JP2012019189A - 電子部品の実装装置及び実装方法 - Google Patents

Abstract

【課題】ＴＣＰの端子部に貼着される粘着テープにめくれが生じないよう、端子部を確実に清掃することができるようにしたことにある。
【解決手段】装置本体１に設けられキヤリアテープ３からＴＣＰ４を打ち抜く打ち抜き装置５Ａ，５Ｂと、キヤリアテープからＴＣＰを打ち抜く前に、キヤリアテープに設けられたＴＣＰの端子側の面を清掃する噴射ノズル８と、装置本体に設けられ打ち抜き装置によってキヤリアテープから打ち抜かれたＴＣＰを保持する複数の保持ヘッド１９を有するインデックス手段１８Ａ，１８Ｂと、インデックス手段の保持ヘッドに保持されたＴＣＰに付着残留する汚れを清掃する第２の清掃手段９１と、第２の清掃手段によって清掃されたＴＣＰの端子側の面に粘着テープ３２を貼着する貼着装置３１Ａ，３１Ｂと、貼着装置で粘着テープが貼着されたＴＣＰを基板に実装する実装ヘッドを具備する。
【選択図】 図２

Description

この発明はたとえば基板としての液晶表示パネルに電子部品としてのＴＣＰ（Tape Carrier Package）を実装する電子部品の実装装置及び実装方法に関する。

基板としての液晶表示パネルを製造する場合、その液晶表示パネルに電子部品としてのＴＣＰを実装装置によって実装するということが行われる。上記実装装置は箱型状の装置本体を有する。この装置本体内にはキヤリアテープから上記ＴＣＰを打ち抜く打ち抜き装置が設けられている。打ち抜き装置によって打ち抜かれたＴＣＰは受け渡し手段を構成する受け体によって受け取られる。

上記受け体は打ち抜かれたＴＣＰを所定の位置まで搬送し、その位置で所定角度ずつ間欠的に回転駆動されるインデックステーブルに設けられた複数の保持ヘッドに受け渡されて吸着保持される。保持ヘッドは上下方向に駆動可能に設けられている。

インデックステーブルの保持ヘッドに受け渡されたＴＣＰは、このインデックステーブルの間欠回転に応じて上記ＴＣＰの端子部を回転ブラシでクリーニングした後、実装位置に位置決めされる。その実装位置にはＴＣＰが実装される基板がテーブル装置によって位置決めされて待機している。

そして、インデックステーブルの間欠回転によってＴＣＰを保持した上記保持ヘッドが実装位置に位置決めされると、その保持ヘッドは下方向に駆動される。それによって、保持ヘッドに保持された上記ＴＣＰが基板の側辺部に実装されるようになっている。このような先行技術は特許文献１や特許文献２に開示されている。

従来は、基板の側辺部の全長にわたって異方性導電部材からなる粘着テープを貼着し、そこに上記ＴＣＰを所定間隔で実装するようにしていた。しかしながら、基板の側辺部の全長にわたって粘着テープを貼着したのでは、粘着テープのＴＣＰが実装されない部分が無駄となったり、ＴＣＰが実装されていない部分に塵埃が付着するので好ましくないなどのことがある。

そこで、最近ではインデックステーブルの保持ヘッドに保持されたＴＣＰの端子部を回転ブラシでクリーニングしたならば、インデックステーブルを所定角度回転させ、クリーニングされたＴＣＰの端子部に貼着装置によってＴＣＰの端子部とほぼ同じ長さに切断された粘着テープを貼着する。

そして、粘着テープが貼着されたＴＣＰを上記保持ヘッドから実装ヘッドに受け渡し、この実装ヘッドを基板の側辺部の上方に位置決めしてから下降させることで、実装ヘッドに保持された上記ＴＣＰを基板の側辺部に実装するということが行われている。

上記ＴＣＰを基板に実装する前に、その端子部を回転ブラシでクリーニングして塵埃を除去してから粘着テープを貼着すれば、その粘着テープをＴＣＰの端子部に剥がれ難い状態で確実に貼着することが可能となる。

特開２００２−３０５３９８号公報 特開２００６−１２０９２９号公報

ところで、ＴＣＰの端子部に粘着テープを貼着する前に、インデックス手段としてのインデックステーブルの保持ヘッドに保持されたＴＣＰの端子部を回転する回転ブラシを接触させてクリーニングする場合、上記端子部に付着した汚れを確実かつ良好に除去できるようにするため、有機溶剤が用いられる。

つまり、上記回転ブラシの一部を有機溶剤が収容された容器に浸漬しておき、インデックステーブルによって電子部品が位置決めされた上記電子部品の端子部を、回転する上記回転ブラシによって清掃するようにしている。

しかしながら、最近ではタクトタイムを短縮して生産効率を向上させるために、インデックステーブルの回転を高速化する傾向にある。そのため、有機溶剤によって端子部を清掃してから、上記端子部に粘着テープを貼着するまでの時間が短くなるため、有機溶剤が十分に乾燥しない状態で、電子部品が粘着テープを貼着するポジションに搬送されてくるということがある。

そのため、そのような場合には上記粘着テープが電子部品の端子部に確実に貼着されず、捲れや剥がれの原因になるということがある。

しかも、電子部品の端子部を有機溶剤によって清掃した場合、電子部品が粘着テープを貼着するポジションに搬送されてきたときに有機溶剤が乾燥していても、端子部には塵埃を含む有機溶剤が乾燥した状態で付着残留している。

したがって、電子部品の端子部の有機溶剤が乾燥して付着残留する箇所に粘着テープを貼着しても、その貼着が確実に行なわれなかったり、端子部と粘着テープとの間に塵埃が入り込み、接触不良の原因になるなどのことがある。

この発明は、電子部品の端子部が清掃されてから粘着テープが貼着されるまでの時間を、インデックス手段の回転速度に大きな影響を受けることなく長くすることができ、しかも端子部の清掃に有機溶剤を用いた場合であっても、端子部に乾燥して付着残留する有機溶剤を良好に除去することができるようにした電子部品の実装装置及び実装方法を提供することにある。

この発明は、基板の側辺部に電子部品を実装する実装装置であって、
装置本体と、
この装置本体に設けられキヤリアテープから上記電子部品を打ち抜く打ち抜き装置と、
上記キヤリアテープから上記電子部品を打ち抜く前に、このキヤリアテープに設けられた上記電子部品の端子側の面を清掃する第１の清掃手段と、
上記装置本体に設けられ上記打ち抜き装置によって上記キヤリアテープから打ち抜かれた上記電子部品を保持する複数の保持ヘッドを有するインデックス手段と、
このインデックス手段の上記保持ヘッドに保持された上記電子部品に付着残留する汚れを清掃する第２の清掃手段と、
この第２の清掃手段によって清掃された上記電子部品の上記端子側の面に粘着テープを貼着する貼着装置と、
この貼着装置で粘着テープが貼着された上記電子部品を上記基板に実装する実装手段と
を具備したことを特徴とする特徴とする電子部品の実装装置にある。

上記第１の清掃手段は上記キヤリアテープに有機溶剤を塗布する塗布手段であって、
上記第２の清掃手段は上記電子部品の端子側の面に乾燥して付着残留した上記有機溶剤を擦り落とす構成であることが好ましい。

上記第１の清掃手段はブラシであって、このブラシは振動発生器によって振動させられるようになっていることが好ましい。

上記第１の清掃手段は上記キヤリアテープにプラズマガスを照射するプラズマ照射手段であって、
上記第２の清掃手段は上記電子部品の端子側の面に乾燥して付着残留した上記有機溶剤を擦り落とす構成であることが好ましい。

