KR100899104B1 - 기판반송장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 기판 반송장치에 관한 것으로, 그 구성은 물 공급관이 인입되어 물을 충진하게 하는 상부 하우징; 상기 상부 하우징의 하측에 위치하며 에어 공급관이 연결된 하부 하우징; 상기 하부 하우징 상단면에서 상기 상부 하우징 상단면 측으로 연장 돌출되는 노즐; 및 상기 상부 하우징 양 측면에 배치되어 기판을 이송하게 하는 싸이드 롤러;를 포함하며, 상기 노즐 단부는 상기 상부 하부징의 상단면 전체면에 대해 개구된 분사공에 인입되어 분사공과 노즐을 통해 물과 공기를 분사하여 기판 저면을 부양 지지하게 한다.

본 발명에 따르면, 기판 이송시 발생할 수 있는 손상을 최소화하고, 마찰에 의한 미립자 발생을 억제할 수 있게 함으로써 기판 불량률을 감소시킬 수 있게 하는 효과가 있다.

기판, 롤러, 에어, 물, 노즐

Description

기판반송장치{Substrate Transfer Apparatus}

본 발명은 기판 반송장치에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 기판 이송시 발생할 수 있는 손상을 최소화하고, 마찰에 의한 미립자 발생을 억제할 수 있게 함으로써 기판 불량률을 감소시킬 수 있게 하는 기판 반송장치에 관한 것이다.

최근 들어 박형화, 경량화, 저 소비전력화 등의 시대상에 부응하기 위해 평판표시장치의 필요성이 대두되었다. 이에 따라 색 재현성이 우수하고 박형인 박막트랜지스터형 액정표시소자(TFT-LCD)가 개발되었다.

통상적으로 액정표시장치에서는 액정패널 상에 매트릭스 형태로 배열된 액정셀들의 광투과율을 그에 공급되는 비디오 데이터 신호로 조절함으로써 데이터 신호에 해당하는 화상을 패널 상에 표시하게 된다.

이를 위하여 액정표시장치는 액정층에 전계를 인가하기 위한 전극들, 액정셀 별로 데이터 공급을 전환하기 위한 박막 트랜지스터, 외부에서 공급되는 데이터를 액정셀들에 공급하는 신호배선 및 TFT의 제어신호를 공급하기 위한 신호배선 등을 구비하게 된다.

일반적으로 액정표시장치는 화소 단위를 이루는 액정셀의 형성 공정을 동반 하는 패널 상판 및 하판의 제조공정과, 액정 방향을 위한 배향막의 형성 및 러빙 공정과, 상판 및 하판의 합착 공정과, 합착된 상판 및 하판 사이에 액정을 주입하고 봉지하는 공정 등의 여러 과정을 거쳐 완성되게 된다.

상기 언급된 상판 및 하판에 의한 패널의 제조 공정, 상판 및 하판의 합착 공정, 합착된 상판 및 하판 사이에 액정을 주입하고 봉지하는 공정, 세척 공정 등 각 단계의 공정들을 수행하기 위해서는 기판(이하 : 상판 및 하판을 기판이라 함)을 미리 셋팅된 정확한 위치로 이송하게 된다.

이처럼 일련의 제조공정 중 기판을 이송하기 위한 이송장치에 관한 것으로서, 도 1 또는 도 2에 도시된 종래의 기술을 보면, 상기 이송장치(100)는 상기 이송장치(100)는 상기 모터(122)의 회전력을 벨트(124)에 전달시키면 다수개의 구동롤러(128)가 기판(300) 하단에 위치한 반송롤러(126)에 회전력을 전달하여 기판(300)을 이송하게 되는 것이다.

그러나, 상기 반송롤러(126)에 의한 이송은 롤러와 벨트의 마찰에 의해 생기는 미세입자들(Particle)로 인해 기판(300)의 표면을 손상시키는 문제점이 있으며, 기판과 반송롤러의 마찰에 의해 기판이 손상되는 문제점이 있었다.

또한, 벨트를 오랜 기간 사용하면 벨트가 끊어져 사고의 위험성이 높아지는 문제점이 있으며, 현재 기판 들을 보면 대형화 추세로 가고 있는데, 이러한 벨트 이송은 이송장치가 차지하는 공간이 많아질 뿐만 아니라 벨트로 인한 기판 손상이 더욱 심화되는 문제점과 동시에 유지 보수에 들어가는 시간과 비용이 더욱 많아지는 문제점이 있다.

본 발명은 상기와 같은 문제점을 해결하기 위해 안출된 것으로서, 본 발명의 목적은 기판 이송시 발생할 수 있는 손상을 최소화하고, 마찰에 의한 미립자 발생을 억제할 수 있게 함으로써 기판 불량률을 감소시킬 수 있게 하는 기판 반송장치을 제공함에 있다.

