KR100780040B1 - 유기전계 발광소자 증착장치용 트랜스퍼 실린더 지지장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 유기전계 발광소자 증착장치용 트랜스퍼 실린더 지지구조를 개시한다.

본 발명에 따른 유기전계 발광소자 증착장치용 트랜스퍼 실린더 지지장치는 메인 실린더에 의해 직진 왕복 이동하는 트레이를 구비한 이송 챔버를 사이에 두고 양 끝에 기판의 장입과 반출을 위한 장입·반출 챔버 및 그 일측에 구비되어 기판을 공급 및 반출시키는 반입출 장치가 각각 구비되고, 이들 사이에 교차 배치되는 것으로 이송 챔버상에서 증착과 봉지공정을 수행하는 진공상태의 여러 공정 챔버 및 각 공정 챔버와 대향하는 위치에 이송 챔버상의 기판을 해당 공정 챔버로 반입출시키는 트랜스퍼 챔버가 구비되는 유기전계 발광소자 증착장치에 있어서, 상기 트랜스퍼 챔버는 외체를 형성하는 케이싱과, 상기 케이싱의 상측에 수직하게 고정 설치되며 수직로드가 하방향으로 출몰되게 구비되어 승강력을 제공하는 승강 실린더와, 상기 승강 실린더에 연결되어 승강 연동되는 것으로 이송 챔버 및 공정 챔버로 기판을 이송시키는 수평로드를 구비한 트랜스퍼 실린더와, 상기 케이싱의 내부 하측에 설치되어 수평로드의 선단 저면에 선택적으로 접촉되어 수평로드의 승강 및 전후 동작시 발생하는 유동현상을 방지되게 하는 지주로드를 구비한 지주 실린더를 구비한 지주 실린더를 포함하여 구성된다.

상기와 같이 구성되는 유기전계 발광소자 증착장치용 트랜스퍼 실린더 지지장치는 트랜스퍼 실린더의 수평로드 승강 및 수평 이동 동작시 미세 떨림이나 쳐짐현상을 안정되게 방지한 상태에서 기판을 이송 가능하게 하므로 기기에 대한 신뢰성을 높일 수 있을 뿐만 아니라 기판의 흔들림이나 유동에 의한 불량률을 감소시킬 수 있는 유용한 효과를 제공한다.

유기, 트랜스퍼, 실린더, 지지, 진공

Description

유기전계 발광소자 증착장치용 트랜스퍼 실린더 지지장치{transfer chamber support structure of organic electroluminescent devices}

도 1은 종래 기술에 따른 유기전계 발광 디스플레이 소자 증착장치의 구성을 설명하기 위한 평면도,

도 2는 본 발명이 적용되는 유기전계 발광소자 제조장치의 구성을 설명하기 위한 계통 구성도,

도 3 내지 도 5는 본 발명에 따른 유기전계 발광소자 증착장치용 트랜스퍼 실린더 지지장치의 동작상태를 설명하기 위한 단면도.

도 6은 도 3의 "A-A"선을 나타낸 단면도,

도 7은 본 발명에 따른 트랜스퍼 실린더 지지장치에서 지주 실린더의 동작 상태를 설명하기 위한 개념도.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

1 : 증착장치 2 : 이송 챔버

3 : 장입챔버 4 : 반출챔버

5 : 공정 챔버 10 : 공정 챔버

20 : 이송 챔버 30 : 트랜스퍼챔버

31 : 케이싱 32 : 승강 실린더

33 : 트랜스퍼 실린더 34 : 지주 실린더

35 : 링가이드 36 : 가이드 포스트

37 : 슬라이드 레일

본 발명은 인라인 크로스 타입의 유기전계 발광소자 증착장치용 트랜스퍼 실린더 지지장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 트랜스퍼 챔버내에 구비되는 트랜스퍼 실린더의 승강 및 전후진 동작을 안정되게 실시되게 하여 동작의 높은 신뢰성을 보장하는 유기전계 발광소자 증착장치용 트랜스퍼 실린더 지지장치에 관한 것이다.