上記第２の清掃手段は外周面に摺接部材が設けられた回転体を有し、上記電子部品の端子側の面は上記回転体の上記摺接部材によって擦られることが好ましい。

上記第２の清掃手段は外周面に上記電子部品の端子側の面を擦る摺接部材が設けられた回転体を有し、この回転体は振動発生器によって振動させられることが好ましい。

上記第２の清掃手段は上記インデックス手段の保持ヘッドに保持された上記電子部品に接触させられて走行するテープ状部材であることが好ましい。

上記回転体は、外周面の軸方向両端部が他の部分よりも大径に形成されていることが好ましい。

この発明は、基板の側辺部に電子部品を実装する実装方法であって、
キヤリアリアテープから上記電子部品を打ち抜く工程と、
上記キヤリアテープから上記電子部品を打ち抜く前に、このキヤリアテープに設けられた上記電子部品の端子側の面を第１の清掃手段によって清掃する工程と、
清掃されて上記キヤリアテープから打ち抜かれた上記電子部品をインデックス手段の保持ヘッドによって保持する工程と、
上記保持ヘッドに保持された上記電子部品に付着残留する汚れを第２の清掃手段によって清掃する工程と、
第２の清掃手段によって清掃された上記電子部品の上記端子側の面に粘着テープを貼着する工程と、
粘着テープが貼着された上記電子部品を上記基板に実装する工程と
を具備したことを特徴とする特徴とする電子部品の実装方法にある。

この発明によれば、電子部品の端子部が第１の清掃手段によって清掃されてから、インデックス手段の粘着テープを貼着するポジションに搬送されるまでの時間を長くすることができるから、第１の清掃手段で有機溶剤を用いて清掃した場合には電子部品がインデックス手段の粘着テープを貼着するポジションに搬送されるまでに有機溶剤を確実に乾燥させることができ、さらに電子部品に粘着テープを貼着する前に第２の清掃手段によって電子部品に付着残留する汚れを除去するため、粘着テープを電子部品に確実に貼着することが可能となる。

この発明の第１の実施の形態の実装装置の内部構造を示す平面図。 実装装置の内部構造を示す側面図。 供給リールから離型テープに貼着されて繰り出された粘着テープを所定の長さに分断する状態を示す側面図。 受け渡し位置で粘着テープが貼着されたＴＣＰを実装ヘッドに受け渡す状態を示す側面図。 装置本体の側壁の供給口と排出口が形成された部分の正面図。 装置本体内の空間部に気体を流したときに生じる気流を示す説明図。 清掃位置でＴＣＰを清掃する清掃手段を示す構成図。 図８に示す清掃手段の容器の断面図。 （ａ）〜（ｄ）は保持ヘッドに保持されたＴＣＰを清掃する手順を順次示した説明図。 図１０（ａ）はこの発明の第２の実施の形態を示す第１の清掃手段の正面、（ｂ）は同じく側面図。 図１１（ａ）はこの発明の第３の実施の形態を示す第１の清掃手段の正面、（ｂ）は同じく側面図。 図１２（ａ）はこの発明の第４の実施の形態を示す第１の清掃手段の正面、（ｂ）は同じく側面図。 図１３はこの発明の第５の実施の形態を示す第１の清掃手段の正面図。 図１４（ａ）はこの発明の第６の実施の形態を示す第１の清掃手段の正面、（ｂ）は同じく側面図。 この発明の第７の実施の形態を示す第２の清掃手段を構成する回転体の正面図。 この発明の第８の実施の形態を示す第２の清掃手段を構成する回転体の正面図。 図１７（ａ）はこの発明の第７の実施の形態を示す第２の清掃手段を構成する回転体の正面図、（ｂ）は回転体の拡大断面図。

以下、この発明の実施の形態を図面を参照しながら説明する。
図１乃至図９はこの発明の第１の実施の形態を示す。図１は実装装置の内部構造を示す平面図、図２は同じく側面図である。図１と図２に示すように、上記実装装置はクリーンルームに設置される箱型状の装置本体１を備えている。この装置本体１の前後方向後端側の幅方向中央部には後方へ突出した突出部２が形成されていて、この突出部２にはテープ状部材としてのキヤリアテープ３から電子部品としてのＴＣＰ４を打ち抜くための第１の打ち抜き装置５Ａと第２の打ち抜き装置５Ｂが装置本体１の幅方向の中心線Ｏ（図１に示す）に対して左右に対称に配置されている。

つまり、上記キヤリアテープ３には所定間隔で上記ＴＣＰ４が形成されていて、そのＴＣＰ４が上記第１の打ち抜き装置５Ａ或いは第２の打ち抜き装置５Ｂによって打ち抜かれるようになっている。

上記第１の打ち抜き装置５Ａと第２の打ち抜き装置５Ｂは交互に稼動され、一方の打ち抜き装置５Ａ又は５Ｂによって打ち抜かれたＴＣＰ４は一対の第１の受け渡し手段６Ａ、６Ｂによって受け取られる。

すなわち、第１の打ち抜き装置５ＡによってＴＣＰ４を打ち抜いているときには第２の打ち抜き装置５Ｂが待機しており、第１の打ち抜き装置５Ａに供給されるキヤリアテープ３からＴＣＰ４を打ち抜き終わったときに、第２の打ち抜き装置５Ｂが稼動されて第１の打ち抜き装置５Ａにキヤリアテープ３の新たな部分が供給される。それによって、キヤリアテープ３から打ち抜かれたＴＣＰ４は一対の第１の受け渡し手段６Ａ,６Ｂに交互に供給されるようになっている。

上記第１、第２の打抜き装置５Ａ，５Ｂは、図２に示すように下面にポンチ１１ａが設けられた上金型１１と、上記ポンチ１１ａが入り込む貫通孔１２ａが上下方向に形成された下金型１２を備えている。上記上金型１１は駆動源１３によって矢印で示す上下方向に駆動されるようになっている。

上記キヤリアテープ３は供給リール１４から繰り出され、複数のガイドローラ１５によって方向変換され、一部が上記下金型１２の上面に沿って平行に走行するようガイドされて巻き取りリール１６に巻き取られるようになっている。

なお、供給リール１４にはキヤリアテープ３を保護する保護テープ１７がキヤリアテープ３と重ねて巻装されている。上記供給リール１４からキヤリアテープ３とともに繰り出された保護テープ１７はキヤリアテープ３と分離され、上記打抜き装置５Ａ，５ＢによってＴＣＰ４が打抜かれたキヤリアテープ３と一緒に上記巻き取りリール１６に巻き取られるようになっている。

上記キヤリアテープ３の一方の面には、このキヤリアテープ３に形成されたＴＣＰ４の端子（図示せず）が設けられている。上記キヤリアテープ３の上記ＴＣＰ４の端子が設けられた一方の面は、キヤリアテープ３から上記ＴＣＰ４を上記第１の打ち抜き装置５Ａ或いは第２の打ち抜き装置５Ｂによって打ち抜く前に、第１の清掃手段としての噴射ノズル８から噴射されるエチルアルコール、ＩＰＡ（イソ・プロピル・アルコール）或いはアセトンなどの有機溶剤によって清掃される。

この実施の形態では、上記噴射ノズル８は図２において上記キヤリアテープ３が上下一対のガイドローラ１５によって上方から下方に向かって垂直に走行する部分に対向して配置されている。

上記噴射ノズル８よりも、上記キヤリアテープ３の走行方向下流側には、このキヤリアテープ３の一方の面に噴射された有機溶剤を早期に乾燥させるための清浄空気や不活性ガスなどの気体を噴射するための乾燥ノズル９が配置されている。

それによって、上記キヤリアテープ３の一方の面は、上記噴射ノズル８から噴射される有機溶剤によって清掃された後、その一方の面に付着残留する有機溶剤が乾燥ノズル９からの気体によって乾燥させられる。その結果、キヤリアテープ３の一方の面には有機溶剤が固化して粉末状となって付着残留する。

上記第１の打ち抜き装置５Ａ或いは第２の打ち抜き装置５Ｂによって打ち抜かれて一方の上記第１の受け渡し手段６Ａが受けたＴＣＰ４は、第１のインデックス手段１８Ａまで搬送され、この第１のインデックス手段１８Ａに設けられた保持ヘッド１９に受け渡される。

