JPH08215653A - クリーニング装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 粉塵を外部に飛散させたり、クリーニング対
象物を損傷させたりすることなく、クリーニング対象物
に凹みがあるような場合にも十分なクリーニングを行う
ことが可能なクリーニング装置を提供する。 【構成】 クリーニング対象物３を保持して移動させる
保持ヘッド２と、開口部４ａが保持ヘッド２の一部に密
着することにより、クリーニング対象物３が挿入された
状態で内部が密閉状態となるように構成された、クリー
ニング対象物３から除去された粉塵を補集するための集
塵ホッパー４と、集塵ホッパー４内に配設され、集塵ホ
ッパー４の開口部４ａが保持ヘッド２の一部に密着して
その内部が密閉状態になったときに、集塵ホッパー４内
のクリーニング対象物３に気体を吹き付ける気体吹付ノ
ズル５と、気体吹付ノズル５から気体を吹き付けること
により、クリーニング対象物３から除去され、集塵ホッ
パー４内に補集された粉塵を吸引して排出する吸引手段
７とを具備する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、セラミック素子などに
付着した粉塵などを除去するためのクリーニング装置に
関する。

【０００２】

【従来の技術及び発明が解決しようとする課題】例え
ば、セラミック電子部品の製造に用いられるようなセラ
ミック原料粉末をプレス成形してなるセラミック素子
は、プレス装置の構造上、その下面に原料粉末（原料か
す）などの粉塵が付着していることが多く、そのまま焼
成すると、原料粉末がセラミック素子に付着して品質不
良を招くため、焼成前のさや詰の際などに除去しておく
ことが必要である。

【０００３】従来、セラミック素子に付着した原料粉末
などの粉塵を除去するための装置としては、例えば、図
３に示すようなクリーニング装置が知られている。

【０００４】このクリーニング装置は、２軸ロボット５
１に取り付けられた吸着ヘッド５２によりセラミック素
子（クリーニング対象物）５３を吸着して保持し、これ
を回転ブラシ５５を収納した集塵ホッパー５４上に移動
させ、吸着ヘッド５２を下降させてセラミック素子５３
を所定の速度で回転する回転ブラシ５５に接触させるこ
とにより、セラミック素子５３の下面に付着した原料粉
末などの粉塵をかき落とすように構成されている。

【０００５】また、特に図示しないが、上記のクリーニ
ング装置以外にも、上記の回転ブラシ５５の代りに空気
などの吹付ノズルを集塵ホッパー内に配設し、セラミッ
ク素子の下面に吹付ノズルから気体を吹き付けることに
より原料粉末などの粉塵を吹き飛ばすようにしたクリー
ニング装置もある。

【０００６】しかし、上記従来のクリーニング装置にお
いては、 セラミック素子の下面に凹部があるような場合には、
そこに入り込んでいる原料粉末などを回転ブラシでは除
去できないことがあり、信頼性に欠ける 高速で回転している回転ブラシをセラミック素子に接
触させると、セラミック素子に欠けや割れが発生する場
合がある 集塵ホッパー５４の上部が開口となっているため、回
転ブラシ５５の回転や吹付ノズル（図示せず）からの気
体の噴射により粉塵が外部に飛散し、周囲を汚したり、
設備を損傷したりする場合がある などの問題点がある。

【０００７】本発明は、上記問題点を解決するものであ
り、粉塵を外部に飛散させたり、クリーニング対象物を
損傷したりすることなく、クリーニング対象物に凹みが
あるような場合にも十分なクリーニングを行うことが可
能なクリーニング装置を提供することを目的とする。

【０００８】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明のクリーニング装置は、クリーニング対象物
を保持して移動させる保持ヘッドと、開口部が前記保持
ヘッドの一部に密着することにより、クリーニング対象
物が挿入された状態で内部が密閉状態となるように構成
された、クリーニング対象物から除去された粉塵を補集
するための集塵ホッパーと、前記集塵ホッパー内に配設
され、集塵ホッパーの開口部が前記保持ヘッドの一部に
密着してその内部が密閉状態になったときに、集塵ホッ
パー内のクリーニング対象物に気体を吹き付ける気体吹
付ノズルと、前記気体吹付ノズルから気体を吹き付ける
ことにより、クリーニング対象物から除去され、集塵ホ
ッパー内に補集された粉塵を吸引して排出する吸引手段
とを具備することを特徴とする。

