KR100821181B1 - 기판 반송장치 - Google Patents

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Abstract

기판 반송장치가 개시된다. 본 발명의 기판 반송장치는, 상호 이격배치되어 기판의 양측 단부영역을 회전가능하게 지지하며, 기판을 이동시키는 복수의 반송롤러를 포함하며, 반송롤러는, 롤러본체; 및 기판이 종류별로 선택되어 접촉배치될 수 있도록 롤러본체의 외면에 형성되는 복수의 기판접촉부를 포함하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 의하면, 서로 다른 재질의 기판과 같이 서로 다른 종류의 기판을 하나의 기판 반송장치로써 반송하더라도 파티클에 의해 서로 다른 종류의 기판 중 어느 한 종류의 기판이 손상되는 것을 저지할 수 있어 효율적으로 기판을 반송할 수 있다.
기판, 반송, 반송장치, OLED, 인캡, 단차롤러, 파티클

Description

기판 반송장치{Apparatus For Transfering Substrate}
도 1의 (a)는 하기판이 글래스 재질인 OLED 기판이고, (b)는 알루미늄 재질인 트레이(Tray)에 탑재된 하기판이 스테인리스 스틸(Stainless Steel) 재질인 OLED 기판을 도시한 도면이다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 반송장치의 개략적인 구성도이다.
도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 반송장치의 개략적인 측면도이다.
도 4는 도 1의 (b) 기판이 반송되는 상태를 도시한 도면이다.
도 5는 도 1의 (a) 기판이 반송되는 상태를 도시한 도면이다.
* 도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명
1 : 기판 반송장치 20 : 반송롤러
24, 26 : 기판접촉부 24a, 26a : 오링(O-ring)
30 : 롤러이동부 40 : 처짐방지롤러
50 : 승하강구동부 60 : 감지부
70 : 제어부 100, 110 : OLED 기판
101, 111 : 상기판 102, 112 : 하기판
103, 113 : 실리콘 실(Seal) 105, 115 : 흡습제
120 : 트레이(Tray)
본 발명은, 기판 반송장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 파티클(Particle)에 의한 손상을 줄이면서도 서로 다른 재질의 기판을 하나의 기판 반송장치로써 효율적으로 반송할 수 있는 기판 반송장치에 관한 것이다.
평면디스플레이(FPD)는, TV나 컴퓨터 모니터 등에 디스플레이(Display)로 주로 사용된 음극선관(CRT, Cathode Ray Tube)보다 두께가 얇고 가벼운 영상표시장치로서, 이에는 LCD(liquid crystal display), PDP(Plasma Display Panel), OLED(Organic Light Emitting Diodes) 등이 있다.
이 가운데 유기EL이라고도 불리우는 OLED는, 형광성 유기화합물을 전기적으로 여기시켜 발광시키는 자발광형 디스플레이 소자이다. 유기EL 패널에 전원이 공급되면, 전자가 이동하면서 전류가 흐르게 되는데 음극에서는 전자(-)가 전자수송층의 도움으로 발광층으로 이동하고, 상대적으로 양극에서는 홀(Hole, +개념, 전자가 빠져나간 상태)이 홀 수송층의 도움으로 발광층으로 이동하게 된다.
이때, 유기물질인 발광층에서 만난 전자(-)와 Hole(+)은 높은 에너지를 갖는 여기자를 생성하게 되는데 이때, 여기자가 낮은 에너지로 떨어지면서 빛을 발생하게 된다.
이와 같은 원리로 구성되는 OLED는, 발광층을 구성하고 있는 유기물질이 어떤 것이냐에 따라 빛의 색깔이 달라지게 되며 R,G,B(Red, Green, Blue)를 내는 각 각의 유기물질을 이용하여 풀 칼라(Full Color)를 구현할 수 있다.
이러한 OLED는 LCD와 비교하여 빠른 응답속도와 시인성이 우수하며, 소비전력이 낮을 뿐만 아니라 백라이트가 없어 슬림화가 가능한 장점을 가지고 있으며 타 디스플레이에 비해서도 두께, 무게, 가격등에서 우월한 특성을 보이는 차세대 디스플레이로 주목받고 있다.
따라서, 현재 OLED는 휴대폰, 네비게이션, 디지털 카메라와 같은 소형기기의 디스플레이에 주로 사용되고 있으며, 기술이 점차 발전함에 따라 LCD를 대체할 정도로 급성장하고 있는 추세이다.
한편, 이러한 OLED의 제조공정에 있어서, OLED는 특히 수분과 산소에 의해 열화되기 쉽다. 따라서 이를 방지하기 위한 방법으로, 유기발광층이 증착된 기판에 일정 공간을 유지한 상태로 글래스(Glass) 또는 스테인레스 스틸(Stainless Steel) 등을 주재료로 하는 인캡(Encap)을 덮어 씌우는 봉지공정(Encapsulation)이 이루어진다.
인캡이란, OLED 제조공정에서 OLED 기판 위에 증착막을 형성시킨 후 수분, 산소 등으로부터 기판을 격리시켜 유기EL 소자의 변형을 막는 기능을 하는 보호막과 같은 부품이다. 인캡의 내부에는 건조제(흡습제)가 장착되어 있어 OLED 내부의 유기EL층에서 발생하는 가스 및 외부로부터의 수분과 산소의 영향을 감소시키도록 한다.
이러한 OLED 기판은 인캡 상기판과 인캡 하기판의 결합으로 마련된다.
도 1의 (a)는 하기판이 글래스 재질인 OLED 기판이고, (b)는 알루미늄 재질 인 트레이(Tray)에 탑재된 하기판이 스테인리스 스틸 재질인 OLED 기판을 도시한 도면이다.
이에 도시된 바와 같이, 인캡 상기판(101, 111)은 주로 글래스(Glass) 재질로 마련되나, 인캡 하기판(102, 112)의 경우에는, 도 1의 (a)에 도시된 바와 같이 인캡 상기판(101, 111)과 같이 식각된 표면에 흡습제(105)가 마련된 글래스(Glass) 재질인 하기판(102)으로 마련되거나, 또는 도 1의 (b)에 도시된 바와 같이 흡습제(115)가 마련된 스테인리스 스틸(Stainless Steel) 재질인 하기판(112)으로 마련되기도 한다. 그리고 이들 상기판(101, 111)과 하기판(102, 112)은 실리콘 실(103, 113, Silicon Seal)에 의해 실링(Sealing)되어 있다.
이와 같이 인캡 상기판(101, 111)과 인캡 하기판(102, 112)이 결합된 OLED 기판(100, 110)은 제조공정에서 반송과정을 거치게 된다. 도시하지는 않았지만, 이러한 반송작업을 위하여 상호 이격배치된 반송롤러가 기판의 양측 단부영역을 각각 회전가능하게 지지하면서 기판을 반송하도록 하는 방식의 일반적인 기판 반송장치가 개시된 바 있다.
이러한 기판 반송장치를 통하여 글래스 재질인 인캡 하기판(102)을 갖는 OLED 기판(100)과 스테인리스 스틸 재질인 인캡 하기판(112)을 갖는 OLED 기판(110)을 반송하였다. 물론, 스테인리스 스틸 재질인 하기판(112)은 그 형상이 굴곡되었기 때문에, 도 1 (b)에 도시된 바와 같이, 하면이 편평한 알루미늄 재질인 트레이(120, Tray)를 통해 반송이 진행되었다.
하지만, 반송하여야 할 OLED 기판(100, 110)의 종류에 따라 각각 별도의 기 판 반송장치를 마련하는 것은 비효율적이므로 OLED 기판(100, 110)의 종류에 관계없이 동일한 기판 반송장치로 반송작업을 수행해 왔다.
즉, 종래에는 알루미늄 재질인 트레이(120)에 탑재된 OLED 기판(110)의 반송 작업을 진행하다 인캡 하기판(102)이 글래스 재질인 OLED 기판(100)으로 바뀔 경우에도, 동일한 기판 반송장치의 반송롤러를 통해 인캡 하기판(102)이 글래스 재질인 OLED 기판(100)을 직접 반송하였다.
