KR20070006632A - 대면적 유기전계 발광소자의 이송 및 증착방법 - Google Patents

Abstract

본 발명은 대면적 유기전계 발광소자 기판의 이송 및 증착방법을 개시한다.

본 발명의 대면적 유기전계 발광소자의 이송 및 증착방법은 유기전계 발광소자 제조에 사용되는 기판 상에 유기 박막을 증착하는 것으로 내부 하측에 유기물질을 가열하여 증발시키는 소스발생기가 설치되는 공정챔버에 있어서, 상기 공정챔버의 내부에 구비되고 양단의 회전축은 챔버의 외부로 노출 연장되면서 구동원에 연결되어 회전력을 전달받아 선택적으로 반전 회전되는 로테이터 하우징과, 상기 하우징의 상측에 일체로 구비되어 연동 회전하는 것으로 상면에 증착용 마스크가 배치되는 홀딩 프레임과, 상기 홀딩 프레임의 내측으로 마스크와 대향 배치되며 그 상면에 기판이 놓여지는 판형의 마스크 척과, 상기 로테이터 하우징의 내부에 설치되고 상기 마스크 척의 저면에 상단이 연결되어 선택적으로 마스크 척상의 기판을 마스크에 밀착시키는 로드를 구비하는 승강 실린더를 포함하여 구성된다.

상기와 같이 구성되고 작용되는 대면적 유기전계 발광소자의 이송 및 증착방법은 장입된 기판을 클램핑 한 상태에서 180도 회전하여 내부 하측에 설치된 소스 발생기를 향해 배치되게 함으로써 기판에 대한 안정된 지지를 가능하게 하고 균일한 증착공정을 보장하므로 공정상에서의 제품 불량을 저감시킬 수 있으므로 생산 수율 향상을 기대할 수 있는 산업상 유용한 효과를 제공한다.

유기, 기판, 마그네트, 증착

Description

대면적 유기전계 발광소자의 이송 및 증착방법{TRANSFER AND DEPOSITION METHOD FOR ORGANIC EELECTROLUMINESCENT DEVICES}

도 1은 종래 기술에 따른 유기전계 발광소자 제조장치의 구성을 설명하기 위해 개략적으로 나타낸 구성도,

도 2는 본 발명이 적용되는 유기전계 발광소자 제조장치의 구성을 설명하기 위한 계통 구성도,

도 3 내지 도 6은 본 발명에 따른 대면적 유기전계 발광소자의 이송 및 증착방법용 기판 홀딩장치의 구성 및 동작 상태를 설명하기 위한 도면.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

1 : 제조장치 2 : 이송챔버

3 : 장입챔버 4 : 반출챔버

5 : 공정챔버 10 : 공정챔버

15 : 소스 발생기 20 : 로테이터 하우징

21 : 회전축 23 : 베어링

30 : 홀딩 프레임 35 : 마스크

40 : 마스크 척 50 : 승강 실린더

55 : 로드

본 발명은 대면적 유기전계 발광소자의 이송 및 증착방법용 기판 홀딩장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 유리 기판의 대형화에 따른 증착 효율성을 높임과 동시에 기판 클램핑시의 불량 발생을 최소화할 수 있도록 하고 아울러 공정간 이송 과정에서 증착면 손상에 따른 불량 발생을 미연에 방지할 수 있도록 하기 위하여 이송 과정에서 유리 기판의 증착면을 상측으로 향하도록 하여 유리 기판의 이송을 용이하게한 대면적 유기전계 발광소자의 이송 및 증착방법용 기판 홀딩장치에 관한 것이다.

최근, 음극선관(Cathode Ray Tube)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 각종 평판 디스플레이 장치들이 개발되고 있으며, 이러한 평판 디스플레이 장치로는 액정 표시장치(Liquid Crystal Display : LCD)와, 전계 방출 표시장치(Field Emission Display : FED)와, 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel : PDP) 및 일렉트로 루미네센스(Electroluminescence : EL) 표시소자 등이 있다.