최근, 음극선관(Cathode Ray Tube)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 각종 평판 디스플레이 장치들이 개발되고 있으며, 이러한 평판 디스플레이 장치로는 액정 표시장치(Liquid Crystal Display : LCD)와, 전계 방출 표시장치(Field Emission Display : FED)와, 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel : PDP) 및 일렉트로 일루미네센스(Electro-luminescence : EL) 표시소자 등이 있다.

여기서, 상기 PDP는 구조와 제조공정이 비교적 단순하기 때문에 대화면화에 가장 유리하지만 발광효율과 휘도가 낮고 소비전력이 큰 단점이 있으며, 상기 LCD는 반도체공정을 이용하기 때문에 대화면화에 어려움이 있지만 노트북 컴퓨터의 표시소자로 주로 이용되면서 수요가 늘고 있지만, 대화면화가 어렵고 백라이트 유닛 으로 인하여 소비전력이 큰 단점과 더불어 LCD는 편광필터, 프리즘시트, 확산판 등의 광학소자들에 의해 광손실이 많고 시야각이 좁은 문제점이 있었다. 이에 비하여, EL 표시소자는 유기 EL과 무기 EL로 대별되며, 응답속도가 빠르고 발광효율, 휘도 및 시야각이 큰 장점이 있다. 이때, 유기 EL인 유기전계 발광 디스플레이 소자는 대략 10[V] 정도의 전압으로 수만 [cd/㎡]의 높은 휘도로 화상을 표시할 수 있다.

일반적으로 유기전계 발광 디스플레이 소자는 전자 주입전극(음극)과 정공 주입 전극(양극) 사이에 형성된 유기막에 전하를 주입하면 전자와 정공이 쌍을 이룬 후 소멸하면서 빛을 내는 소자로서 낮은 전압에서 구동이 가능하고, 또한 전력이 소모가 비교적 적은 것을 특징으로 하는 소자이다.

즉, 유기전계 발광 디스플레이 소자는 유기재료의 적층 박막에 직류전압을 인가하면, 전기에너지가 빛에너지로 변화하여 발광하는 현상을 이용한 평판디스플레이이다.

최근까지 제품화되어 있는 유기EL디스플레이는 저 분자계의 분체 유기발광 재료가 사용되고 있고, 이 저분자 유기발광재료는 수분이나 고에너지 입자에 약하기 때문에 유기발광층이나 음극금속전극의 박막형성은 섀도우 마스크(Shadow Mask)를 사용한 진공 증착에 의하여 패턴을 형성하고 있다.

이러한 유기 EL(electroluminesecence)디스플레이 소자의 제작 과정을 살펴보면 다음과 같다.

먼저, 절연성 및 투명성을 갖는 글라스 기판 상부면에 ITO(indium Tin Oxide)로 이루어진 투명도전막이 형성되는 양극을 형성한다. 그리고, 상기 양극 상부면에 정공 주입층을 형성하고, 상기 정공 주입층 상부면에 정공수송층을 증착한다. 그리고 정공 수송층 상부면에 윳기 발광층을 형성한다. 이때 필요에 따라 상기 유기 발광층에 일종의 불순물인 도펀트(dopant)를 첨가한다. 이어 전자 주입층 상부면에 금속 화합물층 알칼리 금속 또는 알카리토 금속을 얇게 증착하여 전자의 주입을 좋게 한다. 그리고 마지막으로 상기금속층 위에 금속을 이용하여 음극을 형성한다.

이때, 유기 발광층은 일반적으로 파이 전자를 갖고 있기 때문에 물분자와 상호작용을 하게 된다. 따라서 공기중의 수분, 또는 이미 기판 등에 부착된 수분은 소자를 구동하지 않고 단순히 보관만 할 경우에도 서서히 전극 및 유기박막을 공격하여 흑점을 만들게 된다.

