JP6051858B2 - 基板処理装置 - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 81
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 195
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 claims description 145
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 45
- 238000005192 partition Methods 0.000 claims description 16
- 230000007723 transport mechanism Effects 0.000 claims description 12
- 238000007599 discharging Methods 0.000 claims description 6
- 235000003392 Curcuma domestica Nutrition 0.000 claims description 4
- 244000008991 Curcuma longa Species 0.000 claims description 4
- 235000003373 curcuma longa Nutrition 0.000 claims description 4
- 235000013976 turmeric Nutrition 0.000 claims description 4
- 230000001678 irradiating effect Effects 0.000 claims description 3
- 235000012431 wafers Nutrition 0.000 description 78
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 47
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 26
- 239000003595 mist Substances 0.000 description 16
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 13
- 230000032258 transport Effects 0.000 description 13
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Chemical compound O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 239000008367 deionised water Substances 0.000 description 10
- 229910021641 deionized water Inorganic materials 0.000 description 10
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 7
- 238000005108 dry cleaning Methods 0.000 description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 description 4
- 239000011347 resin Substances 0.000 description 3
- 229920005989 resin Polymers 0.000 description 3
- 238000003860 storage Methods 0.000 description 3
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 2
- 239000004372 Polyvinyl alcohol Substances 0.000 description 2
- 238000011109 contamination Methods 0.000 description 2
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 2
- 229920002451 polyvinyl alcohol Polymers 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- 238000000638 solvent extraction Methods 0.000 description 2
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 description 2
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000004677 Nylon Substances 0.000 description 1
- 239000004809 Teflon Substances 0.000 description 1
- 229920006362 Teflon® Polymers 0.000 description 1
- 230000002378 acidificating effect Effects 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- 229910001873 dinitrogen Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 239000004744 fabric Substances 0.000 description 1
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 1
- 238000009434 installation Methods 0.000 description 1
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 1
- 229920001778 nylon Polymers 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 230000000149 penetrating effect Effects 0.000 description 1
- -1 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 1
- 230000002940 repellent Effects 0.000 description 1
- 239000005871 repellent Substances 0.000 description 1
- 238000001179 sorption measurement Methods 0.000 description 1
- 125000000391 vinyl group Chemical group [H]C([*])=C([H])[H] 0.000 description 1
- 229920002554 vinyl polymer Polymers 0.000 description 1
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- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Description
前記基板搬送機構が設けられた空間から区画された液処理モジュールを形成し、前記支持部が進入する進入口が設けられた筐体と、
前記筐体内に設けられ、基板に対する液処理を行う液処理部と、
前記筐体内に設けられ、この筐体内に進入した前記支持部を洗浄する洗浄機構と、
前記支持部に供給された洗浄液を前記筐体内から排出する排液部と、
前記支持部の洗浄が行われる空間を、前記筐体内の他の空間から区画する区画壁と、を備え、
前記区画壁には、前記支持部が通過する通過口が設けられたことを特徴とする。
(a)基板に洗浄液を供給する基板処理ノズルと、前記基板処理ノズルを保持するノズルアームとをさらに有し、これら基板処理ノズル及びノズルアームは、前記他の空間に配置されること。
(b)前記区画壁を、前記支持部の洗浄が行われる空間を前記筐体内の他の空間から区画する位置と、退避位置とで移動させる移動機構を備え、前記区画壁に設けられた通過口の高さ寸法が前記筐体に設けられた進入口の高さ寸法よりも小さいことと、前記支持部の洗浄が行われる空間を排気する排気部を備えたこと。このとき、前記排気部は、前記支持部の洗浄が行われる空間内の圧力が、前記他の空間内の圧力よりも低くなるように、当該支持部の洗浄が行われる空間の排気を行うこと。
(c)前記洗浄機構は、前記支持部に洗浄液を供給する洗浄液供給ノズルと、前記洗浄液供給ノズルに洗浄液を供給する洗浄液供給部とを備えたこと。
(d)前記基板搬送機構は、互いに異なる位置に複数の支持部が設けられた基板保持部を有し、前記洗浄液供給ノズルは、前記筐体内に進入した基板保持部に設けられている支持部に対応して複数箇所に設けられ、これら洗浄液供給ノズルは、前記複数の支持部のすべてに同時に洗浄液を吐出して洗浄を行うこと。若しくは、前記基板搬送機構は、互いに異なる位置に複数の支持部が設けられた基板保持部を有し、前記洗浄液供給ノズルは、各支持部に向けて洗浄液を供給する位置に移動するための移動機構を備えたこと。
(e)前記液処理部は、基板を水平に保持する回転保持部と、前記回転保持部を鉛直軸周りに回転させる回転駆動部と、前記回転保持部に保持された基板の側方を囲み、上面に開口が設けられたカップと、前記カップの内側に設けられ、前記カップ内の処理液を排出する処理液排液部と、を備え、前記洗浄機構は、前記回転保持部の上方側に設けられ、前記支持部の洗浄が行われる空間を側方から囲み、前記支持部に供給された洗浄液を前記カップ内に導入する囲み部材を備え、前記区画壁は、前記カップと囲み部材とにより構成されていること。
(g)前記基板搬送機構は、互いに異なる位置に複数の支持部が設けられた基板保持部を有し、前記光源部は、前記筐体内に進入した基板保持部に設けられている支持部に対応して複数箇所に設けられ、これら光源部は、前記複数の支持部のすべてに同時にUV光を照射して洗浄を行うこと。若しくは、前記基板搬送機構は、互いに異なる位置に複数の支持部が設けられた基板保持部を有し、前記光源部は、各支持部に向けてUV光を照射する位置に移動するための移動機構を備えたこと。
図2、図3に示すように、各液処理モジュール2は、筐体20内に、ウエハWの液処理を行う液処理部を設けた構造となっている。液処理部は、ウエハWを回転自在に保持する回転保持部3と、ウエハWに処理液を供給する液処理ノズル41(基板処理ノズル)と、回転するウエハWの周囲に振り飛ばされた処理液を受けるためのカップ36と、を備えている。筐体20には、開閉自在なシャッタ22を備えたウエハWの搬入出口21が設けられている。搬入出口21は、搬送アーム144に設けられた後述の支持部140a〜140cの洗浄を行う際に、搬送アーム144を進入させるための進入口としての役割も果たす。
かかる処理が行われる基板処理装置1において、搬送アーム144の支持部140a〜140cは、所定時間間隔、あるいは所定枚数のウエハWの処理を行った後など、予め設定したタイミングで洗浄が行われる。
搬送アーム144が退出した後、シャッタ22を上昇させ搬入出口21を閉じカバー部材62内に残存するミストを十分に排気する。ミストが排気された後、排気ライン65からの排気を停止すると共に、シャッタ63を開いてウエハWの搬入を待つ。
また、搬送アーム144や支持部140a〜140cの形状、支持部140a〜140cの設置数、設置位置などについても図4等に例示したものとは異なるタイプのものを用いてもよいことは勿論である。
1 基板処理装置
140a〜140c
支持部
144 搬送アーム
2 液処理モジュール
20 筐体
21 搬入出口(進入口)
262 排液ライン
3 回転保持部
34 回転駆動部
36 カップ
41 液処理ノズル
6 洗浄機構
611 洗浄液ノズル
612 乾燥ガスノズル
62 カバー部材
621 進入口
63 シャッタ
631 通過口
64 排液ライン
66、66a
囲み部材
661 通過口
68 囲み部材
681 通過口
7 制御部
8 UV光源部
Claims (11)
- 基板を支持する支持部が設けられた基板搬送機構と、基板を液処理する液処理モジュールとを備えた基板処理装置において、
前記基板搬送機構が設けられた空間から区画された液処理モジュールを形成し、前記支持部が進入する進入口が設けられた筐体と、
前記筐体内に設けられ、基板に対する液処理を行う液処理部と、
前記筐体内に設けられ、この筐体内に進入した前記支持部を洗浄する洗浄機構と、
前記支持部に供給された洗浄液を前記筐体内から排出する排液部と、
前記支持部の洗浄が行われる空間を、前記筐体内の他の空間から区画する区画壁と、を備え、
前記区画壁には、前記支持部が通過する通過口が設けられたことを特徴とする基板処理装置。 - 基板に洗浄液を供給する基板処理ノズルと、前記基板処理ノズルを保持するノズルアームとをさらに有し、これら基板処理ノズル及びノズルアームは、前記他の空間に配置されることを特徴する請求項1に記載の基板処理装置。
- 前記区画壁を、前記支持部の洗浄が行われる空間を前記筐体内の他の空間から区画する位置と、退避位置とで移動させる移動機構を備え、前記区画壁に設けられた通過口の高さ寸法が前記筐体に設けられた進入口の高さ寸法よりも小さいことと、