그런데, 종래의 기판 반송장치에 있어서는, 동일한 반송장치에서 서로 다른 재질의 OLED 기판(100, 110)을 반송함에 따라 알루미늄 재질인 트레이(120)로부터 발생된 파티클(Particle)에 의해 그 뒤에 반송되는 인캡 하기판(102)이 글래스 재질인 OLED 기판(100)이 손상되는 문제점이 있다.
이외에도, 종래의 기판 반송장치에 있어서는, 인캡 하기판(102)이 글래스 재질인 OLED 기판(100) 경우는 재질의 특성상 반송시 처짐이 발생하여 기판이 굴곡되거나 변형될 우려가 있는 문제점이 있다.
본 발명의 목적은, 서로 다른 재질의 기판과 같이 서로 다른 종류의 기판을 하나의 기판 반송장치로써 반송하더라도 파티클(Particle)에 의해 서로 다른 종류의 기판 중 어느 한 종류의 기판이 손상되는 것을 저지할 수 있어 효율적으로 기판을 반송할 수 있는 기판 반송장치를 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은, 기판, 특히 글래스 재질인 기판 반송시 처짐을 줄이면서 반송될 수 있기 때문에 반송시 기판이 굴곡되거나 변형되는 것을 종래보다 감 소시킬 수 있는 기판 반송장치를 제공하는 것이다.
상기 목적은, 본 발명에 따라, 상호 이격배치되어 기판의 양측 단부영역을 회전가능하게 지지하며, 상기 기판을 이동시키는 복수의 반송롤러를 포함하며, 상기 반송롤러는, 롤러본체; 및 상기 기판이 종류별로 선택되어 접촉배치될 수 있도록 상기 롤러본체의 외면에 형성되는 복수의 기판접촉부를 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 반송장치에 의해 달성된다.
여기서, 상기 복수의 기판접촉부는 상기 반송롤러의 외면이 계단상으로 단차지게 형성됨으로써 마련되며, 상기 기판의 재질에 따라 상기 기판이 접촉배치되는 상기 기판접촉부가 상호 다른 것일 수 있다.
상기 복수의 기판접촉부의 각 기판접촉부는 실린더 형상일 수 있다.
이때, 상기 복수의 기판접촉부 중 어느 하나에 해당 재질을 갖는 기판이 접촉될 수 있도록 상기 복수의 반송롤러를 상기 기판의 폭방향을 따라 이동시키는 롤러이동부를 더 포함할 수 있다.
상기 롤러이동부에 의해 이동하는 상기 반송롤러의 이동위치를 감지하는 감지부를 더 포함하는 것이 기판의 폭에 따라 효율적으로 이동할 수 있다.
이때 상기 감지부의 신호에 기초해서 상기 롤러이동부의 동작을 제어하는 제어부를 더 포함하는 것이 바람직하다.
상기 복수의 반송롤러들 사이에 배치되어 상기 복수의 반송롤러들에 의해 반송되는 기판이 처지는 것을 저지하는 복수의 처짐방지롤러를 더 포함할 수 있다.
상기 처짐방지롤러를 상기 기판에 접근 및 이격 가능하게 승하강 구동시키는 승하강구동부를 더 포함하는 것이 바람직하다.
상기 복수의 기판접촉부에는 각각 오링(O-ring)이 결합되면 기판접촉을 효율적으로 할 수 있다.
상기 기판은 하기판이 글래스 재질인 OLED 기판과 알루미늄 트레이(Tray)에 탑재된 하기판이 스테인리스 스틸(Stainless Steel) 재질인 OLED 기판으로 구분될 수 있다.
본 발명과 본 발명의 동작상의 이점 및 본 발명의 실시에 의하여 달성되는 목적을 충분히 이해하기 위해서는 본 발명의 바람직한 실시 예를 예시하는 첨부 도면 및 첨부 도면에 기재된 내용을 참조하여야만 한다.
이하, 첨부도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시 예를 설명함으로써, 본 발명을 상세히 설명한다. 각 도면에 제시된 동일한 참조부호는 동일한 부재를 나타낸다.
기판이란 LCD, PDP, OLED 등 여러 가지 종류의 기판을 모두 포함하나, 본 발명의 실시 예에서는 도 1에 도시된 바와 같은 OLED 기판(100, 110)을 예로 들어 설명하기로 한다.