他方の第１の受け渡し手段６Ｂが受けたＴＣＰ４は第２のインデックス手段１８Ｂまで搬送され、この第２のインデックス手段１８Ｂに設けられた保持ヘッド１９に受け渡される。

上記第１、第２のインデックス手段１８Ａ，１８Ｂは、図２に示すように第１のθ駆動源２１によって周方向に９０度間隔で間欠的に回転駆動されるインデックステーブル２２を有する。各インデックステーブル２２の下面には周方向に９０度間隔で複数の上記保持ヘッド１９が設けられている。

それによって、上記一対の第１の受け渡し手段６Ａ，６Ｂによって搬送されたＴＣＰ４は各インデックス手段１８Ａ，１８Ｂの保持ヘッド１９によって吸着保持される。つまり、ＴＣＰ４は第１の受け渡し手段６Ａ，６Ｂからインデックス手段１８Ａ，１８Ｂの保持ヘッド１９に受け渡される。インデックス手段１８Ａ，１８Ｂの保持ヘッド１９がＴＣＰ４を受け取る受け取り位置を図１にＡで示す。
なお、各インデックステーブル２２の回転方向は図１に矢印で示すように逆方向となっている。

上記第１、第２の打ち抜き装置５Ａ，５Ｂによって打ち抜かれたＴＣＰ４は、各受け渡し手段６Ａ，６Ｂのそれぞれの受け具２４によって交互に受け取られる。この受け具２４は図２に矢印で示すＸ方向、つまり装置本体１の前後方向に沿って駆動されるＸテーブル２５にＺθ駆動源２３によって上下方向となるＺ方向及び回転方向となるθ方向に駆動可能に設けられている。上記Ｘテーブル２５は、Ｘ方向に沿って設けられたＸガイド体２６に移動可能に設けられ、図示しないリニアモータなどによって上記Ｘガイド体２６に沿って駆動可能となっている。

一方の第１の受け渡し手段６Ａの受け具２４は、第１の打ち抜き装置５ＡからＴＣＰ４を受けると、図１に矢印Ｘで示す装置本体１の前後方向及び矢印Ｙで示す幅方向に駆動され、上記受け具２４の上面に保持されたＴＣＰ４の一端部が第１のインデックス手段１８Ａのインデックステーブル２２の下面に周方向に９０度間隔で設けられた４つの保持ヘッド１９のうちの、上記受け取り位置Ａに位置決めされた保持ヘッド１９の下方に対向するよう駆動位置決めされる。

同様に、他方の第１の受け渡し手段６Ｂの受け具２４は、ＴＣＰ４を受けると第２のインデックス手段１８Ｂのインデックステーブル２２の下面に周方向に９０度間隔で設けられた４つの保持ヘッド１９のうちの、上記受け取り位置Ａに位置決めされた保持ヘッド１９の下方に対向するよう駆動位置決めされる。

位置決めされた受け具２４はＺθ駆動源２３によって上昇方向に駆動される。それによって、受け具２４に保持されたＴＣＰ４が上記インデックステーブル２２に設けられた保持ヘッド１９の下面に接近して接触し、その状態でＴＣＰ４が上記受け具２４から上記保持ヘッド１９に受け渡されて吸着保持される。

ＴＣＰ４が第１、第２のインデックス手段１８Ａ，１８Ｂのインデックステーブル２２に設けられた保持ヘッド１９に受け渡されると、一対のインデックステーブル２２は上記第１のθ駆動源２１によって図１に矢印で示す逆方向にそれぞれ９０度の角度で間欠的に回転駆動される。それによって、ＴＣＰ４を吸着保持した各インデックステーブル２２の保持ヘッド１９は図１にＢで示す清掃位置に位置決めされる。

上記受け具２４からＴＣＰ４を受けた保持ヘッド１９がインデックステーブル２２とともに周方向に９０度回転駆動されて清掃位置Ｂに位置決めされると、上記保持ヘッド１９に保持された上記ＴＣＰ４の端子部４ａ（図７及び図９（ａ）〜（ｄ）に示す）は後述する第２の清掃手段９１によって清掃され、この端子部４ａに付着して粉末状に固化した有機溶剤が除去される。

つまり、清掃前に端子部４ａに付着していた有機物などの汚れは、第１の清掃手段の噴射ノズル８によって噴射供給された有機溶剤によって分解されてから乾燥し、粉末状になって端子部４ａに付着た後、第２の清掃手段９１によって端子部４ａから除去されるようになっている。

上記保持ヘッド１９に保持された上記ＴＣＰ４は、上記第２の清掃手段９１によってクリーニングされる前と、クリーンニングされた後で、後述する位置決め手段９２によって上記保持ヘッド１９に対する保持位置が一定になるよう位置決めされる。

ＴＣＰ４の端子部４ａが上記第２の清掃手段９１によってクリーニングされてから、上記位置決め手段９２によって位置決めされると、そのＴＣＰ４を保持した保持ヘッド１９は、インデックステーブル２２とともに周方向に９０度回転駆動されて図１にＣで示す貼着位置に位置決めされる。

貼着位置Ｃに位置決めされたＴＣＰ４は、第１、第２の貼着装置３１Ａ，３１Ｂによって上記ＴＣＰ４の上記第１の清掃手段であり、しかも塗布手段である噴射ノズル８と、第２の清掃手段９１によって清掃された端子部４ａに、その端子部４ａと対応する長さに切断された異方性導電部材からなら粘着テープ３２が後述するように貼着される。

上記第１、第２のインデックス手段１８Ａ，１８Ｂ及び第１、第２の貼着装置３１Ａ，３１Ｂは、第１、第２の打ち抜き装置５Ａ，５Ｂと同様、装置本体１の幅方向の中心線Ｏに対して左右対称に配置されている。

第１、第２のインデックス手段１８Ａ，１８Ｂは第１、第２の打ち抜き装置５Ａ，５Ｂよりも装置本体１の幅方向外方に配置され、第１、第２の貼着装置３１Ａ，３１Ｂは第１、第２のインデックス手段１８Ａ，１８Ｂよりも幅方向外方に配置されている。

上記第１、第２の貼着装置３１Ａ，３１Ｂは図２に示すように装置本体１内の底面に近い下部に配置された供給リール３４を有する。この供給リール３４には上記粘着テープ３２が離型テープ３５の一側面に貼着されて巻装されている。

離型テープ３５の一側面に貼着された上記粘着テープ３２は上記供給リール３４から帯板状の支持ブロック３３の板面に沿って上方にほぼ垂直に引き出され、第１のガイドローラ３６によって粘着テープ３２が上を向くよう水平方向に方向変換されて走行する。

図３に示すように、上記粘着テープ３２が上記支持ブロック３３に対向して垂直に走行する部分では、切断手段３７を構成する駆動源３７ａによって二枚刃を有するカッタ３７ｂが矢印で示す粘着テープ３２に接近する方向に駆動されることで、その粘着テープ３２に２本の切断線３２ａを所定間隔で形成する。
なお、粘着テープ３２が貼着された離型テープ３５はカッタ３７ｂによって切断されないよう、上記カッタ３７ｂによる切込み量が設定されている。

上記粘着テープ３２の２本の切断線３２ａによって他の部分と分離された部分、つまり抜き取り部分３２ｂは切断手段３７よりも上方に配置された抜き取り手段３９によって抜き取られる。それによって、粘着テープ３２は所定長さ、つまりＴＣＰ４に対応する長さに分離される。

上記抜き取り手段３９は、駆動源３９ａと、この駆動源３９ａによって上記粘着テープ３２に接離する方向に駆動される押圧部３９ｂと、この押圧部３９ｂによって上記抜き取り部分３２ｂに押圧される除去テープ４０を有する。

除去テープ４０の一部が上記押圧部３９ｂによって粘着テープ３２の抜き取り部分３２ｂに押圧されることで、この抜き取り部分３２ｂが除去テープ４０に貼着されて除去される。なお、除去テープ４０は図示しない供給リールから繰り出され、同じく図示しない巻き取りリールによって所定長さずつ巻き取られるようになっている。