여기서, 상기 PDP는 구조와 제조공정이 비교적 단순하기 때문에 대화면화에 가장 유리하지만 발광효율과 휘도가 낮고 소비전력이 큰 단점이 있으며, 상기 LCD는 반도체공정을 이용하기 때문에 대화면화에 어려움이 있지만 노트북 컴퓨터의 표시소자로 주로 이용되면서 수요가 늘고 있지만, 대화면화가 어렵고 백라이트 유닛 으로 인하여 소비전력이 큰 단점과 더불어 LCD는 편광필터, 프리즘시트, 확산판 등의 광학소자들에 의해 광손실이 많고 시야각이 좁은 문제점이 있었다. 이에 비하여, EL 표시소자는 유기 EL과 무기 EL로 대별되며, 응답속도가 빠르고 발광효율, 휘도 및 시야각이 큰 장점이 있다. 이때, 유기 EL인 유기전계 발광 디스플레이 소자는 대략 10[V] 정도의 전압으로 수만 [cd/㎡]의 높은 휘도로 화상을 표시할 수 있다.

일반적으로 유기전계 발광 디스플레이 소자는 전자 주입전극(음극)과 정공 주입 전극(양극) 사이에 형성된 유기막에 전하를 주입하면 전자와 정공이 쌍을 이룬 후 소멸하면서 빛을 내는 소자로서 낮은 전압에서 구동이 가능하고, 또한 전력이 소모가 비교적 적은 것을 특징으로 하는 소자이다.

즉, 유기전계 발광 디스플레이 소자는 유기재료의 적층 박막에 직류전압을 인가하면, 전기에너지가 빛에너지로 변화하여 발광하는 현상을 이용한 평판디스플레이이다.

최근까지 제품화되어 있는 유기EL디스플레이는 저 분자계의 분체 유기발광 재료가 사용되고 있고, 이 저분자 유기발광재료는 수분이나 고에너지 입자에 약하기 때문에 유기발광층이나 음극 금속전극의 박막형성은 섀도우 마스크(Shadow Mask)를 사용한 진공 증착에 의하여 패턴을 형성하고 있다.

이러한 유기 EL(electroluminesecence)디스플레이 소자의 제작 과정을 살펴 보면 다음과 같다.

먼저, 절연성 및 투명성을 갖는 글라스 기판 상부면에 ITO(indium Tin Oxide)로 이루어진 투명도전막이 형성되는 양극을 형성한다. 그리고, 상기 양극 상부면에 정공 주입층을 형성하고, 상기 정공 주입층 상부면에 정공수송층을 증착한다. 그리고 정공 수송층 상부면에 유기 발광층을 형성한다. 이때 필요에 따라 상기 유기 발광층에 일종의 불순물인 도펀트(dopant)를 첨가한다. 이어 전자 주입층 상부면에 금속 화합물층 알칼리 금속 또는 알카리토 금속을 얇게 증착하여 전자의 주입을 좋게 한다. 그리고 마지막으로 상기금속층 위에 금속을 이용하여 음극을 형성한다.

이때, 유기 발광층은 일반적으로 파이 전자를 갖고 있기 때문에 물분자와 상호작용을 하게 된다. 따라서 공기중의 수분, 또는 이미 기판 등에 부착된 수분은 소자를 구동하지 않고 단순히 보관만 할 경우에도 서서히 전극 및 유기박막을 공격하여 흑점을 만들게 된다.

이와 같이 유기전계 발광 디스플레이 소자의 최대 과제는 내구성의 개선에 있으며, 그 중 상기 흑점이라 불리는 비 발광부의 발생과 그 성장의 방지가 가장 큰 과제로 되어 있다.

따라서, 유기전계 발광 디스플레이 소자를 양산하기 위해서는 재료에 어떠한 영향이 없도록 정제 처리하는 것이 매우 중요하며, 이를 위하여 유기전계 발광 디스플레이 소자는 챔버내에 밀봉한 후 진공 상태에서 각 물질을 성막함으로써 공기와 최대한 차단하도록 하고 있다.

이러한 이유로 한번 로딩된 ITO기판은 증착공정은 모두 진공에서 진행되어지고 봉지공정을 진행하는 동안에도 수분, 산소가 배제된 불활성 가스 분위기내에서 가공되어 진다. 이를 위해 현재는 하나의 이송챔버를 중심으로 프로세서 챔버가 부착되어 있는 인공위성형의 장비가 주를 이루고 있다.

도 1은 종래 기술에 따른 유기전계 발광 디스플레이소자 제조장치의 일례를 보여주는 평면 계통도이다.

