KR100780041B1 - 유기전계 발광소자 챔버 게이트 개폐장치 - Google Patents

유기전계 발광소자 챔버 게이트 개폐장치 Download PDF

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Abstract

본 발명은 챔버 게이트 개폐장치를 개시한다.
본 발명에 따른 챔버 게이트 개폐장치는, 메인 실린더에 의해 직진 왕복 이동하는 트레이를 구비한 이송챔버를 사이에 두고 증착과 봉지공정을 수행하는 진공 상태의 여러 진공챔버가 교차 배치되고, 각 진공챔버는 이송챔버의 트레이로부터 기판의 장입 및 반출을 위한 장방형의 게이트가 형성되는 유기전계 발광소자 제조 시스템에 있어서, 상기 진공챔버의 상측에 설치되어 선택적으로 로드를 하강 출몰하는 승강 실린더와, 상기 진공챔버의 게이트 전면측에 밀착 구비되고 케이싱에 의해 외면이 커버되며 상기 게이트와 이송챔버를 연결하는 이송통로가 수평 방향으로 관통 형성되고 그 내부에는 이송통로와 교차되는 지점에 역직삼각 형상의 개폐채널이 형성되고 이 개폐채널의 상부에는 사각형상의 대기채널이 형성되는 본체와, 상기 진공챔버의 상측에 설치되어 선택적으로 로드를 하강 출몰하는 승강 실린더 및 상기 로드의 하단에 상단이 연결되어 일체로 승강되며 선택적으로 대기채널상에서 개폐채널로 하강하여 끼움되는 것에 의해 이송통로를 차단하는 개폐부재를 포함하여 구성된다.
상기와 같이 구성되는 본 발명의 유기전계 발광소자 챔버 게이트 개폐장치는, 개폐부재의 승강 동작에 의해 게이트의 개폐가 실시되므로 신속한 개폐가 가능하며, 특히 역삼각형 구조의 개폐채널과 개폐부재가 끼움되는 구조에 의해 이송통로를 차단하므로 우수한 기밀성을 확보할 수 있는 유용한 효과를 제공한다.
유기, 챔버, 게이트, 개폐, 승강

Description

유기전계 발광소자 챔버 게이트 개폐장치{Opening and closing apparatus of chamber for organic electroluminescent devices}
도 1은 본 발명이 적용되는 유기전계 발광소자 제조치의 구성을 설명하기 위한 계통 구성도,
도 2는 본 발명에 따른 유기전계 발광소자 챔버 게이트 개폐장치을 나타낸 정면도,
도 3은 본 발명에 따른 유기전계 발광소자 챔버 게이트 개폐장치에서 게이트 오픈 상태를 나타낸 요부 단면도,
도 4는 도 3의 "A-A"선을 나타낸 단면도,
도 5는 본 발명에 따른 유기전계 발광소자 챔버 게이트 개폐장치에서 게이트 닫힘 상태를 나타낸 요부 단면도,
도 6은 도 5의 "B-B"선을 나타낸 단면도.
<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>
1 : 챔버 게이트 개폐장치 제조 시스템
2, 2' : 이송챔버 3, 3' : 장입챔버
4, 4' : 반출챔버 5, 5' : 공정챔버
6 : 글로브 박스 7 : 봉지 기판 장입챔버
10 : 진공챔버 20 : 승강 실린더
21 : 로드 30 : 본체
31 : 대기채널 32 : 개폐채널
35 : 이송통로 36 : 케이싱
40 : 개폐부재
본 발명은 유기전계 발광소자 챔버 게이트 개폐장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 인라인 크로스 타입의 유기전계 발광소자 제조 시스템에서의 각 챔버 게이트의 개폐 동작의 신뢰성을 개선시킬 수 있는 유기전계 발광소자 챔버 게이트 개폐장치에 관한 것이다.
