JPS61204941A - 洗浄装置用搬送トレイ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔発明の利用分野〕 本発明は、小物被洗浄物の塵埃を除去するための精密洗
浄装置用の搬送トレイに関する。

〔発明の背景〕

従来ウェファのような円板状の一定形状物の搬送装置は
時分５６−４９４５１等で公知であって第９図のように
、平置した状態のまま直接コンベアやチャックによって
搬送したり加工したりするものである１、四角板状など
円板状以外の形状をもち、。

ウェファよりも小さい対象物に対しては、そのまま利用
することは困難である。

１に、　Ｊｊｈ　＃：　ｉｌ＃　ＩＦ　Ｌｓ　Ｉ＋六泰
凄も１ｍｌ場であって　磁気信号記録部品や水晶振動子
などの精密洗浄にｆま、ウェファ用の洗浄装置を利用す
ることができなかった。

〔発明の目的〕

本発明は、上記間雇点を解決するためになされたもので
、上記小物被洗浄物をウェファに対する洗浄装置と同様
の洗浄装置を用いて塵埃を除去すｒ　　　゛ る、ことが可能な洗浄装置用搬送トレイを提供する〜 −ものである。

〔発明の概要〕

上記目的を達成するためにこの発明は、円板の平面上に
真空引穴と、液抜穴と、位置決めピン七を定置して成る
トレイ上に被洗浄物を微量した状態において、超音波洗
浄装置、シャワリング装置、スクラバ装置などの湿式洗
浄装置及び電ａ彼照射形洗浄装置内を搬送し、連続的に
洗浄を行う上記洗浄装置用搬送トレイに関するものでｂ
るっ〔発明の実施列〕 第１図は、本発明に係る洗浄装置用搬送トレイ１２の一
実施ρりを示す斜視図であって、ステンレス製の円板の
平面に真空引穴１２ａと液抜穴１．２ｂと位置決め用ビ
ンｌ、２Ｃとを有するもので、被洗浄物９は、該トレイ
１２の平面上に、放射状２列に等間隔を保って載置され
る。図中においては、被洗浄物９は半径上に並ぶ２組計
４個を図示し１、かつこのうち２個は断面にて示じであ
るが、他の被洗浄物９は図示を省略しである。

−＼、この１・ｌ／イ１２を用いて多数の被洗浄物９を
、各糧抗浄装置から成る湿式洗浄装置及び屯殊波照射形
代浄装置によって連続的に洗浄処理をおこなう実施例全
第２図〜第８図によって説明する。

第２図は、本発明に係る洗浄装置用搬送トレイを用いた
洗浄装置全体の概要平面及び被洗浄物の洗浄経路並びに
清浄空気の流路を示す図、第３図は、第２図に示す洗浄
鉄りａ内部の構成を示す平面配置図である。

この洗浄装置ｌは、ローダ２、湿式超音波洗浄槽ｆｆ１
３、シャワリング装置４、スクラバ装置５、電磁波照射
洗浄装置６、検査ユニット７、アンローダ８等をｊ１次
並設して−・連の洗浄装置となしｋものである。被洗浄
物９は、洗浄装ｆｉｌｋ構成する前記各装置２，３，４
，５，６，７．８を経由し、洗浄される間常に本発明に
係るトレイ１２上に載置された状態に訃いて処理される
。トレイ１２上の被洗浄物９は第２図矢印Ｐの方向に順
次搬送装置によって移送される。清浄空気Ａは、被洗浄
物９の移動方向と逆に矢印Ｑの方向に流れるよりになさ
れている。、、また清浄空気Ａは、各装置ＩＬ　ｌ　５
＋　４＋　：Ｌ　２におけるトレイ１２上の°被洗浄物
９に対し５、垂直上方より下方に向って前記各装置ごと
に順次分岐して流すことにより、各装置８，７，５，４
，３．２から発生する塵埃が被洗浄物９に付着しないよ
うに配慮されている。