【０００９】また、前記集塵ホッパーの開口部が前記保
持ヘッドの一部に密着してその内部が密閉状態になった
ときに、前記気体吹付ノズルからクリーニング対象物の
下面に気体を吹き付けるようにしたことを特徴としてい
る。

【００１０】さらに、前記集塵ホッパーの開口部を保持
ヘッドの一部に密着させ、その内部を密閉状態として気
体吹付ノズルからクリーニング対象物に気体を吹き付け
る位置が、前記保持ヘッドの移動経路の一部にあること
を特徴としている。

【００１１】

【作用】集塵ホッパーの開口部を保持ヘッドに密着させ
てその内部を密閉した状態で、気体吹付ノズルから気体
を吹き付けることにより、粉塵の外部への飛散やクリー
ニング対象物の欠けや割れなどを発生させることなく、
クリーニング対象物に凹み部分があるような場合にも確
実なクリーニングを行うことが可能になる。

【００１２】また、前記集塵ホッパーの開口部を保持ヘ
ッドの一部に密着させて内部を密閉状態とし、気体吹付
ノズルからクリーニング対象物の下面に気体を吹き付け
るようにした場合には、例えば、セラミック原料粉末を
プレス成形して製造されるセラミック素子のように、製
造工程上の理由（プレス装置の構造など）からその下面
に原料粉末などの粉塵が付着しやすいクリーニング対象
物の下面を、粉塵を外部に飛散させたり、クリーニング
対象物を損傷したりすることなく良好なクリーニングを
行うことが可能になる。

【００１３】さらに、保持ヘッドに保持されたクリーニ
ング対象物の移動経路の一部において、集塵ホッパーを
保持ヘッドの一部に密着させ、内部を密閉状態として気
体吹付ノズルから気体を吹き付けるようにした場合、ク
リーニング対象物をクリーニングのためだけに移動経路
から外れた位置に移動させる必要がなくなるため、効率
よくクリーニングを行うことができるようになり、本発
明をより実効あらしめることが可能になる。

【００１４】

【実施例】以下、本発明の実施例を図に基づいて説明す
る。図１は本発明の一実施例にかかる、セラミック電子
部品製造用のセラミック素子のクリーニング装置を示す
図である。

【００１５】この実施例のクリーニング装置は、２軸ロ
ボット１に取り付けられた、セラミック素子（クリーニ
ング対象物）３を真空吸着して保持する吸着ヘッド（保
持ヘッド）２と、開口部（上端部）４ａが吸着ヘッド２
の下面の一部に密着して内部が密閉状態となるように構
成された集塵ホッパー４と、集塵ホッパー４内に配設さ
れ、集塵ホッパー４の開口部４ａが吸着ヘッド２の一部
に密着してその内部が密閉状態になったときに、セラミ
ック素子３に気体を吹き付ける気体吹付ノズル５と、気
体吹付ノズル５から気体を吹き付けることにより、セラ
ミック素子３から除去され、集塵ホッパー４内に補集さ
れた粉塵を、集塵ダクト６を経て吸引除去するための吸
引手段７とを備えて構成されている。

【００１６】なお、気体吹付ノズル５は、集塵ホッパー
４内に配設された２本のパイプ５ａ（図１，図２(ａ)，
(ｂ)）に多数の気体吹出口５ｂ（図２(ａ)）を配設する
ことにより形成されている。

【００１７】また、吸着ヘッド２の上部張出部２ａの下
面（集塵ホッパー４の開口部４ａとの当り面）には硬度
３０度、厚さ５mmのスポンジゴム８が貼り付けられてい
る。なお、このスポンジゴム８の代りに他のシール材を
用いることも可能である。

