JP2006247768A - ガラス基板の製造方法及びその装置 - Google Patents

Abstract

【課題】 ガラス基板の製造工程における処理の適正化を、該ガラス基板の搬送の適正化に伴わせて実現する。
【解決手段】
ガラス基板３を搬送しながら、その搬送方向と平行なガラス基板３の辺の端面３ａを研削する研削工程を含むガラス基板３の製造方法において、研削工程で、搬送ベルト５上にガラス基板３を負圧により吸着保持した状態で、該搬送ベルト５を走行させることによりガラス基板３を搬送しながら、その搬送経路の側方に配設された研削手段４によりガラス基板３の辺の端面３ａを研削する。
【選択図】図１

Description

本発明は、ガラス基板の製造方法及びその装置に係り、詳しくは、ガラス基板の搬送に連係させて、その端面研削等の製造関連処理を行う技術の改良に関する。

周知のように、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、エレクトロルミネッセンスディスプレイ、フィールドエミッションディスプレイなどの各種画像表示機器用のガラス基板の製作に際しては、複数枚のガラス基板が１枚の素板ガラスから作り出される手法が採用されるに至っている。そして、これに伴ってガラスメーカー等で製造される素板ガラスは、大型化が推進されているのが現状である。

これらの素板ガラスは、製造工程の終盤において、ガラス基板を矩形状で且つ所定の大きさに切断する処理、及びその切断端面を研削する処理（面取り処理を兼ねる場合が多い）などを行うことにより最終製品として得られる。これらの処理はいずれも、搬送ベルト等からなる搬送手段によるガラス基板の搬送を伴って行われる点で共通するものであるから、以下の説明に際しては、ガラス基板の端面を研削する処理について主として述べる。

この種のガラス基板の端面を研削する具体的な手法としては、例えば下記の特許文献１に、対向する２つのベルトでガラス基板をその表面及び裏面の両側から挟持して搬送し、ガラス基板の搬送経路の片側方に配置された回転砥石により、その搬送方向と平行なガラス基板の２辺のうち、１辺側の端面を研削（面取り）することが開示されている。

特開２０００−３０１４４２号公報

ところで、上記の各種画像表示機器用のガラス基板は、表面及び裏面のいずれか一面に電子機器素子等が形成されるため、特に電子機器素子等が形成される一面（以下、有効面という）の平滑度や清浄度を高く維持することが要求される。そして、近年においては、液晶ディスプレイに代表される表示機器の高精細化が進み、これに伴ってガラス基板への上記の要求がより一層厳しく求められるに至っている。

しかしながら、上記の特許文献１に開示された研削手法によれば、ガラス基板はその表面及び裏面の両側からベルトで挟持された状態で搬送されるため、ガラス基板の有効面にもベルトが接触することとなる。そのため、ガラス基板の搬送時に、ベルトとガラス基板の表裏面との間で擦れが生じる等して、有効面に傷が発生するおそれがある。そして、有効面に傷が生じた場合には、上記の平滑度の厳しい要求に応じることができず、製品価値が低下するのみならず、製品として使用に耐え得なくなり、不良品として扱われるという不具合をも招く。

更に、ベルト表面に塵埃等の異物が付着している場合には、有効面にベルトが接触することに起因して、ベルトに付着していた異物が有効面に転移する可能性がある。この種のガラス基板は、その端面に研削加工が施された後、複数枚をバスケットに収納した状態で洗浄槽内に浸漬させ且つ揺動等させる洗浄処理や、そのバスケットを洗浄槽から取り出した後に乾燥させる乾燥処理が施されるのが通例である。しかしながら、ガラス基板の有効面に不当に多くの異物が付着している場合には、この洗浄処理によるにしても有効面から異物を十分に除去できないばかりでなく、有効面から一定量の異物を除去するには、不当に長い時間の洗浄処理を要し、生産性が極めて悪化するという事態を招く。そして、この場合には、上記の有効面の清浄度の厳しい要求に応じることができず、上記と同様の不具合を招く。

