JP4211271B2 - 清浄基板の製造方法、および製造装置 - Google Patents
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Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、表面が清浄化された清浄基板の製造方法、および製造装置に関する。
【0002】
【従来の技術】
半導体素子や液晶表示素子等の製造工程において、回路形成は、フォトマスクを用いたフォトエッチング法によって行われることが多い。このフォトマスクとして、形成させたい回路パターンに対応する所定のパターンを印刷したガラス基板が使用されることがある。
【0003】
ここで、フォトマスクとして使用される基板に塵埃、油分等の異物が付着していると、回路パターンに欠陥を生じてしまうおそれがある。このため、基板には、あらかじめ表面を清浄化するための表面処理を施しておく必要がある。
【0004】
この表面処理方法としては、例えば、▲1▼ガラス基板を純水で洗浄し、赤外線加熱装置により乾燥を行った後、オゾン雰囲気下で紫外線照射を行うことにより残留した有機物を分解・除去する方法、あるいは、▲2▼あらかじめオゾン雰囲気下で紫外線照射を行って、ガラス基板上の有機物を分解・除去した後、このガラス基板を純水で洗浄し、赤外線加熱装置により乾燥を行う方法、等がある。
【0005】
【発明が解決しようとする課題】
しかし、このような方法では、大掛かりな装置を必要とし、また、処理に長時間を要するという問題があった。
【0006】
本発明は、上記した事情に鑑みてなされたものであり、その目的は、表面が清浄化された基板を短時間で簡易に製造することのできる清浄基板の製造方法、および製造装置を提供することにある。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明者らは、表面が清浄化された基板を短時間で簡易に製造することのできる清浄基板の製造方法、および製造装置を開発すべく鋭意研究してきたところ、以下の知見を見出した。
【0008】
従来、水洗工程において基板に付着した水分を放置すれば、乾燥後に水シミとなってしまうことから、赤外線加熱装置等を使用した加熱乾燥工程が必須であると考えられていた。
ところが、本発明者らは、全く意外なことに、基板を水洗後、加熱処理を行って完全に乾燥させた状態で紫外線処理に供するよりも、僅かに水分が残留した状態で紫外線処理に供する方が、紫外線処理にかかる時間を短縮できることを見出した。このような処理時間短縮のメカニズムは必ずしも明らかではないが、以下のように考えられる。
【0009】
通常、紫外線が照射されると、雰囲気中の酸素が紫外線を吸収することによりオゾンが生成し、このオゾンが光分解することにより活性酸素等の活性種を生じる。そして、この活性種により基板表面の有機物が分解される。
ここで、基板の表面に僅かに水分が残留した状態で紫外線照射を行うと、雰囲気中の酸素やオゾンの他に、残留している水分からも活性種が発生すると考えられる。これにより、有機物の分解に寄与する活性種の量が増大し、このことが処理時間の短縮に寄与しているものと考えられる。このようなことは、水シミ防止のために加熱乾燥工程が必須であると考えていた当業者においては、一考もされていなかったのである。
【0010】
さらに、紫外線照射工程においては、光源が点灯時に高温となることから、基板表面の温度がこの熱を受けて僅かながら上昇し、残留する水分が揮散される。このことを利用すれば、別途の乾燥工程を経ることなく、紫外線処理と同時に基板の乾燥を行うことができることを見出した。
本発明は、かかる新規な知見に基づいてなされたものである。
【0011】
すなわち、本発明は、表面が清浄化された清浄基板を製造する方法であって、純水により基板の表面を洗浄する水洗工程と、前記水洗工程により洗浄された前記基板の表面に水分が僅かに残留するように水切りを行う水切り工程と、前記水切り工程により水切りされた前記基板の表面に紫外線を照射する紫外線処理工程とを経ることを特徴とする。
また、本発明に係る清浄基板の製造装置は、表面が清浄化された清浄基板を製造する装置であって、純水により基板の表面を洗浄する水洗部と、前記水洗部により洗浄された前記基板の表面に水分が僅かに残留するように水切りを行う水切り部と、前記水切り部により水切りされた前記基板の表面に、光源からの熱によって前記基板の表面が100℃以上に熱せられるように紫外線を照射する紫外線処理部とを備えたことを特徴とする清浄基板の製造装置である。
【0012】
本発明において洗浄工程で使用される「純水」とは、必ずしも純粋な水またはそれに近いものを意味するのではなく、例えば半導体素子や液晶表示素子等の製造工程において通常使用されるような、基板に悪影響を及ぼさない程度に清浄な水であれば構わない。
また、本発明の水切り工程において、「僅かに」とは、後の紫外線処理工程において、処理の促進に必要な活性種を生じさせるのに充分な量であって、かつ、光源からの熱によって速やかに揮散可能な程度に少量であることが好ましい。このためには、例えば基板表面にガスを吹き付けて水分を除去する方法を好適に使用することができる。ガスとしては、例えば乾燥空気等を使用することができる。
【0013】
さらに、本発明の紫外線処理工程においては、基板の表面が100℃以上に熱せられるように紫外線照射を行うことが好ましい。100℃以上としたのは、これよりも温度が低ければ、基板表面の水分が速やかに蒸発せず、乾燥が充分に行われなくなるおそれがあるためである。このとき、低出力の光源を使用すると、光源の発熱が小さく、乾燥に充分な程度に基板表面が熱せられないので、発光管の出力が4W/cm以上の高出力の光源を用いることが好ましい。
照射時間については、一概に限定できないが、例えば発光管の出力が4W/cm以上の光源を使用する場合には、40秒程度の照射を行うことによって、充分に乾燥を行うことができる。光源としては、例えば波長185nm、および254nmの紫外光を発する低圧水銀灯などを使用することができる。また、光源から基板表面までの距離については、一概に限定できないが、例えば発光管の出力が4W/cm以上の光源を使用する場合には、15mm〜60mmとすることによって、充分に乾燥を行うことができる。
【0014】
【発明の作用、及び発明の効果】
本発明の清浄基板の製造方法、および製造装置によれば、基板を水洗後、基板の表面に僅かに水分が残留するように水切り処理を行い、その後、紫外線処理に供する。このようにすれば、基板表面に僅かに残留している水分からも活性種が発生し、有機物の分解が促進される。これにより、処理時間を短縮できる。
【0015】
また、紫外線処理工程において、光源からの熱によって前記基板の表面が100℃以上に熱せられるように紫外線照射を行う。このようにすれば、別途の乾燥工程を経ることなく、紫外線処理と同時に乾燥を行うことができる。これにより、大掛かりな乾燥装置を用いることなく、清浄基板を簡易に製造することができる。
【0016】
【発明の実施の形態】
以下、本発明の清浄基板の製造方法および製造装置を具体化した一実施形態について、図1を参照しつつ、詳細に説明する。
【0017】
図1には、本実施形態における清浄基板の製造装置1(以下、単に「製造装置1」と称する)を示す。この製造装置1には、ガラス基板12(本発明の基板に該当する)を搬送するためのローラコンベア2が設置されている。ローラコンベア2は、一対のフレーム(図示せず)の間に円柱状のローラ3が並列に連ねられた構成となっており、このローラ3が一定方向に回転することによってガラス基板12を一定方向(図示矢印方向)に搬送可能とされている。
【0018】
このローラコンベア2の上流側には、ガラス基板12の水洗を行うための水洗ブース4(本発明の水洗部に該当する)が設けられている。水洗ブース4は箱型に形成された水洗室5を備えており、その内部をローラコンベア2が通過するようになっている。水洗室5の天井部には、純水13を噴出可能な複数個の水洗ノズル6が、ローラコンベア2の搬送方向にほぼ均一ピッチで設けられている。この水洗ノズル6は、図示しない給水管を介して、純水13を供給するためのポンプおよび水槽に接続されている。
【0019】
また、水洗室5の内部において水洗ノズル6よりも下流側には、エアブローノズル7(本発明の水切り部に該当する)が備えられている。エアブローノズル7は、全体としてローラコンベア2の幅方向に扁平な筒状に形成されている。そして、その一端側は、ローラコンベア2により搬送されてくるガラス基板12に向かって乾燥空気14を噴出可能な噴出口とされている。一方、その他端側には接続口が設けられ、ここにチューブ8が接続されている。このチューブ8は、乾燥空気14(本発明のガスに該当する)を供給するためのポンプに接続されている。