【００１８】さらに、この実施例のクリーニング装置に
おいては、集塵ホッパー４がセラミック素子３を匣詰め
する際の移動経路の一部に配設されている。

【００１９】次に、上記実施例のクリーニング装置を用
いてセラミック素子のクリーニングを行う場合の動作に
ついて説明する。

【００２０】まず、前工程のセラミック素子整列部１１
において整列させたセラミック素子３を吸着ヘッド２に
より吸着して保持し、これを後工程である匣詰部１２に
送って匣詰めする際の移動経路の途中に配設された集塵
ホッパー４上まで移動させる（図２(ａ)）。

【００２１】次に、吸着ヘッド２を下降させ、その上部
張出部２ａの下面に貼り付けられたスポンジゴム８を集
塵ホッパー４の開口部（上端部）４ａに密着させて内部
を密閉する（図２(ｂ)）。

【００２２】それから、吸引手段７により、集塵ダクト
６を経て集塵ホッパー４の内部を吸引しながら、気体吹
付ノズル５から気体（この実施例では空気）を吹き付
け、セラミック素子３の下面に付着した原料粉末などの
粉塵を吹き飛ばすとともに、吹き飛ばされて集塵ホッパ
ー４内に補集された粉塵を集塵ダクト６を経て吸引し、
外部に排出する。なお、集塵ダクト６からの吸引量は、
気体吹付ノズル５から吹き出される気体量よりも多く設
定しておくことが必要である。また、集塵ダクト６から
の吸引と気体吹付ノズル５からの気体吹付のタイミング
は同期がとられている。

【００２３】この実施例のクリーニング装置において
は、集塵ホッパー４の開口部４ａを吸着ヘッド２に密着
させて内部を密閉した状態で、気体吹付ノズル５から気
体を吹き付けるようにしているので、粉塵の外部への飛
散やセラミック素子３の欠けや割れを発生させることな
く、セラミック素子３の下面に凹み部分があるような場
合にも、凹みに堆積した粉塵などを確実に除去すること
が可能になる。さらに、吸着ヘッド２に保持されたセラ
ミック素子３の移動経路の一部において、集塵ホッパー
４を吸着ヘッド２の一部に密着させ、内部を密閉状態と
して気体吹付ノズル５から気体を吹き付けるようにして
いるので、セラミック素子３をその移動経路以外の場所
に移動させたりすることなく、効率よくそのクリーニン
グを行うことができる。

【００２４】なお、具体的には、長さ３８．０４mm，幅
２４．９６mm，厚さ０．９０mmのセラミック素子をクリ
ーニング対象物とし、気体吹付ノズルとして、直径１．
５mmの気体吹出口を１４箇所に形成してなるパイプ２本
を用い、この気体吹付ノズルから５kg／cm²の圧力で空
気を吹き付けてクリーニングを行った場合、目視で確認
することができる原料粉末などの粉塵がほぼ完全に除去
されることが確認されている。

【００２５】なお、上記実施例では、セラミック電子部
品製造用のセラミック素子をクリーニングする場合を例
にとって説明したが、本発明はセラミック素子に限ら
ず、その他の電子部品素子などをクリーニングする場合
にも適用することが可能である。

【００２６】また、上記実施例ではセラミック素子を保
持する保持ヘッドとして、セラミック素子を真空吸着す
る吸着ヘッドを用いた場合について説明したが、チャッ
ク機構やマグネット機構などの他の機構を利用した保持
ヘッドを用いることも可能である。

【００２７】また、上記実施例では、吸着ヘッドを昇降
（下降）させてその一部を集塵ホッパーの開口部に密着
させるようにした場合について説明したが、吸着ヘッド
を昇降させずに、集塵ホッパーを昇降させるように構成
することも可能であり、また、吸着ヘッド及び集塵ホッ
パーの両方を昇降させるように構成することも可能であ
る。

【００２８】本発明は、さらにその他の点においても上
記実施例に限定されるものではなく、集塵ホッパーの具
体的形状、気体吹付ノズルの配設数や配設位置、クリー
ニング対象物の具体的な形状、気体吹付ノズルから吹き
付ける気体の種類などに関し、発明の要旨の範囲内にお
いて種々の応用、変形を加えることが可能である。