이와 같이 유기전계 발광 디스플레이 소자의 최대 과제는 내구성의 개선에 있으며, 그 중 상기 흑점이라 불리는 비 발광부의 발생과 그 성장의 방지가 가장 큰 과제로 되어 있다.

따라서, 유기전계 발광 디스플레이 소자를 양산하기 위해서는 재료에 어떠한 영향이 없도록 정제 처리하는 것이 매우 중요하며, 이를 위하여 유기전계 발광 디스플레이 소자는 챔버내에 밀봉한 후 진공 상태에서 각 물질을 성막함으로써 공기와 최대한 차단하도록 하고 있다.

이러한 이유로 한번 로딩된 ITO기판은 증착공정은 모두 진공에서 진행되어지고 봉지공정을 진행하는 동안에도 수분, 산소가 배제된 불활성 가스 분위기내에서 가공되어 진다. 이를 위해 현재는 하나의 이송 챔버를 중심으로 프로세서 챔버가 부착되어 있는 인공위성형의 장비가 주를 이루고 있다.

도 1은 종래 기술에 따른 유기전계 발광 디스플레이소자 증착장치의 일례를 보여주는 평면 계통도이다.

이에 나타내 보인 바와 같이 기판 보관실(100)에 보관되어 있던 유리기판을 중앙에 위치한 반송실(200)로부터 진공 반송로봇(300)에 의하여 인출하여 전처리실(400)로 급송하고, 전처리실(400)에서는 진공 증착을 수행하기전에 전처리를 수행한 다음, 다시 반송실(200)의 반송로봇(300)에 의하여 이를 인출하여 여러 증착실(500,600,700,800)로 분배 급송하고, 이들 각각의 증착실(500,600,700,800)에서는 유리기판상에 여러 적층박막을 성형하고자 진공 증착 과정을 수행하고 진공 증착 과정이 완료되면 반송실(200)의 반송로봇(300)에 의하여 다음공정을 수행하기 위하여 급송실(900)로 공급하게 된다.

또한, 이러한 종래의 증착방식은 여러 증착실(500,600,700,800)내부에서 유리기판상에 진공 증착하는 경우, 이들 증착실(500,600,700,800)은 섀도우 마스크를 장착한 유리기판을 단일의 스테이지에 투입 고정하고 여러 단계에 걸쳐 순차적으로 진공 증착 과정을 거치게 되는데, 이와 같이 진공 증착이 이루어지는 과정은 독립적이면서 단일 스테이지 형태인 증착실(5,6,7,8) 각각의 내부에서 진공 증착이 이루어지고 있다.

그러나, 상술한 바와같은 종래 기술에 따른 유기전계 발광 디스플레이소자 증착장치는 다음과 같은 문제점이 있었다.

첫째, 이송 챔버간의 연결시 불필요한 부가 챔버를 설치하거나 이송 챔버에 공정 챔버를 부착하는 것이 불가능한 면이 발생하며, 이로 인하여 설비 비용의 상승과 생산 속도가 저하되는 문제점이 있었다.

둘째 공정의 변화 및 생산량 증대를 위한 챔버의 추가가 사실상 불가능한 단점이 있으며, 이는 하나의 이송 챔버에 여러 공정 챔버를 부착할 경우 이송 챔버가 과도하게 커지고, 이송 로봇의 아암이 길어져야 하는 문제가 있으며, 이송 챔버를 추가할 경우 각각의 이송 챔버에 이송 로봇이 소요되어 비용이 상승되는 폐단이 있었다.

셋째 각 공정 챔버가 이송 챔버와 가까이 붙어 있으므로 생산시 공정의 모니터링이 용이치 못하며, 유지 보수시 많은 시간이 소용되고 이송 챔버에 이상 발생시 작업이 용이치 않은 문제점이 있었다.