以上のようなガラス基板の端面研削に関する問題は、ガラス基板を搬送する搬送手段の構造が、その研削処理態様との関連において適切でないことに由来するものであり、したがって、ガラス基板の製造工程における各種処理のうち端面研削処理を行う場合には、より好ましい構造の搬送手段を使用することが必要となる。

また、既に述べたガラス基板を切断する処理が行われる場合にも、例えばガラス基板を間欠的に搬送する等の搬送手段が使用されるが、この場合にも、ガラス基板を適正に切断するには、上記研削処理の場合と同様に、より好ましい構造の搬送手段を使用することが切望される。

なお、本出願人は、先の特許出願（特願２００５−３９３７８号）において、ガラス基板の端面研削後にそのガラス基板をベルトで搬送しながら研削端面を高圧の洗浄用液体で洗浄する手法を提案したが、この場合にも、上述の端面研削処理を行う場合と同様の問題が生じることになるため、より好ましい構造の搬送手段を使用することが望まれる。

本発明は、上記実情に鑑みてなされたもので、ガラス基板の製造工程における処理の適正化を、該ガラス基板の搬送の適正化に伴わせて実現することを技術的課題とする。

上記課題を解決するために創案された本発明に係る第１の方法は、ガラス基板製造工程の実行時に、ガラス基板の搬送に連係させて該ガラス基板に対する製造関連処理を行うガラス基板の製造方法において、搬送ベルト上に前記ガラス基板を負圧により吸着保持した状態で、該搬送ベルトを走行させることにより前記ガラス基板を搬送し、その搬送経路の周辺に配設された製造関連処理手段により前記ガラス基板に対する製造関連処理を行うことに特徴づけられる。

このような構成によれば、最終製品であるガラス基板を製造するための製造工程の実行時に、製造途中にあるガラス基板が搬送ベルト上に負圧により吸着保持されることから、ガラス基板はその表裏面のうち片面のみが搬送ベルトに接触した状態で搬送される。したがって、ガラス基板の有効面ではなくその裏面を搬送ベルトに接触させるようにすれば、有効面には搬送ベルト等の他部材が接触しなくなる。このような状態の下で、ガラス基板に対して製造関連処理（例えば、切断処理、端面研削処理または端面洗浄処理等）が施されることにより、ガラス基板の有効面における傷の発生や異物の付着を可及的に防止することができる。加えて、ガラス基板を搬送ベルト上に吸着保持する負圧の大きさを、適切に調整しておけば、ガラス基板が位置ズレを来たす確率が極めて小さくなり、搬送経路の周辺に配設された製造関連処理手段によってガラス基板に対する処理を正確且つ精度良く行い得ることになる。

また、上記課題を解決するために創案された本発明に係る第２の方法は、ガラス基板を搬送しながら、その搬送方向と平行なガラス基板の辺の端面を研削する研削工程を含むガラス基板の製造方法において、前記研削工程では、搬送ベルト上に前記ガラス基板を負圧により吸着保持した状態で、該搬送ベルトを走行させることにより前記ガラス基板を搬送しながら、その搬送経路の側方に配設された研削手段により前記ガラス基板の辺の端面を研削することに特徴づけられる。

このような方法によれば、上記第１の方法による作用効果に加えて、ガラス基板が、負圧により搬送ベルト上に吸着保持されていることから、搬送時（ガラス基板端面の研削加工時を含む）にガラス基板が位置ズレを来すことなく搬送ベルトの側方に配設された研削手段によりガラス基板の端面研削が行われることになる。これにより、予めガラス基板の位置ズレを考慮して研削代を不当に拡張する必要がなくなると共に、ガラス基板の端面に所望の研削代を確保することができるようになり、研削加工を安定して効率的に行うことが可能となる。