최근, 음극선관(Cathode Ray Tube)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 각종 평판 디스플레이 장치들이 개발되고 있으며, 이러한 평판 디스플레이 장치로는 액정 표시장치(Liquid Crystal Display : LCD)와, 전계 방출 표시장치(Field Emission Display : FED)와, 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel : PDP) 및 일렉트로 일루미네센스(Electro-luminescence : EL) 표시소자 등이 있다.
여기서, 상기 PDP는 구조와 제조공정이 비교적 단순하기 때문에 대화면화에 가장 유리하지만 발광효율과 휘도가 낮고 소비전력이 큰 단점이 있으며, 상기 LCD는 반도체공정을 이용하기 때문에 대화면화에 어려움이 있지만 노트북 컴퓨터의 표 시소자로 주로 이용되면서 수요가 늘고 있지만, 대화면화가 어렵고 백라이트 유닛으로 인하여 소비전력이 큰 단점과 더불어 LCD는 편광필터, 프리즘시트, 확산판 등의 광학소자들에 의해 광손실이 많고 시야각이 좁은 문제점이 있었다. 이에 비하여, EL 표시소자는 유기 EL과 무기 EL로 대별되며, 응답속도가 빠르고 발광효율, 휘도 및 시야각이 큰 장점이 있다. 이때, 유기 EL인 유기전계 발광 디스플레이 소자는 대략 10[V] 정도의 전압으로 수만 [cd/㎡]의 높은 휘도로 화상을 표시할 수 있다.
일반적으로 유기전계 발광 디스플레이 소자는 전자 주입전극(음극)과 정공 주입 전극(양극) 사이에 형성된 유기막에 전하를 주입하면 전자와 정공이 쌍을 이룬 후 소멸하면서 빛을 내는 소자로서 낮은 전압에서 구동이 가능하고, 또한 전력이 소모가 비교적 적은 것을 특징으로 하는 소자이다.
즉, 유기전계 발광 디스플레이 소자는 유기재료의 적층 박막에 직류전압을 인가하면, 전기에너지가 빛에너지로 변화하여 발광하는 현상을 이용한 평판디스플레이이다.
최근까지 제품화되어 있는 유기EL디스플레이는 저 분자계의 분체 유기발광 재료가 사용되고 있고, 이 저분자 유기발광재료는 수분이나 고에너지 입자에 약하기 때문에 유기발광층이나 음극금속전극의 박막형성은 섀도우 마스크(Shadow Mask)를 사용한 진공 증착에 의하여 패턴을 형성하고 있다.
이러한 유기 EL(electroluminesecence)디스플레이 소자의 제작 과정을 살펴보면 다음과 같다.
먼저, 절연성 및 투명성을 갖는 유리기판 상부면에 ITO(indium Tin Oxide)로 이루어진 투명도전막이 형성되는 양극을 형성한다. 그리고, 상기 양극 상부면에 정공 주입층을 형성하고, 상기 정공 주입층 상부면에 정공수송층을 증착한다. 그리고 정공 수송층 상부면에 윳기 발광층을 형성한다. 이때 필요에 따라 상기 유기 발광층에 일종의 불순물인 도펀트(dopant)를 첨가한다. 이어 전자 주입층 상부면에 금속 화합물층 알칼리 금속 또는 알카리토 금속을 얇게 증착하여 전자의 주입을 좋게 한다. 그리고 마지막으로 상기금속층 위에 금속을 이용하여 음극을 형성한다.
이때, 유기 발광층은 일반적으로 파이 전자를 갖고 있기 때문에 물분자와 상호작용을 하게 된다. 따라서 공기중의 수분, 또는 이미 기판 등에 부착된 수분은 소자를 구동하지 않고 단순히 보관만 할 경우에도 서서히 전극 및 유기박막을 공격하여 흑점을 만들게 된다.
이와 같이 유기전계 발광 디스플레이 소자의 최대 과제는 내구성의 개선에 있으며, 그 중 상기 흑점이라 불리는 비 발광부의 발생과 그 성장의 방지가 가장 큰 과제로 되어 있다.