【0020】
ローラコンベア2の下流側には、ガラス基板12の紫外線処理を行うための紫外線処理ブース9(本発明の紫外線処理部に該当する)が設けられている。紫外線処理ブース9は、水洗ブース4と同様に箱型に形成された紫外線処理室10を備えており、その内部をローラコンベア2が通過するようになっている。紫外線処理室10の天井部には、複数個の低圧水銀灯11が、ローラコンベア2の搬送方向にほぼ均一ピッチで設けられている。この低圧水銀灯11は、出力4W/cmの発光管を備えたものである。
【0021】
次に、この製造装置1を使用して清浄基板を製造する方法について説明する。まず、ガラス基板12をローラコンベア2上に載置する。そして、ローラコンベア2を駆動させて、ガラス基板12を一定の速度で搬送させる。
【0022】
ガラス基板12は、ローラコンベア2により水洗ブース4内に搬入され、水洗ノズル6の下方を通過する。この間、ポンプが作動し、純水13が水洗ノズル6からガラス基板12の表面12Aに向けて噴出される。これにより、ガラス基板12の表面12Aの水洗が行われる(水洗工程)。
【0023】
ガラス基板12が水洗ノズル6の下側を通過し、エアブローノズル7の設置位置まで搬送されると、乾燥空気14がエアブローノズル7に供給され、ガラス基板12の表面12Aに向けて噴出される。これにより、ガラス基板12の表面12Aの水切りを行う(水切り工程)。このように水切り工程においては、乾燥空気14によって水滴が払われるのみであるため、ガラス基板12の表面12Aは完全に乾燥されず、僅かに水分が残留する。
【0024】
次いで、ガラス基板12は紫外線処理ブース9に搬入され、低圧水銀灯11の下方を通過する。この間、低圧水銀灯11が点灯し、ガラス基板12の表面12Aに紫外線が照射される(紫外線処理工程)。このとき、ガラス基板12の表面12Aにおける紫外線の照射強度をモニターして40mW/cm2程度となるように調節する。また、1枚のガラス基板12につき40秒程度の照射が行われるようにガラス基板12の搬送速度を調節する。すると、紫外線により雰囲気中の酸素からオゾンが生成し、このオゾンから活性種が発生する。そして、この活性種によってガラス基板12の表面12Aに存在する有機物が分解、除去される。このとき、ガラス基板12の表面12Aには僅かに水分が残留しているから、この水分からも紫外線によって活性種が発生する。このため、有機物の分解が促進される。
【0025】
同時に、低圧水銀灯11からの発熱により、ガラス基板12の表面が熱せられ、この熱によってガラス基板12の表面12Aに残留する水分が蒸発する。このとき、低圧水銀灯11としては、発光管の出力が4W/cmという高出力のものを用いているため、低圧水銀灯11は、その下方を通過するガラス基板12の表面を100℃以上に熱するために充分な程度に発熱する。そして、照射時間を40秒程度とすることにより、水分が完全に蒸発し、乾燥が充分に行われる。
このようにして、清浄基板が製造される。
【0026】
以上のように本実施形態によれば、紫外線処理工程において、ガラス基板12の表面温度が100℃以上となるように紫外線照射を行う。このようにすれば、別途の乾燥工程を経ることなく、ガラス基板12の表面12Aの有機物の分解と乾燥とを一の工程で行うことができる。これにより、赤外線加熱装置等の大掛かりな乾燥装置を用いることなく、短時間で簡易にガラス基板12の清浄化を行うことができる。
【0027】
また、ガラス基板12を水洗後、水切り処理を行うのみで紫外線処理に供するため、ガラス基板12の表面12Aに僅かに残留している水分からも活性種が発生し、有機物の分解が促進される。これにより、処理時間を短縮できる。
【0028】
【実施例】
以下、実施例を挙げて本発明をさらに詳細に説明する。
【0029】
<実施例>
1)試料
ガラス基板としては、厚さ1.1mmの無アルカリガラスを用いた。
【0030】
2)洗浄処理
ガラス基板の表面に、水洗ノズルを用いて純水を吹き付けることにより、洗浄を行った。洗浄後、このガラス基板の表面に、ブローオフノズルを用いて乾燥空気を吹き付けることにより、水切りを行った。
【0031】
3)紫外線処理
紫外線ランプとして、発光管の出力が4W/cmの低圧水銀灯を用いた。この低圧水銀灯を用いて、上記2)で洗浄処理したガラス基板について、露光距離40mmで紫外線照射を行った。このとき、ガラス基板の表面における紫外線強度を、オーク製作所製紫外線強度測定機M−02、UV−25により測定したところ、40mW/cm2であった。