상기의 문제점을 개선하기 위하여 인라인 크로스 타입이 제안된 바 있으며, 이러한 인라인 크로스 타입의 유기전계 발광소자 증착장치는 일직선상으로 배치되는 길이재의 이송 챔버를 사이에 두고 양측으로 증착 및 봉지 공정을 수행하는 공정 챔버와, 이들 공정 챔버의 대향하는 위치에 구비되어 이송 챔버상의 소자를 해당 챔버로 장입 또는 반입시키는 트랜스퍼 챔버가 배치되는 구조이다.

여기서, 상기 공정단계에서 이송 챔버를 통해 이송되는 소자를 각 공정 챔버로 장입 또는 반출시키는 과정은 트랜스퍼 챔버에 구비되는 트랜스퍼 실린더에 의해 실시되는 바, 이때의 트랜스퍼 실린더는 로드를 출몰시켜 소자인 글라스 기판을 해당 공정 챔버로 장입 및 반출시키게 된다.

이와 같은 트랜스퍼 챔버는 글라스 기판을 유동없이 안정되게 이동시켜야 하므로 높은 신뢰성과 안정성을 확보할 수 있는 지지장치의 개발이 시급한 실정이다.

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 본 발명은 이송 챔버상에 놓인 소자를 해당 챔버로 장입 및 반출시키는 트랜스퍼 실린더의 안정된 동작을 보장할 수 있도록 지지하여 기기의 신뢰성을 높일 수 있는 유기전계 발광소자 증착장치용 트랜스퍼 실린더 지지장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

상기의 목적을 실현하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계 발광소자 증착장치용 트랜스퍼 실린더 지지장치는, 메인 실린더에 의해 직진 왕복 이동하는 트레이를 구비한 이송 챔버를 사이에 두고 양 끝에 기판의 장입과 반출을 위한 장입·반출 챔버 및 그 일측에 구비되어 기판을 공급 및 반출시키는 반입출 장치가 각각 구비되고, 이들 사이에 교차 배치되는 것으로 이송 챔버상에서 증착과 봉지공정을 수행하는 진공상태의 여러 공정 챔버 및 각 공정 챔버와 대향하는 위치에 이송 챔버상의 기판을 해당 공정 챔버로 반입출시키는 트랜스퍼 챔버가 구비되는 유기전계 발광소자 증착장치에 있어서,

상기 트랜스퍼 챔버는 외체를 형성하는 케이싱과; 상기 케이싱의 상측에 수직하게 고정 설치되며 수직로드가 하방향으로 출몰되게 구비되어 승강력을 제공하는 승강 실린더와; 상기 승강 실린더에 연결되어 승강 연동되는 것으로 이송 챔버 및 공정 챔버로 기판을 이송시키는 수평로드를 구비한 트랜스퍼 실린더와; 상기 케 이싱의 내부 하측에 설치되어 수평로드의 선단 저면에 선택적으로 접촉되어 수평로드의 승강 및 전후 동작시 발생하는 유동현상을 방지되게 하는 지주로드를 구비한 지주 실린더를 포함하여 구성되는 것을 그 특징으로 한다.

본 발명의 바람직한 한 특징으로서, 상기 트랜스퍼 챔버는, 상기 트랜스퍼 실린더의 수평로드가 통과되면서 축지지되는 것으로 일측이 케이싱에 고정되고 타측은 수평로드측으로 연장되어 관통구멍이 형성되는 링가이드를 더 포함하여 구성되는 것에 있다.

본 발명의 바람직한 다른 특징으로서, 상기 케이싱은 상기 승강 실린더의 수직로드의 일측으로 평행하게 배치되는 길이재의 가이드 포스트가 일체로 연결 구비되고, 상기 트랜스퍼 실린더는 일측 외면에 수직하게 형성되어 상기 가이드 포스트가 끼움되어 수직방향으로의 유동만을 가능하게 하는 슬라이드 레일이 일체로 형성되는 것에 있다.

본 발명의 특징 및 이점들은 첨부도면에 의거한 다음의 상세한 설명으로 더욱 명백해질 것이다. 이에 앞서 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 유기전계 발광소자 증착장치 용 트랜스퍼 실린더 지지장치의 바람직한 일 실시예를 설명하면 다음과 같다.

