KR19990038655U

KR19990038655U - 기판 이송용 롤러

Info

Publication number: KR19990038655U
Application number: KR2019980004773U
Authority: KR
Inventors: 오석창
Original assignee: 구자홍; 엘지전자 주식회사
Priority date: 1998-03-30
Filing date: 1998-03-30
Publication date: 1999-10-25

Abstract

PDP 또는 LCD의 제조공정중 현상이나 세정을 수행하기 위한 기판을 이송시키도록 하는 기판 이송용 롤러에 관한 것으로서, 상기 기판의 양단 하부에 설치되어 상기 기판을 진행시키는 동시에 상기 기판의 진행방향 양측을 지지하도록 단차가 형성된 가이드 롤러와, 상기 기판의 크기에 대응되는 간격으로 분리되어 상기 가이드 롤러가 각각 외삽되어 동일 축 상에 위치하도록 하여 외부에서 전달되는 동력으로 인해 회전하는 원통형태의 제1 샤프트와, 상기 가이드 롤러 사이에서 상기 기판의 진행을 보조함과 동시에 그 중앙부를 지지하도록 소정의 간격으로 설치된 다수 개의 보조 롤러와, 상기 제1 샤프트 사이에서 상기 기판의 중앙부가 양단에 비해 올라가도록 설치되며 상기 보조 롤러가 각각 외삽되어 상기 기판의 진행방향에 따라 회전하는 원통형태의 제2 샤프트로 구성된다. 따라서, 상기 기판 이송용 롤러는 일정한 올림량(χ= 0.7~1.5㎜)을 갖도록 제1 및 제2 샤프트를 분리되게 설치하여 상기 기판의 중앙부가 그 양측부보다 높아지도록 함으로써 분사되는 액이 정체됨 없이 상기 기판의 외부로 흘러나감으로 상기 기판의 전 면적에 걸쳐 균일한 현상 및 세정 효과를 얻을 수 있는 이점이 있다.

Description

기판 이송용 롤러

본 고안은 평판디스플레이소자의 제조장치에서 기판이 1 매씩 연속적으로 공급되도록 하는 기판 이송용 롤러에 관한 것으로서, 특히 현상이나 세정을 수행하기 위한 기판을 그 중앙부가 양단에 비해 볼록지게 형성되도록 하여 상기 기판의 전 면적에 걸쳐 균일한 현상 및 세정효과를 얻도록 하는 기판 이송용 롤러에 관한 것이다.

일반적으로 평판디스플레이소자에는 흔히 사용되는 LCD나 두께가 얇은 박형으로 가벼운 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel, 이하 PDP라고 함)이 주로 사용되고 있다.

상기 평판디스플레이소자는 기판이 1매씩 연속적으로 제조공정에 따라 이동되면서 제조된다. 이때, 상기 기판의 이동은 그 하면에 설치된 기판 이송용 롤러에 의해 이루어진다.

종래 기술의 기판 이송용 롤러를 도면을 참조하여 설명한다.

도 1은 종래 기술에 의한 기판 이송용 롤러가 도시된 도면이고, 도 2는 종래 기술에 의한 기판 이송용 롤러의 구동에 따른 현상공정 후 기판의 상태가 도시된 도면이고, 도 3은 종래 기술에 의한 기판 이송용 롤러의 구동에 따른 세정공정 후 기판의 잔여 파티클(Particle)의 분포가 도시된 도면이다.

도 1에서 도시된 바와 같이, PDP 또는 LCD의 제조공정중 형상이나 세정을 수행하기 위한 기판을 이송시키도록 하는 기판 이송용 롤러는 상기 기판(10)을 이송시키기 위해 그 하면에 설치되어 외부에서 동력을 전달받아 회전하는 원통형태의 샤프트(Shaft)(20)와, 상기 샤프트(20)에 상기 기판(10)의 크기에 대응되는 간격으로 외삽되어 상기 기판(10)을 진행시키는 동시에 상기 기판(10)의 진행방향 양측을 지지하도록 하는 가이드 롤러(Guide Roller)(30)와, 상기 가이드 롤러(30) 사이에서 소정의 간격으로 설치되어 상기 기판(10)의 중앙부를 지지함과 동시에 상기 가이드 롤러를 보조하는 다수 개의 중간 롤러(31)로 구성된다.