본 발명은 앞서 본 목적을 달성하기 위하여 다음과 같은 구성을 가진다.

본 발명의 기반 반송장치는, 물 공급관이 인입되어 물을 충진하게 하는 상부 하우징; 상기 상부 하우징의 하측에 위치하며 에어 공급관이 연결된 하부 하우징; 상기 하부 하우징 상단면에서 상기 상부 하우징 상단면 측으로 연장 돌출되는 노즐; 및 상기 상부 하우징 양 측면에 배치되어 기판을 이송하게 하는 싸이드 롤러;를 포함하며, 상기 노즐 단부는 상기 상부 하부징의 상단면 전체면에 대해 개구된 분사공에 인입되어 분사공과 노즐을 통해 물과 공기를 분사하여 기판 저면을 부양 지지하게 한다.

또한 상기 물 공급관은 하측 길이 방향을 따라 구멍을 개구시켜 상기 상부 하부징의 저면 측으로 물을 분사시켜 상기 상부 하우징에 충진된 물이 와류 현상이 발생하게 하며, 상기 싸이드 롤러 단부는 상기 상부 하우징 상단면 보다 상부에 위치되게 한다.

그리고 상기 분사공의 내주면은 상기 노즐의 외주면 보다 직경이 상대적으로 크게 형성되게 하며, 상기 분사공 및 노즐은 기판의 이송 방향으로 경사지게 형성되게 한다.

본 발명에 따르면, 기판 이송시 발생할 수 있는 손상을 최소화하고, 마찰에 의한 미립자 발생을 억제할 수 있게 함으로써 기판 불량률을 감소시킬 수 있게 하는 효과가 있다.

또한 기판의 크기에 따라 그 설치 수를 다양하게 할 수 있으며, 상기 기판 이송시 기판 지지면을 넓게 할 수 있어 기판이 휨으로 인한 손상을 최소화할 수 있는 효과가 있다.

그리고 물에 의한 기판 지지를 통해 기판에 부착될 수 있는 이물질을 제거할 수 있는 세정 효과를 기재할 수 있다.

본 발명의 기반 반송장치는, 물 공급관이 인입되어 물을 충진하게 하는 상부 하우징; 상기 상부 하우징의 하측에 위치하며 에어 공급관이 연결된 하부 하우징; 상기 하부 하우징 상단면에서 상기 상부 하우징 상단면 측으로 연장 돌출되는 노즐; 및 상기 상부 하우징 양 측면에 배치되어 기판을 이송하게 하는 싸이드 롤러;를 포함하며, 상기 노즐 단부는 상기 상부 하부징의 상단면 전체면에 대해 개구된 분사공에 인입되어 분사공과 노즐을 통해 물과 공기를 분사하여 기판 저면을 부양 지지하게 한다.

또한 상기 물 공급관은 하측 길이 방향을 따라 구멍을 개구시켜 상기 상부 하부징의 저면 측으로 물을 분사시켜 상기 상부 하우징에 충진된 물이 와류 현상이 발생하게 하며, 상기 싸이드 롤러 단부는 상기 상부 하우징 상단면 보다 상부에 위치되게 한다.

그리고 상기 분사공의 내주면은 상기 노즐의 외주면 보다 직경이 상대적으로 크게 형성되게 하며, 상기 분사공 및 노즐은 기판의 이송 방향으로 경사지게 형성되게 한다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다.

도 3 또는 도 4에 도시된 바에 의하면, 상기 기판 반송장치(200)는 외부에서 반입되는 기판(G)을 안치하는 상부 하우징(210)과 상기 상부 하우징(210) 하측에 마련되는 하부 하우징(220)으로 이루어지며, 상기 상부 하우징(210) 양 측면 상에 길이 방향을 따라 등간격 배치되는 다수개의 싸이드 롤러(230)를 통해 반입된 기판(G)을 이송하게 하고 있다. 여기서 상기 싸이드 롤러(230) 상단은 상기 상부 하우징 상단면 보다 상부에 위치되게 한다.

또한 상기 상부 하우징(210)은 물(W)을 공급하게 하는 물 공급관(212)을 내부로 인입되시켜 물을 공급하게 하고 있으며, 상단면 전체면에 걸쳐 균일하게 분사공(214)을 개구시켜 물이 분사되게 하고 있다. 그리고 상기 물 공급관(212)은 상기 상부 하우징(210) 내부로 인입된 관로를 따라 구멍(213)이 개구되어 있는데, 상기 구멍(213)은 상부 하우징(210) 저면 측으로 개구되어 상부 하우징 저면으로 물을 분사하게 함으로써 분사되는 물이 상부 하우징 내부에서 와류 현상을 일으켜 분사 공을 통해 분출시 균일한 압력으로 분사될 수 있게 하고 있다. 즉, 상기 상부 하우징 상면에 개구된 분사공의 중앙 영역과 모서리 영역에서의 분사 압력이 와류 현상을 통해 균일하게 이루어지게 할 수 있게 되는 것이다.

