CN106733821A - 一种氧化铝半导体清洗装置 - Google Patents
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Abstract
本发明公开了一种氧化铝半导体清洗装置，包括壳体、烘干室、排水管、电动机、清洗板和清洗液喷头，所述壳体右侧上方固定安装有操控装置，所述除尘室内部固定安装有除尘风机，所述烘干室固定安装于壳体上，所述排水管与壳体相连通，所述电动机通过传动皮带与输送带相连接，所述清洗板两端通过固定杆固定于传动皮带上，所述清洗槽内部设置有固定块，所述清洗液喷头和净水喷头上均安装有调节阀。该氧化铝半导体清洗装置设置有清洗板，清洗板上均匀的分布有清洗槽，清洗过程中，清洗掉的污浊物会从清洗槽底部流出，从而避免了清洗掉的污浊物重新附着到晶片表面造成二次污染，有效的提高了清洗效果，工作效率高。
Description
技术领域
本发明涉及氧化铝半导体加工设备技术领域，具体为一种氧化铝半导体清洗装置。
背景技术
氧化铝是一种高硬度的化合物，熔点为2054℃，沸点为2980℃，是在高温下可电离的离子晶体，常用于制造耐火材料，同时氧化铝也适用于半导体工业领域，在半导体生产工艺中，晶圆清洗工艺对电子工业，尤其是半导体工业极其重要。
现有的半导体清洗装置在对半导体晶圆进行清洗时，清洗掉的污浊物质会重新附着到晶片表面，从而产生二次污染的问题，导致清洗效果差，大大降低了工作效率，不能满足人们的使用需求。
发明内容
本发明的目的在于提供一种氧化铝半导体清洗装置，以解决上述背景技术中提出的现有的半导体清洗装置容易产生二次污染，导致清洗效果差，大大降低了工作效率问题。
为实现上述目的，本发明提供如下技术方案：一种氧化铝半导体清洗装置，包括壳体、烘干室、排水管、电动机、清洗板和清洗液喷头，所述壳体右侧上方固定安装有操控装置，且壳体左侧上方设置有除尘室，所述除尘室内部固定安装有除尘风机，且除尘风机下方设置有集尘筒，所述烘干室固定安装于壳体上，且烘干室内部设置有红外线烘干器，所述排水管与壳体相连通，所述电动机通过传动皮带与输送带相连接，且输送带上均匀的分布固定杆，所述清洗板两端通过固定杆固定于传动皮带上，且清洗板上均匀的分布有清洗槽，所述清洗槽内部设置有固定块，且固定块之间设置有半导体晶圆，所述清洗液喷头和净水喷头上均安装有调节阀，且清洗液喷头和净水喷头下方设置有输送带。
优选的，所述输送带个数为两个，且关于清洗板中轴线对称。
优选的，所述清洗槽横切面为圆形，且清洗槽的底部为开口结构。
优选的，所述固定块关于清洗槽中轴线对称。
优选的，所述半导体晶圆为氧化铝材质。
与现有技术相比，本发明的有益效果是：该氧化铝半导体清洗装置设置有清洗板，清洗板上均匀的分布有清洗槽，通过固定块将半导体晶圆固定于清洗槽中，这样半导体晶圆就呈垂直状态，在使用清洗液喷头清洗半导体晶圆的过程中，清洗掉的污浊物会垂直落下，同时清洗槽底部为开口结构，这样清洗掉的污浊物就从开口处落入到壳体底部，从而避免了清洗掉的污浊物重新附着到晶片表面造成二次污染，有效的提高了清洗效果，工作效率高，同时清洗槽横切面为圆形，从而使清洗液和净水均匀的喷洒到半导体晶圆的两面，清洗更彻底，使用效果好。
附图说明
图1为本发明结构示意图；
图2为本发明局部结构侧视示意图；
图3为本发明清洗板结构放大侧视示意图；
图4为本发明清洗板结构放大俯视示意图。
图中：1、壳体，2、操控装置，3、除尘室，4、除尘风机，5、集尘筒，6、烘干室，7、红外线烘干器，8、排水管，9、输送带，901、固定杆，10、传动皮带，11、电动机，12、清洗板，1201、清洗槽，1202、固定块，1203、半导体晶圆，13、清洗液喷头，14、调节阀，15、净水喷头。
具体实施方式
下面将结合本发明实施例中的附图，对本发明实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述，显然，所描述的实施例仅仅是本发明一部分实施例，而不是全部的实施例。基于本发明中的实施例，本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本发明保护的范围。