従りて列えば、シャワリング装置４において発生する塵
埃は、次工程のスクラバ装置５に持ち込まれることはな
い。まｆｒ：、清浄空気Ａは洗浄装置１内を通過するに
従って徐々に汚染さｊ、るが、前述のようにトレイ１２
上の被洗浄物９の移動方向と逆方向に流されるため、ト
レイ１２上の被洗浄物が、洗浄装置１内の前記各装置２
，３，４，５，７゜８から出る側においては、新鮮な空
気と接触することとなり、清浄空気Ａを、被洗浄物９の
洗浄工程順路と同じ方向に流すよりも、汚染されにくい
ように構成されている。なお清浄空気Ａは電磁波照射洗
浄装置６には分流しないようになされており、別に電磁
波照射洗浄装置６専用に、清浄空気Ｂを送り込むように
して、わυ、トレイ１２上の被洗浄物９に付着した有機
物の塵埃がオゾン及び酸素ラジカルによって酸化分解さ
れる結果生成する炭酸ガスと水蒸気とを直ちに電磁波照
射洗浄装置 ようになされているつ清浄空気Ｂの代りに１電磁波照射
形洗浄装置６に酸素ガスを送ジ込んでもよく、これによ
り該装置６におけるオゾンの発生を助長する作用をする
。

洗浄装置１内の各装置２，３，４，５．６．７゜８を第
２図に示すようにＵ字状に配列されてしするので、−直
線状に配列された場合と比較して考えた場汁、長手方向
の寸法金はぼ１／２に縮少する＞Ｌ、、／Ｖｒ−ｒｅ４
Ｌ４ａ−１ヱｆＪｍｎワＪＨＣ７，８の駆動装置及び配
管部をＵ字状の中央部几に設置することかできるから、
トレイＩ２上の被洗浄物９を洗浄装置１の外周側から監
視しまたり点検したり、事故の際に処置したりする場合
に、駆動装置及び配管部の念めに邪魔される心配がない
。

また回動アーム１１の回動範囲の中間に、予備室６ａ、
６ｈのために必要なスペースを確保することができる。

被洗浄物９は、第１図に示すようにステンレス製の円板
状トレイ１２の上に載置された状態で洗浄装置１内へ送
り込プれる。被洗浄物９を載置したトレイＬ２ば、第４
図に示すようにラック１３において多段に積載されてロ
ーダ２へ送られる。

トレイ１２上の被洗浄物９はローダ２の昇降テーブル２
ａを介して搬送コンベア２ｂ上に順次載置され、湿式超
音波洗浄装置３へ送られる。

トレイ１２上の被洗浄物９は、この搬送コンベア２ｂか
らバレン）３ａによって湿式超音波洗浄槽３ｂの水中に
浸漬される。第４図に示すパレット３ａの位置は、トレ
イ１２上の被洗浄物９が湿式超音波洗浄槽３ｂの水中に
浸漬されていない状態における位置を示している。洗浄
槽３ｂの底部には振動子３Ｃが設けられておシ、この振
動子３Ｃを振動させ洗浄槽３ｂ内の水３ｄに対し超音波
振動を与えることによシ、被洗浄物９の表面の塵埃に対
して振動エネルギを与える。塵埃は大きいもの程大きな
振動エネルギが加わるので、大きな塵埃から順次被洗浄
物９の表面から遊離する。

大きな塵埃は一般的には無機物が多いので、湿式超音波
洗浄装置３によって、主に無機物の塵埃を除去すること
ができる。無機物の塵埃を除去することによって、無機
物によって蔽われていた有機物の塵埃を被洗浄物９の表
面に露出させることができる。

洗浄槽３ｂ内の水３ｄは、オーバ７０−させることによ
ｐタンク１４へ導き、タンク１４からポンプ１５によっ
てフィルタ【６を経て洗浄槽３ｂへ再供給されるように
循環している。水中に遊離し九塵埃は、フィルタ１６に
よってろ過され取シ除かれる。

洗浄槽３ｂにおける洗浄が終了すると、ペレット３ａは
引き上げられ、被洗浄物を載置したトレイＬ２は、シャ
ワリング装置１４へ送るために、シャツリングコンベア
４ａに載置される。

トレイ１２上の被洗浄物９は、シャワリングコンベア４
ａ上を移動する際に、シャワリングコンベア４ａの上方
に配置され７？：散水ノズル４ｂにより散水さｎること
にエリ、洗浄槽３ｂ内において付着した塵埃があれば除
去される。