도 2는 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 반송장치의 개략적인 구성도이고, 도 3은 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 반송장치의 개략적인 측면도이며, 도 4는 도 1의 (b) 기판이 반송되는 상태를 도시한 도면이고, 도 5는 도 1의 (a) 기판이 반송되는 상태를 도시한 도면이다.
이에 도시된 바와 같이, 본 발명의 일 실시 예에 따른 기판 반송장치(1)는, 기판(100, 110)을 반송하는 반송롤러(20)와, 반송롤러(20)를 기판(100, 110)의 폭 방향을 따라 이동시키는 롤러이동부(30)와, 반송롤러(20)들 사이에 배치되어 기판(100, 110)의 처짐을 저지하는 처짐방지롤러(40)와, 처짐방지롤러(40)를 기판(100, 110)에 대해 접근 및 이격시키는 승하강구동부(50)와, 반송롤러(20)의 이동위치를 감지하는 감지부(60)와, 감지부(60)의 신호에 기초해서 롤러이동부(30)의 동작을 제어하는 제어부(70)를 구비한다.
반송롤러(20)는, 반송되는 기판(100, 110)의 양측 단부영역을 회전가능하게 지지하도록 서로 이격배치되게 복수개 마련된다. 이러한 반송롤러(20)는 롤러본체(21)와, 롤러본체(21)의 외면에 형성되는 복수의 기판접촉부(24, 26)를 구비한다.
기판접촉부(24, 26)는, 도 3 내지 5에 도시된 바와 같이, 반송롤러(20)의 외면이 계단상으로 단차지게 형성됨으로써 마련된다. 이러한 기판접촉부(24, 26)에는 기판(100, 110)의 종류별로 선택되어 기판(100, 110)의 양측 단부 영역이 접촉배치된다.
본 실시 예의 기판접촉부(24, 26)는 반송롤러(20) 외면이 높이가 다른 2개의 실린더가 결합된 형상을 갖는다. 따라서 실린더 형상의 각 기판접촉부(24, 26)에는 기판의 양측 단부 영역이 회전가능하게 지지될 수 있다.
그러나 반송롤러(20)의 기판접촉부(24, 26)는 필요에 따라 3개 또는 그 이상으로 단차지게 구성될 수 있다.
기판접촉부(24, 26)가 단차지게 형성되므로 각 기판접촉부(24, 26)에 기판(100, 110)이 재질별로 선택되어 접촉될 수 있다.
예를 들어, 도 4에 도시된 바와 같이, 단차의 높이가 높은 기판접촉부(24)에는 트레이(120)에 탑재된 OLED 기판(110)이 접촉배치되고, 단차의 높이가 낮은 기판접촉부(26)에는, 도 5에 도시된 바와 같이, 글래스 재질인 OLED 기판(100)이 접촉배치되어 반송될 수 있다.
그러나, 반대로 단차의 폭이 높은 기판접촉부(24)에는 글래스 재질인 OLED 기판(100)이, 단차의 폭이 작은 기판접촉부(26)에는 트레이(120)에 탑재된 OLED 기판(110)이 접촉배치되어 반송될 수도 있을 것이다.
이와 같이 단차의 높이가 다른 기판접촉부(24, 26)가 형성된 반송롤러(20)를 통해 기판(100, 110)을 재질별로 선택하여 반송할 수 있으므로 종래의 기판 반송장치가 상이한 재질의 기판(100, 110)을 동일한 반송롤러(20)의 접촉면에 지지되어 반송함에 따라서 생기는 파티클에 의하여 글래스 재질인 OLED 기판(100)이 손상되는 현상을 방지할 수 있다.
상이한 재질의 기판(100, 110)의 폭이 다를 경우에는, 기판(100, 110)에 따라 적절히 선정해 놓으면 반송롤러(20)가 이동하지 않아도 각 기판접촉부(24, 26)에 의해 기판(100, 110)이 재질별로 선택되어 반송될 수 있다.
