JPS5825922A - 樹脂封止用金型のクリ−ニング方法 - Google Patents

樹脂封止用金型のクリ−ニング方法

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Publication number
JPS5825922A
JPS5825922A JP56124735A JP12473581A JPS5825922A JP S5825922 A JPS5825922 A JP S5825922A JP 56124735 A JP56124735 A JP 56124735A JP 12473581 A JP12473581 A JP 12473581A JP S5825922 A JPS5825922 A JP S5825922A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
metal mold
mold
rotary brushes
undersurface
burrs
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP56124735A
Other languages
English (en)
Inventor
Kazuo Numajiri
一男 沼尻
Yuji Miura
三浦　雄二
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Toshiba Corp
Original Assignee
Toshiba Corp
Tokyo Shibaura Electric Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Toshiba Corp, Tokyo Shibaura Electric Co Ltd filed Critical Toshiba Corp
Priority to JP56124735A priority Critical patent/JPS5825922A/ja
Publication of JPS5825922A publication Critical patent/JPS5825922A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B29—WORKING OF PLASTICS; WORKING OF SUBSTANCES IN A PLASTIC STATE IN GENERAL
    • B29C—SHAPING OR JOINING OF PLASTICS; SHAPING OF MATERIAL IN A PLASTIC STATE, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR; AFTER-TREATMENT OF THE SHAPED PRODUCTS, e.g. REPAIRING
    • B29C33/00—Moulds or cores; Details thereof or accessories therefor
    • B29C33/70—Maintenance
    • B29C33/72—Cleaning
    • B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
    • B08—CLEANING
    • B08B—CLEANING IN GENERAL; PREVENTION OF FOULING IN GENERAL
    • B08B1/00—Cleaning by methods involving the use of tools
    • B08B1/30—Cleaning by methods involving the use of tools by movement of cleaning members over a surface
    • B08B1/32—Cleaning by methods involving the use of tools by movement of cleaning members over a surface using rotary cleaning members
    • B08B1/34—Cleaning by methods involving the use of tools by movement of cleaning members over a surface using rotary cleaning members rotating about an axis parallel to the surface

Landscapes

  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
  • Cleaning In General (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、半導体素子等を樹脂封止する樹脂封止用金型
のクリーニング方法に関するものである。
通常樹脂による半導体装置等の樹脂封止作業において、
上・下金型の合せ面、キャビティ部にはパリが発生し、
成形品を取り出した後もパリが表面に残り、これは次の
成形時に有害なため除去しなければならない。特に最近
、難燃化など樹脂材料の改良により金型からの抜けが悪
くなり、そのために含入されている離型剤もパリ付着の
一因となっている。
従来、パリ除去は作業者がワイヤブラシ等でこすった後
、エアーガンで吹き飛ばしていた。この作業は高温（約
２００℃）の型の上下のすきまに手を入れて行うという
危険なものであり、またエアーガンでパリを吹き飛ばす
と細かい粉塵が空中に舞い、人体及び他の工程に悪影響
をおよぼすとともに非能率的な作業でもめった。また回
転ブラシ方式も一部で行なわれているが、ブラシ１本で
行うためブラシではがしたパリを吸引する方法が難しく
、周囲に粉塵をまき散らすとともに１本のためパリの取
れ具合も悪いという゛欠点があった。
本発明は、この様な欠点を解決するためになされたもの
で６Ｄ、樹脂用金型の表面をクリ一二ングする時に２本
の回転ブラシ使用にょシバリの吹き出しを防ぎ、安全に
高能率で樹脂封止用金型をクリーニングする方法を提供
するものである。
以下図面に示した実施例を参照しながら本発明を説明す
る。第１図に示したクリーニング装置１は、本発明を実
施するだめのもので、中空枠体２のｔ面間口３には、一
対の回転ブラシ４．．４２が配設されている。枠体２に
は、その内部に回転ブラシＬ　、４２に付着したパリを
掻き落す櫛状ドレれ、さらに開口３に上方に向はエアー
を噴射するノズル７が配設されている。さらにまた、枠
体２には、その開口３の両側に回転ブラシ４．．４２の
高さにほぼ等しいシール材８を配設している。なお、こ
のように構成されたクリーニング装置１は、図示してい
ないが、適宜な手段によって回転ブラシ４１．４□が互
に内側（矢視方向）に回転するように動力源に接続され
、また枠体２の中空部２ａは適宜手段によって吸引ポン
プに接続され、ノズル７も同様にコンプレッサーに接続
される。
本発明に係る樹脂封止用金型のクリーニング方法は上記
クリーニング装置を以下のように作用させて達成される
。まず、クリーニング装置１を金型（第１図においては
上型）９の下面に配置し、回転ブラシ４３．４□０毛が
金型表面に少しくい込む程度に押圧する。この状態では
、金型９の下面と回転ブラシ４．．４２とシール材８．
８とによって、それらの間には、外部と遮断された中空
部１０が形成される。このような状態下において、吸引
ポンプ、コンプレッサーおよび回転ブラシ４１．４□　
の動力源（いずれも図示せず）を作動し、枠体２を金型
９の下面に浴って移動する。その間、回転ブラシＬ　、
４２は金型９の下面に付着したパリを内側に向って掻き
落し、それらをノズル７から噴射するエアーで吹き飛ば
しつつ、整流板６１．６□　間の絞り部６ａｆ１．通過
させ、中空部２ａを経て吸引ポンプ（図示せず）によっ
て外部の所定の場所に排出する。なお、パリを掻き落し
た後の回転ブラシ４１．４□は、枠体２の中空部２ａ内
で、ドレッサー５１．５□によって付着したパリが落さ
れる。
第３図は、第１図で示したクリーニング装置１．１を互
に背中合わせにしたもので、この装置を上下金型９１．
９２間に挿入し、金型９．　、９２の一端から他端に移
動することによって金型９０．９□の全表面のパリを除
去しようとしたものである。
上記したように、本発明に係る樹脂封止用金型のクリー
ニング方法は、金型の面と一対の回転ブラシと該回転ブ
ラシを支持する枠体とによって中空部を形成し、該中空
部において一対の回転ブラシを互に内側に回転すること
によって金型−ヒのノくりを回転ブラシ間に剥離させ、
それを吸引装置によって外部に排出させるので、ノ（す
な周辺に飛散することなく、安全かつ確実でしかも高能
率に除去することができる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明に係る樹脂封止用金型のクリーニング方
法を実施するだめのクリーニング装置と金型とを示した
概念的縦断面図、第２図はその側面部分を示した縦断面
図、第３図は本発明の方法を上下金型に同時に実施した
状態を示した概念図である。 １・・・クリーニング装置 ２・・・枠体 ３・・・開口 ４・・・回転ブラシ Ｉ・・・ノズル ８・・°シール材 ９・・・金型 １０・・・中空部１ （７３１７）代理人　弁理士　　則　近　憲　佑（ほか
１名）

Claims (2)

    【特許請求の範囲】
  1. （１）金型の面と一対の回転ブラシと該回転ブラシを支
    持する枠体とによって中空部を形成し、該中空部におい
    て上記一対の回転ブラシを互に内側に回転させて金型上
    のパリを剥離させるとともに、該剥離させたパリを上記
    中空部外に吸引除去させることを特徴とする樹脂封止金
    型のクリーニング方法。
  2. （２）上記中空部内において、金型の面に向けてエアー
    を吹付けることを特徴とする特許請求の範囲第１項記載
    の樹脂封止用金型のクリーニング方法。
JP56124735A 1981-08-11 1981-08-11 樹脂封止用金型のクリ−ニング方法 Pending JPS5825922A (ja)

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