第５図及び第６図に３いて、被洗浄物を載置したトレイ
１２は、シャワリングコンベア４ａ及びスライダ４Ｃに
よってスクラバ装置へ送られる。

スクラバ装置５には、中央にテーブル５ａがあり、テー
ブル５ａ上に載置されたトレイ１２上の被洗浄物に対し
、リンスノズル５ｄから純水を噴射させると同一に、ブ
ラシスクラバ５ｂが被洗浄物をこすムその表面に固着し
ている有機物及び無機物の塵埃を剥離させる。第４図に
示す湿式超音波洗浄装置３によってトレイ１２上の被洗
浄物９に付着していた大きな塵埃は、すでに除去されて
おり、ま次除去されていない被洗浄物９の表面に固着し
た比較的小さい無機物の塵埃は、第５図のシャワリング
装置を通過した後においては、絢離し易い状態になって
いるので、ブラシスクラバ５によるプラシングの効果が
高くなる。続いて５ａの上方に配置されたジェットスク
ラバ５Ｃによシ水を噴射することにより、剥離した有機
物及び無機物の塵埃を被洗浄物９０表面から排除する。

さらにリンスノズル５ｄにより純水を噴射させ、テーブ
ル５ａを高速回転させ、Ｎ２ガスをブローノズルから噴
射させることによシ被洗浄物９とトレイ１２とを乾燥す
る。テーブル５ａには搬送用トレイＬ２の真空引穴１２
ａが設けられており、この真ｉ引穴Ｌ２ａから減圧する
ことにより被洗浄物９をトレイ１２と共にテーブル５ａ
に吸引固定させている。

スクラバ装置５における洗浄が終了した後、上述しｆｃ
減圧状態から常圧に戻すことにより吸引を解除し、被洗
浄物９を載置し次トレイ１２は次のる。

第６図及び第７図において、トレイ１２上の被洗浄物９
は搬送コンベア１′７によって移送され、回動アーム１
１の位置に到達した後、回動アーム１１に載置され、次
いで回動アーム１１が回動することによりトレイ１２上
の被洗浄物９を電磁波′照射形洗浄装置６の前室６ａへ
送る。前室６ａの入口と出口にはシャッタ６１）、６Ｃ
が設けられており、被洗浄物９を載置したトレイ１２が
通過するときのみシャッタ５ｂ、６ｃは開くようになさ
れている。前室６ａは不意６ｄにおいて発失し次オゾン
及び酸素ラジカルが、スクラバ装置５内へ流出するのを
防止する次めに設けられている。

回動アームはさらに回動して、トレイ１２上の被洗浄物
９を本案６ｄ内のテーブル６ｅ上に載置する。テーブル
６ｅの上方には、複数個の水銀ランプ６ｆと２本の赤外
線ランプ６ｇとか設けられている。水銀ランプ６ｆに通
電すると、水銀ラン　。

プから発する紫外線の作用によシ、本案６ｄ内の’ｆｉ
３　＆ｉ　−Ａｅ　↓１ｒ−／　　Ｌ　　滅船調１ａ　
　−Ｓ　−ｈ　　ｎ−Ｉｌｌ”　ｌｋ’Ｉｊｌｌ　　Ｉ
　　　　　　に　１１X １２上の被洗浄物９０表面に薄膜状に付着している有機
物に作用し、有機物を炭酸カスと水蒸気に分解する。前
述のように、湿式超音波洗浄装＃３とシャワリング装＃
４及びスクラバ装置５とによって無機物の塵埃が除去さ
れているため、無機物の塵埃に蔽われて込た有機物の塵
埃は露出し２ているので、この酸化分解作用を効果的に
行わせるこ−とが可能である。水銀ランプ６ｆから発す
る紫外−ｉの波長はｌ、８４．９ｎｍ或いは２５３．７
ｎｍ近傍が効果的である。また水銀ランプ６ｆに通電す
ると共に、赤外線ランプ６ｇＫ通電することにより、ト
レイ１２上の被洗浄物９の表面の有機物の酸化分解を促
進すると共に、該表面に残留する水分を蒸発させる作用
をもっているので、被洗浄物９及びトレイＬ２を乾燥さ
せることができる。ｌ・レイ１２上の被洗浄物９は、有
機物の塵埃が除去され息抜、回動アーム１８の回動によ
って、本案６ｄから後室６ｈへ送られるつなおテーブル
６ｅは上下動自在及び回動自在に設けられておシ、回動
アームｌｌ及び１８による搬送と、水銀ランプ６ｆに二
る紫外線照射のだめの、最適位置を１ノへ択するのに便
利な構成となっている。