그러나, 만약 상이한 재질의 기판(100, 110)의 폭이 동일한 경우에는 롤러이동부(30)에 의해 반송롤러(20)를 기판(100, 110)의 폭 방향으로 이동시킴으로써 상이한 재질의 기판(100, 110)의 폭이 동일할 경우에도 각 기판접촉부(24, 26)에 기 판(100, 110)을 재질별로 다르게 접촉시켜 반송시킬 수 있다. 이 점에 대해서는 후술하기로 한다.
이러한 반송롤러(20)의 각 기판접촉부(24, 26)에는, 도 4에 자세히 도시된 바와 같이, 오링(24a, 26a, O-ring)이 결합되어 있다. 결합된 오링(24a, 26a)은 반송롤러(20)에 기판(100, 110)이 회전가능하게 지지될 경우에 기판(100, 110)과 직접적으로 접촉하는 부분이 된다.
따라서 오링(24a, 26a)으로 반송롤러(20)의 기판접촉부(24, 26)와 접촉되는 기판(100, 110)의 면적을 줄임으로써 반송되는 기판(100, 110)에 대한 파티클 오염의 우려를 최소화시킬 수 있다. 또한, 오링(24a, 26a)을 탄성재질로 제작하면 기판(100, 110)이 반송될 경우 마찰이나 충격에 의해 기판(100, 110)이 손상되는 것을 예방할 수 있다.
그리고 오링(24a, 26a)이 반복 사용되어 마모될 경우에는, 새로운 오링(24a, 26a)으로 교체하면 반송롤러(20)가 마모되어 반송롤러(20) 전체를 교체하는 비용보다 비교적 저렴한 비용으로 유지보수할 수 있다.
한편, 반송롤러(20)는, 동일한 재질로 일체로 마련될 수 있으며 기판접촉부(24, 26)에 접촉하는 기판(100, 110)의 재질에 걸맞추어 단차진 기판접촉부(24, 26) 마다 상이한 재질로 제작 결합될 수도 있다.
이상 설명한 바와 같은 기판접촉부(24, 26)가 형성된 반송롤러(20)는 회전축(25)과 결합되어 있으며 회전축(25)은 베어링(27a)이 형성된 반송롤러 지지부(27)에 결합되어 있으므로 반송롤러(20)는 회전하면서 기판(100, 110)을 반송할 수 있다.
아울러, 기판(100, 110)을 반송하는 반송롤러(20)는 롤러이동부(30)에 의하여 기판(100, 110)의 폭 방향으로도 이동할 수 있다.
롤러이동부(30)는, 도 5에 도시된 바와 같이, 높이가 낮은 기판접촉부(26)에 하기판(102)이 글래스인 OLED 기판(100, 도 1 참조)이 접촉될 수 있도록, 최초 점선으로 표시된 영역에서 화살표(X) 방향으로 이동할 수 있다.
본 실시 예에서 반송롤러(20)는 롤러이동부(30)에 의해 반송롤러(20)가 결합된 회전축(25)을 화살표(X) 방향으로 이동하게 구성하였다. 그러나 반송롤러(20)가 결합된 회전축(25)과 회전축(25)을 회전가능하게 지지하는 반송롤러 지지부(27)를 모두 이동시키도록 구성할 수도 있을 것이다.
이와 같이 롤러이동부(30)에 의해 반송롤러(20)가 화살표(X) 방향처럼 좌우로 이동할 수 있기 때문에 기판(100, 110)의 폭이 동일할 경우에도, 롤러이동부(30)에 의해 반송롤러(20)가 이동하여 기판(100, 110)을 재질별로 선택하여 반송롤러(20)의 기판접촉부(24, 26)에 각각 접촉배치되어 반송시킬 수 있다.
이와 같이, 기판(100, 110)의 폭이 동일한 뿐만 아니라 다양한 폭의 기판(100, 110)을 단차의 높이가 다른 기판접촉부(24, 26)를 통해 기판(100, 110)을 재질별로 선택하여 반송할 수 있음은 물론이다.
한편, 전술한 바와 같이 이동가능한 반송롤러(20)의 이동위치를 감지하기 위해서 감지부(60)가 마련된다.
감지부(60)는, 반송롤러(20)가 위치되는 영역에 자리하여 롤러이동부(30)에 의해 이동하는 반송롤러(20)의 위치를 감지한다. 감지부(60)는 본 실시 예에서와 같이 반송롤러(20)들의 상부에 위치할 수 있으며 반송롤러(20)들의 하부에 마련될 수도 있다.
감지부(60)는, 반송롤러(20)가 이동할 경우 기판(100, 110)의 폭 및 기판(100, 110)이 위치되는 기준점을 감지하여 기판접촉부(24, 26)에 기판(100, 110)이 정확하게 접촉할 수 있도록 적절한 위치를 감지한다.
제어부(70)는 감지부(60)의 신호에 기초해서 롤러이동부(30)와 후술할 승하강구동부(50)의 동작을 제어한다.
여기서, 승하강구동부(50)에 대해서 간략히 설명하면, 글래스 재질인 OLED 기판(100)의 경우 재질의 특성상 처짐이 발생할 수 있는데, 처짐으로 인한 문제를 방지하기 위하여 반송시 처짐방지롤러(40)가 글래스 재질인 OLED 기판(100)의 중앙 영역에 배치되며, 승하강구동부(50)는 이 처짐방지롤러(40)를 이동시키기 위한 것이다.
따라서 제어부(70)는 롤러이동부(30)를 통해 반송롤러(20)를 이동시키며, 승하강구동부(50)를 통해 처짐방지롤러(40)를 이동시키도록 이들의 동작을 제어한다. 이때 처짐방지롤러(40)는 반송롤러(20)에 의해 반송되는 기판(100, 110)의 재질 및 폭에 따라 적절하게 제어되어야 한다.
처짐방지롤러(40)는, 도 3 내지 도 5에 도시된 바와 같이, 복수의 반송롤러(20)들 사이에 배치되어 복수의 반송롤러(20)들에 의해 기판(100, 110)이 처지는 것을 저지한다. 처짐방지롤러(40)는 기판(100, 110)의 처짐정도에 대비할 수 있도 록 적당한 개수로 마련되는 것이 바람직하며 본 실시 예에서는 기판(100, 110)의 세 영역을 받치도록 구성된다.
처짐방지롤러(40)는 크기가 크거나 재질이 변형이 쉬운 기판일 경우, 반송시 처짐으로 인해 기판(100, 110)의 변형 및 제품불량이 우려되는 경우에 있어서 효과적이다. 따라서, 전술한 바와 같이 하기판(102)이 글래스 재질인 OLED 기판(100)일 경우에 처짐방지롤러(40)를 사용하여 반송하면 효과적이다.
처짐방지롤러(40)는, 도 5에 도시된 바와 같이, 소정의 위치에서 반송롤러(20)의 기판접촉부(26)에 접촉배치되는 글래스 재질인 OLED 기판(100)을 이동가능하도록 지지함으로써 글래스 재질인 OLED 기판(100)의 반송시 처짐을 방지하게 된다. 그러나, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 처짐의 우려가 없는 트레이(120)에 탑재된 기판(110)의 경우에는 기판(110)에 접촉되지 않은 상태로 배치된다.
이러한 처짐방지롤러(40)는 승하강구동부(50)에 의해, 도 3의 화살표(Z)로 표시된 바와 같이, 기판(100, 110)에 대해 접근 및 이격 가능하게 마련된다.
승하강구동부(50)는 처짐방지롤러(40)를 승하강 구동시키는데, 본 실시 예에서는 각 처짐방지롤러(40)마다 개별적으로 승하강구동부(50)가 마련된다.
승하강구동부(50)로는 공압실린더 혹은 유압실린더를 사용하여 구성할 수도 있을 것이며 텔레스코픽 바(Telescopic Bar)와 같은 형태로 마련될 수도 있을 것이다.
승하강구동부(50)에 의해 처짐방지롤러(40)는 높이가 높은 기판접촉부(24)와 나란한 위치까지 상승할 수도 있으며, 처짐방지롤러(40)가 필요없을 경우에는 높이 가 낮은 기판접촉부(26)보다 낮게 하강할 수도 있을 것이다.
또한, 승하강구동부(50)에 의해 처짐방지롤러(40)가 개별적으로 승하강하면서 이동할 수 있게 구성하지 않고, 복수의 처짐방지롤러(40)를 한꺼번에 구동시킬 수 있게 승하강구동부(50)를 구성할 수도 있을 것이다.
전술한 바와 같이, 이러한 승하강구동부(50)는 제어부(70)에 의하여 처짐방지롤러(40)가 적절한 위치에 이동되도록 동작이 제어된다.
따라서 승하강구동부(50)는, 도 3에 도시된 바와 같이, 화살표(Z) 방향으로 처짐방지롤러(40)를 승하강시킬 수 있어, 본 실시 예의 기판 반송장치(1)는 처짐이 우려되는 글래스 재질인 기판(100)의 처짐을 방지하면서 반송시킬 수 있다.
이러한 구성을 갖는 기판 반송장치의 작동에 대해 설명하면 다음과 같다.
기판 반송장치(1)로 반송될 반송대상의 상이한 재질의 기판(100, 110)이 준비된다.
우선, 도 3 및 도 4에 도시된 바와 같이, 기판 반송장치(1) 내에서 반송롤러(20)의 높이가 높은 기판접촉부(24)에는 트레이(120)에 탑재된 OLED 기판(110)이 접촉배치된다. 이때, 기판접촉부(24)에 결합된 오링(24a)에 의해 기판(110)은 접촉면적을 줄일 수 있어 반송시 기판(110)에 충격이나 손상을 최소화 할 수 있다.
도 4에 도시된 기판(110)은 트레이(120)에 탑재되므로 반송시 처짐이나 변형의 우려가 없기 때문에 처짐방지롤러(40)는 기판(110)에 접근하지 않아도 된다.
이와 같이 트레이(120)에 탑재된 기판(110)은 반송롤러(20)에 형성된 높이가 높은 기판접촉부(24)에만 접촉배치되어 반송되도록 한다.
다음으로, 도 5에 도시된 바와 같이, 기판 반송장치(1)내에서 반송롤러(20)의 높이가 낮은 기판접촉부(26)에 글래스 재질인 OLED 기판(100)이 접촉배치 되도록 하여야 한다. 따라서 롤러이동부(30)에 의해 접촉롤러(20)가 점선으로 표시된 위치에서 화살표 방향으로 이동한다. 이때, 제어부(70)는 감지부(60)에 의해 접촉롤러(20)의 위치를 감지하도록 하며 롤러이동부(30)가 적절한 위치만큼 이동하도록 동작을 제어하게 된다.
이와 같이 반송롤러(20)의 위치가 이동된 후, 반송롤러(20)에 형성된 높이가 낮은 기판접촉부(26)에 기판(100)이 접촉배치된다. 마찬가지로 기판접촉부(26)에 결합된 오링(26a)에 의해 기판(100)은 접촉면적을 최소화할 수 있으며 반송시 기판(100)에 충격이나 손상을 최소화 할 수 있다.
그러나 기판(100)은 하기판(102)이 글래스 재질이므로 (도 1 참조) 반송시 처짐이나 변형의 우려가 있다. 따라서 처짐방지롤러(40)는 기판(100)에 접근하여 기판(100)의 처짐을 방지할 필요가 있게 된다.
본 실시 예에서는 높이가 낮은 기판접촉부(26)에 처짐방지롤러(40)의 상부의 높이를 나란하게 구성하였으므로, 처짐방지롤러(40)는 승하강구동부(50)에 의해 이동하지 않더라도, 기판(100)의 처짐을 방지할 수 있다.
마찬가지로 하기판(102)이 글래스 재질인 기판(100)은 반송롤러(20)에 형성된 높이가 낮은 기판접촉부(26)에만 접촉배치되어 반송되도록 한다.
이와 같이, 본 발명의 기판 반송장치(1)는 동일한 장치에서 복수의 기판접촉부(24, 26) 마다 상이한 재질의 기판(100, 110)이 선택적으로 접촉배치되어 반송될 수 있으므로 파티클에 의한 기판(100)의 손상이 종래보다 현저하게 감소될 수 있다.
또한, 처짐방지롤러(40)를 통해 크기가 크거나 처지기 쉬운 기판(100, 110)의 처짐을 방지할 수 있어 기판(100, 110)이 굴곡되거나 변형되지 않도록 하면서 반송시킬 수 있다.
아울러 반송되는 기판(100, 110)의 폭이 다르더라도 롤러이동부(30)에 의해 반송롤러(50)를 이동시킬 수 있으므로 폭의 변화에 대응하여 기판(100, 110)을 효율적으로 반송할 수 있다.
이상 도면을 참조하여 본 발명에 대해 상세히 설명하였으나, 본 발명이 이에 제한되는 것은 아니다.
전술한 실시예에서는, 복수개의 처짐방지롤러가 한 기판의 세영역을 지지하여 반송하는 것에 대하여 상술하였으나 복수개의 처짐방지롤러가 각각 다른 기판을 지지하여 반송할 수 있도록 처짐방지롤러들을 그룹별로 구성할 수도 있을 것이다.
이와 같이 본 발명은 기재된 실시예에 한정되는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형할 수 있음은 이 기술의 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 자명하다. 따라서 그러한 수정예 또는 변형예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 하여야 할 것이다.
이상 설명한 바와 같이, 본 발명에 따르면, 서로 다른 재질의 기판과 같이 서로 다른 종류의 기판을 하나의 기판 반송장치로써 반송하더라도 파티클에 의해 서로 다른 종류의 기판 중 어느 한 종류의 기판이 손상되는 것을 저지할 수 있어 효율적으로 기판을 반송할 수 있다.
또한, 처짐방지롤러를 구비함으로써 처짐 발생 가능성이 있는 기판 반송시 처짐을 줄이면서 반송될 수 있기 때문에 반송시 기판이 굴곡되거나 변형되는 것을 종래보다 감소시킬 수 있다.

Claims (10)

  1. 상호 이격배치되어 기판의 양측 단부영역을 회전가능하게 지지하며, 상기 기판을 이동시키는 복수의 반송롤러를 포함하며,
    상기 반송롤러는,
    롤러본체; 및
    상기 기판이 선택적으로 접촉배치될 수 있도록 상기 롤러본체의 외면에 형성되는 복수의 기판접촉부를 포함하며,
    상기 복수의 기판접촉부는 상기 롤러본체의 외면이 계단상으로 단차지게 형성됨으로써 마련되는 것을 특징으로 하는 기판 반송장치.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 기판접촉부의 각 기판접촉부는 실린더 형상을 갖는 것을 특징으로 하는 기판 반송장치.
  4. 제1항에 있어서,
    순차적으로 이동되는 상기 기판들 중 어느 하나의 기판은 상기 복수의 기판접촉부 중 어느 하나의 기판접촉부에 접촉배치되고 상기 어느 하나의 기판과 다른 재질의 기판은 상기 복수의 기판접촉부 중 다른 하나의 기판접촉부에 배치되며,
    상기 복수의 기판접촉부 중 어느 하나에 해당 재질을 갖는 기판이 접촉될 수 있도록 상기 복수의 반송롤러를 상기 기판의 폭방향을 따라 이동시키는 롤러이동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 반송장치.
  5. 제4항에 있어서,
    상기 롤러이동부에 의해 이동하는 상기 반송롤러의 이동위치를 감지하는 감지부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 반송장치.
  6. 제5항에 있어서,
    상기 감지부의 신호에 기초해서 상기 롤러이동부의 동작을 제어하는 제어부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 반송장치.
  7. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 반송롤러들 사이에 배치되어 상기 복수의 반송롤러들에 의해 반송되는 기판이 처지는 것을 저지하는 복수의 처짐방지롤러를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 반송장치.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 처짐방지롤러를 상기 기판에 접근 및 이격 가능하게 승하강 구동시키는 승하강구동부를 더 포함하는 것을 특징으로 하는 기판 반송장치.
  9. 제1항에 있어서,
    상기 복수의 기판접촉부에는 각각 오링(O-ring)이 결합되어 있는 것을 특징으로 하는 기판 반송장치.
  10. 제1항에 있어서,
    상기 기판은 하기판이 글래스 재질인 OLED 기판과 알루미늄 트레이(Tray)에 탑재된 하기판이 스테인리스 스틸(Stainless Steel) 재질인 OLED 기판으로 구분되는 것을 특징으로 하는 기판 반송장치.
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