015-12-09 | 深圳市宇顺电子股份有限公司 | 一种自动清洁玻璃表面的擦拭方法 |
| CN103223414B (zh) * | 2011-01-13 | 2015-06-24 | 深圳市宇顺电子股份有限公司 | 一种自动清洁玻璃表面的刮铲方法 |
| US8984697B2 (en) | 2011-06-01 | 2015-03-24 | S.C. Johnson & Son, Inc. | Quick pickup device for debris on any surface with positive capture |
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| DE102014102651B4 (de) * | 2013-03-15 | 2020-12-17 | Taiwan Semiconductor Manufacturing Company, Ltd. | Lithographiesystem mit eingebettetem Reinigungsmodul und Lithographie-Belichtungsverfahren |
| GB2574179B (en) * | 2018-03-12 | 2021-06-30 | Illinois Tool Works | Contact cleaning surface assembly |
| GB2578134B (en) * | 2018-10-18 | 2021-06-30 | Illinois Tool Works | Low static contact cleaning system |
| CN112452948A (zh) * | 2020-10-21 | 2021-03-09 | 苏州天准科技股份有限公司 | 硅胶辊轮清洁装置及清洁设备 |
| CN112371598A (zh) * | 2020-11-30 | 2021-02-19 | 东营大海科林光电有限公司 | 一种光伏底板除尘除锈装置及其使用方法 |
| CN113770125B (zh) * | 2021-11-10 | 2022-02-11 | 苏州佳祺仕信息科技有限公司 | 一种清洁机构、转盘型检测系统及清洁方法 |
-
2000
- 2000-07-12 JP JP2000211881A patent/JP2002028596A/ja active Pending
-
2001
- 2001-07-12 US US09/902,638 patent/US20020023307A1/en not_active Abandoned
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