JPS61144830A - 洗浄装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は洗浄装置に係シ、特に被洗浄物が順次通過する
際に所定の工程を行う複数の装置を内蔵した洗浄装置に
関する。

〔発明の背景〕

従来の洗浄装置としては、特開昭５７−３６８３３号公
報に示されたもののように、被洗浄物が順次通過する際
に所定の工程を行う複数の装置を有し、この複数の装置
の入口側の装置に洗浄工程を含むものが公知である。こ
の洗浄装置は各個別の装置に夫々独立して清浄空気を供
給するようになっている。

しかし、この洗浄装置は洗浄工程を含む装置から次の工
程の装置への塵埃の流入阻止が不十分であ）、さらに独
立して清浄空気を供給しているため機構的にも複雑なも
のであった。

〔発明の目的〕

本発明の目的はかかる欠陥を解消し、簡単な構成で、且
つ洗浄工程を含む装置から次の工程の装置への塵埃の流
入阻止が十分にできる洗浄装置を提供することにある。

〔発明の概要〕

本発明は、被洗浄物（９）が順次通過する際に所定の工
程を行う複数の載置を内蔵し、この複数の装置の入口側
の装置（２〜５）に洗浄工程を含む洗浄装置において、
前記被洗浄物（９）の移動経路と逆の経路で清浄空気を
前記複数の装置に供給せしめたことを特徴とする洗浄装
置である。

〔発明の実施例〕

以下、本発明の一実施例を第１図〜第８図によシ説明す
る。この洗浄装置１は、第１図および第２図にて明らか
なように、ローダ２、湿式超音波洗浄装置３、シャワリ
ング装置４、スクラバ装置５、電磁波照射形洗浄装置６
、検査ユニット７、アンローダ８を順に結合して１つの
装置としたものである。被洗浄物９は第１図矢印の順に
搬送手段にて移動する。第１図において、清浄空気Ａは
被洗浄物９の移動方向と逆方向に流れるようになってい
る。清浄空気Ａは各装置８，７，５．４゜３．２におけ
る被洗浄物９の上方から下方へ順次・分岐して各装置８
，７，５，４，３．２から発生する塵埃が次の装置で被
洗浄物９に付着しないように配慮されている。又、清浄
空気Ａは洗浄装置１内を送られる際に徐々に汚染される
が、被洗浄物９の移動方向と逆方向に流れることにより
、被洗浄物９が取出される側がきれいな状態であシ、順
方向に流す場合に煉較して被洗浄物９の洗浄を大幅に良
好にできる。この清浄空気Ａは電磁波照射形洗浄装置６
をバイパスするようになっている。

電磁波照射形洗浄装置６には別の清浄空気Ｂを送込むよ
うになっておシ、被洗浄物９に付着した有機物の塵埃が
分解除去され、その炭酸ガスと水蒸気を直ちに装置６外
に排出し、次の工程へ塵埃が送られないようＫなってい
る。清浄空気Ｂの代りに酸素ガスを送り込んでも良く、
酸素ガスを送り込めば装置６にてオゾンの発生を助ける
作用をする。

洗浄装置１内の各装置２〜８は第２図に示すようにＵ字
状に配置されているので、−直線状に配置したものと比
較して長手方向の寸法を半分に縮小することができる。

又、各装置２〜８の駆動部・配管部等をＵ字状に狭まれ
九部分に配置することによシ、被洗浄物９が洗浄装置１
の外側よりこれら駆動部・配管部等に邪魔されることな
く容易に確認した九取出すことができると共に、回転ア
ーム１１の回転途中に予備室６ａ、６ｈのスペースを十
分に確保することができる。

被洗浄物９は、第３図に示すようにステンレス製の搬送
用トレイ１２上に配置された状態で洗浄装置１内に送シ
込まれる。搬送用トレイ１２は真空引穴１２ａと液抜穴
１２ｂと被洗浄物位置決め用ピン１２Ｃを有している。

被洗浄物９は内外周２列に等間隔に配置される。第３図
は被洗浄物９を２行分だけ取付けた状態を示し、他を省
略しであるが、実際には全周にわたって取付けである。

被洗浄物９を載置したトレイ１２は、第４図に示すよう
に２ツク１３に多段に積載されてローダ２に送シ込まれ
る。このトレイ１２はローダ２の昇降テーブル２ａを介
して搬送コンベア２ｂに順次載置され搬送コンベア２ｂ
にて湿式超音波洗浄装置３に至る。