一方、上記の課題を解決するために創案された本発明に係る装置は、ガラス基板を搬送する搬送手段と、該搬送手段により搬送されるガラス基板の周縁のうち搬送方向に平行な辺の端面を研削する研削手段とを有するガラス基板の製造装置において、前記搬送手段は、搬送ベルトに形成された複数の吸引孔を通じて該搬送ベルト上に前記ガラス基板を吸着保持するための負圧を発生する負圧発生手段を有し、前記搬送ベルト上に前記ガラス基板を吸着保持して搬送しながら、その搬送経路の側方に配設された研削手段により前記ガラス基板の端面を研削するように構成されていることに特徴づけられる。

このような構成によれば、負圧発生手段により搬送ベルトに形成された複数の吸引孔を通じて搬送ベルト上にガラス基板を吸着保持するための負圧が発生するため、この負圧でもってガラス基板は搬送ベルト上に確実に吸着保持された状態で搬送されながら、搬送ベルトの側方に配設された研削手段によりガラス基板の端面が研削される。そして、これに対応する構成については、既に述べた事項と同様の作用効果を得ることができる。

上記の構成において、前記搬送ベルトは、前記搬送手段によるガラス基板の搬送方向と平行に複数本が並列に配列されていてもよい。

このようにすれば、例えば大型のガラス基板の端面に対して研削加工を施すことが要求される場合であっても、ベルト幅の大きな搬送ベルトを改めて用意することなく、ベルト幅の小さな搬送ベルトを複数本並列に配列することにより、ガラス基板を複数本のベルト上に吸着保持した状態で搬送することが可能となり、所定のベルト幅をもつ既存の搬送ベルトを有効活用した上で、上記の要求に適正に応じることができる。また、複数本の搬送ベルトの各々を離隔して配列することが可能となるため、ベルト幅の大きな１本の搬送ベルト上にガラス基板を吸着保持させて搬送するよりも、ガラス基板の裏面に対する搬送ベルトの接触面積を小さくすることができる。そのため、ガラス基板の裏面に対しても傷の発生や塵埃の付着等が生じる機会が低減され、ガラス基板の有効面に加えて裏面に対しても所定の平滑度や清浄度が要求される場合に好都合である。

この場合には、近年のガラス基板サイズの多様化を勘案すれば、並列された複数本の搬送ベルトは相互間隔を調整可能に構成されていることが好ましい。これによれば、ガラス基板の大きさに合わせて搬送ベルトの相互間隔を調整するだけで、１つの研削装置で様々な大きさのガラス基板の端面研削を行うことが可能となり、ガラス基板の大きさ毎に専用の端面研削装置を別途用意する必要がなくなるため、設備費用の低減と省スペース化とを同時に図ることができる。なお、研削手段も必要に応じて、搬送ベルトと連動或いは搬送ベルトと独立して搬送方向と直交する方向に進退移動可能に構成されていることが好ましい。

上記の構成において、前記複数本の搬送ベルトは、中央側に配列されたベルトの方が、その両側方に配列されたベルトよりも、前記ガラス基板を強い負圧でもって吸着保持するように構成されていることが好ましい。

このようにすれば、ガラス基板は、中央側に配列されたベルト上に強い負圧でもって堅固に吸着保持された状態で搬送される。この際、両側方に配列されたベルトによってもガラス基板は吸着されるが、両側方に配列されたベルトは中央側に配列されたベルトよりも弱い負圧によりガラス基板を吸着保持することとなるため、ガラス基板は主に中央側に配列されたベルト上に吸着保持された状態で搬送されることとなる。すなわち、仮に搬送ベルト毎に平行度や搬送速度等に多少のバラツキがある場合であっても、ガラス基板は中央側に配列されたベルトの直進走行に支配されてしたがって搬送され、両側方に配列されたベルトがその直進走行を阻害することがなくなるため、搬送途中でガラス基板に撓みや捻れ等が生じ難く、ガラス基板に不当な応力が作用することを回避できる。しかも、両側方に配列されたベルトによってもガラス基板は弱い負圧によって吸着保持されているので、端面を研削加工する際にガラス基板の両端面付近における上下方向への不規則な変動の発生が防止され、研削精度を一定に確保することができる。