그리고 상기 하부 하우징(220)은 공기(A)를 공급하는 에어 공급관(222)이 인입되어 있어 하부 하우징(220) 내부에 공기를 충진시킬 수 있게 하고 있으며, 상기 하부 하우징(220) 상단면에서 상기 상부 하주징(210) 상단면의 분사공(214) 측으로 연장 돌출되는 다수개의 노즐(224)을 마련하여 상기 하부 하우징에 충진된 공기를 노즐을 통해 상부 하우징 상단면 측으로 분사할 수 있게 하고 있다.

여기서, 도 5에 도시된 바와 같이 상기 분사공(214) 내주면은 상기 노즐(224) 외부면 보다 직경이 크게 하는 것이 바람직하다. 이는 노즐로부터 분사되는 공기가 분사공으로부터 분사되는 물과 혼합되어 분사되게 하기 위함이며, 이를 통해 기판(G)을 부양할 수 있게 하기 위함이다. 즉, 공기와 같이 분사되는 물을 통해 기판(G)의 세정 효과를 기대할 수 있기 위함이다.

상기 기판 반송장치의 작동상태를 보면, 먼저 기판(G)이 외부(이송수단)으로부터 이송되어 상부 하우징 측에 위치되게 되고 상기 상부 하우징 양 측면에 배치된 싸이드 롤러에 안치되게 되는데, 상기 싸이드 롤러는 기판의 양 모서리면 만을 지지하게 되어 있어서 상기 상부 하우징과 하부 하우징에서 분사되는 물과 공기를 통해 기판의 저면을 부양시켜 기판이 처지는 것을 방지하게 한다. 그리고 싸이드 롤러를 회전시켜 기판을 반입 방향의 반대 방향으로 이송시키게 됨으로써 롤러에 의해 기판 손상을 최소화할 수 있게 됨과 동시에 물과 공기의 분사에 의해 기판 부 양을 통해 기판 전체면에 대해 균일한 지지를 할 수 있게 되어 기판 처짐에 의한 손상을 방지할 수 있게 된다. 여기서 상기 싸이드 롤러의 구동은 종래의 롤러 구동 방식을 적용할 수 있어 구체적인 설명은 생략한다.

한편 도면상에 기재되어 있지는 않지만 상기 분사공과 노즐을 기판의 진행 방향 측으로 경사지게 마련함으로써 기판의 이송을 더욱 수월하게 할 수 있게 할 수도 있다.

도 1은 종래 기술의 기판 반송장치를 나타내는 측면도.

도 2는 종래 기술의 기판 반송장치를 나타내는 측면도.

도 3은 본 발명의 기판 반송장치를 나타내는 단면도.

도 4는 본 발명의 기판 반송장치를 나타내는 측면도.

도 5는 도 3에 도시된 분사공과 노즐을 나타내는 부분 확대 단면도.

<도면 주요 부분에 대한 부호의 설명>

200 : 기판 반송장치 210 : 상부 하우징

212 : 물 공급관 213 : 구멍

214 : 분사공 220 : 하부 하우징

222 : 에어 공급관 224 : 노즐

230 : 싸이드 롤러

Claims (5)

1. 물 공급관이 인입되어 물을 충진하게 하는 상부 하우징;

   상기 상부 하우징의 하측에 위치하며 에어 공급관이 연결된 하부 하우징;

   상기 하부 하우징 상단면에서 상기 상부 하우징 상단면 측으로 연장 돌출되는 노즐; 및

   상기 상부 하우징 양 측면에 배치되어 기판을 이송하게 하는 싸이드 롤러;를 포함하며,

   상기 노즐 단부는 상기 상부 하우징의 상단면 전체면에 대해 개구된 분사공에 인입되어 분사공과 노즐을 통해 물과 공기를 분사하고, 상기 물 공급관은 하측 길이 방향을 따라 구멍을 개구시켜 상기 상부 하부징의 저면 측으로 물을 분사시켜 상기 상부 하우징에 충진된 물이 와류 현상이 발생하게 하며 기판 저면을 부양 지지하게 하는 것을 특징으로 하는 기판 반송장치.
2. 삭제
3. 제 1 항에 있어서,

   상기 싸이드 롤러 단부는 상기 상부 하우징 상단면 보다 상부에 위치되게 하는 것을 특징으로 하는 기판 반송장치.
4. 제 1 항에 있어서,

   상기 분사공의 내주면은 상기 노즐의 외주면 보다 직경이 상대적으로 크게 형성되게 하는 것을 특징으로 하는 기판 반송장치.
5. 제 4 항에 있어서,

   상기 분사공 및 노즐은 기판의 이송 방향으로 경사지게 형성되는 것을 특징으로 하는 기판 반송장치.

Images