도 2는 본 발명이 적용되는 유기전계 발광소자 제조장치의 구성을 설명하기 위한 계통 구성도이다.

그리고, 도 3은 본 발명에 따른 트랜스퍼 실린더 지지장치를 나타낸 단면도이고, 도 4는 트랜스퍼 실린더의 상승 상태를 나타낸 단면도이며, 도 6는 트랜스퍼 실린더의 로드가 전진하여 소자를 해당 챔버에 장입 또는 반출하기 위한 상태를 나타낸 단면도이다.

끝으로 도 6은 도 3의 "A-A"선을 나타낸 단면도이고, 도 7은 본 발명에 따른 트랜스퍼 실린더 지지장치에서 지주 실린더의 동작 상태를 설명하기 위한 개념도이다.

먼저, 도 2에 나타내 보인 바와 같이, 본 발명의 이송 챔버 확장구조는 인라인 크로스 타입의 유기전계 발광소자 제조장치(1)에 실시된다.

즉, 도면에서 보는 바와 같이 본 발명이 적용 실시되는 유기전계 발광 디스플레이소자 제조장치는 크게 글라스 기판에 대해 증착을 실시하는 증착파트와 증착기판을 글라스캔에 흡습제와 함께 합착시키는 봉지파트로 대별된다.

증착파트는 글라스 기판에 대한 증착공정시 장시간에 걸쳐 신속한 연속증착을 가능하게 하면서 장비 업그레이드의 용이성을 확보하기 위한 것으로서, 글라스 기판을 이송하는 증착 이송 챔버(2)를 소정의 길이를 갖는 일자형의 구조로 마련하고, 이 증착 이송 챔버(2)의 양 끝에 기판의 장입과 반출을 위한 증착 장입챔버(3) 와 증착 반출 챔버(4)를 구비시키고, 상기 증착 이송 챔버(2)의 양측으로 다수의 챔버로 구성되는 증착 공정 챔버(5)를 교차 배치한 구성이다.

여기서, 상기 각각의 챔버들은 공지의 진공펌프와 같은 진공수단에 의해 진공상태가 유지되며, 다만 기판을 장입 및 반출하는 증착 장입챔버(3) 및 증착 반출 챔버(4)는 선택적으로 진공상태가 유지되는 구성이다.

한편, 봉지파트는 상기 증착파트의 반출 챔버(4)와 글로브 박스(6)로 연결되어 로봇(r)에 의해 증착기판을 제공받는다.

이러한 봉지파트는 증착파트와 마찬가지로 증착기판에 대한 봉지공정시 장시간에 걸쳐 신속한 연속증착을 가능하게 하면서 장비 업그레이드의 용이성을 확보하기 위한 것으로서, 글라스 캔을 이송하는 봉지 이송 챔버(2')를 소정의 길이를 갖는 일자형의 구조로 마련하고, 이 봉지 이송 챔버(2')의 양 끝에 글라스 캔의 장입과 발광기판의 반출을 위한 봉지 장입챔버(3')와 봉지 반출 챔버(4')를 구비시키고, 상기 봉지 이송 챔버(2')의 양측으로 다수의 챔버로 구성되는 봉지 공정 챔버(5')를 교차 배치한 구성이다. 이때, 상기 봉지 공정 챔버(5') 상에는 증착파트로부터 증착기판을 제공받아 봉지 이송 챔버(2')로 제공하기 위한 봉지 기판 장입챔버(7)가 부가 구성된다.

여기서, 상기 증착파트와 봉지파트를 구성하는 각각의 챔버들은 공지의 진공펌프와 같은 진공수단에 의해 진공상태가 유지되는 구성이고, 이러한 각각의 챔버들의 진공을 위한 구조는 공지된 기술에 의해 실시되어도 무방하므로 상세한 설명은 생략한다.

이와 같이 구성되는 유기전계 발광소자 제조장치(1)의 특징은 진공 상태에서 글라스 기판 및 글라스 캔이 이송되는 트레이(2a,2a')를 구비한 일직선상으로 배치되는 증착 이송 챔버(2) 및 봉지 이송 챔버(2')와, 증착 및 봉지 공정이 진행되는 각각의 챔버들을 상기 일자형의 증착 이송 챔버(2) 및 봉지 이송 챔버(2')를 중심으로 좌,우측에 교차 배치하고 각각의 챔버(5,5')에 대향하는 위치 즉, 각 이송 챔버(2,2')를 사이에 두고 대향하는 위치에 상기 이송 챔버(2,2')상의 소재(유기전계 디스플레이 소자)를 각 챔버로 진입시키기 위한 실린더를 구비한 트랜스퍼 챔버(t)가 배치되는 것에 의해 이송 및 반송경로를 단순화하고 이송로봇 대신 트레이(2a,2a')와 메인 실린더(2b,2b')를 이용하여 글라스 기판 및 글라스캔, 증착기판의 신속한 이송 및 반송을 구현하는 것에 있다.

한편, 본 발명은 상술한 인라인 크로스 타입의 유기전계 발광소자 증착장치에 적용 실시되는 것으로서, 도 2 내지 도 7에서 보는 바와 같이 일직선상으로 구비되는 이송 챔버(20)를 사이에 두고 기판에 대해 증착 또는 봉지 공정을 수행하는 공정 챔버(10)가 배치되고, 이 공정 챔버(10)의 대향하는 위치에 트랜스퍼 챔버(30)가 배치되는 구조이다.

상기 트랜스퍼챔버(30)는 크게 케이싱(31)과 승강 실린더(32) 그리고 트랜스퍼 실린더(33) 및 지주 실린더(34)과 링가이드(35)로 구성된다.

먼저, 상기 케이싱(31)은 소정의 길이를 갖는 관형상의 부재가 다수 결합하여 형성된 골조로서, 그 내부와 외부에 각종 구성품이 장착되는 구조이며, 도면에 서 보는 바와 같이 그 일측은 이송 챔버(20)가 놓여지는 테이블(t)에 연결되는 구조이다.

이러한 케이싱(31)의 상측에는 수직로드(32a)가 하방향으로 배치되어 승강되는 형태로 구비되는 승강 실린더(32)가 고정 장착되며, 이때의 승강 실린더(32)는 후술할 트랜스퍼 실린더(33)을 승강시키는 승강력을 제공하는 것이다.

상기 승강 실린더(32)에 의해 선택적으로 승강되는 상기 트랜스퍼 실린더(33)은 도면에서 보는 바와 같이 수평 방향으로 배치되며 작동체인 링크(33b)는 수직방향으로 배치된 상태에서 좌·우 방향으로 이동하게 된다. 여기서, 상기 링크(33b)의 끝단에는 트랜스퍼 실린더(33)과 평행하게 배치되는 수평로드(33a)의 일측이 연결되는 구조이며, 상기 링크(33b)가 좌·우 방향으로 이동되는 경우 이에 연동하여 수평로드(33a)의 선단부가 이송 챔버(20)에서 공정 챔버(10)로 진입하거나, 또는 상기 공정 챔버(10)에서 이송 챔버(20)로 반출되는 동작을 수행하게 된다.

한편, 상기 케이싱(31)에는 상기 승강 실린더의 수직로드(32a) 일측으로 평행하게 배치되는 길이재의 가이드 포스트(36)가 일체로 연결 구비되는 구조이고, 상기 트랜스퍼 실린더(33)은 일측 외면에 수직하게 슬라이드 레일(37)이 일체로 형성되는 구조이다. 즉, 첨부된 도면 도 6에서 보는 바와 같이 상기 가이드 포스트(36)와 슬라이드 레일(37)은 상호 끼워 맞춤되는 형태로 즉, 상기 가이드 포스트(36)와 슬라이드 레일(37)은 수직방향으로의 이동만을 가능하게 구비된다. 이러한 가이드 포스트(36)와 슬라이드 레일(37)은 승강체인 승강 실린더(32)가 승강동작시 안정된 자세유지가 가능하게 하기 위한 것으로서, 일정한 간격을 두고 적어도 두 개소 이상에 설치되는 것이 바람직하다.

상기와 같이 구성되는 상기 트랜스퍼 실린더(33)는 상기 수평로드(33a)는 승강 실린더(32)에 의해 승강되면서 동시에 수평방향으로 이동되는 것에 의해 떨림 현상이 발생하게 되며, 이러한 떨림 현상은 결과적으로 기판에 영향을 주어 위치 틀어짐 및 손상을 유발하게 되는데, 이러한 수평로드(33a)의 유동현상은 상술한 케이싱(31)의 내부 하측에 설치되는 지주 실린더(34)에 의해 보상된다.

상기 지주 실린더(34)는 트랜스퍼 실린더(33)을 기준으로 교차되는 방향 즉, 수직하게 배치되며, 상기 수평로드(33a)의 일측 저면에 대해 접촉되어 선택적으로 연동하여 승강되는 지주로드(34a)를 구비하는 구조이다. 즉, 상기 지주 실린더(34)은 지주로드(34a)의 상단면이 상술한 수평로드(33a)의 일측 저면에 선택적으로 접촉되는 것에 의해 수평로드(33a)의 승강 및 수평 이동 동작시 발생하는 미세떨림 현상을 방지하게 된다.

한편, 본 발명에서는 길이재의 수평로드(33a)가 쳐지는 현상을 방지되게 하기 위하여 적어도 한 개소 이상에 링가이드(35)를 구비하는 구조이며, 이때의 상기 링가이드(35)는 상술한 트랜스퍼 실린더(33)의 수평로드(33a)의 일단이 통과되면서 축지지될 수 있도록 구비된다. 즉, 상기 링가이드(35)는 하부 일측이 케이싱(31)에 고정 설치되고 타측은 수평로드(33a)측으로 연장되고 연장단부에 수평로드(33a)가 통과되는 관통구멍(미도시)이 형성되는 형태로 구비되며, 상기 관통구멍에는 도시하지는 않았으나 수평로드(33a)와의 마찰저감을 위해 베어링이 삽입될 수 있을 것이다.

상기와 같이 구성되는 유기전계 발광소자 증착장치용 트랜스퍼 실린더 지지장치의 동작과정을 살펴보면 다음과 같다.

먼저, 도 3을 참조하면 트랜스퍼 실린더(33)은 전체적으로 하강되면서, 상기 트랜스퍼 실린더(33)의 수평로드(33a)의 선단은 이송 챔버(20) 상에 위치된 상태에서, 상기 지주 실린더(34)의 하강된 지주로드(34a)의 상면에 접촉되어 지지된다. 또한 상기 수평로드(33a)의 일단은 링가이드(35)의 일단을 관통하는 것에 의해 축지지된다.

이와 같은 상태에서 도 4에서 보는 바와 같이 이송 챔버(20)상에 기판이 이동되면 상기 트랜스퍼 실린더(33)은 승강 실린더(32)의 상승 동작에 의해 전체적으로 상향 이동함에 따라 수평로드(33a)의 선단부가 기판의 저면에 접촉되면서 기판을 들어올리게 된다. 이때, 상기 수평로드(33a)의 미세 떨림을 방지하기 위하여 지주 실린더(34)의 지주로드(34a)가 일정 구간까지 일체로 상승하여 유동을 감소시킨다. 즉, 상기 트랜스퍼 실린더(33)이 완전하게 상승하는 위치에서는 지주 실린더(34)의 지주로드(34a)가 수평로드(33a)에 접촉되지 않게 된다.

이어서, 도 5에서 보는 바와 같이 수평로드(33a)의 선단은 기판을 들어올린 상태에서 이송 챔버(20)에서 공정 챔버(10)측으로 수평 이동하게 된다. 이때 상기 수평로드(33a)는 하나 이상의 링가이드(35)에 의해 쳐짐 현상이 방지된다.