所定長さに分断された粘着テープ３２は、図２に示すように離型テープ３５とともに上記第１のガイドローラ３６によって水平方向に方向変換されて走行し、上記第１のガイドローラ３６に対して所定間隔で配置された第２のガイドローラ４１によって下方に方向変換される。

上記離型テープ３５の上記第１のガイドローラ３６と第２のガイドローラ４１との間の部分は、上記インデックステーブル２２の貼着位置Ｃに位置決めされた保持ヘッド１９に保持されたＴＣＰ４の清掃された端子部４ａの下面に対向して走行する。

上記離型テープ３５は、図示しない駆動源によって開閉駆動及び同図にＺで示す上下方向に往復駆動されるチャック機構４２によって挟持されて所定長さづつ間欠的に搬送される。つまり、離型テープ３５の所定長さに切断された粘着テープ３２が貼着された部分はチャック機構４２によって貼着位置Ｃに位置決めされた保持ヘッド１９の下方を水平に走行するようになっている。

上記離型テープ３５がチャック機構４２によって間欠的に搬送され、所定長さに分離された粘着テープ３２が貼着位置Ｃに位置決めされた保持ヘッド１９に保持されたＴＣＰ４の端子部４ａの下方に対向するよう位置決めされると、その粘着テープ３２は押し上げ手段４３によって加熱されながら上記ＴＣＰ４に加圧貼着される。

上記押し上げ手段４３は、駆動源４４によって上昇方向に駆動される加圧体４５を有する。この加圧体４５は熱源となるヒータ４５ａが内蔵されている。そして、加圧体４５が上昇方向に駆動されると、この加圧体４５は離型テープ３５を介して所定長さに分離された上記粘着テープ３２を上記ＴＣＰ４の端子部４ａに加熱しながら加圧する。

それによって、所定長さに分離された粘着テープ３２はＴＣＰ４の端子部４ａに貼着される。なお、粘着テープ３２はヒータ４５ａによって加熱されることで粘着性が向上するから、ＴＣＰ４の端子部４ａに確実に貼着されることになる。

粘着テープ３２がＴＣＰ４に貼着されると、図示しない離型ローラによってその粘着テープ３２から離型テープ３５が剥離される。剥離後、インデックステーブル２２はさらに９０度回転させられる。

それによって、粘着テープ３２が貼着されたＴＣＰ４を保持した保持ヘッド１９は図１にＤで示す受け渡し位置に位置決めされる。それと同時に、離型テープ３５がチャック機構４２によって搬送され、粘着テープ３２の所定長さに切断された新たな部分が貼着位置ＣのＴＣＰ４に対向位置決めされる。なお、離型テープ３５の粘着テープ３２が貼着除去された部分は回収容器４６に格納される。

粘着テープ３２が貼着されて受け渡し位置Ｄに位置決めされたＴＣＰ４は、一対の第２の受け渡し手段５１Ａ、５１Ｂによってそれぞれ実装手段としての一対の実装ヘッド５３に受け渡される。

なお、一対の第２の受け渡し手段５１Ａ、５１Ｂから一対の実装ヘッド５３へのＴＣＰ４の受け渡しは、一対の第２の受け渡し手段５１Ａ、５１Ｂの一方から一対の実装ヘッド５３の一方に対して行った後、他方から他方の実装ヘッド５３に対して行われる。つまり、ＴＣＰ４は一対の実装ヘッド５３に対して交互に受け渡されるようになっている。

図４に示すように、各第２の受け渡し手段５１Ａ、５１ＢはＸ方向に沿って配置されたＸガイド体５５を有する。このＸガイド体５５には可動体５６が図示せぬ駆動源によって駆動可能に設けられている。この可動体５６にはＺ駆動源５７が設けられている。このＺ駆動源５７の駆動軸５７ａは上下方向であるＺ方向に駆動されるようになっていて、その先端には側面形状がＬ字状の受け具５４が取り付けられている。

受け具５４は、上記可動体５６によってＸ方向に駆動され、その上面（吸着面）が上記受け渡し位置Ｄに位置決めされた保持ヘッド１９に吸着保持されたＴＣＰ４の粘着テープ３２が貼着されていない他端部に対向するよう位置決めされる。

ついで、受け具５４は鎖線で示すようにＺ方向上方に駆動されて上記ＴＣＰ４の他端部の下面を吸着する。それと同時に、ＴＣＰ４は保持ヘッド１９による吸着保持が解除される。それによって、ＴＣＰ４はインデックステーブル２２の保持ヘッド１９から受け具５４に受け渡される。

ＴＣＰ４を受けた受け具５４が下降すると、可動体５６は図４に矢印Ｘで示す方向に駆動され、鎖線で示す位置に位置決めされる。それによって、受け具５４は、その移動方向の上方で待機した上記実装ヘッド５３の下方に対向するよう位置決めされる。実装ヘッド５３はＸ・Ｙ・Ｚ・θ駆動源５８によってＸ、Ｙ、Ｚ及びθ方向に駆動されるようになっている。

上記実装ヘッド５３の下方に上記受け具５４が位置決めされると、実装ヘッド５３は下降方向に駆動されて受け具５４に吸着保持されたＴＣＰ４の粘着テープ３２が貼着された一端部の上面を吸着する。それと同時に、上記受け具５４による上記ＴＣＰ４の吸着状態が解除される。それによって、ＴＣＰ４は上記受け具５４から実装ヘッド５３に受け渡される。

ＴＣＰ４を受けた実装ヘッド５３は、図２に示すようにテーブル装置６１の上面に吸着保持された基板Ｗの上記ＴＣＰ４が実装される側部の上方に位置決めされる。実装ヘッド５３と基板Ｗは図示しない撮像手段によって撮像され、その撮像手段からの撮像信号に基いて上記基板Ｗの実装位置の上方に上記ＴＣＰ４が位置決めされるよう、上記Ｘ・Ｙ・Ｚ・θ駆動源５８によってＸ、Ｙ及びθ方向に対して駆動される。

上記実装ヘッド５３に吸着保持されたＴＣＰ４が基板Ｗの実装位置の上方に位置決めされると、上記実装ヘッド５３は上記Ｘ・Ｙ・Ｚ・θ駆動源５８によって下降方向に駆動される。それによって、実装ヘッド５３に吸着保持されたＴＣＰ４が基板Ｗの側辺部に実装される。

このようにして、粘着テープ３２が貼着された複数のＴＣＰ４が図１に鎖線で示すようにテーブル装置６１の上面に吸着保持された基板Ｗの側辺部に対して所定間隔で順次実装される。

上記装置本体１内の前端部には一対のＹガイドレール６２が装置本体１の幅方向、つまりＸ方向と直交するＹ方向に沿って敷設されている。上記テーブル装置６１は上記Ｙガイドレール６２に移動可能に設けられていて、図示せぬ駆動源によってＹガイドレール６２に沿って駆動されるようになっている。

図１に示すように、上記装置本体１の前端部の幅方向の一側部には供給口６４が開口形成されている。上記テーブル装置６１がＹガイドレール６２に沿って上記装置本体１の幅方向の一側部に移動したとき、図１に鎖線で示す供給装置６３が上記供給口６４から装置本体１内の上記テーブル装置６１に基板Ｗを供給するようになっている。

上記装置本体１の前端部の幅方向の他側部には排出口６６が開口形成されている。上記テーブル装置６１がＹガイドレール６２に沿って上記装置本体１の幅方向の他側部に移動したとき、図１に鎖線で示す排出装置６５が上記排出口６６から装置本体１内に入り込み、上記テーブル装置６１の基板Ｗ、つまり側辺部に複数のＴＣＰ４が実装された基板Ｗを搬出するようになっている。

図５に示すように、上記装置本体１の両側部の上記供給口６４と排出口６６の上辺に対向する部位には、幅方向全長にわたって気体噴射手段としてのノズル体６７が設けられている。ノズル体６７には複数の噴射ノズル６８が所定間隔で設けられ、これら噴射ノズル６８から噴射される清浄な気体によって上記供給口６４と排出口６６にエアカーテンを形成する。それによって、装置本体１の外部から内部に塵埃を含む外気が入り込むのを防止している。