トレイ１２は、この搬送コンベア２ｂからバレン）３ａ
にて湿式超音波洗浄槽３ｂの水中に浸される（第４図の
バレン）３ａの位置は、トレイ１２を水中に浸す前の状
態を示すン。洗浄槽３ｂの底面には振動子３Ｃが取付け
られておシ、この振動子３Ｃを振動させることによシ洗
浄槽３ｂ内の水３ｄを振動させ、被洗浄物表面の塵埃に
振動力を加える。塵埃の大きなもの程、大きな振動力が
加わるので、大きな塵埃から順次被洗浄物表面から遊離
する。大きな塵埃は一般的には無機物が多いので、湿式
超音波洗浄装置３にて主に無機物の塵埃が除去できる。

このように無機物の塵埃を除去することにより、無機物
の背面にかくれていた有機物の塵埃を露出することがで
きる。尚、洗浄槽３ｂ内の水３ｄはオーバーフローさせ
てタンク１４へ導かれ、タンク１４からボ／プ１５にて
フィルタ１６を介して再供給されるようになっておシ、
水中に遊離され九塵埃がフィルタ１６に付着し取り除か
れる。

洗浄槽３ｂにて洗浄が終了すると、パレット３ａは引上
げられ、被洗浄物９を載置したトレイ１２はシャワリン
グ装置４に送られ、シャワリングコンベア４ａに載置さ
れる。被洗浄物９は、シャワリングコンベア４ａにて移
動される際に上方に配置された散水ノズル４ｂから散水
され、洗浄槽３ｂ内で再付着した塵埃が除去される。

シャワリングコンベア４ａさらにスライダー４Ｃにて被
洗浄物９はスクラバ装置５に送られる。

スクラバ装置５は中央にテープ／％１５８を有しておシ
、そのテーブル５ａ上に載置された被洗浄物９の上面を
リンスノズル５ｄから純水を噴射しながらブラシスクラ
バ５ｂが接触して、それにへばシつい九有機物および無
機物を剥離する。湿式超音波洗浄装置３にて被洗浄物９
にへばりつい九無機物はある程度浮き上った状態になっ
ているので、このブラシスクラバ５ｂの効果が一層高い
ものとなる。次いで、テーブル５ａの上方に配置された
ジュツトスクラバ５Ｃよシ水を噴射して剥離した有機物
および無機物を被洗浄物９の表面より排除する。さらに
リンスノズル５ｄにより純水噴射を行ない、テーブル５
ａを高速回転し、Ｎ２ガスをブローノズルよシ噴射する
ことにより被洗浄物９とトレイ１２を乾燥する。テーブ
ル５３には搬送用トレイ１２の真空引穴１２ａに合致す
る真空引穴１２ａが設けられており、この真空引穴１２
ａを介して真空に引いて被洗浄物９をテーブル５ａに固
定させている。この洗浄が終了すると、真空引を止めて
被洗浄物９を次の搬送コンベア１７にスライダー４Ｃに
よシ装置する。

搬送コンベア１７にて送られてき九被洗浄物９は回転ア
ーム１１の先端に載置され、回転アーム１１が回転して
被洗浄物９をまず電磁波照射形洗浄装置６の前室６ａに
送る。前室６ａの入口と出口にはシャッタ６ｂ、・６Ｃ
が設けられており、被洗浄物９が通過するときのみ開く
。この前室６ａは重置６ｄにて発生したオゾンおよび酸
素ラジカルがスクラバ装置５内へ流出しないようにする
ために設は友ものである。回転アーム１１は更に回転し
て被洗浄物９を本家６ｄ内のテーブル６ｅ上に載置する
。テーブル６ｅは上下動および回動自在となっている。

被洗浄物９の高さが異なる場合、テーブル６Ｃを上下動
させて最適な位置を設定する。テーブル６ｅの上方には
２本の水銀ランプ６ｆと２本の赤外線ランプ６ｇが設け
られている。

