JP7133211B2 - 研磨装置 - Google Patents
研磨装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP7133211B2 JP7133211B2 JP2018211394A JP2018211394A JP7133211B2 JP 7133211 B2 JP7133211 B2 JP 7133211B2 JP 2018211394 A JP2018211394 A JP 2018211394A JP 2018211394 A JP2018211394 A JP 2018211394A JP 7133211 B2 JP7133211 B2 JP 7133211B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air
- suction space
- work
- air suction
- polishing
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Landscapes
- Constituent Portions Of Griding Lathes, Driving, Sensing And Control (AREA)
- Grinding-Machine Dressing And Accessory Apparatuses (AREA)
- Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)
Description
D 塵埃
W ワーク
1 ワーク固定部
3 ワーク配設部・無端ベルト
4 孔
5 空気吸引空間部
5’ 容体
5a 底壁部
5b 周壁部
6 ホース
7 案内ローラー
8 縦桟
9 横桟
20 分岐部
20a バルブ
21 空気供給源
Claims (7)
- ワーク固定部で固定されたワークを研磨処理する研磨装置であって、前記ワーク固定部は、多数の孔が設けられ表面に前記ワークが配設されるワーク配設部と、このワーク配設部の裏面側に設けられる空気吸引空間部とを有し、前記孔を介して前記空気吸引空間部へ空気を吸引することで前記ワーク配設部の表面に配設された前記ワークが吸引固定される構成であり、前記空気吸引空間部には可撓性を有するホースが設けられ、このホースは空気供給源に連設され、空気を噴射することで暴れ動しながらこの噴射空気によって前記空気吸引空間部に付着した前記ワークの削り屑などの塵埃が除去され、更に、この塵埃は前記空気吸引空間部から導出されるように構成されていることを特徴とする研磨装置。
- 前記空気吸引空間部の所定位置には複数の前記ホースから成る空気噴射部が設けられ、この空気噴射部の前記ホースは、互いに先端が異なる方向へ向けて配設されていることを特徴とする請求項1記載の研磨装置。
- 前記空気供給源が連設される分岐部を介して複数の前記ホース夫々に独立して空気が供給される構成とし、前記各ホース夫々に空気の供給及び非供給を切り替えるバルブを有することを特徴とする請求項1,2のいずれか1項に記載の研磨装置。
- 前記空気吸引空間部から導出された空気が前記ワークを研磨処理する研磨処理部に導入される空気循環構造を具備していることを特徴とする請求項1~3のいずれか1項に記載の研磨装置。
- 前記ワーク配設部は、複数の案内ローラーに巻回される無端ベルトで構成され、前記空気吸引空間部は前記無端ベルトの裏面で囲まれた内空間に設けられていることを特徴とする請求項1~4のいずれか1項に記載の研磨装置。
- 前記空気吸引空間部は、底壁部と、この底壁部の周囲に設けられる周壁部とからなる容体を有し、前記周壁部の内方は互いに交叉連設する縦桟及び横桟で適宜区画された構造であり、前記縦桟及び前記横桟により前記無端ベルトが支持されるように構成されていることを特徴とする請求項5記載の研磨装置。
- 前記ホースは前記縦桟及び前記横桟に干渉しない長さに設定されていることを特徴とする請求項6記載の研磨装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018211394A JP7133211B2 (ja) | 2018-11-09 | 2018-11-09 | 研磨装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2018211394A JP7133211B2 (ja) | 2018-11-09 | 2018-11-09 | 研磨装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2020075336A JP2020075336A (ja) | 2020-05-21 |
JP7133211B2 true JP7133211B2 (ja) | 2022-09-08 |
Family
ID=70724788
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2018211394A Active JP7133211B2 (ja) | 2018-11-09 | 2018-11-09 | 研磨装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP7133211B2 (ja) |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013049004A (ja) | 2011-08-30 | 2013-03-14 | Yabuuchi Industry Co Ltd | 塵埃除去装置 |
JP2013107139A (ja) | 2011-11-17 | 2013-06-06 | Murata Machinery Ltd | バリ取り装置 |
-
2018
- 2018-11-09 JP JP2018211394A patent/JP7133211B2/ja active Active
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2013049004A (ja) | 2011-08-30 | 2013-03-14 | Yabuuchi Industry Co Ltd | 塵埃除去装置 |
JP2013107139A (ja) | 2011-11-17 | 2013-06-06 | Murata Machinery Ltd | バリ取り装置 |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2020075336A (ja) | 2020-05-21 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US20150183130A1 (en) | Cutting apparatus | |
JP6054805B2 (ja) | 基板洗浄装置 | |
CN107442515B (zh) | 贯通清洁装置及其清洁方法 | |
JP7133211B2 (ja) | 研磨装置 | |
TWI669201B (zh) | Cutting device | |
JP4153514B2 (ja) | 基板洗浄装置および基板洗浄装置を備えた基板供給装置 | |
KR101654364B1 (ko) | 나노 샌딩 시스템 | |
JP2015082570A (ja) | ウエーハ加工システム | |
JP3224388B2 (ja) | トラバーシングを行うサンディング機械などの木工用機械 | |
JP6720659B2 (ja) | 基材の液切り装置 | |
JP2018202587A (ja) | スラリ噴射体 | |
TW202118588A (zh) | 保持面洗淨裝置 | |
JP6814009B2 (ja) | 搬送パッド及びウエーハの搬送方法 | |
JP7068098B2 (ja) | 研削装置 | |
JP5179167B2 (ja) | ショットブラスト設備 | |
JP6570964B2 (ja) | 筒状蛇腹カバー | |
JP2017073457A (ja) | 洗浄装置 | |
KR20140099030A (ko) | 플라스틱 재질로 성형된 사출물의 버어 및 단차 제거장치 | |
JP2010087443A (ja) | 搬送機構 | |
JP2003133259A (ja) | ダイシング装置 | |
KR101613377B1 (ko) | 모바일 메탈 프레임 브라스트 가공장치 | |
JP7222721B2 (ja) | 洗浄機構 | |
JP7046319B2 (ja) | ガラス板の製造方法および製造装置 | |
JP2006130372A (ja) | シート清掃装置及びシート加工機 | |
CA3155579A1 (en) | Polishing apparatus, polishing, and cleaning liquid supply device |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A7424 Effective date: 20190606 |
|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20210729 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20220413 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20220428 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20220509 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20220725 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20220822 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 7133211 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |