KR20050036529A - 글라스 로딩/언로딩 장치 - Google Patents

글라스 로딩/언로딩 장치 Download PDF

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KR20050036529A
KR20050036529A KR1020030072230A KR20030072230A KR20050036529A KR 20050036529 A KR20050036529 A KR 20050036529A KR 1020030072230 A KR1020030072230 A KR 1020030072230A KR 20030072230 A KR20030072230 A KR 20030072230A KR 20050036529 A KR20050036529 A KR 20050036529A
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이제섭
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엘지.필립스 엘시디 주식회사
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    • G02F1/00—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics
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    • G02F1/13—Devices or arrangements for the control of the intensity, colour, phase, polarisation or direction of light arriving from an independent light source, e.g. switching, gating or modulating; Non-linear optics for the control of the intensity, phase, polarisation or colour  based on liquid crystals, e.g. single liquid crystal display cells
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Abstract

본 발명은 글라스가 적재된 카세트 내에서 발생되는 정전기 및 글라스의 정전기를 제거할 수 있도록 한 글라스 로딩/언로딩 장치에 관한 것이다.
본 발명의 실시 예에 따른 글라스 로딩/언로딩 장치는 다수의 글라스가 적재되는 카세트와, 상기 글라스를 상기 카세트에 로딩 또는 언로딩시키기 위한 로봇과, 상기 로봇에 설치되어 상기 글라스의 로딩 및 언로딩시 이온을 분사하는 이온분사 유닛을 구비하는 것을 특징으로 한다.
이러한, 본 발명은 카세트에서 글라스를 로딩 및 언로딩시키기 위한 로봇 암에 이온분사 유닛을 설치함으로써 카세트로 글라스 로딩 및 언로딩시 이온을 배출하여 글라스 자체의 정전기를 제거함과 동시에 카세트의 정전기를 제거하게 된다. 이에 따라, 본 발명은 제조공정시 정전기로 인한 불량을 사전에 예방할 수 있다.

Description

글라스 로딩/언로딩 장치{APPARATUS FOR LOADING/ UNLOADING GLASS}
본 발명은 글라스 로딩/언로딩 장치에 관한 것으로, 특히 글라스가 적재된 카세트 내에서 발생되는 정전기 및 글라스의 정전기를 제거할 수 있도록 한 글라스 로딩/언로딩 장치에 관한 것이다.
최근 음극선관(Cathode Ray Tube)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 각종 평판 표시장치들이 대두되고 있다. 이러한 평판표시장치로는 액정 표시장치(Liquid Crystal Display), 전계방출 표시장치(Field Emission Display), 플라즈마 표시 패널(Plasma Display Panel) 및 일렉트로-루미네센스(Electro-Luminescence) 표시장치 등이 있다.
이러한, 평판 표시장치 중 액정표시장치는 소형 및 박형화와 저 전력 소모의 장점을 가지며, 노트북 PC, 사무 자동화 기기, 오디오/비디오 기기 등으로 이용되고 있다. 특히, 밸브 소자로서 박막 트랜지스터(Thin Film Transistor : 이하 "TFT"라 함)가 이용되는 액티브 매트릭스 타입의 액정표시장치는 동적인 이미지를 표시하기에 적합하다.
액티브 매트릭스 타입의 액정표시장치는 화소들이 게이트라인들과 데이터라인들의 교차부들 각각에 배열되어진 화소매트릭스(Picture Element Matrix 또는 Pixel Matrix)에 텔레비전 신호와 같은 비디오신호에 해당하는 화상을 표시하게 된다. 화소들 각각은 데이터라인으로부터의 데이터신호의 전압레벨에 따라 투과 광량을 조절하는 액정셀을 포함한다. TFT는 게이트라인과 데이터라인들의 교차부에 설치되어 게이트라인으로부터의 스캔신호에 응답하여 액정셀 쪽으로 전송될 데이터신호를 절환하게 된다.
이러한, 액티브 매트릭스 타입의 액정표시장치의 제조공정은 기판 세정과, 기판 패터닝, 배향막형성, 기판합착/액정주입, 실장 공정 및 테스트 공정으로 나뉘어져 제작된다.
기판세정 공정에서는 상/하부기판의 패터닝 전후에 기판들의 이물질을 세정제를 이용하여 제거하게 된다.
기판 패터닝 공정에서는 상부기판의 패터닝과 하부기판의 패터닝으로 나뉘어진다. 상부기판에는 칼라필터, 공통전극, 블랙 매트릭스 등이 형성된다. 하부기판에는 데이터라인과 게이트라인 등의 신호배선이 형성되고, 데이터라인과 게이트라인의 교차부에 TFT가 형성된다. 데이터라인과 게이트라인 사이의 화소영역에는 화소전극이 형성된다.
기판합착/액정주입 공정에서는 하부기판 상에 배향막을 도포하고 러빙하는 공정에 이어서, 실(Seal)을 이용한 상/하부기판 합착공정, 액정주입, 주입구 봉지공정이 순차적으로 이루어진다. 여기서, 실재는 액정주입 공간과 액정영역을 한정하는 역할을 겸한다.
액정 주입 및 봉지 공정을 거친 다음 상/하판의 양쪽 면에 편광판이 부착되어 액정패널이 완성되면 최종적인 검사 작업이 이루어지게 된다.
최종 검사 과정에는 완성된 액정패널의 화면에 테스트 패턴을 띄우고 불량 화소의 유/무를 탐지하는 화소셀 불량 검사와 완성된 액정패널 외관상의 얼룩, 이물, 스크래치(Scratch) 불량 등을 검사하는 육안 검사 등이 포함된다. 화소셀 불량 검사 공정은 TFT패널의 엑티브 어레이(Active Array)에 근접한 상태에서 빛을 조사하게 된다. 이 상태에서 TFT의 픽셀에 전압을 인가하여 TFT 완성 패널의 전기적 결함을 검사하게 된다.
이와 같은, 액정표시장치의 제조 공정과 제조공정 사이에 글라스를 반송시키기 위한 글라스 로딩/언로딩 장치가 필요하게 된다.
도 1을 참조하면, 종래의 글라스 로딩/언로딩 장치는 공정챔버(20) 내부에 설치되는 로봇(30)과, 공정챔버(20)의 외부에 설치되는 로더/언로더(10)와, 로더/언로더(10)에 공급되어 로봇(30)에 의해 다수의 글라스(40)가 적재 또는 이재되는 카세트(60)와, 공정챔버(20)와 로더/언로더(10) 간에 설치되어 정전기를 제거하기 위한 이온(52)을 하방으로 분사하는 이온분사 유닛(50)을 구비한다.
로더/언로드(10)는 외부로부터 다수의 글라스(40)가 적층된 카세트(60)를 공급받거나, 공정챔버(20)의 로봇(30)에 의해 제조장치에서 제조공정이 완료된 글라스(40)가 적층된 카세트(60)를 외부로 언로딩시키게 된다.
카세트(60)의 내부에는 다수의 글라스(40)가 안착되는 슬롯이 마련되고, 이 슬롯은 카세트(60) 내부의 양측벽에 설치되는 다수의 가이드 핀(62)에 의해 마련된다.
로봇(30)은 로더/언로더(10)에 공급되는 카세트(60)에서 글라스(40)를 적재 또는 이재시키는 로봇 암(38)과, 공정챔버(20)의 내부에 설치되는 지지대(32)와, 지지대(32) 상에 설치되어 로봇 암(38)을 상승 또는 하강시킴과 아울러 회전시키는 제 1 구동부(34)와, 제 1 구동부(34) 상에 설치되어 로봇 암(38)을 수평방향으로 전진 또는 후진시키는 제 2 구동부(36)를 구비한다.
로봇 암(38)은 제 1 구동부(34) 및 제 2 구동부(34)의 구동에 의해 카세트(60)의 내부로 이송되어 카세트(60)에 원하는 글라스(40)를 적재시키거나 이재시키게 된다.
이러한, 로봇(30)은 제 1 구동부(34) 및 제 2 구동부(36)의 구동에 의한 로봇 암(38)을 이송시켜 카세트(60)에 적재된 원하는 글라스(40)를 공정챔버(20)의 제조장치로 이재시키거나, 제조장치로부터 제조공정이 완료된 글라스(40)를 카세트(60)의 원하는 위치로 적재시키게 된다.
이온분사 유닛(50)은 글라스(40)의 로딩 및 언로딩을 위하여 로봇 암(38)이 카세트(60)에 억세스할 때 정전기 방지를 위한 이온(52)을 분사한다. 이를 위해, 이온분사 유닛(50)은 이온(52)을 발생하는 도시하지 않은 이온 발생장치와, 이온 발생장치로부터 발생된 이온(52)을 공정챔버(20)와 로더/언로더(10) 사이에 분사하기 위한 도시하지 않은 분사노즐을 구비한다.
이러한, 이온분사 유닛(50)은 글라스(40)가 카세트(60)에 적재 또는 이재시 이온(52)을 분사하여 발생되는 정전기를 제거하게 된다.
그러나, 종래의 글라스 로딩/언로딩 장치는 로더/언로더(10)에 공급된 카세트(60) 주변이 공정챔버(20)가 아닌 개방된 공간에 설치되기 때문에 글라스(40)의 로딩 및 언로딩을 위하여 로봇 암(38)이 카세트(60)에 억세스할 때 발생되는 정전기 제거 효율이 미약하게 된다. 또한, 이온분사 유닛(50)에서 분사되는 이온(52)이 카세트(60)의 하단과 글라스(40)가 적재 또는 이재되는 슬롯 사이까지 분사되지 못하므로 정전기를 완전히 제거할 수 없다. 따라서, 종래의 글라스 로딩/언로딩 장치는 글라스(40)의 로딩 및 언로딩을 위하여 로봇 암(38)이 카세트(60)에 억세스할 때 정전기 방지를 위해 글라스의 이동경로에 따라 필요위치마다 이온분사 장치(50)를 설치해야만 한다.
따라서, 본 발명의 목적은 글라스가 적재된 카세트 내에서 발생되는 정전기 및 글라스의 정전기를 제거할 수 있도록 한 글라스 로딩/언로딩 장치를 제공하는데 있다.
상기 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시 예에 따른 글라스 로딩/언로딩 장치는 다수의 글라스가 적재되는 카세트와, 상기 글라스를 상기 카세트에 로딩 또는 언로딩시키기 위한 로봇과, 상기 로봇에 설치되어 상기 글라스의 로딩 및 언로딩시 이온을 분사하는 이온분사 유닛을 구비하는 것을 특징으로 한다.
상기 글라스 로딩/언로딩 장치에서 상기 로봇은 상기 글라스를 로딩 및 언로딩시키기 위한 로봇 암과, 상기 로봇 암을 수직방향으로 이송시킴과 아울러 회전시키는 제 1 구동부와, 상기 로봇 암을 수평방향으로 이송시키는 제 2 구동부를 구비하는 것을 특징으로 한다.
상기 글라스 로딩/언로딩 장치에서 상기 로봇 암은 일측에서 일체화되는 제 1 및 제 2 암부를 구비하는 것을 특징으로 한다.
상기 글라스 로딩/언로딩 장치에서 상기 제 1 및 제 2 암부 각각은 상기 기판을 진공흡착하기 위한 적어도 2개의 진공홀이 형성된 제 1 단차면과, 상기 제 1 단차면과 소정 단차를 가지는 제 2 단차면을 구비하는 것을 특징으로 한다.
상기 글라스 로딩/언로딩 장치는 상기 로봇 및 상기 이온분사 유닛이 배치되는 공정챔버와, 상기 공정챔버에 인접하게 배치되어 상기 카세트가 공급되는 로더/언로더와, 상기 로더/언로더에 설치되어 상기 이온을 발생하는 이온 발생장치를 더 구비하는 것을 특징으로 한다.
상기 글라스 로딩/언로딩 장치에서 상기 이온분사 유닛은 상기암의 제 2 단차면 상에 설치되어 상기 이온 발생장치로부터의 상기 이온을 상기 로봇 암에 직교하는 방향으로 분사하는 것을 특징으로 한다.
상기 글라스 로딩/언로딩 장치는 상기 공정챔버와 상기 로더/언로더 사이에 설치되어 상기 이온 발생장치로부터의 상기 이온을 하방으로 분사하는 상부 이온분사 유닛을 더 구비하는 것을 특징으로 한다.
상기 글라스 로딩/언로딩 장치는 상기 제 2 구동부의 측면에 설치되어 상기 이온 발생장치로부터의 상기 이온을 상기 로봇 암과 나란한 방향으로 상기 이온을 분사하는 더미 이온분사 유닛을 더 구비하는 것을 특징으로 한다.
상기 목적 외에 본 발명의 다른 목적 및 특징들은 첨부도면을 참조한 실시 예에 대한 설명을 통하여 명백하게 드러나게 될 것이다.
이하, 도 2 내지 도 5를 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예에 대하여 설명하기로 한다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 본 발명의 제 1 실시 예에 따른 글라스 로딩/언로딩 장치는 공정챔버(120) 내부에 설치되는 로봇(130)과, 공정챔버(120)의 외부에 설치되는 로더/언로더(110)와, 로더/언로더(110)에 공급되어 로봇(130)에 의해 다수의 글라스(140)가 적재 또는 이재되는 카세트(160)와, 로더/언로더(110)의 하단에 설치되어 정전기를 제거하기 위한 이온(152)을 발생하는 이온 발생장치(150)와, 로봇(130)에 설치되어 이온 발생장치(150)로부터 공급되는 이온(152)을 분사하는 이온분사 유닛(154)을 구비한다.
로더/언로드(110)는 외부로부터 다수의 글라스(140)가 적층된 카세트(160)를 공급받거나, 공정챔버(120)의 로봇(130)에 의해 제조장치에서 제조공정이 완료된 글라스(140)가 적층된 카세트(160)를 외부로 언로딩시키게 된다.
카세트(160)의 내부에는 다수의 글라스(140)가 안착되는 슬롯이 마련되고, 이 슬롯은 카세트(160) 내부의 양측벽에 설치되는 다수의 가이드 핀(162)에 의해 마련된다.
로봇(130)은 로더/언로더(110)에 공급되는 카세트(160)에서 글라스(140)를 적재 또는 이재시키는 로봇 암(138)과, 공정챔버(120)의 내부에 설치되는 지지대(132)와, 지지대(132) 상에 설치되어 로봇 암(138)을 상승 또는 하강시킴과 아울러 회전시키는 제 1 구동부(134)와, 제 1 구동부(134) 상에 설치되어 로봇 암(138)을 수평방향으로 전진 또는 후진시키는 제 2 구동부(136)를 구비한다.
로봇 암(138)은 도 3에 도시된 바와 같이 일측에서 일체화되는 제 1 및 제 2 암부(137, 139)로 구성된다. 제 1 및 제 2 암부(137, 139) 각각은 제 1 단차면(142)과, 제 2 단차면(142)보다 낮은 제 2 단차면(144)을 구비한다.
제 1 단차면(142)의 상부에는 도시하지 않은 진공장치로부터 진공압이 공급되는 적어도 2개의 진공홀(146, 148)이 소정 간격으로 형성된다. 이 때, 진공압 배출압력저하를 방지하기 위하여 제 1 및 제 2 암부(137, 139) 각각의 끝단에 형성되는 진공홀(146)의 내부직경은 대략 1.5mm 정도이고, 제 1 및 제 2 암부(137, 139) 각각의 안쪽에 형성되는 진공홀(148)의 내부직경은 대략 0.7mm 정도가 된다. 반면에 진공홀(146, 148)의 외부직경은 제 1 및 제 2 암부(137, 139) 각각의 두께에 의해 달라지게 된다. 이러한, 적어도 2개의 진공홀(146, 148)은 원형 또는 다각형 형태로 형성된다. 이 때, 적어도 2개의 진공홀(146, 148)에 공급되는 진공압은 외부의 진공발생장치로부터 진공압 공급라인을 통해 로봇(130)의 하단에 설치된 공급라인과 로봇(130) 내부 및 로봇 암(138)의 제 1 및 제 2 암부(137, 139) 각각에 형성된 튜브나 관을 통해 공급된다.
제 2 단차면(144)에는 적어도 2개의 진공홀(146, 148) 각각으로부터 제 1 및 제 2 암부(137, 139) 각각의 중앙부 쪽으로 이격되는 이온분사 유닛(154)이 설치된다. 이 때, 이온분사 유닛(154)은 진공홀(146, 148) 각각으로부터 1 및 제 2 암부(137, 139) 각각의 중앙부 쪽으로 대략 5cm 정도 이격된다.
이러한, 로봇(130)은 제 1 구동부(134) 및 제 2 구동부(134)의 구동에 의해 카세트(160)의 내부로 이송되어 카세트(160)에 원하는 글라스(140)를 적재시키거나 이재시키게 된다. 즉, 로봇(130)은 제 1 구동부(134) 및 제 2 구동부(136)의 구동에 의한 로봇 암(138)의 제 1 및 제 2 암부(137, 139)를 이송시켜 카세트(160)에 적재된 원하는 글라스(140)를 공정챔버(120)의 제조장치로 이재시키거나, 제조장치로부터 제조공정이 완료된 글라스(140)를 카세트(160)의 원하는 위치로 적재시키게 된다.
이온 발생장치(150)는 로더/언로더(110)의 하단에 설치되고, 정극성 이온 및 부극성 이온을 각각 발생하는 것이 아니라 하나로 발생하게 된다. 이 때, 이온 발생장치(150)는 공정챔버(120) 및 로더/언로더(110)의 외부에 설치되어 중앙공급방식에 의해 발생된 이온(152)을 이온분사 유닛(154)으로 공급할 수 있다. 또한, 이온 발생장치(150)에는 도시하지 않은 이온발생 제어부를 더 구비한다. 이 이온발생 제어부는 발생되는 이온(152)을 일정한 압력으로 배출시킨다.
이온분사 유닛(154)은 도 3에 도시된 바와 같이 로봇 암(138)의 제 1 및 제 2 암부(137, 139) 각각에 설치되어 이온 발생장치(150)로부터 공급되는 이온(152)을 상방으로 분사하게 된다. 이를 위해, 이온분사 유닛(154)과 이온 발생장치(150) 사이에는 이온 발생장치(150)에서 발생된 이온(152)을 이온분사 유닛(154)으로 공급하기 위한 튜브 또는 관을 포함하는 이송부재(155)가 설치된다. 이러한, 이송부재(155)는 진공장치로부터의 진공압을 진공홀(146, 148)에 공급하는 방식으로 공급할 수 있다.
이러한, 이온분사 유닛(150)은 글라스(140)의 로딩 및 언로딩을 위하여 로봇 암(138)이 카세트(160)에 억세스할 때 이온(152)을 분사하여 발생되는 정전기를 제거하게 된다. 이 때, 이온분사 유닛(150)의 이온 배출압력은 대략 70k Pa 정도가 되고, 이는 이온이 분사되는 홀의 직경에 따라 변화하게 된다.
이와 같은 본 발명의 제 1 실시 예에 따른 글라스 로딩/언로딩 장치는 글라스(140)의 로딩 및 언로딩을 위하여 로봇 암(138)이 카세트(160)에 억세스할 때 이온분사 유닛(154)에서 정전기를 방지하기 위한 이온(152)이 분사된다. 이 때, 카세트(160)로 글라스(140)를 로딩시킬 경우 이온 배출시간은 글라스(140)가 카세트(160)에 진입하는 시점부터 카세트(160)의 슬롯에 글라스(140)가 로딩된 후, 로봇 암(138)의 제 1 및 제 2 암부(137, 139) 끝단에 형성된 이온분사 유닛(154)이 카세트(160)를 벗어나는 시점까지가 된다. 이와 반대로, 카세트(160)에서 글라스(140)를 언로딩시킬 경우 이온 배출시간은 로봇 암(138)이 카세트(160)에 진입하는 시점부터 카세트(160)의 슬롯에서 글라스(140)가 언로딩되어 로봇 암(138)이 카세트(160)를 벗어나는 시점까지가 된다. 이러한, 이온 배출 시점 및 배출시간은 상황에 따라 작업자에 의해 조절가능하게 된다.
따라서, 본 발명의 제 1 실시 예에 따른 글라스 로딩/언로딩 장치는 글라스(140) 이송시 글라스(140)를 이송하는 로봇 암(138)에 이온분사 유닛(150)을 설치하여 카세트(160)로 글라스(140) 로딩 및 언로딩시 이온(152)을 배출하여 글라스(140) 자체의 정전기를 제거함과 동시에 카세트(160)의 정전기를 제거할 수 있다.
본 발명의 제 1 실시 예에 따른 글라스 로딩/언로딩 장치에서 이온 발생장치(150)는 도 4에 도시된 바와 같이 로봇(130)에 설치될 수 있다.
한편, 도 5를 참조하면 본 발명의 제 2 실시 예에 따른 글라스 로딩/언로딩 장치는 본 발명의 제 1 실시 예에 따른 글라스 로딩/언로딩 장치와, 공정챔버(120)와 로더/언로더(110) 사이에 설치된 상부 이온분사 유닛(170)을 더 구비한다.
상부 이온분사 유닛(170)은 이온 발생장치(150)로부터 이온(152)을 공급받아 글라스(140)의 로딩 및 언로딩을 위하여 로봇 암(138)이 카세트(160)에 억세스할 때 정전기 방지를 위한 이온(152)을 공정챔버(120)와 로더/언로더(110) 사이에 분사한다.
이러한, 본 발명의 제 2 실시 예에 따른 글라스 로딩/언로딩 장치는 로봇 암(138)이 카세트(160)에 진입시점 이전에는 상부 이온분사 유닛(170)을 이용하여 로봇 암(138)과 공정챔버(120) 및 로더/언로더(110) 사이의 영역에 이온(152)을 분사하여 정전기를 제거함과 아울러 로봇 암(138)이 카세트(160)에 진입시점부터는 로봇 암(138)에 설치된 이온분사 유닛(154)을 이용하여 이온(152)을 분사하여 정전기를 제거하게 된다.
다른 한편으로, 도 6을 참조하면 본 발명의 제 3 실시 예에 따른 글라스 로딩/언로딩 장치는 본 발명의 제 1 실시 예에 따른 글라스 로딩/언로딩 장치와, 로봇(130)의 제 2 구동부(136)의 측면에 설치되는 더미 이온분사 유닛(270)을 더 구비한다.
더미 이온분사 유닛(270)은 이온 발생장치(150)로부터 이온(152)을 공급받아 글라스(140)의 로딩 및 언로딩을 위하여 로봇 암(138)이 카세트(160)에 억세스할 때 정전기 방지를 위한 이온(152)을 카세트(160) 쪽으로 분사하게 된다.
구체적으로, 이온분사 유닛(154)은 로봇 암(138)과 직교하는 방향으로 이온(152)을 분사하는 반면에 더미 이온분사 유닛(270)은 로봇 암(138)과 나란한 방향으로 이온(152)을 분사하게 된다.
이러한, 본 발명의 제 3 실시 예에 따른 글라스 로딩/언로딩 장치는 글라스(140)의 로딩 및 언로딩을 위하여 로봇 암(138)이 카세트(160)에 진입시점 이전에는 로봇(130)의 제 2 구동부(136)의 측면에 설치된 더미 이온분사 유닛(270)을 이용하여 로봇 암(138)과 공정챔버(120) 및 로더/언로더(110) 사이의 영역에 이온(152)을 분사하여 정전기를 제거함과 아울러 로봇 암(138)이 카세트(160)에 진입시점부터는 로봇 암(138)에 설치된 이온분사 유닛(154)을 이용하여 이온(152)을 분사하여 정전기를 제거하게 된다.
상술한 바와 같이, 본 발명의 실시 예에 따른 글라스 로딩/언로딩 장치는 카세트에서 글라스를 로딩 및 언로딩시키기 위한 로봇 암에 이온분사 유닛을 설치함으로써 카세트로 글라스 로딩 및 언로딩시 이온을 배출하여 글라스 자체의 정전기를 제거함과 동시에 카세트의 정전기를 제거하게 된다. 이에 따라, 본 발명은 제조공정시 정전기로 인한 불량을 사전에 예방할 수 있다.
이상 설명한 내용을 통해 당업자라면 본 발명의 기술사상을 일탈하지 아니하는 범위에서 다양한 변경 및 수정이 가능함을 알 수 있을 것이다. 따라서, 본 발명의 기술적 범위는 명세서의 상세한 설명에 기재된 내용으로 한정되는 것이 아니라 특허 청구의 범위에 의해 정하여 져야만 할 것이다.
도 1은 종래의 글라스 로딩/언로딩 장치를 개략적으로 나타내는 도면.
도 2는 본 발명의 제 1 실시 예에 따른 글라스 로딩/언로딩 장치를 나타내는 도면.
도 3은 도 2에 도시된 로봇 암을 나타내는 사시도.
도 4는 본 발명의 제 2 실시 예에 따른 글라스 로딩/언로딩 장치를 나타내는 도면.
도 5는 본 발명의 제 3 실시 예에 따른 글라스 로딩/언로딩 장치를 나타내는 도면.
< 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명 >
10, 110 : 로더/언로더 20, 120 : 공정챔버
30, 130 : 로봇 32, 132 : 지지대
34, 134 : 제 1 구동부 36, 136 : 제 2 구동부
38, 138 : 로봇 암 40, 140 : 글라스
50, 154 : 이온분사 유닛 52, 152 : 이온
60, 160 : 카세트 62, 162 : 가이드 핀
137, 139 : 암부 142 : 제 1 단차면
144 : 제 2 단차면 146, 148 : 진공홀
150 : 이온 발생장치 170 : 상부 이온분사 유닛
270 : 더미 이온분사 유닛

Claims (8)

  1. 다수의 글라스가 적재되는 카세트와,
    상기 글라스를 상기 카세트에 로딩 또는 언로딩시키기 위한 로봇과,
    상기 로봇에 설치되어 상기 글라스의 로딩 및 언로딩시 이온을 분사하는 이온분사 유닛을 구비하는 것을 특징으로 하는 글라스 로딩/언로딩 장치.
  2. 제 1 항에 있어서,
    상기 로봇은,
    상기 글라스를 로딩 및 언로딩시키기 위한 로봇 암과,
    상기 로봇 암을 수직방향으로 이송시킴과 아울러 회전시키는 제 1 구동부와,
    상기 로봇 암을 수평방향으로 이송시키는 제 2 구동부를 구비하는 것을 특징으로 하는 글라스 로딩/언로딩 장치.
  3. 제 2 항에 있어서,
    상기 로봇 암은 일측에서 일체화되는 제 1 및 제 2 암부를 구비하는 것을 특징으로 하는 글라스 로딩/언로딩 장치.
  4. 제 3 항에 있어서,
    상기 제 1 및 제 2 암부 각각은,
    상기 기판을 진공흡착하기 위한 적어도 2개의 진공홀이 형성된 제 1 단차면과,
    상기 제 1 단차면과 소정 단차를 가지는 제 2 단차면을 구비하는 것을 특징으로 하는 글라스 로딩/언로딩 장치.
  5. 제 4 항에 있어서,
    상기 로봇 및 상기 이온분사 유닛이 배치되는 공정챔버와,
    상기 공정챔버에 인접하게 배치되어 상기 카세트가 공급되는 로더/언로더와,
    상기 로더/언로더에 설치되어 상기 이온을 발생하는 이온 발생장치를 더 구비하는 것을 특징으로 하는 글라스 로딩/언로딩 장치.
  6. 제 5 항에 있어서,
    상기 이온분사 유닛은 상기암의 제 2 단차면 상에 설치되어 상기 이온 발생장치로부터의 상기 이온을 상기 로봇 암에 직교하는 방향으로 분사하는 것을 특징으로 하는 글라스 로딩/언로딩 장치.
  7. 제 6 항에 있어서,
    상기 공정챔버와 상기 로더/언로더 사이에 설치되어 상기 이온 발생장치로부터의 상기 이온을 하방으로 분사하는 상부 이온분사 유닛을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 글라스 로딩/언로딩 장치.
  8. 제 6 항에 있어서,
    상기 제 2 구동부의 측면에 설치되어 상기 이온 발생장치로부터의 상기 이온을 상기 로봇 암과 나란한 방향으로 상기 이온을 분사하는 더미 이온분사 유닛을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 글라스 로딩/언로딩 장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR100801100B1 (ko) * 2006-04-03 2008-02-04 우 옵트로닉스 코포레이션 정전기 전하 제거 시스템
KR101332534B1 (ko) * 2006-12-26 2013-11-22 엘지디스플레이 주식회사 이재 로봇

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