이와 같은 상태에서 도시하지는 않았으나 상기 트랜스퍼 실린더(33)은 승강 실린더(32)의 하강동작에 연동하여 하강하여 수평로드(33a)에 올려진 기판을 공정 챔버(10)의 트레이(미도시)에 안착시키게 된다. 이때, 상기 수평로드(33a)의 하강시 일정구간까지 상승했던 지주 실린더(34)의 지주로드(34a)가 수평로드(33a)의 저면에 접촉된 상태에서 동시에 하강하여 상기 수평로드(33a)가 유동없이 안정되게 하강될 수 있게 한다. 하강이 완료된 수평로드(33a)는 상기 공정 챔버(10)에서 진입된 기판에 대한 공정을 실시할 수 있도록 이송 챔버(20)측으로 후퇴하여 동작을 완료한다.

한편, 본 발명은 기재된 실시예에 한정하는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형을 할 수 있음은 이 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게는 자명하다. 따라서, 그러한 변형예 또는 수정 예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 해야 할 것이다.

상기와 같이 구성되고 작용되는 유기전계 발광소자 증착장치용 트랜스퍼 실린더 지지장치는 트랜스퍼 실린더의 수평로드 승강 및 수평 이동 동작시 미세 떨림이나 쳐짐현상을 안정되게 방지한 상태에서 기판을 이송 가능하게 하므로 기기에 대한 신뢰성을 높일 수 있을 뿐만 아니라 기판의 흔들림이나 유동에 의한 불량률을 감소시킬 수 있는 유용한 효과를 제공한다.

Claims (3)

1. 메인 실린더에 의해 직진 왕복 이동하는 트레이를 구비한 이송 챔버를 사이에 두고 양 끝에 기판의 장입과 반출을 위한 장입·반출 챔버와, 이들 사이에 교차 배치되는 것으로 이송 챔버상에서 증착과 봉지공정을 수행하는 진공상태의 여러 공정 챔버 그리고 상기 각 공정 챔버와 대향하는 위치에 상기 이송 챔버상의 기판을 해당 공정 챔버로 반입출시키는 트랜스퍼 챔버를 포함하는 유기전계 발광소자 증착장치에 있어서,

   상기 트랜스퍼 챔버는 외체를 형성하는 케이싱과;

   상기 케이싱의 상측에 수직하게 고정 설치되며 수직로드가 하방향으로 출몰되게 구비되어 승강력을 제공하는 승강 실린더와;

   상기 승강 실린더에 연결되어 승강 연동되는 것으로 이송 챔버 및 공정 챔버로 기판을 이송시키는 수평로드를 구비한 트랜스퍼 실린더와;

   상기 케이싱의 내부 하측에 설치되어 수평로드의 선단 저면에 선택적으로 접촉되어 수평로드의 승강 및 전후 동작시 발생하는 유동현상을 방지되게 하는 지주로드를 구비한 지주 실린더;

   를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 유기전계 발광소자 증착장치용 트랜스퍼 실린더 지지장치.
2. 제 1항에 있어서, 상기 트랜스퍼 챔버는,

   상기 트랜스퍼 실린더의 수평로드가 통과되면서 축지지되는 것으로 일측이 케이싱에 고정되고 타측은 수평로드측으로 연장되어 관통구멍이 형성되는 링가이드를 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 유기전계 발광소자 증착장치용 트랜스퍼 실린더 지지장치.
3. 제 1항에 있어서, 상기 케이싱은,

   상기 승강 실린더의 수직로드 일측으로 평행하게 배치되는 길이재의 가이드 포스트가 일체로 연결 구비되고, 상기 트랜스퍼 실린더는 일측 외면에 수직하게 형성되어 상기 가이드 포스트가 끼움되어 수직방향으로의 유동만을 가능하게 하는 슬라이드 레일이 일체로 형성되는 것을 특징으로 하는 유기전계 발광소자 증착장치용 트랜스퍼 실린더 지지장치.

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