上記の構成において、前記負圧発生手段は、上面側に開口部を有する真空チャンバと、該真空チャンバ内を負圧状態にする真空発生源とを有し、前記搬送ベルトが前記真空チャンバの開口部を覆いながら走行するように構成されていてもよい。

このようにすれば、真空発生源により真空チャンバ内が負圧にされた状態で、この真空チャンバの上面側開口部を覆いながら搬送ベルトが走行することにより、搬送ベルトに形成された吸引孔を通じてその上面に載置されているガラス基板に負圧が作用する。この結果、ガラス基板は、搬送ベルト上に吸着保持された状態で搬送されることとなる。

更に、上記の構成において、前記真空チャンバは、前記搬送方向に複数の室に分割されてなり、その分割間隔が搬送すべきガラス基板の搬送方向寸法の１／２以下であることが好ましい。

このようにすれば、ガラス基板は、搬送ベルト上に高い吸着力によって確実に吸着保持された状態で搬送され得ることとなる。すなわち、真空チャンバをガラス基板の搬送方向寸法の１／２以下の間隔で搬送方向に複数の室に分割すると、搬送ベルト上に載置されたガラス基板は、複数の室のうち少なくとも１つの室の上側開口部を、搬送ベルトを介して完全に覆いながら搬送されることとなる。したがって、ガラス基板により開口部が完全に覆われた室は、真空発生源によって高い負圧状態に維持されるため、この室の真上に存在するガラス基板は搬送ベルト上により堅固に吸着保持される。

この場合、上記の数値範囲内で分割された複数の室には、例えば各室毎に真空発生源が接続されていてもよく、或いは各室につき単一の真空発生源が又は室総数よりも少ない個数の真空発生源が、各室毎に取り付けられた開閉弁を介して接続されていてもよい。また、ガラス基板の搬送中、真空発生源は、常時稼働させてもよく、或いはガラス基板の搬送位置に合わせて稼働タイミングを切換え制御するようにしてもよい。

上記の構成において、前記研削手段は、前記ガラス基板の端面を研削する研削面が断面略円弧状の凹部をなす砥石を有していることが好ましい。

このようにすれば、研削手段の砥石によりガラス基板の端面を研削すると、砥石の略円弧状の研削面に倣ってガラス基板の端面は略円弧状をなす凸状に研削され、１回の研削加工によりガラス基板の表裏面の両面に対する面取りが同時に行われる。したがって、ガラス基板の周縁のうち１辺の端面の面取りを表面（有効面）側と裏面側とを別々に異なる位置で行う場合に比して、研削時間を短縮できると共に、ガラス基板の搬送経路の経路長を短縮して省スペース化を図ることができる。なお、ガラス基板と砥石は、相対的な動きがあれば、ガラス基板の端面を研削することが可能であるが、研削効率を考慮する場合には、砥石は回転駆動するように構成されていることが好ましい。また、砥石の研削面は必ずしも全周に亘って形成されている必要はなく、部分的に形成されていてもよい。

上記の構成において、前記研削手段は、前記搬送経路の側方に沿って粗さの異なる複数個の砥石を配列してなるものであってもよい。

このようにすれば、ガラス基板の端面には、粗さの異なる複数個の砥石により順次研削加工が施される。そして、例えばガラス基板の搬送経路の上流側から順に、順次研削面の面粗さが細かくなるように複数の砥石を配列した場合には、ガラス基板の端面を効率良く目標となる面粗さにすることが可能となる。

上記の構成において、前記研削手段は、搬送方向に平行な前記ガラス基板の２辺の端面に対して研削可能となるように、前記搬送経路の両側方に対向して配置されていてもよい。

このようにすれば、搬送手段によりガラス基板が所定の搬送方向に一回搬送される間に、各ガラス基板の搬送方向と平行な２辺の端面に対して、研削手段により研削加工が施される。したがって、搬送方向と平行なガラス基板の２辺の端面が一度に研削されるので、搬送経路の片側方のみに研削手段を配置した場合に比して、研削時間を短縮できると共に搬送経路の経路長を短縮して省スペース化を図ることができる。