図１に示すように、上記装置本体１の中央部は一対の打ち抜き装置５Ａ，５Ｂ、一対のインデックス手段１８Ａ，１８Ｂ及びテーブル装置６１によって囲まれた空間部７１が形成されている。この空間部７１は図６に示すように装置本体１の上下方向全長にわたって貫通している。

上記空間部７１に対向する上記装置本体１の天井部には送気ユニット７２が設けられている。この送気ユニット７２は図２に示すようにＨＥＰＡフィルタ７３及び送気ファン７４を内蔵したケーシング７５を有し、ＨＥＰＡフィルタ７３によって清浄化されたクリーンルーム内の気体（空気）が送気ファン７４によって上記ケーシング７５の下端面に形成された吹出口７６から装置本体１内に所定の流速で供給されるようになっている。

上記吹出口７６は装置本体１の幅方向（Ｙ方向）に沿って細長く形成されている。それによって、上記吹出口７６から装置本体１内に供給される気体（図６に白抜きの矢印Ｍで示す）は装置本体１内に設けられた一対の打ち抜き装置５Ａ，５Ｂ、つまり上下一対の金型１１、１２に沿って上方から下方に流れるようになっている。

上記空間部７１に対向する上記装置本体１の底部には、上記送気ユニット７２とで塵埃除去手段を構成する排気ユニット７７が設けられている。この排気ユニット７７は図２に示すようにケーシング７８内に上記送気ユニット７２から装置本体１の空間部７１に供給された気体を吸引して排出する排気ファン７９が設けられ、この排気ファン７９によって吸引した装置本体１内の気体を下面の排気口８０から外部に排出するようになっている。

上記送気ユニット７２から供給された気体が上記空間部７１内を所定の速度で流れて排気ユニット７７から排出されると、その気体の流れによって装置本体１内には上記空間部７１を流れる気体に向かう吸引力が発生する。吸引力によって発生する気流を図６に矢印Ｎで示す。

上記送気ユニット７２から吐出されて排気ユニット７７から排出される気流を主流とし、この主流の吸引力によって装置本体１内の上記主流に向かう雰囲気の流れを誘引流とする。

それによって、上記装置本体１内の上下一対の金型１１、１２でキヤリアテープ３からＴＣＰ４を打ち抜く際に発生する塵埃、上記一対のインデックステーブル２２でＴＣＰ４から上記第２の清掃手段９１によって除去された塵埃、或いは装置本体１内の各種の駆動部分から発生する塵埃など、装置本体１内で種々の原因によって発生する塵埃は、上記空間部７１を上下方向に流れる主流Ｍ及び主流Ｍの吸引力によって発生する誘引流Ｎによって排気ユニット７７から外部に排出されることになる。すなわち、装置本体１内の中心部に塵埃が集まることで、塵埃が拡散して他の装置に付着するのを防止することができる。

図１に示すように、上記装置本体１の周壁のうち、たとえば幅方向の両側壁には開口部８１が形成されている。各開口部８１にはフィルタ８２が設けられている。上記装置本体１の空間部７１に気体が流れ、その気流Ｍによって吸引力が生じると、その吸引力によって装置本体１の外部の気体が上記フィルタ８２で浄化された装置本体１内に導入されるようになっている。

装置本体１の側壁にフィルタ８２を設けると、空間部７１を流れる主流Ｍによって吸引力が発生することで、その吸引力によって装置本体１内には上記空間部７１に向かう誘引流Ｎが発生し易くなる。つまり、主流Ｍの吸引力によって生じる誘引流Ｎの流量が増大する。それによって、装置本体１内で発生する塵埃が上記空間部７１を流れる気流に巻き込まれ易くなる。

つまり、装置本体１内に種々の原因によって塵埃が発生しても、その塵埃は装置本体１内を浮遊することなく、空間部７１を流れる主流Ｍと誘引流Ｎによって外部に排出され易くなる。また、吸引力によってフィルタ８２からは浄化された気体が導入される。

それによって、装置本体１内で発生した塵埃が、第１、第２の貼着装置３１Ａ，３１Ｂの供給リール３４から繰り出された粘着テープ３２、第１、第２の貼着装置３１Ａ，３１ＢからＴＣＰ４に貼着された粘着テープ３２、或いはテーブル装置６１に保持された基板Ｗの上面などに付着するのが防止される。しかも、浄化された気体で塵埃が流されて常に清浄な状態を維持することができる。

上記第２の清掃手段９１は図７に示すように平板状の上下可動体９３を有する。この上下可動体９３は駆動源としてのリニアモータ９４によって、上記清掃位置Ｂの下方で上下方向に駆動されるようになっている。なお、リニアモータ９４は上記上下可動体９３を任意の高さ位置で位置決めできるようになっている。

上記上下可動体９３の上面には支持容器９５が設けられている。この支持容器９５は図８に示すように上面が開口し、この開口部分には外周面に比較的厚手の布地などからなる摺接部材９６が装着された回転体９７が設けられている。この回転体９７は、軸線が水平になるよう、その支軸９７ａの両端部が上記支持容器９５の側壁に設けられた軸受９７ｂに回転可能に支持されている。

上記回転体９７は、図７に示すように上記各インデックス手段１８Ａ，１８Ｂの保持ヘッド１９に保持されたＴＣＰ４が上記清掃位置Ｂに位置決めされたとき、このＴＣＰ４の図示しないリードが設けられた一端部分の端子部４ａの真下に位置し、しかも上記ＴＣＰ４の幅方向に対して軸線が平行になるよう位置決めされる。

図８に示すように、上記支持容器９５に支持された回転体９７に装着された摺接部材９６の径方向の下方の部分は、上記支持容器９５内に設けられたクリーニングブラシ９８に接触している。それによって、上記回転体９７の外周面に後述するように付着した塵埃が上記クリーニングブラシ９８によって除去されて支持容器９５内に落下堆積するようになっている。

図７に示すように、上記上下可動体９３の上面の、上記支持容器９５よりもインデックス手段１８Ａ，１８Ｂ側の部分には回転駆動源１０２が設けられている。この回転駆動源１０２の出力軸に設けられた駆動プーリ１０３と、上記回転体９７の一方の支軸９７ａに設けられた従動プーリ１０４との間にはベルト１０５が張設されている。したがって、上記回転駆動源１０２が作動すれば、上記回転体９７は図７に矢印で示す時計方向に回転駆動されるようになっている。

そして、上記上下可動体９３を上記リニアモータ９４によって上昇させ、上記回転体９７を上記清掃位置Ｂに位置決めされた保持ヘッド１９に保持されたＴＣＰ４のリードが設けられた部分の下面に接触させれば、このＴＣＰ４の下面は回転駆動される回転体９７の外周面に設けられた摺接部材９６に擦られて清掃されるようになっている。

上記上下可動体９３の上面の、支持容器９５を挟んで上記回転駆動源１０２と反対側の部分には上述した上記位置決め手段９２を構成する駆動手段としてのシリンダ１０７が支持体１０８に支持されて設けられている。このシリンダ１０７は、その軸線を水平にし、しかも上記回転体９７の径方向上端よりも上方に位置させている。

上記シリンダ１０７のロッド１０７ａの先端には上記ＴＣＰ４の幅寸法とほぼ同じ長さに形成された矩形板状の押圧部材１０９が取り付けられている。この押圧部材１０９は上記清掃位置Ｂに位置決めされたＴＣＰ４が上記回転体９７によって清掃される前と、清掃された後で、上記ＴＣＰ４を押圧して上記保持ヘッド１９に対して位置決めするようになっている。

すなわち、図９（ａ）に示すように、ＴＣＰ４を上記回転体９７によって清掃する前に、回転体９７の摺接部材９６がＴＣＰ４に接触せずに、押圧部材１０９が保持ヘッド１９に保持されたＴＣＰ４と対応する高さになるよう上記リニアモータ９４によって上下可動体９３を下降位置から第１の上昇位置Ｈ１まで上昇させる。