【００２９】

【発明の効果】上述のように、本発明のクリーニング装
置は、集塵ホッパーの開口部を吸着ヘッドに密着させて
内部を密閉した状態で、集塵ホッパー内に配設された気
体吹付ノズルから気体を吹き付けることにより、クリー
ニング対象物から粉塵を除去するようにしているので、
粉塵が外部に飛散したり、クリーニング対象物が損傷し
たりすることを防止しつつ、確実なクリーニングを行う
ことが可能になる。

【００３０】また、前記集塵ホッパーの開口部を保持ヘ
ッドの一部に密着させて内部を密閉状態とし、気体吹付
ノズルからクリーニング対象物の下面に気体を吹き付け
るようにした場合には、例えば、セラミック原料粉末を
プレス成形して製造されるセラミック素子のように、製
造工程上の理由（プレス装置の構造など）からその下面
に原料粉末などの粉塵が付着しやすいクリーニング対象
物の下面を、粉塵を外部に飛散させたり、クリーニング
対象物を損傷したりすることなく良好なクリーニングを
行うことが可能になる。

【００３１】さらに、保持ヘッドに保持されたクリーニ
ング対象物の移動経路の一部において、集塵ホッパーを
保持ヘッドの一部に密着させ、内部を密閉状態として気
体吹付ノズルから気体を吹き付けるようにした場合、ク
リーニング対象物をクリーニングのためだけに移動経路
から外れた位置に移動させる必要がなくなるため、効率
よくクリーニングを行うことができるようになり、本発
明をより実効あらしめることが可能になる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例にかかるクリーニング装置を
示す分解斜視図である。

【図２】本発明の一実施例にかかるクリーニング装置の
動作を示す図であり、(ａ)はセラミック素子を吸着ヘッ
ドにより吸着保持し、集塵ホッパー上まで移動させた状
態を示す図、(ｂ)は吸着ヘッドを下降させ、その上部張
出部の下面を集塵ホッパーの開口部に密着させて内部を
密閉した状態を示す図である。

【図３】従来のクリーニング装置を示す図である。

【符号の説明】

１ ２軸ロボット ２ 吸着ヘッド（保持ヘッド） ２ａ 上部張出部 ３ セラミック素子 ４ 集塵ホッパー ４ａ 集塵ホッパーの開口部 ５ 気体吹付ノズル ５ａ 気体吹付ノズルを構成するパイプ ５ｂ パイプに形成された気体吹出口 ６ 集塵ダクト ７ 吸引手段 ８ スポンジゴム １１ セラミック素子整列部 １２ 匣詰部

Claims (3)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 クリーニング対象物を保持して移動させ
   る保持ヘッドと、 開口部が前記保持ヘッドの一部に密着することにより、
   クリーニング対象物が挿入された状態で内部が密閉状態
   となるように構成された、クリーニング対象物から除去
   された粉塵を補集するための集塵ホッパーと、 前記集塵ホッパー内に配設され、集塵ホッパーの開口部
   が前記保持ヘッドの一部に密着してその内部が密閉状態
   になったときに、集塵ホッパー内のクリーニング対象物
   に気体を吹き付ける気体吹付ノズルと、 前記気体吹付ノズルから気体を吹き付けることにより、
   クリーニング対象物から除去され、集塵ホッパー内に補
   集された粉塵を吸引して排出する吸引手段とを具備する
   ことを特徴とするクリーニング装置。
2. 【請求項２】 前記集塵ホッパーの開口部が前記保持ヘ
   ッドの一部に密着してその内部が密閉状態になったとき
   に、前記気体吹付ノズルからクリーニング対象物の下面
   に気体を吹き付けるようにしたことを特徴とする請求項
   １記載のクリーニング装置。
3. 【請求項３】 前記集塵ホッパーの開口部を保持ヘッド
   の一部に密着させ、その内部を密閉状態として気体吹付
   ノズルからクリーニング対象物に気体を吹き付ける位置
   が、前記保持ヘッドの移動経路の一部にあることを特徴
   とする請求項１又は２記載のクリーニング装置。