この場合、前記ガラス基板の搬送経路の途中で該ガラス基板が９０°水平旋回すると共に、その水平旋回前及び水平旋回後のいずれにおいても前記ガラス基板の端面を研削するように構成することが好ましい。このようにすれば、ガラス基板を９０°水平旋回させる前は、上述のように搬送手段により順次搬送される各ガラス基板の２辺の端面に対して研削加工を施し、水平旋回した後は、同じく他の搬送手段により順次搬送されるそれらのガラス基板の残り２辺の端面に対して研削加工を施すことにより、ガラス基板の４辺すべての端面の研削加工を施すことができる。なお、搬送ベルトの片側方のみに研削手段を配置した場合には、ガラス基板の搬送経路上で、９０°水平旋回を複数回行うように構成して、ガラス基板の４辺すべての端面に研削加工を施すように構成してもよい。

以上のように本発明によれば、搬送ベルト上にガラス基板をその裏面側から吸着保持することが可能となるため、ガラス基板の有効面に搬送ベルト等の他部材を接触させない状態でガラス基板に処理を施すことができ、これによりガラス基板の有効面における傷の発生や異物の付着を可及的に防止することができる。更に、負圧の大きさを適切に調整しておけば、ガラス基板が位置ズレを来たす確率が極めて小さくなり、搬送経路の周辺に配設された処理手段によってガラス基板に対する処理を正確且つ精度良く行い得ることになる。

以下、本発明の一実施形態について図面を参照して説明する。

先ず、図１に示す概略平面図に基づいて、本発明の実施形態に係るガラス基板の製造装置（詳細には、ガラス基板の端面加工装置）の全体構成を説明する。同図に示すように、ガラス基板の製造装置（以下、単に端面加工装置という）１は、上流側搬送手段２Ａによりガラス基板３を所定方向（同図では右方向）に搬送すると共に、その下流側に隣接する旋回手段２Ｘによりガラス基板３を９０°水平旋回させ、更にその下流側に隣接する下流側搬送手段２Ｂにより水平旋回後のガラス基板３を水平姿勢で同方向に搬送する構成とされ、上流側搬送手段２Ａ及び下流側搬送手段２Ｂの搬送経路における両側方（搬送経路と直交する方向の両側）には、研削手段４が配設されている。なお、下流側搬送手段２Ｂは上流側搬送手段２Ａと同一構成であるため、以下においては、上流側搬送手段２Ａについてのみ説明をし、下流側搬送手段２Ｂについてはその説明を省略する。

上記の上流側搬送手段２Ａは、図１に示すように、ガラス基板３を吸着保持しながら所定方向に搬送する搬送ベルト５を備え、本実施形態では、計３本の搬送ベルト５が搬送方向と平行に並列に配列されている。そして、各搬送ベルト５は、図示しないスライド手段により相互間隔を調整可能に構成されている。また、同図に符号Ｘを付した拡大図に示すように、各搬送ベルト５には、その全域に亘って複数の吸引孔５ａが所定ピッチで形成されている。詳述すると、各搬送ベルト５は、図２に示すように、無端状のベルトであって、搬送方向における上流側端部と下流側端部とがそれぞれ回転輪６ａ、６ｂに巻き掛けられており、これらの回転輪６ａ、６ｂのうち一方が駆動輪として同図時計方向に回転することにより、３本の搬送ベルト５が同一速度で巻掛け駆動されるようになっている。

更に、上流側搬送手段２Ａは、図２に示すように、搬送ベルト５に形成された複数の吸引孔５ａを通じて搬送ベルト５上にガラス基板３を吸着保持するための負圧を発生する負圧発生手段７を備えている。詳述すると、負圧発生手段７は、上面に開口部を有する真空チャンバ７ａと、真空チャンバ７ａ内を負圧状態にする真空ポンプ（真空発生源）７ｂとを備え、搬送ベルト５が真空チャンバ７ａの開口部を覆いながら走行するように構成されている。そして、本実施形態では、真空チャンバ７ａは、ガラス基板３の搬送方向寸法Ｌの１／２以下の間隔で、搬送方向に複数（図示例では４つ）の室７ａ１に分割されると共に、室７ａ１毎に連通路を介して真空ポンプ７ｂが接続されている。そのため、ベルト上にガラス基板３を載置して搬送する場合に、ガラス基板３の下方に位置する領域において、少なくとも１つの室７ａ１に対応する開口部がガラス基板３により完全に封じられるため、当該室７ａ１内はより高い負圧状態に維持されて、ガラス基板３を搬送ベルト５上に確実に吸着しながら搬送することが可能となる。