上下可動体９３を第１の上昇位置まで上昇させたならば、図９（ｂ）に示すようにシリンダ１０７を作動させて押圧部材１０９を前進させる。それによって、押圧部材１０９は保持ヘッド１９に保持されたＴＣＰ４の端面を押圧するから、ＴＣＰ４は端面が保持ヘッド１９の端面に対して図９（ａ）にδで示すようにずれていても、これら両者の端面が一致するよう、ＴＣＰ４が保持ヘッド１９に対して位置決めされる。つまり、保持ヘッド１９はＴＣＰ４を吸着保持しているから、押圧部材１０９によって押圧することでＴＣＰ４を保持ヘッド１９に対して位置決めすることが可能である。

ＴＣＰ４を清掃前に位置決めしたならば、図９（ｃ）に示すように上記押圧部材１０９を後退させた後、上記上下可動体９３を第１の上昇位置Ｈ１からさらに上昇させて、上記回転体９７の径方向の上端側が保持ヘッド１９に保持されたＴＣＰ４の下面に接触する高さ、つまり第２の高さ位置Ｈ２まで上昇させる。このとき、シリンダ１０７も回転体９７と一緒に上昇する。

上記回転体９７は上下可動体９３が第１の高さ位置Ｈ１から第２の高さ位置Ｈ２に上昇駆動されるときに、回転駆動源１０２によって図９（ｃ）に矢印で示す時計方向に回転させられる。したがって、上下可動体９３が第２の高さ位置に位置決めされることで、保持ヘッド１９に保持されたＴＣＰ４の下面のリードが設けられた端子部４ａが上記回転体９７の外周面に設けられた摺接部材９６によって擦られて清掃されることになる。

つまり、ＴＣＰ４を保持ヘッド１９に対して位置決めしてから、このＴＣＰ４を第２の清掃手段９１を構成する回転体９７の摺接部材９６で清掃するようにしている。そのため、保持ヘッド１９に保持されたＴＣＰ４を、この保持ヘッド１９に対して予め所定の位置になるよう設定された回転体９７の摺接部材９６によって確実に清掃することが可能となる。

なお、回転体９７の外周面に設けられた摺接部材９６に付着した塵埃は、支持容器９５内に設けられた上記クリーニングブラシ９８に擦られて除去されるようになっている。

上記保持ヘッド１９に保持されたＴＣＰ４には、上記回転体９７の回転力によって上記押圧部材１０９により押圧される方向と逆方向の摩擦力が作用する。そのため、ＴＣＰ４は上記保持ヘッド１９の下面で上記摩擦力の方向、つまり図９（ａ）に示すように位置ずれすることがある。

そこで、回転体９７による清掃が終了したならば、上下可動体９３を第２の高さ位置Ｈ２から第１の高さ位置Ｈ１まで下降させて回転体９７を停止させてから、図９（ｄ）に示すように上記シリンダ１０７を作動させて上記押圧部材１０９を再度、前進方向に駆動する。

それによって、保持ヘッド１９の下面に保持されたＴＣＰ４は上記押圧部材１０９によって再度、上記保持ヘッド１９に対して位置決めされる。つまり、回転体９７でＴＣＰ４を清掃することで、ＴＣＰ４が回転体９７の摩擦力で位置ずれが生じても、その位置ずれが補正されることになる。

回転体９７の摩擦力によって上記保持ヘッド１９に保持されたＴＣＰ４に生じる位置ずれの方向は、上記押圧部材１０９によって押圧される方向と逆方向である。そのため、回転体９７による清掃でＴＣＰ４に位置ずれが生じても、その位置ずれは上記押圧部材１０９によってＴＣＰ４の端部を押圧することで、修正することができる。

したがって、ＴＣＰ４を清掃位置Ｂで清掃した後、貼着位置Ｃで所定長さに分断された粘着テープ３２を上記ＴＣＰ４の下面に貼着する際、上記保持ヘッド１９に位置ずれのない状態で保持された上記ＴＣＰ４は上記貼着位置Ｃに精密に位置決めされることになるから、このＴＣＰ４に対して上記粘着テープ３２を位置ずれが生じることなく確実に貼着することができる。

それによって、上記ＴＣＰ４を基板Ｗに実装する際、ＴＣＰ４に貼着された粘着テープ３２の位置ずれによる実装不良を招くのを防止することができる。

すなわち、上述した実施の形態では、ＴＣＰ４を基板Ｗに実装する前であって、しかも上記ＴＣＰ４が第１、第２の打ち抜き装置５Ａ，５Ｂによってキヤリアテープ３から打ち抜かれる前に、このキヤリアテープ３に形成されたＴＣＰ４の端子が設けられる一側面に、第１の清掃手段を構成する噴射ノズル８によって有機溶剤を噴射するようにした。

それによって、上記キヤリアテープ３の一側面に付着した有機物が有機溶剤によって分解除去される。そして、分解除去された有機溶剤は上記噴射ノズル８よりもキヤリアテープ３の走行方向下流側に設けられた乾燥ノズル９から噴射される気体によって乾燥させられる。

しかも、ＴＣＰ４が打ち抜かれる前のキヤリアテープ３に有機溶剤を噴射して有機物を分解除去するようにしているため、キヤリアテープ３からＴＣＰ４が打ち抜かれ、そのＴＣＰ４が受け渡し位置Ａでインデックステーブル２２の保持ヘッド１９に受け渡された後、第２の清掃手段９１によって清掃される清掃位置Ｂに搬送位置決めされるまでに、十分な時間を確保することができる。

そのため、キヤリアテープ３から打ち抜かれたＴＣＰ４に付着した有機溶剤は、清掃位置Ｂに搬送位置決めされるまでに十分に乾燥して粉末状に固化するから、ＴＣＰ４の端子部４ａが上記清掃位置Ｂで、第２の清掃手段９１の回転体９７に設けられた摺接部材９６によって擦られることで、上記端子部４ａに付着した塵埃を含む粉末状の有機溶剤が確実に除去されることになる。つまり、ＴＣＰ４の端子部４ａが良好に清掃されることになる。

したがって、インデックステーブル２２の保持ヘッド１９に保持されたＴＣＰ４が清掃位置Ｂから貼着位置Ｃに搬送されると、ＴＣＰ４の端子部４ａには所定長さに切断された粘着テープ３２が第１、第２の貼着装置３１Ａ，３１Ｂによって捲れなどの接着不良を招くことなく、確実に、しかも強固に貼着されることになる。

なお、上記第２の清掃手段９１が設けられた装置本体１内には、図６に矢印ＭとＮで示すように空間部７１から排気ユニット７７に向かって気体が流れている。そのため、噴射ノズル８によってキヤリアテープ３に噴射供給された有機溶剤は装置本体１内を流れる矢印ＭとＮで示す気体の流れによっても乾燥が助長されることになる。

すなわち、ＴＣＰ４の端子部４ａを清掃するための有機溶剤を、第１の清掃手段の噴射ノズル８によってＴＣＰ４を打ち抜く前のキヤリアテープ３に噴射供給するようにしている。そのため、インデックステーブル２２の回転速度を遅くするなどしてＴＣＰ４が貼着位置Ｃに搬送位置決めされるまでの時間を遅らせるよう調整することなく、ＴＣＰ４の端子部４ａに粘着テープ３２を確実に接着することができるから、生産性の低下を招くことなく、ＴＣＰ４の端子部４ａの清掃を確実に行なうことが可能となる。

上記第２の清掃手段９１で、保持ヘッド１９に保持されたＴＣＰ４を押圧部材１０９によって位置決めする際、押圧部材１０９が保持ヘッド１９の側面に圧接するまでＴＣＰ４の端面を上記押圧部材１０９で押圧して上記ＴＣＰ４を位置決めするようにした。

そのため、ＴＣＰ４の一端部は保持ヘッド１９の下端面（吸着面）から突出することなく保持されるから、その一端部に粘着テープ３２を貼着する際、その一端部を撓ませることなく行なうことができる。それによって、ＴＣＰ４の一端部に粘着テープ３２を位置ずれが生じるようなことなく、確実に貼着することができる。

しかも、押圧部材１０９を保持ヘッド１９の側面に圧接させてＴＣＰ４を位置決めするため、保持ヘッド１９に対するＴＣＰ４の位置決めを、上記押圧部材１０９によって正確に行なうことができるということもある。

図１０（ａ）、（ｂ）はこの発明の第１の清掃手段の変形例を示す第２の実施の形態である。この第２の実施の形態では有機溶剤を第１の実施の形態の噴射ノズル８に代わり、一側面が開口した容器状の保持体１１１内に有機溶剤を含浸させることのできるスポンジなどの弾性部材１１２が、一端部を上記保持体１１１の開口面から突出させて収容されている。

上記保持体１１１には給液管１１３が接続されていて、この給液管１１３によって上記弾性部材１１２に有機溶剤が供給されるようになっている。

上記保持体１１１は開口面をキヤリアテープ３に形成されたＴＣＰ４の端子部４ａが設けられた一側面に対向して配置されている。そして、保持体１１１は、その一側面から突出した弾性部材１１２の一端部を上記キヤリアテープ３の一側面に接触させて配置される。

上記弾性部材１１２はキヤリアテープ３に形成されたＴＣＰ４の幅方向全長に接触する幅寸法を有している。

なお、保持体１１１を図示せぬ駆動源によって上記キヤリアテープ３の一側面に対して接離する方向に駆動可能に設け、キヤリアテープ３の一側面を清掃するときにだけ、その一側面に弾性部材１１２が接触するよう、上記保持体１１１を駆動位置決めするようにしてもよい。

上記キヤリアテープ３の弾性部材１１２が接触した部分の他側面には、キヤリアテープ３が弾性部材１１２に押圧されることで、大きく撓むのを防止するための押さえ部材１１４が設けられている。押さえ部材１１４はキヤリアテープ３を傷付けることがない、樹脂などによって形成されている。

このような構成によれば、キヤリアテープ３の一側面に接触する弾性部材１１２によってキヤリアテープ３の一側面に有機溶剤を厚さにむらなく均一に供給塗布することができる。

つまり、噴射ノズル８によってキヤリアテープ３に有機溶剤を供給する第１の実施の形態に比べてキヤリアテープ３の一側面に有機溶剤を確実に供給塗布することが可能となるから、キヤリアテープ３に供給塗布された有機溶剤の乾燥を均一に、しかも短時間で行なうことができる。

なお、弾性部材１１２は２つに分割し、キヤリアテープ３に形成されたＴＣＰ４の幅方向両端部だけに接触させるようにしてもよい。それによって、端子部４ａの少なくとも長手方向の両端部だけは確実に清掃することができるから、上記端子部４ａに貼着された粘着テープ３２の両端部が捲れるのを防止することができる。

図１１（ａ），（ｂ）はこの発明の第３の実施の形態を示す。この実施の形態は第２の実施の形態の変形例であって、キヤリアテープ３に有機溶剤を供給するために、弾性部材１１２に代わって保持体１１１の開口部分にブラシ１１６を設け、保持体１１１に供給された有機溶剤を上記ブラシ１１６によってキヤリアテープ３の側面に供給するようにしたものである。

この第３の実施の形態においても、ブラシ１１６を端子部４ａの長手方向幅両端部だけに接触させるようにしてもよい。

図１２はこの発明の第１の清掃手段の変形例を示す第４の実施の形態である。この実施の形態は、キヤリアテープ３の側面の幅方向の両端部、つまり端子部４ａの長手方向の両端部を有機溶剤に代わってプラズマ照射手段としての一対の大気圧プラズマ発生装置１１７によって生成されたプラズマガスである活性種を照射し、その活性種の剥離作用によってキヤリアテープ３の端子部４ａが設けられた側面を清掃するようにした。

なお、上記大気圧プラズマ発生装置１１７は窒素ガスなどの気体が供給される管体１１８と、この管体１１８内に同心状に挿通された導電体１１９及びこの導電体１１９に高周波電圧を印加する高周波電源１２０によって構成されていて、導電体１１９に通電することで、この導電体１１９と上記管体１１８との間で生じる放電によって管体１１８内に供給された気体が励起されて活性種が発生するようになっている。

そして、一対の大気圧プラズマ発生装置１１７はそれぞれの管体１１８の先端を上記キヤリアテープ３に形成されたＴＣＰ４の端子部４ａの幅方向両端部に対向させて配置される。

したがって、上記管体１１８の先端から流出する活性種はキヤリアテープ３に形成された端子部４ａの両端部を照射するから、その照射領域に付着した有機物などの汚れが分解除去されることになる。

活性種によって分解除去された有機物などの汚れの一部はキヤリアテープ３に付着残留するから、キヤリアテープ３からＴＣＰ４を打ち抜いた後、このＴＣＰ４の端子部４ａは第１の実施の形態と同様、第２の清掃手段９１によって清掃される。

それによって、ＴＣＰ４の端子部４ａには粘着テープ３２を捲くれのない状態で確実に貼着することが可能となる。

なお、活性種によるキヤリアテープ３の照射は、端子部４ａの両端部に対応する部分だけでなく、端子部４ａの長手方向全長にわたって照射するようにしてもよい。

図１３はこの発明の第１の清掃手段の変形例を示す第５の実施の形態である。この実施の形態はキヤリアテープ３が巻装された供給リール１４を第１の実施の形態に示された第１、第２の打ち抜き装置５Ａ，５Ｂに装着する前に清掃するためのチャンバ１２１を有する。このチャンバ１２１には減圧ポンプ１２２が接続されていて、この減圧ポンプ１２２によってチャンバ１２１内が減圧されるようになっている。

上記チャンバ１２１には輸送管１２３の一端が接続されている。この輸送管１２３の中途部には放電管１２４が設けられ、他端からは窒素ガスなどの気体が供給されるようになっている。

上記放電管１２４には、マイクロ波導波管１２５に形成されたスリット１２６が対向している。マイクロ波導波管１２５にはマイクロ波発生部１２７で発生したマイクロ波が導入され、上記スリット１２６に対向した上記放電管１２４を照射する。それによって、放電管１２４内にプラズマが生成され、そのプラズマによって放電管１２４内を流れる気体が励起されて活性種が発生するから、その活性種が上記チャンバ１２１内に導入される。

したがって、上記チャンバ１２１内に第１、第２の打ち抜き装置５Ａ，５Ｂに装着される前の供給リール１４を収容しておけば、この供給リール１４に巻装されたキヤリアテープ３が活性種によって清掃されることになる。

なお、キヤリアテープ３が供給リール１４に巻装された状態では、キヤリアテープ３の側面の全体に活性種を確実に照射できない虞があるから、そのような場合には図示しないが、チャンバ１２１内で供給リール１４に巻装されたキヤリアテープ３を他の供給リールに巻き変えながらキヤリアテープ３に活性種を照射するようにすればよい。

図１４（ａ）、（ｂ）はこの発明の図１１に示す第１の清掃手段の変形例を示す第６の実施の形態である。すなわち、保持体１１１のブラシ１１６が設けられた面と反対側の面には図１４（ｂ）に示すように超音波振動子などの振動発生器１３１が設けられている。

上記振動発生器１３１は、上記保持体１１１を図１４（ａ）に矢印で示す方向、つまりＴＣＰ４の端子部４ａに所定の間隔、たとえば数十μｍの間隔で設けられた多数の端子４ｂの配置方向と交差する方向、つまり端子４ｂの長手方向に沿って振動させるようになっている。なお、図１４（ａ）では、複数のＴＣＰ４のうちの１つのＴＣＰ４にだけに端子４ｂを図示している。