특히, 수분은 극히 미량이라도 큰 영향을 미친다는 것이 알려져 있다. 따라서, 유기 EL 디스플레이 소자를 양산하기 위해서는 재료에 수분이 없도록 정제 처리하는 것이 매우 중요하며, 이를 위하여 유기전계 발광 디스플레이 소자는 챔버내에 밀봉한 후 진공 상태에서 각 물질을 성막함으로써 공기중의 수분을 최대한 차단하도록 하고 있다.
또한, 상기 유기전계 발광 디스플레이 소자를 증착하는 방법은 챔버내에 유 기 물질이 장입된 소스를 로딩하고, 펌핑을 통해 진공 배기후, 소스에 열의 가하여 증착 물질을 증발시켜 기판에 증착한다. 이러한 이유로 한번 로딩된 ITO기판은 증착공정은 모두 진공에서 진행되어지고 봉지공정을 진행하는 동안에도 수분, 산소가 배제된 불활성 가스 분위기내에서 가공되어 진다. 이를 위해 현재는 하나의 이송챔버를 중심으로 프로세서 챔버가 부착되어 있는 인공위성형의 장비가 주를 이루고 있다.
종래 기술에 따른 유기전계 발광소자의 증착장치의 구성을 살펴보면 섀도우 마스크를 장착한 글라스 기판을 여러 단계에 걸쳐 순차적으로 진공 증착 과정을 거쳐 증착기판을 완성한다. 이와 같은 공정을 통해 제조되는 증착기판은 발광층의 재료인 형광성 유기 고체가 수분 및 산소 등에 취약하며, 특히 발광층 상에 직접 또는 홀주입층/전자주입층을 통해 형성된 전극의 특성들은 산화로 인해 열화되는 경향이 있다. 그 결과, 종래의 유기전계 발광소자가 대기 중에서 구동되면, 그 발광 특성들은 급격이 열화된다. 따라서, 실제로 현장에서 사용될 수 있는 유기전계 발광소자를 얻기 위해서는, 발광층에 수분이나 산소 등이 들어가지 못하도록 유기전계 발광소자를 봉지(encapsulation)하여 수명을 연장시킬 필요가 있다.
여기서, 종래에 통상적으로 적용되는 봉지 구조로는, 수지 등을 유기전계 발광소자에 직접 도포하는 구조 또는 기체 또는 액체가 봉지 공간에 충진된 구조가 이용되고 있으며, 이중 충진 구조 형태의 유기전계 발광소자의 봉지 방법에서는 봉지재로 스테인레스 강(stainless steel) 또는 글라스 캔(Glass Can)을 사용하였다.
이와 같이 구성되는 유기전계 발광소자 제조 시스템에서 각 공정을 수행하는 챔버는 모재인 글라스 기판 이나 글라스 캔 등이 신속하게 장입 및 반출될 수 있게 하기 위하여 게이트가 구비되며, 이러한 게이트는 챔버가 안정된 진공상태를 유지할 수 있도록 하면서 신속한 개폐 동작이 요구된다.
본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 본 발명은 진공상태의 챔버의 일측에 설치되는 게이트의 개폐 동작시 신뢰성을 보장하면서 신속하게 모재의 장입 및 반출이 실시될 수 있게 하는 유기전계 발광소자 챔버 게이트 개폐장치를 제공하는데 그 목적이 있다.
상기의 목적을 실현하기 위한 본 발명의 일 실시 예에 따른 유기전계 발광소자 챔버 게이트 개폐장치는, 메인 실린더에 의해 직진 왕복 이동하는 트레이를 구비한 이송챔버를 사이에 두고 증착과 봉지공정을 수행하는 진공 상태의 여러 진공챔버가 교차 배치되고, 각 진공챔버는 이송챔버의 트레이로부터 기판의 장입 및 반출을 위한 장방형의 게이트가 형성되는 유기전계 발광소자 제조 시스템에 있어서,
상기 진공챔버의 상측에 설치되어 선택적으로 로드를 하강 출몰하는 승강 실린더와; 상기 진공챔버의 게이트 전면측에 밀착 구비되고 케이싱에 의해 외면이 커버되며 상기 게이트와 이송챔버를 연결하는 이송통로가 수평 방향으로 관통 형성되고 그 내부에는 이송통로와 교차되는 지점에 역직삼각 형상의 개폐채널이 형성되고 이 개폐채널의 상부에는 사각형상의 대기채널이 형성되는 본체와; 상기 진공챔버의 상측에 설치되어 선택적으로 로드를 하강 출몰하는 승강 실린더 및 상기 로드의 하단에 상단이 연결되어 일체로 승강되며 선택적으로 대기채널상에서 개폐채널로 하강하여 끼움되는 것에 의해 이송통로를 차단하는 개폐부재를 포함하여 구성되는 것을 그 특징으로 한다.
본 발명의 바람직한 한 특징으로서, 상기 개폐부재는 하강시 이송통로의 일측에 접하는 지점에 기밀유지를 위한 오링이 끼움 구비되는 것에 있다.
본 발명의 바람직한 다른 특징으로서, 상기 개폐부재는 상기 게이트에 마주보는 방향의 일측면에 구비되어 대기채널의 내벽면을 따라 구름 접촉되는 제1롤러와, 이 제1롤러의 반대편인 개폐부재의 타측면에 구비되어 대기채널의 내벽면에 구름 접촉되는 제2롤러가 구비되며,
상기 대기채널은 이송통로의 상측으로 대기채널의 타측 벽면상에 상기 하강하는 개폐부재를 게이트측으로 가압하기 위하여 제2롤러가 올라타는 경사부가 돌출되며, 이 경사부의 하측에 구비되어 개폐채널로 진입하는 개폐부재를 게이트측으로 가압하는 제3롤러를 포함하여 구성되는 것에 있다.
본 발명의 바람직한 또 다른 특징으로서, 상기 케이싱은, 상기 본체의 상면과 저면을 커버하는 상,하 플레이트 및 진공챔버에 접하는 일측면과 그 반대측면을 커버하는 측면 플레이트로 구성되며, 상기 상,하 플레이트는 각각 측면 플레이트와 접하는 양측부가 돌출되면서 굽힘되어 후크부가 일체로 형성되며,
상기 상,하 플레이트와 측면 플레이트는, 상기 후크부에 일단이 끼움결합되고 타단은 측면 플레이트에 각각 나사체결로 결합 고정되는 씨클램프에 의해 일체 로 결합 구성되는 것에 있다.
본 발명의 특징 및 이점들은 첨부도면에 의거한 ㅋ다음의 상세한 설명으로 더욱 명백해질 것이다. 이에 앞서 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.
이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 유기전계 발광소자 챔버 게이트 개폐장치의 일 실시예를 설명하면 다음과 같다.
도 1은 본 발명이 적용되는 유기전계 발광소자 제조치의 구성을 설명하기 위한 계통 구성도이고, 도 2는 본 발명에 따른 유기전계 발광소자 챔버 게이트 개폐장치을 나타낸 정면도이다.
그리고, 도 3은 본 발명에 따른 유기전계 발광소자 챔버 게이트 개폐장치에서 게이트 오픈 상태를 나타낸 요부 단면도이고, 도 4는 도 3의 "A-A"선을 나탄내 단면도이다.
또한, 도 5는 본 발명에 따른 유기전계 발광소자 챔버 게이트 개폐장치에서 게이트 닫힘 상태를 나타낸 요부 단면도이고, 도 6은 도 5의 "B-B"선을 나타낸 단면도이다.
먼저, 도 1에 나타내 보인 바와 같이, 본 발명의 챔버 게이트 개폐장치는 인라인 크로스 타입의 유기전계 발광소자 제조 시스템(1)에 적용 실시된다.
즉, 도면에서 보는 바와 같이 본 발명이 적용 실시되는 유기전계 발광 디스플레이소자 제조 시스템은 크게 글라스 기판에 대해 증착을 실시하는 증착파트와 증착기판을 글라스캔에 흡습제와 함께 합착시키는 봉지파트로 대별된다.
증착파트는 글라스 기판에 대한 증착공정시 장시간에 걸쳐 신속한 연속증착을 가능하게 하면서 장비 업그레이드의 용이성을 확보하기 위한 것으로서, 글라스 기판을 이송하는 증착 이송챔버(2)를 소정의 길이를 갖는 일자형의 구조로 마련하고, 이 증착 이송챔버(2)의 양 끝에 기판의 장입과 반출을 위한 증착 장입챔버(3)와 증착 반출챔버(4)를 구비시키고, 상기 증착 이송챔버(2)의 양측으로 다수의 챔버로 구성되는 증착 공정챔버(5)를 교차 배치한 구성이다.
여기서, 상기 각각의 챔버들은 공지의 진공펌프와 같은 진공수단에 의해 진공상태가 유지되며, 다만 기판을 장입 및 반출하는 증착 장입챔버(3) 및 증착 반출챔버(4)는 선택적으로 진공상태가 유지되는 구성이다.
한편, 봉지파트는 상기 증착파트의 반출챔버(4)와 글로브 박스(6)로 연결되어 로봇(r)에 의해 증착기판을 제공받는다.
이러한 봉지파트는 증착파트와 마찬가지로 증착기판에 대한 봉지공정시 장시간에 걸쳐 신속한 연속증착을 가능하게 하면서 장비 업그레이드의 용이성을 확보하기 위한 것으로서, 글라스 캔을 이송하는 봉지 이송챔버(2')를 소정의 길이를 갖는 일자형의 구조로 마련하고, 이 봉지 이송챔버(2')의 양 끝에 글라스 캔의 장입과 발광기판의 반출을 위한 봉지 장입챔버(3')와 봉지 반출챔버(4')를 구비시키고, 상기 봉지 이송챔버(2')의 양측으로 다수의 챔버로 구성되는 봉지 공정챔버(5')를 교차 배치한 구성이다. 이때, 상기 봉지 공정챔버(5') 상에는 증착파트로부터 증착기판을 제공받아 봉지 이송챔버(2')로 제공하기 위한 봉지 기판 장입챔버(7)가 부가 구성된다.
여기서, 상기 증착파트와 봉지파트를 구성하는 각각의 챔버들은 공지의 진공펌프와 같은 진공수단에 의해 진공상태가 유지되는 구성이고, 이러한 각각의 챔버들의 진공을 위한 구조는 공지된 기술에 의해 실시되어도 무방하므로 상세한 설명은 생략한다.
이와 같이 구성되는 유기전계 발광소자 제조 시스템(1)의 특징은 진공 상태에서 글라스 기판 및 글라스 캔이 이송되는 트레이(2a,2a')를 구비한 일자형의 증착 이송챔버(2) 및 봉지 이송챔버(2')와, 증착 및 봉지 공정이 진행되는 각각의 챔버들을 상기 일자형의 증착 이송챔버(2) 및 봉지 이송챔버(2')를 중심으로 좌,우측에 교차 배치하여 이송 및 반송경로를 단순화하고 이송로봇 대신 트레이(2a,2a')와 메인 실린더(2b,2b')를 이용하여 글라스 기판 및 글라스캔, 증착기판의 신속한 이송 및 반송을 구현하는 것에 있다.
한편, 본 발명은 상기와 같은 인라인 크로스 타입의 유기전계 발광소자 제조 시스템에 적용 실시되는 유기전계 발광소자 챔버 게이트 개폐장치에 관한 것으로 서, 도 2 내지 도 6에서 보는 바와 같이 크게, 개폐장치는 선택적으로 밀폐구조를 갖는 구조로서, 일측에 기판 등이 장입 및 반출되는 장방형의 게이트가 형성된 진공챔버(10)와 기판을 이송하는 이송챔버 사이에 설치되어 상기 게이트에 대한 선택적인 개폐를 실시하게 된다.
이러한 개폐장치는 크게 승강 실린더(20)와 본체(30) 그리고 개폐부재(40)로 구성된다.
승강 실린더(20)는 상기 진공챔버(10)의 상측에 설치되어 선택적으로 로드(21)를 하강 출몰시키는 것으로 유공압을 동력원으로 하는 승강 실린더(20)를 구비한다.