なお、搬送ベルト５の表面には、図示しないが、例えばネオプレンゴム、ポリエステルプロピレンゴム等の軟質な弾性材料が接着されている。これによれば、真空チャンバ７ａ内を負圧状態にした場合に、ガラス基板３の表面形状に倣って弾性材料が変形してガラス基板３に吸着するため、ガラス基板３をより確実に搬送ベルト５上に吸着保持することが可能となる。これと同時に、弾性材料はガラス基板３への衝撃を吸収する緩衝材としての役割も果たして得るため、ガラス基板３に傷が発生し難くなり好都合である。

一方、上記の研削手段４は、図１に示すように、上流側搬送手段２Ａ（下流側搬送手段２Ｂについても同様）の搬送経路における両側方に対向するように配設されており、各研削手段４は、搬送経路の上流側から順に、ガラス基板３の端面３ａに対して相対的に粗い研磨加工を施す粗砥石４ａと、相対的に微細な研磨加工を施す微細砥石４ｂとが回転駆動するように配設されてなる。

具体的には、粗砥石４ａは、図３に示すように、ガラス基板３の搬送方向と平行な辺の端面３ａが円弧状の凸部を呈する形状となるように、その端面３ａを研削する研削面４ａ１が断面円弧状の凹部を呈している。詳述すると、粗砥石４ａは、図示しない駆動機構により回転駆動される円柱状の基体４ａ２を備え、その基体４ａ２の周側面の全周が、上記した断面円弧状の研削面４ａ１とされている。また、図４に示すように、粗砥石４ａは、研削面４ａ１に対応した領域Ｇに粒度が＃３００〜＃５００（この実施形態では＃４００）の砥粒が固着されている。なお、微細砥石４ｂは、その研削面に粒度が＃２０００〜＃４０００（この実施形態では＃３０００）の砥粒が固着されている以外は、上記した粗砥石４ａと同様の構成とされている。

したがって、上流側搬送手段２Ａによって搬送されるガラス基板３の搬送方向と平行な両辺の全長に亘るそれぞれの端面３ａに対しては、粗砥石４ａと、微細砥石４ｂとによって、２段階に亘る研削加工が施される。具体的には、粗砥石４ａにより概ね断面円弧状となるように成形された後、微細砥石４ｂにより主として表面粗さを小さくする研磨が行われる。なお、下流側搬送手段２Ｂによって、ガラス基板３の残り２辺の全長に亘るそれぞれの端面３ａについて、同様の処理が施される。

次に、本発明に係る端面研削装置１によるガラス基板３の端面３ａの研削方法について説明する。

先ず、図１及び図２に示すように、ガラス基板３は、図示しない位置決め手段により研削手段４に対する位置決めがなされた後、この姿勢を維持したまま上流側搬送手段２Ａの搬送ベルト５上に引き渡され、並列に配列された３本の搬送ベルト５上に吸着保持されながら搬送される。この際、ガラス基板３は、並列に配列された３本の搬送ベルト５のうち中央に配列されたベルトにより、最も強い負圧でもって吸着保持されながら搬送されている。

そして、搬送されるガラス基板３は、研削手段４によって左右両辺の全長に亘るそれぞれの端面３ａに対して、粗砥石４ａと微細砥石４ｂとによる２段階に亘る研削加工が施されて、端面が円弧状をなすように研削加工（面取り加工を兼ねる）が施される。