水銀ランプ６ｆに通電すると、その紫外線の作用によシ
その周囲の空気がオゾンと酸素ラジカルに分解し、これ
らが被洗浄物９０表面に薄膜状に付着した有機物を攻撃
し、有機物を炭酸ガスと水蒸１、気に酸化分解する。こ
の場合、湿式洗浄装置にて無機物の塵埃が除去されてそ
の背面にかくれていた有機物の塵埃が露出しているので
、この酸化分解は効率よく確実に行うことができる。水
銀ランプ６ｆから発生させる紫外線の波長は１８４．９
ｎｍ或いは２５３．７　ｎ　ｍ付近が効果的である。水
銀ランプ６ｆＫ通電すると共に、赤外線ランプ６ｇに通
電することによプ被洗浄物９０表面の有機物の酸化分解
を促進することができる。赤外線ランプ６ｇは有機物の
分子を励振すると共に、被洗浄物９の表面に残った水分
を蒸発する作用を持つので、乾燥機能を兼用できる。有
機物の除去が完了した後、回転アーム、１８にて被洗浄
物９は重置６ｄから後室６ｈに送られる。後室６ｈの入
口と出口にはシャッタ６１．ａｊが設けられており、被
洗浄物９が通過するときのみ開く。この後室６ｈは重置
６ｄにて発生したオゾンおよび酸素ラジカルが検査ユニ
ット７に流出しないように設けたものである。回転アー
ム１８は更に回転して被洗浄物９を検査ユニット７内の
搬送コンベア７ａに載置する。このコンベア７ａからテ
ーブル７ｂに送られる。このテーブル７ｂは上下動およ
び回転動自在になっている。テーブル７ｂの上方には顕
微鏡７Ｃのカメラ７ｄが設けられている。テーブル７ｂ
に載置された被洗浄物９０表面をカメラ７ｄにて写し、
その結果をディスプレイ７ｅに表示すると共に、自動的
に評価してその結果を前工程の装置２〜６Ｉ’Ｃフイー
ドバツクさせて制御するようになっている。

検査エニット７からは搬送コンベア７ｆにてアンローダ
８に被洗浄物９を送り出し、ラック１３に順次積重ねる
。

清浄空気入は第４図〜第６図、第８図に示すように被洗
浄物９の上方から下方へ分流するようになっているので
、各装置から発生する塵埃が被洗浄物９を汚さないよう
になっていると共に、清浄空気Ａは、被洗浄物９の移動
方向とは逆方向から流しているため、吸き出し部２１は
アンローダ８側１ケ所にすることができるとともにエア
フィルタも各装置ごとに設ける必要がなくなり、各々個
別に流すものに比較して簡単な構成でよい。この実施例
では、洗浄装置１のアンローダ８側に送込み用のクリー
ンエア発生装置１９を設け、エアフィルタ２１を通して
各装置８，７，５，４，３゜２へと送られたのち、ロー
ダ２側に設けられ排出用のファン２０を設けている。さ
らに清浄空気Ｂは、水銀２ンプ６ｆから照射される紫外
線によってオゾンとなるため清浄空気Ａとは分離させ、
電磁波照射形洗浄装置６のみに使用するものである。

前室ｓａｔ装置６ｄ、後室６ｈ内に送風機６ｔで清浄空
気Ｂを送シ、送風機６ｍでオゾンを含んだ清浄空気Ｂを
０３フイルタ６にでフィルタリングしてから排気してい
る。このように清浄空気Ｂを清浄空気Ａから独立させた
ことにより、オゾンおよび酸素ラジカルのみを確実に洗
浄装置１外に排出することができる。

〔発明の効果〕

本発明によれば、簡単な構成で、且つ洗浄工程を含む装
置から次の工程の装置への塵埃、の流入阻止が十分にで
きる洗浄装置を提供することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明洗浄装置の概略説明図、第２図は同洗浄
装置の平面図、第３図は同装置のトレイ斜視図、第４図
〜第８図は同洗浄装置の各部所面図である。 １・・・洗浄装置、２・・・ローダ、３・・・湿式超音
波洗浄装置、４・・・シャワリング装置、５・・・スク
ラバ装置、６・・・電磁波照射形洗浄装置、７・・・検
査ユニット、８・・・アンローダ、９・・・被洗浄物。 第４０ 集　Ｉ 第　６　図 第７　口

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、被洗浄物（９）が順次通過する際に所定の工程を行
   う複数の装置を内蔵し、この複数の装置の入口側の装置
   （２〜５）に洗浄工程を含む洗浄装置において、前記被
   洗浄物（９）の移動経路と逆の経路で清浄空気を前記複
   数の装置に供給せしめたことを特徴とする洗浄装置。 ２、特許請求の範囲第１項において、前記洗浄工程の装
   置を湿式超音波洗浄装置（３）で構成すると共に、その
   後工程の装置を検査ユニット（７）で構成した洗浄装置
   。 ３、特許請求の範囲第１項において、前記洗浄工程の装
   置を湿式超音波洗浄装置（３）で構成すると共に、その
   後工程の装置をスクラバ装置（５）で構成した洗浄装置
   。 ４、特許請求の範囲第１項において、前記洗浄工程の装
   置をスクラバ装置で構成した洗浄装置。