이에 나타내 보인 바와 같이 기판 보관실(100)에 보관되어 있던 유리 기판을 중앙에 위치한 반송실(200)로부터 진공 반송로봇(300)에 의하여 인출하여 전처리실(400)로 급송하고, 전처리실(400)에서는 진공 증착을 수행하기전에 전처리를 수행한 다음, 다시 반송실(200)의 반송로봇(300)에 의하여 이를 인출하여 여러 증착챔버(500,600,700,800)로 분배 급송하고, 이들 각각의 증착챔버(500,600,700,800)에서는 유리 기판상에 여러 적층박막을 성형하고자 진공 증착 과정을 수행하고 진공 증착 과정이 완료되면 반송실(200)의 반송로봇(300)에 의하여 다음공정을 수행하기 위하여 급송실(900)로 공급하게 된다.

또한, 이러한 종래의 증착방식은 여러 증착챔버(500,600,700,800)내부에서 유리 기판상에 진공 증착하는 경우, 이들 증착챔버(500,600,700,800)은 섀도우 마스크를 장착한 유리 기판을 단일의 스테이지에 투입 고정하고 여러 단계에 걸쳐 순차적으로 진공 증착 과정을 거치게 되는데, 이와 같이 진공 증착이 이루어지는 과 정은 독립적이면서 단일 스테이지 형태인 증착챔버(500,600,700,800) 각각의 내부에서 진공 증착이 이루어지고 있다.

그러나, 상술한 바와 같은 종래 기술에 따른 유기전계 발광 디스플레이소자 제조장치는 다음과 같은 문제점이 있었다.

첫째, 이송챔버간의 연결시 불필요한 부가 챔버를 설치하거나 이송챔버에 공정챔버를 부착하는 것이 불가능한 면이 발생하며, 이로 인하여 설비 비용의 상승과 생산 속도가 저하되는 문제점이 있었다.

둘째, 공정의 변화 및 생산량 증대를 위한 챔버의 추가가 사실상 불가능한 단점이 있으며, 이는 하나의 이송챔버에 여러 공정챔버를 부착할 경우 이송챔버가 과도하게 커지고, 이송 로봇의 아암이 길어져야 하는 문제가 있으며, 이송챔버를 추가할 경우 각각의 이송챔버에 이송 로봇이 소요되어 비용이 상승되는 폐단이 있었다.

셋째, 각 공정챔버가 이송챔버와 가까이 붙어 있으므로 생산시 공정의 모니터링이 용이치 못하며, 유지 보수시 많은 시간이 소용되고 이송챔버에 이상 발생시 작업이 용이치 않은 문제점이 있었다.

상기의 문제점을 개선하기 위하여 본 출원인은 국내 특허출원 제10-2006-0021061호를 통해 인라인 크로스 타입의 개선된 유기전계 발광소자 제조장치와 그에 장착되는 기판 홀딩장치를 제안한 바 있다.

본 출원인이 선출원한 인라인 크로스 타입의 유기전계 발광소자 제조장치는 일직선상으로 배치되는 길이재의 이송챔버를 사이에 두고 양측으로 증착 및 봉지 공정을 수행하는 공정챔버와, 이들 공정챔버의 대향하는 위치에 구비되어 이송챔버상의 소자를 해당 챔버로 장입 또는 반입시키는 트랜스퍼 챔버가 배치되는 구조이다.

여기서, 상기 공정단계에서 여러 증착공정을 실시하는 증착용 공정챔버로 장입된 기판은 마스크와 밀착된 상태에서 챔버의 하측에 설치된 소스 발생기로부터 가열된 소스가 기화되면서 증착된다.

그러나, 도 1 및 본 출원인이 선출원한 유기전계 발광소자 제조장치는 최근 들어 기판이 대형화됨에 따라 자중에 의한 휨 변형량이 커지는 것에 의해 균일한 증착이 곤란한 단점이 있으며, 이와 같이 기판의 휨변형을 방치하는 경우에는 증착 불균일로 인한 제품의 신뢰성 및 품질저하로 이어지는 문제점을 초래하였다.