このガラス基板３は、上流側搬送手段２Ａの下流端まで搬送された時点で、旋回手段２Ｘの動作によって９０°水平旋回すると共に、必要に応じて、図示しない位置決め手段によって再度位置決めがされた後、下流側搬送手段２Ｂによって搬送されることにより、ガラス基板３の残りの２辺における端面に対しても、上記と同様に２回に亘る研削加工が施される。

以上のように、本実施形態に係る端面研削装置１によれば、ガラス基板３は並列に配列された３本の搬送ベルト５上に負圧でもって吸着保持されるので、ガラス基板３の裏面のみが搬送ベルト５に接触した状態を維持してガラス基板３が搬送される。そして、その搬送中に、搬送経路の左右両側に配設された研削手段４により、ガラス基板３の周縁のうち搬送方向と平行な２辺の端面３ａに研削加工が施され、上流側搬送手段２Ａ及び下流側搬送手段２Ｂによりガラス基板の４辺すべての研削加工が行われる。したがって、ガラス基板３の有効面には搬送ベルト等の他部材が接触することはなくなり、且つその状態の下でガラス基板３の端面３ａに研削加工を施すことが可能となるため、有効面における傷の発生や塵埃等の異物の付着を可及的に防止することができる。加えて、ガラス基板３は、負圧により搬送ベルト５上に確実に吸着保持されるので、搬送時に、ガラス基板３が位置ズレを来すことがなくなり、これに伴って予めガラス基板３の位置ズレを考慮して研削代を不当に拡張する必要もなくなり、ガラス基板３の端面３ａに所望の研削代を付与することができ、研削加工を安定して効率的に行うことが可能となる。

なお、本発明は、上記実施形態に限定されることなく、以下に示すような種々の変形が可能である。

例えば、上記の実施形態では、３本の搬送ベルトを並列に配列したが、勿論、搬送ベルトの数は必要に応じて適宜変更可能である。更に、これら配列された搬送ベルト５は、必ずしも全ての搬送ベルト５がガラス基板３を負圧でもって吸着保持し得る構成とされている必要はなく、搬送すべきガラス基板３の大きさや、その他の諸条件を考慮して適宜選択することができる。また、搬送ベルト５に形成される吸引孔５ａの形状は、真円に限らず、楕円や矩形など種々の形状を採用することができる。

また、研削手段４は、上記の粗砥石４ａと微細砥石４ｂが搬送経路の側方に沿って配設されているのものに限らず、研削面の砥粒の粒度が異なる複数個の砥石を配列してなるものであってもよい。この場合、搬送経路に沿って、例えば、単に隣接する砥石同士で砥粒の粒度が異なるように配置したり、或いは、搬送経路の上流側から砥粒の粒度が順次大きく（砥粒の平均粒径が小さく）なるように配置してもよい。更に、必要に応じて、同一の粒度をもつ砥石を複数個配列してもよい。

更に、搬送経路の側方に配設される処理手段は、研削手段４に限定されるわけではなく、例えば、既述の本出願人による特願２００５−３９３７８号に記載した洗浄手段、すなわちガラス基板が研削された後にそのガラス基板の研削端面を高圧の洗浄用液体で洗浄するための洗浄手段を配設してもよい。また、搬送経路の途中の上方や下流側端部に、ガラス基板を切断するための切断手段を配設してもよい。要するに、負圧によりガラス基板を吸着保持して搬送する搬送ベルトの周辺に、最終製品としてのガラス基板を製造するために必要な製造関連処理手段が配設されていればよい。

本発明のガラス端面研削方法及びその装置は、液晶ディスプレイ、プラズマディスプレイ、エレクトロルミネッセンスディスプレイ、フィールドエミッションディスプレイ等の各種画像表示機器用のガラス基板の製作に用いられるガラス基板や、各種電子表示機能素子や薄膜を形成するための基材として用いられるガラス基板のように、表面に高い平滑度や清浄度が要求されるガラス基板の製造関連処理用として好適である。