上記ブラシ１１６を構成するブラシ毛は、上記端子部４ａに設けられた隣り合う端子４ｂの間隔よりも細いものが用いられている。

このような構成によれば、上記端子部４ａを清掃する際、上記ブラシ１１６を構成するブラシ毛は上記端子部４ａの端子４ｂ間に確実に入り込み、上記振動発生器１３１によって隣り合う端子４ｂの間隔の長手方向に沿う方向に振動する。

したがって、上記端子部４ａの端子４ａの表面は勿論のこと、隣り合う端子４ａ間の隙間も、給液管１１３から供給される有機溶剤が上記隙間に入り込んだブラシ１１６のブラシ毛を伝わって確実に入り込むから、上記隙間の清掃を確実に行なうことが可能となる。

図１５はこの発明の第２の清掃手段に用いられる回転体の変形例を示す第７の実施の形態である。この実施の形態では、回転体９７Ａの外周面に装着される摺接部材９６厚さ寸法を、上記回転体９７Ａの軸方向の両端部が他の部分よりも厚くなる厚手部９６ａとした。つまり、上記回転体９７Ａは軸方向の両端部４ａが他の部分よりも大径に形成されている。

なお、軸方向両端部の厚手部９６ａと、一対の厚手部９６ａの間の部分との厚さの差はＴＣＰ４に設けられる端子の厚さの半分程度である、１０〜１５μｍ程度であることが好ましい。

このような構成の回転体９７Ａを用いた第２の清掃手段９１によってＴＣＰ４を清掃すれば、そのＴＣＰ４の端子部４ａの長手方向の両端部が厚手部９６ａによって他の部分よりも強く擦られて清掃されることになる。つまり、端子部４ａの長手方向の両端部の清掃を他の部分よりも確実に行なうことができる。

したがって、端子部４ａに貼着された粘着テープ３２は、その両端部が端子部４ａからめくれ難くなるということがある。

また、第２の清掃手段としては布などの材料によって形成されたテープ状部材を、インデックステーブルの保持ヘッドに保持されて位置決めされたＴＣＰの端子部に接触させて走行させるようにしてもよい。その場合、上記テープ状部材は供給ローラから繰り出して巻き取りローラに巻き取らせるとともに、中途部を上記ＴＣＰに接触させるようにすればよい。

図１６はこの発明の第２の清掃手段の変形例を示す第８の実施の形態である。この実施の形態では、図８に示す支持容器９５の回転体９７を回転可能に支持する一対のアーム部９５ａに、このアーム部９５ａを介して上記回転体９７を振動させる超音波振動子などの振動発生器１３２を設けるようにした。

このようにすれば、上記回転体９７の摺接部材９６は振動しながらＴＣＰ４の端子部４ａを擦ることになるから、上記回転体９７の摺接部材９６によるＴＣＰ４の清掃をより一層、良好に行なうことが可能となる。

上記回転体９７を、上記振動発生器１３２によって上記ＴＣＰ４の端子部４ａの端子の長手方向に沿っての振動方向させれば、隣り合う端子間に付着した汚れを、これらの端子間から良好に排出除去することができる。

図１７（ａ），（ｂ）はこの発明の第２の清掃手段の変形例を示す第９の実施の形態である。この実施の形態では、回転体９７は軸方向の両端が閉塞された中空状であって、この回転体の内周面には、軸方向に沿って所定長さを有する超音波振動子などの複数の振動発生器、この実施の形態では８つの振動発生器１３２を、周方向に沿って所定間隔で設けるようにしている。

このような構成であっても、上記回転体９７はＴＣＰ４の端子部４ａを振動しながら擦ることになるから、上記ＴＣＰ４の清掃を良好に行なうことができる。

なお、この第９の実施の形態において、回転体９７の内周面に設けられる振動発生器１３２の数は１つ以上であればよい。

１…装置本体、３…キヤリアテープ、４…ＴＣＰ（電子部品）、５Ａ，５Ｂ…打ち抜き装置、６Ａ，６Ｂ…第１の受け渡し手段、８…噴射ノズル（第１の清掃手段）、１１…上金型、１２…下金型、１８Ａ，１８Ｂ…インデックス手段、１９…保持ヘッド、２２…インデックステーブル、３１Ａ，３１Ｂ…貼着装置、３２…粘着テープ、５３…実装ヘッド（実装手段）、９１…第２の清掃手段、９２…位置決め手段、９３…上下可動体、９６…摺動部材（第２の清掃手段）、９７…回転体（第２の清掃手段）、１１２…弾性部材（第１の清掃手段）、１１６…ブラシ（第１の清掃手段）、１１７…大気圧プラズマ発生装置（第１の清掃手段）、１２１…チャンバ（第１の清掃手段）、１３２…振動発生器。

Claims (9)

1. 基板の側辺部に電子部品を実装する実装装置であって、
   装置本体と、
   この装置本体に設けられキヤリアテープから上記電子部品を打ち抜く打ち抜き装置と、
   上記キヤリアテープから上記電子部品を打ち抜く前に、このキヤリアテープに設けられた上記電子部品の端子側の面を清掃する第１の清掃手段と、
   上記装置本体に設けられ上記打ち抜き装置によって上記キヤリアテープから打ち抜かれた上記電子部品を保持する複数の保持ヘッドを有するインデックス手段と、
   このインデックス手段の上記保持ヘッドに保持された上記電子部品に付着残留する汚れを清掃する第２の清掃手段と、
   この第２の清掃手段によって清掃された上記電子部品の上記端子側の面に粘着テープを貼着する貼着装置と、
   この貼着装置で粘着テープが貼着された上記電子部品を上記基板に実装する実装手段と
   を具備したことを特徴とする特徴とする電子部品の実装装置。
2. 上記第１の清掃手段は上記キヤリアテープに有機溶剤を塗布する塗布手段であって、
   上記第２の清掃手段は上記電子部品の端子側の面に乾燥して付着残留した上記有機溶剤を擦り落とす構成であることを特徴とする請求項１記載の電子部品の実装装置。
3. 上記第１の清掃手段はブラシであって、このブラシは振動発生器によって振動させられるようになっていることを特徴とする請求項１又は請求項２記載の電子部品の実装装置。
4. 上記第１の清掃手段は上記キヤリアテープにプラズマガスを照射するプラズマ照射手段であって、
   上記第２の清掃手段は上記電子部品の端子側の面に乾燥して付着残留した上記有機溶剤を擦り落とす構成であることを特徴とする請求項１記載の電子部品の実装装置。
5. 上記第２の清掃手段は外周面に摺接部材が設けられた回転体を有し、上記電子部品の端子側の面は上記回転体の上記摺接部材によって擦られることを特徴とする請求項２乃至４のいずれかに記載の電子部品の実装装置。
6. 上記第２の清掃手段は外周面に上記電子部品の端子側の面を擦る摺接部材が設けられた回転体を有し、この回転体は振動発生器によって振動させられることを特徴とする請求項１記載の電子部品の実装装置。
7. 上記第２の清掃手段は上記インデックス手段の保持ヘッドに保持された上記電子部品に接触させられて走行するテープ状部材であることを特徴とする請求項２乃至４のいずれかに記載の電子部品の実装装置。
8. 上記回転体は、外周面の軸方向両端部が他の部分よりも大径に形成されていることを特徴とする請求項５又は請求項６記載の電子部品の実装装置。
9. 基板の側辺部に電子部品を実装する実装方法であって、
   キヤリアリアテープから上記電子部品を打ち抜く工程と、
   上記キヤリアテープから上記電子部品を打ち抜く前に、このキヤリアテープに設けられた上記電子部品の端子側の面を第１の清掃手段によって清掃する工程と、
   清掃されて上記キヤリアテープから打ち抜かれた上記電子部品をインデックス手段の保持ヘッドによって保持する工程と、
   上記保持ヘッドに保持された上記電子部品に付着残留する汚れを第２の清掃手段によって清掃する工程と、
   第２の清掃手段によって清掃された上記電子部品の上記端子側の面に粘着テープを貼着する工程と、
   粘着テープが貼着された上記電子部品を上記基板に実装する工程と
   を具備したことを特徴とする特徴とする電子部品の実装方法。

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