도 1에서 미설명 참조번호 40은 현상이나 세정공정 중에서 각각에 해당되는 액이 분사되도록 하는 노즐(Nozzle)을 나타낸다.

종래 기술의 기판 이송용 롤러는 가이드 롤러(30) 및 중간 롤러(31)는 샤프트(20)에 소정의 간격으로 설치되고, 외부에서 전달되는 동력으로 상기 샤프트(20)가 회전함으로써 상기 기판(10)이 현상이나 세정을 수행하도록 진행된다.

도 2에서 도시된 바와 같이, 종래 기술의 기판 이송용 롤러의 구동에 따른 현상공정 후 상기 기판(10)의 현상효과는 상기 기판(10)의 양측부에 비해 그 중앙부가 미약함을 알 수 있다.

또한, 도 3에서 도시된 바와 같이, 종래 기술의 기판 이송용 롤러의 구동에 따른 세정공정 후 상기 기판(10)의 세정결과를 살펴보기 위해 그 잔여 파티클의 분포를 보면 상기 기판(10)의 중앙부에 많은 파티클이 분포되어 있음을 알 수 있다.

상기에서 상술한 바와 같이, 상기 노즐(40)에 의해서 일정한 분사압력을 갖고 분사되는 액이 일시적으로 정체되어 액고임 현상이 발생될 수 있다. 상기 액고임 현상이 지속될 경우에는 이로 인하여 상기 기판(10)의 중앙부가 그 양측부에 비해 약한 분사압력을 받게 된다.

이와 같이, 종래 기술에 의한 기판 이송용 롤러는 일정한 분사압력을 갖고 분사되는 액이 평면형태의 기판 상부에 일시적으로 정체되어 발생되는 액고임 현상이 발생될 수 있다.

따라서, 상기 액고임 현상으로 상기 기판의 중앙부가 그 양측부에 미약한 분사압력을 받게 되어 상기 기판의 전 면적에 걸쳐 균일한 현상이나 세정효과를 얻을 수 없다는 문제점이 발생한다.

본 고안은 상기와 같은 종래 기술의 문제점을 해결하기 위하여 안출된 것으로써, 그 목적은 가이드 롤러와 중간 롤러의 높이를 차이(0.7~1.5㎜정도)나게 하여 기판의 중앙부가 볼록지도록 하여 분사액의 일시적인 정체로 인한 액고임 현상을 방지할 수 있는 기판 이송용 롤러를 제공하는데 있다.

도 1은 종래 기술에 의한 기판 이송용 롤러가 도시된 도면,

도 2는 종래 기술에 의한 기판 이송용 롤러의 구동에 따른 현상공정 후 기판의 상태가 도시된 도면,

도 3은 종래 기술에 의한 기판 이송용 롤러의 구동에 따른 세정공정 후 기판의 잔여 파티클(Particle)의 분포가 도시된 도면,

도 4는 본 고안에 의한 기판 이송용 롤러가 도시된 도면,

도 5는 본 고안에 의한 보조 롤러의 올림량(χ= 0.7 ~ 1.5㎜)이 도시된 도면.

<도면의 주요부분에 대한 부호의 설명>

100 : 기판 200 : 가이드롤러

210 :보조롤러 300 : 제1 샤프트

310 : 제2 샤프트 400 : 노즐

χ: 올림량(0.7~1.5㎜)

상기한 목적을 달성하기 위한 본 고안의 기판 이송용 롤러의 제1 특징에 따르면, PDP 또는 LCD의 제조공정중 현상이나 세정을 수행하기 위한 기판을 이송시키도록 하는 기판 이송용 롤러에 있어서,

상기 기판의 양단 하부에 설치되어 상기 기판을 진행시키는 동시에 상기 기판의 진행방향 양측을 지지하도록 단차가 형성된 가이드 롤러(Guide Roller)와, 상기 기판의 크기에 대응되는 간격으로 분리되어 상기 가이드 롤러가 각각 외삽되어 동일 축 상에 위치하도록 하여 외부에서 전달되는 동력으로 인해 회전하는 원통형태의 제1 샤프트(Shaft)와, 상기 가이드 롤러 사이에서 상기 기판의 진행을 보조함과 동시에 그 중앙부를 지지하도록 소정의 간격으로 설치된 다수 개의 보조 롤러와, 상기 제1 샤프트 사이에서 상기 기판의 중앙부가 양단에 비해 올라가도록 설치되며 상기 보조 롤러가 각각 외삽되어 상기 기판의 진행방향에 따라 회전하는 원통형태의 제2 샤프트로 구성된다.

또한, 본 고안의 기판 이송용 롤러의 부가적인 특징은, 상기 보조롤러는 상기 가이드 롤러의 직경보다 크게 형성된다.

이하, 본 고안에 의한 기판 이송용 롤러의 바람직한 실시예를 첨부한 도면을 참조하여 상세히 설명한다.

도 4는 본 고안에 의한 기판 이송용 롤러가 도시된 도면이고, 도 5는 본 고안에 의한 보조 롤러의 올림량(χ= 0.7 ~ 1.5㎜)이 도시된 도면이다.

도 4 및 도 5를 참조하면, PDP 또는 LCD의 제조공정중 현상이나 세정을 수행하기 위한 기판(100)을 이송시키도록 하는 기판 이송용 롤러는 상기 기판(100)의 양단 하부에 설치되어 상기 기판(100)을 진행시키는 동시에 상기 기판(100)의 진행방향 양측을 지지하도록 단차가 형성된 가이드 롤러(200)와, 상기 가이드 롤러(200) 사이에서 상기 기판(100)의 진행을 보조함과 동시에 그 중앙부를 지지하도록 소정의 간격으로 설치된 다수 개의 보조 롤러(210)와, 상기 가이드 롤러(200) 및 보조 롤러(210)를 각각 외삽되어 상기 기판(100)의 진행방향에 따라 회전하는 원통형의 제1 및 제2 샤프트(Shaft)(300, 310)로 구성된다.

상기 제1 및 제2 샤프트(300, 310)는 상기 기판(100)의 크기에 대응되는 간격으로 분리되어 상기 제1 샤프트(300)가 동일 축 상에 위치하도록 하여 외부에서 전달되는 동력으로 회전하도록 설치되고, 상기 제1 샤프트(300)에 비해 일정한 올림량(χ= 0.7~1.5㎜)을 갖도록 상기 제1 샤프트(300) 사이에 다수 개의 제2 샤프트(310)가 설치된다.

상기 올림량(χ)은 상기 기판(100)의 중앙부가 양단보다 올라가도록 0.7~1.5㎜정도의 크기를 갖도록 한다.

도 4에서 미설명 참조번호 400은 평판디스플레이 제조장치에서 현상이나 세정을 하기 위해 각 해당 액을 분사하도록 하는 노즐(Nozzle)이다.

상기에서 상술한 바와 같은 구성을 참조하여 기판 이송용 롤러의 동작을 상세히 살펴보면,

먼저, 현상이나 세정을 수행하기 위한 기판(100)이 가이드 롤러(200) 및 보조 롤러(210)의 상부에 로딩(Loading)되면 외부에서 동력을 전달받아 제1 샤프트(300)가 회전한다. 상기 제1 샤프트(300)의 회전에 따라 그 외주면에 삽입된 상기 가이드 롤러(200)가 상기 기판(100)의 하면에 접촉되어 현상이나 세정을 수행하도록 상기 기판(100)을 진행시키며 동시에 상기 기판(100)의 진행방향 양측을 지지하게 된다.

이때, 상기 제1 샤프트(300)와 일정한 올림량(χ= 0.7~1.5㎜)을 갖도록 설치된 제2 샤프트(310)는 그 외주면에 상기 보조 롤러(210)가 외삽되어 상기 기판(100)의 중앙부가 양단에 비해 상기 올림량(χ= 0.7~1.5㎜)만큼 올라가도록 상기 기판(100)의 중앙부를 지지함과 동시에 상기 기판(100)의 진행을 보조하도록 진행방향에 따라 회전된다.

또한, 상기 보조 롤러(210)는 상기 가이드 롤러(200)의 직경보다 크게 형성되도록 하여 상기 제2 샤프트(310)의 올림량(χ)을 0.7㎜ 이하로 줄일 수 있다.

결국, 본 고안의 기판 이송용 롤러가 종래 경우와 달라지는 부분은 종래 경우에는 하나의 샤프트에 가이드 롤러 및 보조 롤러가 각각 외삽되어 기판이 평면 형태로 진행되어 분사액이 일시적으로 정체되는 경우가 종종 발생하였으나, 본 고안은 동일 축 상에서 분리된 상기 제1 샤프트(300)에 상기 기판(100)의 크기에 대응되는 간격으로 상기 가이드 롤러(200)가 각각 외삽되며 상기 가이드 롤러(200) 사이에 다수 개의 보조 롤러(210)가 설치된다.

이때, 상기 보조 롤러(210)는 상기 제1 샤프트(300)와 일정한 올림량(χ= 0.7~1.5㎜)을 갖도록 설치된 제2 샤프트(310)에 외삽되어 상기 기판(100)의 중앙부가 그 양단에 비해 높아지게 하여 상기 기판(100)이 전체적으로 그 중앙부가 볼록지게 형성된 곡면형상을 갖도록 상기 기판(100)의 중앙부를 지지함과 동시에 상기 기판(100)의 진행을 보조하도록 한다. 따라서, 상기 기판(100)의 상부에서 노즐(400)에 의해 분사되는 액이 정체되지 않고 상기 기판(100)의 외부로 흘러 나가도록 한다는 것이다.

상기에서 상술한 바와 같은 기판 이송용 롤러는 PDP 또는 LCD의 제조공정중 현상이나 세정을 수행하기 위한 기판에서 상기 기판의 중앙부가 양단에 비해 올라가도록 일정한 올림량(χ= 0.7~1.5㎜)을 갖도록 제1 및 제2 샤프트를 분리되게 설치함으로써 노즐에 의해 분사되는 액이 정체됨 없이 상기 기판의 외부로 흘러 나가도록 하여 상기 기판의 전 면적에 걸쳐 균일한 현상 및 세정 효과를 얻을 수 있는 이점이 있다.

Claims

PDP 또는 LCD의 제조공정중 현상이나 세정을 수행하기 위한 기판을 이송시키도록 하는 기판 이송용 롤러에 있어서,

상기 기판의 양단 하부에 설치되어 상기 기판을 진행시키는 동시에 상기 기판의 진행방향 양측을 지지하도록 단차가 형성된 가이드 롤러(Guide Roller)와, 상기 기판의 크기에 대응되는 간격으로 분리되며 상기 가이드 롤러가 각각 외삽되어 동일 축 상에 위치하도록 하여 외부에서 전달되는 동력으로 인해 회전하는 원통형태의 제1 샤프트(Shaft)와, 상기 가이드 롤러 사이에서 상기 기판의 진행을 보조함과 동시에 그 중앙부를 지지하도록 소정의 간격으로 설치된 다수 개의 보조 롤러와, 상기 제1 샤프트 사이에서 상기 기판의 중앙부가 양단에 비해 올라가도록 설치되며 상기 보조 롤러가 각각 외삽되어 상기 기판의 진행방향에 따라 회전하는 원통형태의 제2 샤프트로 구성되는 것을 특징으로 하는 기판 이송용 롤러.