本発明の実施形態に係るガラス基板端面加工装置の全体構成を示す概略平面図である。 本発明の実施形態に係るガラス基板端面加工装置を構成する搬送手段の要部を簡略化して示す要部縦断面図である。 本発明の実施形態に係るガラス基板端面加工装置を構成する研削手段の要部を簡略化して示す要部拡大斜視部である。 本発明の実施形態に係るガラス基板端面加工装置を構成する研削手段の要部を簡略化して示す要部拡大縦断面図である。

符号の説明

１ 端面研削装置
２Ａ 上流側搬送手段
２Ｂ 下流側搬送手段
２Ｘ 旋回手段
３ ガラス基板
３ａ 端面
４ 研削手段
４ａ 粗砥石
４ｂ 微細砥石
５ 搬送ベルト
５ａ 吸引孔
７ 負圧発生手段
７ａ 真空チャンバ
７ｂ 真空ポンプ

Claims (10)

1. ガラス基板製造工程の実行時に、ガラス基板の搬送に連係させて該ガラス基板に対する製造関連処理を行うガラス基板の製造方法において、
   搬送ベルト上に前記ガラス基板を負圧により吸着保持した状態で、該搬送ベルトを走行させることにより前記ガラス基板を搬送し、その搬送経路の周辺に配設された製造関連処理手段により前記ガラス基板に対する製造関連処理を行うことを特徴とするガラス基板の製造方法。
2. ガラス基板を搬送しながら、その搬送方向と平行なガラス基板の辺の端面を研削する研削工程を含むガラス基板の製造方法において、
   前記研削工程では、搬送ベルト上に前記ガラス基板を負圧により吸着保持した状態で、該搬送ベルトを走行させることにより前記ガラス基板を搬送しながら、その搬送経路の側方に配設された研削手段により前記ガラス基板の辺の端面を研削することを特徴とするガラス基板の製造方法。
3. ガラス基板を搬送する搬送手段と、該搬送手段により搬送されるガラス基板の周縁のうち搬送方向に平行な辺の端面を研削する研削手段とを有するガラス基板の製造装置において、
   前記搬送手段は、搬送ベルトに形成された複数の吸引孔を通じて該搬送ベルト上に前記ガラス基板を吸着保持するための負圧を発生する負圧発生手段を有し、前記搬送ベルト上に前記ガラス基板を吸着保持して搬送しながら、その搬送経路の側方に配設された研削手段により前記ガラス基板の端面を研削するように構成されていることを特徴とするガラス基板の製造装置。
4. 前記搬送ベルトは、前記搬送手段による前記ガラス基板の搬送方向と平行に複数本が並列に配列されていることを特徴とする請求項３に記載のガラス基板の製造装置。
5. 前記複数本の搬送ベルトは、中央側に配列されたベルトの方が、その両側方に配列されたベルトよりも、前記ガラス基板を強い負圧でもって吸着保持するように構成されていることを特徴とする請求項４に記載のガラス基板の製造装置。
6. 前記負圧発生手段は、上面側に開口部を有する真空チャンバと、該真空チャンバ内を負圧状態にする真空発生源とを有し、前記搬送ベルトが前記真空チャンバの開口部を覆いながら走行するように構成されていることを特徴とする請求項３〜５のいずれかに記載のガラス基板の製造装置。
7. 前記真空チャンバは、前記搬送方向に複数の室に分割されてなり、その分割間隔が搬送すべきガラス基板の搬送方向寸法の１／２以下であることを特徴とする請求項６のいずれかに記載のガラス基板の製造装置。
8. 前記研削手段は、前記ガラス基板の端面を研削する研削面が断面略円弧状の凹部をなす砥石を有していることを特徴とする請求項３〜７のいずれかに記載のガラス基板の製造装置。
9. 前記研削手段は、前記搬送経路の側方に沿って粗さの異なる複数個の砥石を配列してなることを特徴とする請求項３〜８のいずれかに記載のガラス基板の製造装置。
10. 前記研削手段は、搬送方向に平行な前記ガラス基板の２辺の端面に対して研削可能となるように、前記搬送経路の両側方に対向して配置されてなることを特徴とする請求項３〜９のいずれかに記載のガラス基板の製造装置。

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