また、所定時間毎に、このガラス基板の純水に対する接触角を測定し、接触角が4°になるまで紫外線照射を続けた。なお、ガラス基板の表面の汚れが少ないほど接触角は小さくなり、清浄なガラス基板表面の純水に対する接触角は4°である。
【0032】
<比較例>
洗浄処理を行わなかった他は、実施例と同様にして紫外線処理を行った。
【0033】
<結果と考察>
実施例および比較例における、紫外線の積算光量と純水の接触角との関係を示すグラフを、図2に示した。なお、積算光量(mJ/cm2)は紫外線強度(mW/cm2)と照射時間(s)の積で表される値である。
【0034】
紫外線処理前に洗浄および水切りを行った場合(実施例)においては、紫外線処理開始前のガラス基板の接触角は、約20°〜28°であった。また、接触角が4°に達するまでの積算光量は、約500mJ/cm2であった。
【0035】
一方、紫外線処理前に洗浄および水切りを行わなかった場合(比較例)においては、紫外線処理開始前のガラス基板の接触角は、約40°〜46°であった。また、接触角が4°に達するまでの積算光量は、約1050mJ/cm2であった。ここで、洗浄等を行わない場合のガラス基板の接触角が、洗浄等を行ったガラス基板の初期の接触角と同程度の約25°に達したのは、積算光量が約250mJ/cm2に達したときである。そして、接触角が25°から4°に達するまでには積算光量約800mJ/cm2を要している。
【0036】
このことから、紫外線処理前に洗浄等を行った場合の方が、行わなかった場合と比較して、処理時間が短縮されており、必要な積算光量が少なくなっているといえる。このように、ガラス基板の表面に僅かに水分が存在する状態で紫外線処理を行うと、処理時間を短縮できることが分かった。
【0037】
なお、本発明の技術的範囲は、上記した実施形態によって限定されるものではなく、次に記載するようなものも本発明の技術的範囲に含まれる。その他、本発明の技術的範囲は、均等の範囲にまで及ぶものである。
(1)上記実施形態では、ガラス基板12の洗浄を、水洗ノズル6を使用して純水13をガラス基板12に吹き付けることにより行ったが、本発明によれば、洗浄方法は上記実施形態に限るものではなく、例えば純水中に基板を浸漬することにより行ってもよい。
(2)上記実施形態では、ガラス基板12の表面12Aの水切りを、乾燥空気14を吹き付けることにより行ったが、本発明によれば、水切りに使用するガスは上記実施形態の限りではなく、例えば窒素等の不活性ガスを用いてもよい。
【図面の簡単な説明】
【図1】本実施形態の表面処理装置の概略図
【図2】紫外線の積算光量と接触角との関係を示すグラフ
【符号の説明】
1…製造装置
4…水洗ブース(水洗部)
7…エアブローノズル(水切り部)
9…紫外線処理ブース(紫外線処理部)
12…ガラス基板(基板)
12A…表面
13…純水
14…乾燥空気(ガス)
Claims (3)
- 表面が清浄化された清浄基板を製造する方法であって、
純水により基板の表面を洗浄する水洗工程と、
前記水洗工程により洗浄された前記基板の表面に水分が僅かに残留するように水切りを行う水切り工程と、
前記水切り工程により水切りされた前記基板の表面に紫外線を照射して、前記水分から有機物分解処理の促進に必要な活性種を生じさせ、かつ同時に前記水分を光源からの熱によって完全に揮散させる紫外線処理工程とを経ることを特徴とする清浄基板の製造方法。 - 前記紫外線処理工程において、光源からの熱によって前記基板の表面が100℃以上に熱せられるように紫外線を照射することを特徴とする請求項1記載の清浄基板の製造方法。
- 表面が清浄化された清浄基板を製造する装置であって、
純水により基板の表面を洗浄する水洗部と、
前記水洗部により洗浄された前記基板の表面に水分が僅かに残留するように水切りを行う水切り部と、
前記水切り部により水切りされた前記基板の表面に、光源からの熱によって前記基板の表面が100℃以上に熱せられるように紫外線を照射し、前記水分から有機物分解処理の促進に必要な活性種を生じさせ、かつ同時に前記水分を光源からの熱によって完全に揮散させる紫外線処理部とを備えたことを特徴とする清浄基板の製造装置。
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