後室６ｈの入口と出口にはンヤソタ６Ｉ、６」が設けら
ｔｌており、被洗浄物９を載置［７たトレイ１２が通過
するときのみ、シャッタ６　’　＋　６　Ｊは開くよう
になされている。この後室６）１は本案６ｄにおいて発
生したオゾン及び酸素ラジカルが検査ユニット７へ流出
しないように設けたものである。

第７図及び第８図において、回動アーム１８が更に回動
することにより、トレイ１２上の被洗浄物９ンま検査ユ
ニット７内の搬送コンベア７ａ上に移送され、さらにコ
ンベア７ａからテーブル７ｂへ込られる。チー・プル７
ｂの上方には顕微鏡７Ｃ及びカメラ７ｄか設けられてお
り、デープル７ｂに載置されたトレイ１２上の被洗浄物
９０表面の状況をカメラ７ｄによって撮影し、撮影の結
果をディスプレイ７ｅにおいて表示すると共に、表示結
果を自動的に評価して前工程に；？ける各装置２゜３．
４，５．６に対してフィードバンクさせることができる
ようになっている。なおテーブル７ｂは上下動自在及び
回動自在に構成することにより、カメラ７ｂによる撮影
時の位置の調整を行うようにしである。

検査ユニット７からは搬送コンベア７ｆによって被洗浄
物９を載置し、たトレイ１２をアンローダ８へ送ｐ１　
ランクＬ３へ積載する。

清浄空気Ａは、トレイ１２上の被洗浄物９に対し、垂直
上方から下方に向って分流するようになっているので、
各洗浄装＠２，３，４，５，７゜８から発生する塵埃〃
司・レイ１２上の被洗浄物９を汚染しないようになされ
ておＱ１清浄空気Ａ、を個別に各装置２，３，４，５，
７．８へ送る方式よジも能率よく洗浄装置り全体を流れ
るように構成されてｂる。

本実施例では、第８図に示すように、洗浄装置１のアン
ローダ８側に送り込み用のファンＬ９を設けると共に、
第４図に示すように、ローダ２側に排出用のファン２０
を設けである。

なお、トレイ１２け処理工程及び処理条件によジ、ステ
ンレス製のものの他、プラスナック製、ゴム製、セラミ
ック製のものであってもよく、また第Ｌ　−ａ図に示す
ように、トレイ１２の表面において、液抜穴Ｌ２ｂの相
互間を溝１２ｄをもって連結する別の実施列もｈ４゜ 〔発明の効果〕 本発明の実施によシ、トレイ１２上に小物被洗浄物９を
載置した状態のまま、ウェファに対する洗浄装置と同様
の洗浄装置によって、精密洗浄を連続的に行うことが可
能になった。

【図面の簡単な説明】

第１図は本発明の洗浄装置用搬送トレイの斜視図、第１
．−ａ図は洗浄装置用搬送トレイの別の実施例の斜視図
、第２図は本発明ンこよる洗浄装置用搬送トレイを用い
た洗浄装置全体の概要金工す平面図及び被洗浄物の洗浄
１１ｆｔ路並びに′ｉ′＃浄空気の流路を示す図、第３
図は、渠２図に示す仇浄装随内の各装置の平面配ｌｄ図
、第４図−第８刃は、第２図に示す洗浄装置？構成する
各装置の横断面図、第９図は従来例における搬送部の斜
視図で５蔓３３ｌ−洗浄装置、２・・・ローダ、３・・
・湿式超廿波洗浄装置、４・・・／ヤワリ／グ装置、５
・・・スクラノ（装置、６・・電磁波照射形洗浄装置、
７・・・検査ユニット、８・ア／ローグ、９−・・被洗
浄物、［２・・・トレイ、１２ａ・・・真空引穴、１２
ｂ・・〜液抜穴、１２ｃ・・・位置、央めど）、　１２
ｄ−・・溝。

Claims (1)

【特許請求の範囲】
1. １、穴、溝及び凸起を円板の平面の所定位置に設け、該
   円板上に多数個の小物被洗浄物を載置して、複数工程か
   ら成る湿式及び乾式による洗浄を連続的に行うようにし
   た洗浄装置用搬送トレイ。