JP2012503538A - 洗浄用表面構造 - Google Patents
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Abstract
Description
洗浄用表面の少なくとも一部が微視的に粗面となっており、微視的な粗面が、汚染された面から小さい汚染粒子の捕集および/または除去の増進を可能にすることを特徴とするものである。
汚染された表面からの小さい汚染粒子の捕集および/または除去を増進するため、微視的粗面とした洗浄用表面を準備し;
汚染された表面に対し、洗浄用表面を接触させ、および/または、押し付け;
汚染された表面に対し洗浄用表面を接触させ、および/または、押し付けることで、汚染された表面上の小さい微視的汚染粒子の少なくとも一部あるいは実質的に全部が、捕集および/または除去される;工程を備える。
汚染された表面から汚染した小さい粒子を除去することができる、回転可能に搭載された表面洗浄ローラーと;
回転可能に搭載された表面洗浄ローラー上に捕集された汚染した小さい粒子を除去することができる、回転可能に搭載された接着ローラーと;
回転可能に搭載された表面洗浄ローラーに対し、小さい粒子で汚染された表面を押し付けることができる手段と;を備え、
回転可能に搭載された表面洗浄ローラーの表面の少なくとも一部が微視的粗面とされており、微視的粗面が汚染された表面からの小さい微視的汚染粒子の捕集および/または除去を増進する。
汚染された表面から汚染された小さい粒子を除去可能な、回転可能に搭載された表面洗浄ローラーを準備する工程と;
回転可能に搭載された表面洗浄ローラー上に捕集された汚染された小さい粒子を除去可能な、回転可能に搭載された接着ローラーを準備する工程と;
回転可能に搭載された表面洗浄ローラーに対し、小さい粒子で汚染された表面を押し付けることが可能な手段を準備する工程と;を備え、
回転可能に搭載された表面洗浄ローラーの表面の少なくとも一部が微視的粗面とされており、微視的粗面が汚染された表面からの小さい微視的汚染粒子の捕集および/または除去を増進できる。
Claims (28)
- 洗浄用表面を備え、
洗浄用表面の少なくとも一部が微視的に粗面となっており、前記微視的な粗面が、汚染された面から小さい汚染粒子の捕集および/または除去の増進を可能にすることを特徴とする接触洗浄用表面構造。 - 洗浄用表面の全体または実質的に全体が微視的に粗面となっており、汚染粒子の捕集および/または除去の効率を増加させる、請求項1に記載の接触洗浄用表面構造。
- 微視的に粗面とされた洗浄用表面が、洗浄用表面および小さい汚染粒子との間の接触表面積を増加および/または最大とする、請求項1または2に記載の接触洗浄用表面構造。
- 微視的粗面が小さい汚染粒子を捕捉および/または除去することができるくぼみを備える、請求項1〜3のいずれか1項に記載の接触洗浄用表面構造。
- 微視的粗面が任意または一定のパターンで複数のくぼみを備える、請求項1〜4のいずれか1項に記載の接触洗浄用表面構造。
- くぼみの形状および/または大きさが実質的に均一である、請求項4または5に記載の接触洗浄用表面構造。
- くぼみの形状および/または大きさが実質的に不均一であり、そのため、大きさの範囲が広がり、それによって、汚染粒子の異なる大きさの範囲にわたって、汚染粒子の捕集および/または除去の増進を可能にする洗浄用表面構造を提供する、請求項4または5に記載の接触洗浄用表面構造。
- 洗浄用表面が、機械手段、成形手段、および/または、レーザ構造化手段を使用して、微視的粗面とされている、請求項1〜7のいずれか1項に記載の接触洗浄用表面構造。
- 微視的粗面が、汚染粒子の形状および/または大きさと一致または実質的に一致するよう特別に設計された一連のくぼみを備える、請求項1〜8のいずれか1項に記載の接触洗浄用表面構造。
- 微視的粗面が:約10μm(10,000nm)未満;約5μm(5,000nm)未満;約1μm(1,000nm)未満;約0.1μm(100nm)未満;約0.01μm(10nm)未満;または約0.005μm(5nm)未満;のいずれかの範囲あるいはいずれかを組み合わせた範囲に存在する断面の直径および/または深さを有するくぼみを備える、請求項1〜9のいずれか1項に記載の接触洗浄用表面構造。
- 微視的粗面が:約1nmから約10μm(10,000nm);約10nmから約10μm(10,000nm);約10nmから約1μm(1,000nm);約10nmから約0.1μm(100nm);または約1nmから約0.01μm(10nm);のいずれかの範囲あるいはいずれかを組み合わせた範囲に存在する断面の直径および/または深さを有するくぼみを備える、請求項1〜10のいずれか1項に記載の接触洗浄用表面構造。
- 微視的粗面が、汚染粒子の量の約20%、30%、40%、50%、60%、70%または80%がくぼみの中にはめ込み可能な大きさおよび形状のくぼみを備える、請求項1〜11のいずれか1項に記載の接触洗浄用表面構造。
- 微視的粗面がくぼみを備え、汚染粒子の表面積の約20%、30%、40%、50%、60%70%または80%が洗浄用表面上のくぼみの表面と接触することが可能である、請求項1〜12のいずれか1項に記載の接触洗浄用表面構造。