이와 같이 구성되는 승강 실린더(20)는 후술할 개폐부재(40)를 승강시켜 게이트(g)와 연결된 이송통로(35)를 차폐시키게 된다.
본체(30)는 대략 직육면체 형상으로 구비되며 상기 진공챔버(10)의 게이트(g) 전면측에 일측이 밀착되고 타측은 이송챔버(2,2')측에 밀착 구비되는 구성이며, 외면은 케이싱(36)에 의해 커버되는 구조이다.
이러한 본체(30)는 내부에 수평방향으로 진공챔버(10)의 게이트(g)와 이송챔버(2,2')를 연결하기 위한 이송통로(35)가 수평방향으로 관통 형성되는 구조이며, 그 내부에는 이송통로(35)와 교차되는 지점에 역 직삼각형상의 개폐채널(+)이 형성되고, 이 개폐채널(32)의 상부에는 사각형상의 대기채널(31)이 일체로 연결 형성되는 구조이다.
즉, 상기 본체(30)의 내부에는 수평방향으로는 게이트(g)와 연통되는 이송통로(35)가 관통 형성되고, 수직방향으로는 이송통로(35)와 교차되는 지점에 역 직삼각형상을 갖는 개폐채널(32)이 형성되며, 이 개폐채널(32)의 상측으로는 사각 형상의 대기채널(31)이 크로스 형태로 마련되는 구조이다.
한편, 상기 본체(30)의 외면을 커버하는 케이싱(36)은 상기 본체(30)의 상면과 저면을 커버하는 상면 플레이트(36a)와 하면 플레이트(36b) 그리고 상기 진공챔버(10)에 접하는 일측면과 이송챔버(2,2')측에 접하는 한쌍의 측면 플레이트(36c)로 구성된다.
여기서, 상기 상면 플레이트(36a)와 하면 플레이트(36b)는 각각 측면 플레이트(36c)와 접하는 양측부가 돌출되면서 굽힘되어 후크부(미부호)를 형성한다. 그리고, 상기 상면 플레이트(36a), 하면 플레이트(36b), 측면 플레이트(36c)는 상기 상면 플레이트(36a)와 하면 플레이트(36b)에 형성된 후크부에 일단이 끼움 결합되고 타단은 각각의 측면 플레이트(36c)에 각각 나사(s) 체결로 결합 고정되는 씨클램프(C-Clamp)(c)에 의해 일체로 결합 구성된다.
한편 본 발명에서는 씨클램프(c)를 이용하여 상,하,측면 플레이트(36a,36b,36c)를 본체(30)의 외면에 결합하는 구조를 나타내었으나, 본 발명은 이에 한정하지 않고 나사결합이나 용접 접합 등을 통해 케이싱(36)을 구비하여도 무방하다.
이와 같이 구성되는 본체(30)는 그 내부에 상술한 승강 실린더(20)에 연동하 여 이송통로(35)와 교차되는 지점에 형성된 개폐채널(32)에 끼움되어 게이트(g)를 차단하는 개폐부재(40)가 설치된다.
개폐부재(40)는 상기 승강 실린더(20)의 로드(21) 하단에 상단이 연결되어 일체로 승강되는 것에 본체(30)의 개폐채널(32)에 끼움되어 이송통로(35)를 차단하는 것으로서, 그 형태는 하강시 개폐채널(32)에 끼움될 수 있게 대응되는 역 직삼각형상으로 형성되는 구조이다.
이러한 개폐부재(40)는 게이트(g) 오픈(open) 상태에서는 도 3 및 도 4에서 보는 바와 같이 상향 이동되어 대기채널(31)상에 위치되고, 게이트(g) 클로즈(close) 상태에서는 도 5 및 도 6에서 보는 바와 같이 하향 이동되어 개폐채널(32)상에 위치되어 이송통로(35)를 차단하게 된다.
한편, 상기 개폐부재(40)는 하강시 게이트(g)측에 위치한 이송통로(35)의 일측에 접하는 지점에서 기밀유지를 안정되게 실시할 수 있도록 오링(41)이 끼움 구비되는 구조이다.
또한, 상기 개폐부재(40)는 하강시 개폐채널(32)에 안정되게 끼움될 수 있도록 하고 있다.
즉, 상기 개폐부재(40)는 상기 게이트(g)측에 면하는 일측면에 자유 회전이 가능한 제1롤러(51)를 구비하며, 이 제1롤러(51)는 대기채널(31)의 일측 내벽면을 따라 구름접촉된다. 그리고 이 제1롤러(51)의 반대편인 개폐부재(40)의 타측면에는 자유 회전이 가능한 제2롤러(52)가 구비되며, 이때의 상기 제2롤러(52)는 대기채널 (31)의 타측 내벽면에 구름접촉을 이룬다.
여기서 상기 제2롤러(52)가 구름접촉되는 대기채널(31)의 타측 벽면상에는 경사부(54)가 돌출 형성되는 구조이며, 이때의 상기 경사부(54)에 의해 제2롤러(52)가 하강하면서 반대편측으로 가압력을 받아 결과적으로 개폐부재(40)가 게이트(g)측으로 가압된 상태에서 하강이 이뤄지게 되며, 상기 제1롤러(51)는 제2롤러(52)의 가압력을 상쇄하여 개폐부재(40)가 제1롤러(51)측으로 편향된 상태로 하강되는 것을 방지하게 된다.
한편, 상기 경사부(54)의 하측으로 개폐채널(32)의 내벽면 상에는 자유 회전이 가능한 제3롤러(53)가 구비되며, 이때의 상기 제3롤러(53)는 개폐채널(32)로 진입하는 개폐부재(40)의 하단부를 게이트(g)측으로 가압하여 결과적으로 개폐부재(40)가 개폐채널(32)상에 견고하게 밀착된 상태로 끼움되게 하는 것이다.
미설명 부호 (t)는 트랜스퍼 챔버이며 각 공정을 수행하는 진공챔버(10)와 이송챔버(2,2')를 사이에 대향 배치되어 이송챔버(2,2')상의 기판을 해당 챔버로 장입 또는 반출시키는 서브실린더를 포함하는 장치이다.
상기와 같이 구성되는 본 발명의 유기전계 발광소자 챔버 게이트(g) 개폐장치의 동작 과정을 설명하면 다음과 같다.
먼저, 진공챔버(10)의 게이트(g)의 개방상태를 설명하면, 승강 실린더(20)의 로드(21)에 연동하는 개폐부재(40)는 본체(30)의 대기채널(31)상에 위치되며, 이때 이송통로(35)는 게이트(g)와 이송챔버를 연결하는 형태를 유지하게 된다. 이러한 상태에서는 진공챔버(10)와 이송챔버가 연통된 상태이므로 진공챔버(10)의 내부로 기판의 반입 및 반출이 가능하다.
한편, 상기와 같이 게이트(g)가 개방된 상태에서 게이트(g)를 닫는 경우에는, 승강 실린더(20)의 로드(21)를 하강시키면 이에 일체로 연동하여 개폐부재(40)가 대기채널(31)상에서 개폐채널(32)측으로 하강을 이루게 된다.
이 과정에서 상기 개폐부재(40)는 제1롤러(51)와 제2롤러(52) 그리고 제3롤러(53) 및 경사부(54)에 의해 개폐채널(32)에 밀착 끼움된 상태를 유지하므로 결과적으로 게이트(g)와 연통되는 본체(30)의 이송통로(35)가 차단되는 것에 의해 진공챔버(10)의 게이트(g)가 차폐된다.
따라서, 상기 진공챔버(10)의 내부는 완전 밀폐상태를 유지할 수 있으므로 기판에 해당 공정을 실시할 수 있게 된다.
한편, 본 발명은 기재된 실시 예에 한정하는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형을 할 수 있음은 이 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게는 자명하다. 따라서, 그러한 변형예 또는 수정 예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 해야 할 것이다.
상기와 같이 구성되고 작용되는 유기전계 발광소자 챔버 게이트 개폐장치는, 본체에 수평방향으로 게이트와 연통되게 관통 형성되는 이송통로 및 이 이송통로에 수직하는 방향으로 대기채널과 역 직삼각형상의 개폐채널이 형성되며, 승강 실린더 에 의해 선택적으로 승강되는 역 직삼각형상의 개폐부재가 대기채널상에서 개폐채널로 하강하는 것에 의해 게이트와 연결된 이송통로를 차단한다.
따라서, 개폐부재의 승강 동작에 의해 게이트의 개폐가 실시되므로 신속한 개폐가 가능하며, 특히 역삼각형 구조의 개폐채널과 개폐부재가 끼움되는 구조에 의해 이송통로를 차단하므로 우수한 기밀성을 확보할 수 있는 유용한 효과를 제공한다.

Claims (4)

  1. 메인 실린더에 의해 직진 왕복 이동하는 트레이를 구비한 이송챔버를 사이에 두고 증착과 봉지공정을 수행하는 진공 상태의 여러 진공챔버가 교차 배치되고, 각 진공챔버는 이송챔버의 트레이로부터 기판의 장입 및 반출을 위한 장방형의 게이트가 형성되는 유기전계 발광소자 제조 시스템에 있어서,
    상기 진공챔버의 상측에 설치되어 선택적으로 로드를 하강 출몰하는 승강 실린더와;
    상기 진공챔버의 게이트 전면측에 밀착 구비되고 케이싱에 의해 외면이 커버되며 상기 게이트와 이송챔버를 연결하는 이송통로가 수평 방향으로 관통 형성되고 그 내부에는 이송통로와 교차되는 지점에 역직삼각 형상의 개폐채널이 형성되고 이 개폐채널의 상부에는 사각형상의 대기채널이 형성되는 본체와;
    상기 진공챔버의 상측에 설치되어 선택적으로 로드를 하강 출몰하는 승강 실린더 및 상기 로드의 하단에 상단이 연결되어 일체로 승강되며 선택적으로 대기채널상에서 개폐채널로 하강하여 끼움되는 것에 의해 이송통로를 차단하는 개폐부재를 포함하며,
    상기 개폐부재는 상기 게이트에 마주보는 방향의 일측면에 구비되어 대기채널의 내벽면을 따라 구름 접촉되는 제1롤러 및 이 제1롤러의 반대편인 개폐부재의 타측면에 구비되어 대기채널의 내벽면에 구름 접촉되는 제2롤러가 구비되고, 상기 대기채널은 이송통로의 상측으로 대기채널의 타측 벽면상에 상기 하강하는 개폐부재를 게이트측으로 가압하기 위하여 제2롤러가 올라타는 경사부가 돌출되며, 이 경사부의 하측에 구비되어 개폐채널로 진입하는 개폐부재를 게이트측으로 가압하는 제3롤러를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 유기전계 발광소자 챔버 게이트 개폐장치.
  2. 제 1항에 있어서, 상기 개폐부재는 하강시 이송통로의 일측에 접하는 지점에 기밀유지를 위한 오링이 끼움 구비되는 것을 특징으로 하는 유기전계 발광소자 챔 버 게이트 개폐장치.
  3. 삭제
  4. 제 1항에 있어서, 상기 케이싱은,
    상기 본체의 상면과 저면을 커버하는 상,하 플레이트 및 진공챔버에 접하는 일측면과 그 반대측면을 커버하는 측면 플레이트로 구성되며, 상기 상,하 플레이트는 각각 측면 플레이트와 접하는 양측부가 돌출되면서 굽힘되어 후크부가 일체로 형성되며,
    상기 상,하 플레이트와 측면 플레이트는, 상기 후크부에 일단이 끼움결합되고 타단은 측면 플레이트에 각각 나사체결로 결합 고정되는 씨클램프에 의해 일체로 결합 구성되는 것을 특징으로 하는 유기전계 발광소자 챔버 게이트 개폐장치.
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