JPWO2018194022A1 - ガラス板の製造方法および製造装置 - Google Patents
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Abstract
Description
2 ガラス板
2a 端面
2b 下面
3 支持ステージ
7 砥石
8 対称軸
9 外側固定部(固定部)
10 内側固定部(固定部)
11 ブラシ支持部
12 支持面
13 吸着孔
14 供給口
17 棒状部材
18 コイルバネ状部材
19 板状部材
Claims (12)
- ガラス板を支持ステージ上に固定した状態で、該支持ステージから食み出した前記ガラス板の端面を加工する端面加工工程を含んだガラス板の製造方法であって、
前記支持ステージに、前記ガラス板を固定可能な固定部と、前記ガラス板を複数の弾性部材で支持する支持部とを設けることを特徴とするガラス板の製造方法。 - 前記支持部は、前記ガラス板をブラシで支持するブラシ支持部であることを特徴とする請求項1に記載のガラス板の製造方法。
- 前記ガラス板が矩形の形状を有し、
前記端面加工工程では、前記ガラス板の相互に平行に延びる両端面を加工し、
前記支持ステージに、前記固定部として、前記両端面に沿って延びる第1外側固定部および第2外側固定部を設け、
前記第1外側固定部を、前記支持部よりも前記両端面の一方に近接させて配置すると共に、前記第2外側固定部を、前記支持部よりも前記両端面の他方に近接させて配置することを特徴とする請求項1又は2に記載のガラス板の製造方法。 - 前記支持部は、前記両端面が延びる方向に沿って延びていることを特徴とする請求項3に記載のガラス板の製造方法。
- 前記支持ステージに、前記固定部として、前記第1外側固定部と前記第2外側固定部との相互間に配置される内側固定部を設けることを特徴とする請求項3又は4に記載のガラス板の製造方法。
- 前記両端面と平行に延びる対称軸を基準として、前記支持ステージを対称な構成とすることを特徴とする請求項3〜5のいずれかに記載のガラス板の製造方法。
- 前記端面加工工程の実行前に、前記ガラス板を前記支持ステージ上で移動させて位置決めする位置決め工程を含むことを特徴とする請求項3〜6のいずれかに記載のガラス板の製造方法。
- 前記固定部は、前記端面加工工程の実行時に前記ガラス板の下面を吸着して固定する吸着孔と、前記位置決め工程の実行時に前記固定部と前記ガラス板の下面との相互間に流体を供給する供給口とを有することを特徴とする請求項7に記載のガラス板の製造方法。
- 前記端面加工工程の実行前に、前記ガラス板を前記支持ステージ上で移動させて位置決めする位置決め工程を含み、
前記固定部は、前記端面加工工程の実行時に前記ガラス板の下面を吸着して固定する吸着孔と、前記位置決め工程の実行時に前記固定部の各々と前記ガラス板の下面との相互間に流体を供給する供給口とを有し、
前記第1外側固定部及び第2外側固定部が有する前記吸着孔の個数を、それぞれ、前記内側固定部が有する前記吸着孔の個数よりも多くすることを特徴とする請求項8に記載のガラス板の製造方法。 - 前記端面加工工程の実行後に、前記吸着孔からガスを噴射することによって前記固定部による前記ガラス板の固定を解除する解除工程を含み、
前記吸着孔を前記両端面が延びる方向に沿って並べてなる吸着孔列と、前記供給口を前記両端面が延びる方向に沿って並べてなる供給口列とを前記固定部に配置すると共に、
前記吸着孔列と前記供給口列とのうちの前記吸着孔列を、該固定部に近い前記端面に近接させて配置することを特徴とする請求項8又は9に記載のガラス板の製造方法。 - ガラス板を下方から支持した状態で固定可能な支持ステージと、該支持ステージ上に固定された前記ガラス板の該支持ステージから食み出した端面を加工する端面加工手段とを備えたガラス板の製造装置であって、
前記支持ステージが、前記ガラス板を固定可能な固定部と、前記ガラス板を複数の弾性部材で支持する支持部とを有することを特徴とするガラス板の製造装置。 - 前記支持部が、前記ガラス板をブラシで支持するブラシ支持部であることを特徴とする請求項11に記載のガラス板の製造装置。
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