- 洗浄用表面が、エラストマー材料から成るか、あるいは、エラストマー材料を備える、請求項1〜13のいずれか1項に記載の接触洗浄用表面構造。
- 洗浄用表面が、洗浄すべき表面に対し、回転および/または押し付けが可能なローラーまたは実質的に円筒形状のローラーの形である、請求項1〜14のいずれか1項に記載の接触洗浄用表面構造。
- 小さい微視的粒子で汚染された表面の洗浄方法であって、その方法が:
汚染された表面からの小さい汚染粒子の捕集および/または除去を増進するため、微視的粗面とした洗浄用表面を準備し;
汚染された表面に対し、洗浄用表面を接触させ、および/または、押し付け;
汚染された表面に対し洗浄用表面を接触させ、および/または、押し付けることで、汚染された表面上の小さい微視的汚染粒子の少なくとも一部あるいは実質的に全部が、捕集および/または除去される;工程を備えることを特徴とする、小さい微視的粒子で汚染された表面の洗浄方法。 - 洗浄用表面の全体または実質的全体が微視的に粗面となっており、汚染粒子の除去の効率を増進させる、請求項16に記載の小さい微視的粒子で汚染された表面の洗浄方法。
- 微視的粗面が:約10μm(10,000nm)未満;約5μm(5,000nm)未満;約1μm(1,000nm)未満;約0.1μm(100nm)未満;約0.01μm(10nm)未満;または約0.005μm(5nm)未満;のいずれかの範囲あるいはいずれかを組み合わせた範囲に存在する断面の直径および/または深さを有するくぼみを備える、請求項16または17に記載の小さい微視的粒子で汚染された表面の洗浄方法。
- 微視的粗面が:約1nmから約10μm(10,000nm);約10nmから約10μm(10,000nm);約10nmから約1μm(1,000nm);約10nmから約0.1μm(100nm);または約1nmから約0.01μm(10nm);のいずれかの範囲あるいはいずれかを組み合わせた範囲に存在する断面の直径および/または深さを有するくぼみを備える、請求項16〜18のいずれか1項に記載の小さい微視的粒子で汚染された表面の洗浄方法。
- 微視的粗面が、異なる大きさの汚染粒子の捕集または除去を許容する異なる断面の直径および/または深さの組合せを有するくぼみを備える、請求項16〜19のいずれか1項に記載の小さい微視的粒子で汚染された表面の洗浄方法。
- 汚染された表面を洗浄するための表面洗浄装置であって、前記表面洗浄装置が:
汚染された表面から汚染した小さい粒子を除去することができる、回転可能に搭載された表面洗浄ローラーと;
回転可能に搭載された表面洗浄ローラー上に捕集された汚染した小さい粒子を除去することができる、回転可能に搭載された接着ローラーと;
回転可能に搭載された表面洗浄ローラーに対し、小さい粒子で汚染された表面を押し付けることができる手段と;を備え、
回転可能に搭載された表面洗浄ローラーの表面の少なくとも一部が微視的粗面とされており、微視的粗面が汚染された表面からの小さい微視的汚染粒子の捕集および/または除去を増進することを特徴とする汚染された表面を洗浄するための表面洗浄装置。 - 回転可能に搭載された表面洗浄用ローラーに対し、小さい粒子で汚染された表面を押し付ける手段が、回転可能に搭載された接着ローラーに実質的に対向して搭載されている、請求項21に記載の汚染された表面を洗浄するための表面洗浄装置。
- 電動手段が、回転可能に搭載された表面洗浄ローラーおよび回転可能に搭載された接着ローラーを駆動するために設けられている、請求項21または22に記載の汚染された表面を洗浄するための表面洗浄装置。
- 装置が、洗浄される基板の両側に、一対の回転可能に搭載された表面洗浄ローラーおよび回転可能に搭載された接着ローラーを備える、請求項21〜23のいずれか1項に記載の汚染された表面を洗浄するための表面洗浄装置。
- 装置が、プラスチック製電子機器、太陽光発電およびフラットパネルディスプレイを含む電子部品の製造に用いられる、請求項21〜24のいずれか1項に記載の汚染された表面を洗浄するための表面洗浄装置。
- 汚染された表面を洗浄するための方法であって、前記方法が:
汚染された表面から汚染された小さい粒子を除去可能な、回転可能に搭載された表面洗浄ローラーを準備する工程と;
回転可能に搭載された表面洗浄ローラー上に捕集された汚染された小さい粒子を除去可能な、回転可能に搭載された接着ローラーを準備する工程と;
回転可能に搭載された表面洗浄ローラーに対し、小さい粒子で汚染された表面を押し付けることが可能な手段を準備する工程と;を備え、
回転可能に搭載された表面洗浄ローラーの表面の少なくとも一部が微視的粗面とされており、微視的粗面が汚染された表面からの小さい微視的汚染粒子の捕集および/または除去を増進できる、ことを特徴とする、汚染された表面を洗浄するための方法。 - 明細書に記載され、および/または、図1に示された、接触洗浄表面構造。
- 明細書に記載され、および/または、図4に示された、表面洗浄装置。
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