前記支持部の洗浄が行われる空間を排気する排気部を備えたことと、を特徴とする請求項1または2に記載の基板処理装置。 - 前記排気部は、前記支持部の洗浄が行われる空間内の圧力が、前記他の空間内の圧力よりも低くなるように、当該支持部の洗浄が行われる空間の排気を行うことを特徴とする請求項3に記載の基板処理装置。
- 前記洗浄機構は、前記支持部に洗浄液を供給する洗浄液供給ノズルと、前記洗浄液供給ノズルに洗浄液を供給する洗浄液供給部とを備えたことを特徴とする請求項1ないし4のいずれか一つに記載の基板処理装置。
- 前記基板搬送機構は、互いに異なる位置に複数の支持部が設けられた基板保持部を有し、前記洗浄液供給ノズルは、前記筐体内に進入した基板保持部に設けられている支持部に対応して複数箇所に設けられ、これら洗浄液供給ノズルは、前記複数の支持部のすべてに同時に洗浄液を吐出して洗浄を行うことを特徴とする請求項5に記載の基板処理装置。
- 前記基板搬送機構は、互いに異なる位置に複数の支持部が設けられた基板保持部を有し、前記洗浄液供給ノズルは、各支持部に向けて洗浄液を供給する位置に移動するための移動機構を備えたことを特徴とする請求項5に記載の基板処理装置。
- 前記液処理部は、基板を水平に保持する回転保持部と、前記回転保持部を鉛直軸周りに回転させる回転駆動部と、前記回転保持部に保持された基板の側方を囲み、上面に開口が設けられたカップと、前記カップの内側に設けられ、前記カップ内の処理液を排出する処理液排液部と、を備え、
前記洗浄機構は、前記回転保持部の上方側に設けられ、前記支持部の洗浄が行われる空間を側方から囲み、前記支持部に供給された洗浄液を前記カップ内に導入する囲み部材を備え、前記区画壁は、前記カップと囲み部材とにより構成されていることを特徴とする請求項1ないし7のいずれか一つに記載の基板処理装置。 - 前記洗浄機構は、前記支持部にUV光を照射して洗浄を行うものであり、前記支持部に向けてUV光を照射する光源部を備えたことを特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。
- 前記基板搬送機構は、互いに異なる位置に複数の支持部が設けられた基板保持部を有し、前記光源部は、前記筐体内に進入した基板保持部に設けられている支持部に対応して複数箇所に設けられ、これら光源部は、前記複数の支持部のすべてに同時にUV光を照射して洗浄を行うことを特徴とする請求項9に記載の基板処理装置。
- 前記基板搬送機構は、互いに異なる位置に複数の支持部が設けられた基板保持部を有し、前記光源部は、各支持部に向けてUV光を照射する位置に移動するための移動機構を備えたことを特徴とする請求項9に記載の基板処理装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012288420A JP6051858B2 (ja) | 2012-12-28 | 2012-12-28 | 基板処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012288420A JP6051858B2 (ja) | 2012-12-28 | 2012-12-28 | 基板処理装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014130945A JP2014130945A (ja) | 2014-07-10 |
JP6051858B2 true JP6051858B2 (ja) | 2016-12-27 |
Family
ID=51409087
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012288420A Active JP6051858B2 (ja) | 2012-12-28 | 2012-12-28 | 基板処理装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6051858B2 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6865008B2 (ja) * | 2016-09-30 | 2021-04-28 | 芝浦メカトロニクス株式会社 | 基板処理装置及び基板処理方法 |
JP6793048B2 (ja) * | 2017-01-27 | 2020-12-02 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置、ダミーディスペンス方法及びコンピュータ読み取り可能な記録媒体 |
Family Cites Families (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH07254583A (ja) * | 1994-03-16 | 1995-10-03 | Hitachi Ltd | 洗浄方法及び洗浄装置 |
JPH10163159A (ja) * | 1996-12-25 | 1998-06-19 | Sugai:Kk | 基板洗浄装置の処理チャンバ装置 |
JPH10256345A (ja) * | 1997-03-13 | 1998-09-25 | Tokyo Electron Ltd | 基板処理装置および基板搬送方法 |
JPH1140642A (ja) * | 1997-07-22 | 1999-02-12 | Dainippon Screen Mfg Co Ltd | 基板処理装置および方法 |
JPH11254317A (ja) * | 1998-03-06 | 1999-09-21 | Nippei Toyama Corp | ワーク研削加工方法及びワーク研削加工装置 |
JPH11354503A (ja) * | 1998-06-08 | 1999-12-24 | Hitachi Ltd | エッチング装置およびその操作方法ならびに半導体装置の製造方法 |
JP2003297788A (ja) * | 2002-03-29 | 2003-10-17 | Tokyo Electron Ltd | 液処理装置および液処理方法 |
JP4410121B2 (ja) * | 2005-02-08 | 2010-02-03 | 東京エレクトロン株式会社 | 塗布、現像装置及び塗布、現像方法 |
JP5058848B2 (ja) * | 2008-03-05 | 2012-10-24 | 東京エレクトロン株式会社 | 搬送アーム洗浄装置、搬送アーム洗浄方法、プログラム及びコンピュータ記憶媒体 |
-
2012
- 2012-12-28 JP JP2012288420A patent/JP6051858B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2014130945A (ja) | 2014-07-10 |
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Legal Events
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