请参阅图1-4，本发明提供一种技术方案：一种氧化铝半导体清洗装置，包括壳体1、操控装置2、除尘室3、除尘风机4、集尘筒5、烘干室6、红外线烘干器7、排水管8、输送带9、固定杆901、传动皮带10、电动机11、清洗板12、清洗槽1201、固定块1202、半导体晶圆1203、清洗液喷头13、调节阀14和净水喷头15，所述壳体1右侧上方固定安装有操控装置2，且壳体1左侧上方设置有除尘室3，所述除尘室3内部固定安装有除尘风机4，且除尘风机4下方设置有集尘筒5，所述烘干室6固定安装于壳体1上，且烘干室6内部设置有红外线烘干器7，所述排水管8与壳体1相连通，所述电动机11通过传动皮带10与输送带9相连接，且输送带9上均匀的分布固定杆901，输送带9个数为两个，且关于清洗板12中轴线对称，输送清洗板12更加平稳，所述清洗板12两端通过固定杆901固定于传动皮带10上，且清洗板12上均匀的分布有清洗槽1201，清洗槽1201横切面为圆形，且清洗槽1201的底部为开口结构，所述清洗槽1201内部设置有固定块1202，固定块1202关于清洗槽1201中轴线对称，固定效果更好，防止在清洗过程中，半导体晶圆1203从固定块1202中脱落，而上述的固定块1202之间设置有半导体晶圆1203，半导体晶圆1203为氧化铝材质，所述清洗液喷头13和净水喷头15上均安装有调节阀14，且清洗液喷头13和净水喷头15下方设置有输送带9。
工作原理：在使用该氧化铝半导体清洗装置时，先检查设备有无异常，再接通电源，将半导体晶圆1203通过固定块1202固定放置于清洗槽1201中，放置好后，将清洗板12两端固定于输送带9上的固定杆901上，除尘风机4可以将半导体晶圆1203上的部分粉尘吹下来，粉尘从清洗槽1201底部落入到集尘筒5中，在操控装置2上使设备处于运行状态，电动机11通过传动皮带10带动输送带9不断转动，从而带动清洗板12不断前行，在前行过程中，清洗液喷头13可以对半导体晶圆1203进行喷洒清洗液，清洗时产生的污浊物从清洗槽1201底部落入到壳体1底部，之后净水喷头15可以对半导体晶圆1203进行喷洒净水，可以将半导体晶圆1203上的残留物冲刷干净，最后通过红外线烘干器7可以对半导体晶圆1203进行烘干，清洗完成后，人们将清洗板12从输送带9上取下即可，这就是该设备的整个工作过程。
尽管参照前述实施例对本发明进行了详细的说明，对于本领域的技术人员来说，其依然可以对前述各实施例所记载的技术方案进行修改，或者对其中部分技术特征进行等同替换，凡在本发明的精神和原则之内，所作的任何修改、等同替换、改进等，均应包含在本发明的保护范围之内。
Claims (5)
1.一种氧化铝半导体清洗装置，包括壳体(1)、烘干室(6)、排水管(8)、电动机(11)、清洗板(12)和清洗液喷头(13)，其特征在于：所述壳体(1)右侧上方固定安装有操控装置(2)，且壳体(1)左侧上方设置有除尘室(3)，所述除尘室(3)内部固定安装有除尘风机(4)，且除尘风机(4)下方设置有集尘筒(5)，所述烘干室(6)固定安装于壳体(1)上，且烘干室(6)内部设置有红外线烘干器(7)，所述排水管(8)与壳体(1)相连通，所述电动机(11)通过传动皮带(10)与输送带(9)相连接，且输送带(9)上均匀的分布固定杆(901)，所述清洗板(12)两端通过固定杆(901)固定于传动皮带(10)上，且清洗板(12)上均匀的分布有清洗槽(1201)，所述清洗槽(1201)内部设置有固定块(1202)，且固定块(1202)之间设置有半导体晶圆(1203)，所述清洗液喷头(13)和净水喷头(15)上均安装有调节阀(14)，且清洗液喷头(13)和净水喷头(15)下方设置有输送带(9)。
2.根据权利要求1所述的一种氧化铝半导体清洗装置，其特征在于：所述输送带(9)个数为两个，且关于清洗板(12)中轴线对称。
3.根据权利要求1所述的一种氧化铝半导体清洗装置，其特征在于：所述清洗槽(1201)横切面为圆形，且清洗槽(1201)的底部为开口结构。
4.根据权利要求1所述的一种氧化铝半导体清洗装置，其特征在于：所述固定块(1202)关于清洗槽(1201)中轴线对称。
5.根据权利要求1所述的一种氧化铝半导体清洗装置，其特征在于：所述半导体晶圆(1203)为氧化铝材质。
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2016
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| WD01 | Invention patent application deemed withdrawn after publication |
Application publication date: 20170531 |
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