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 본 발명은 유리 기판의 증착할 면이 상측을 향하도록 하여 이송챔버의 트레이 상에 올려졌을 때 안정적으로 이송이 가능하고, 증착 공정을 수행하는 공정챔버로 장입된 기판을 클램핑 한 상태에서 180도 회전시켜 증착이 이루어지도록 하여 기판의 대형화에 따른 취급의 어려움을 해소하면서 안정된 증착 성능의 보장이 가능한 대면적 유기전계 발광소자의 이송 및 증착방법을 제공하는데 그 목적이 있다.

또한 본 발명의 다른 목적은 공정챔버에서 반출된 기판이 180도 방향 절환되는 것에 의해 이송챔버의 트레이 상에 올려졌을 때 그 증착면이 접촉되지 않도록 하여 마찰로 인한 손상을 미연에 방지하여 제품 불량 발생을 방지할 수 있는 대면적 유기전계 발광소자의 이송 및 증착방법을 제공하는데 있다.

상기의 목적을 실현하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 대면적 유기전계 발광소자의 이송 및 증착방법은, 유기전계 발광소자 제조에 사용되는 기판 상에 유기 박막을 증착하는 것으로 내부 하측에 유기물질을 가열하여 증발시키는 소스발생기가 설치되는 공정챔버에 있어서, 상기 공정챔버의 내부에 구비되고 양단의 회전축은 챔버의 외부로 노출 연장되면서 구동원에 연결되어 회전력을 전달받아 선택적으로 반전 회전되는 로테이터 하우징과; 상기 하우징의 상측에 일체로 구비되어 연동 회전하는 것으로 상면에 증착용 마스크가 배치되는 홀딩 프레임과; 상기 홀딩 프레임의 내측으로 마스크와 대향 배치되며 그 상면에 기판이 놓여지는 판형의 마스크 척과; 상기 로테이터 하우징의 내부에 설치되고 상기 마스크 척의 저면에 상단이 연결되어 선택적으로 마스크 척상의 기판을 마스크에 밀착시키는 로드를 구비하는 승강 실린더를 포함하여 구성되는 것을 그 특징으로 한다.

본 발명의 바람직한 한 특징으로서, 상기 로테이터 하우징의 회전축은 베어 링으로 회전가능하게 지지되는 구성인 것에 있다.

본 발명의 바람직한 다른 특징으로서, 상기 로테이터 하우징은 180도 각도로 정역 회전하는 구성인 것에 있다.

본 발명의 바람직한 또 다른 특징으로서, 상기 구동원은 전동모터 또는 유공압 실린더 중 어느 하나인 것에 있다.

본 발명의 바람직한 또 다른 특징으로서, 상기 마스크는 외곽 테두리 부분이 홀딩 프레임에 용접 또는 나사체결에 의해 고정되어 상·하면이 노출된 상태로 구비되는 것에 있다.

본 발명의 특징 및 이점들은 첨부도면에 의거한 다음의 상세한 설명으로 더욱 명백해질 것이다.

이에 앞서 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 유기전계 발광소자 제조장치 에서 증착이 수행되는 공정챔버의 바람직한 일 실시예를 설명하면 다음과 같다.

먼저, 본 발명의 공정챔버는 유기전계 발광소자 제조에 사용되는 기판 상에 유기 박막을 증착하는 것으로 내부 하측에 유기물질을 가열하여 증발시키는 소스 발생기가 설치되는 구성이며, 이러한 공정챔버의 구성은 종전의 기술에 의해 실시되어도 무방하다. 다만, 본 발명은 편의상 인라인 크로스 타입의 유기전계 발광소자 제조장치에 적용되는 것을 기준으로 하여 설명한다.

도 2는 본 발명이 적용되는 유기전계 발광소자 제조장치의 구성을 설명하기 위한 계통 구성도이다.

이에 나타내 보인 바와 같이, 본 발명의 공정챔버가 적용 가능한 인라인 크로스 타입의 유기전계 발광 디스플레이소자 제조장치는 크게 글라스 기판에 대해 증착을 실시하는 증착파트와 증착기판을 글라스캔에 흡습제와 함께 합착시키는 봉지파트로 대별된다.

증착파트는 글라스 기판에 대한 증착공정시 장시간에 걸쳐 신속한 연속증착을 가능하게 하면서 장비 업그레이드의 용이성을 확보하기 위한 것으로서, 글라스 기판을 이송하는 증착 이송챔버(2)를 소정의 길이를 갖는 일자형의 구조로 마련하고, 이 증착 이송챔버(2)의 양 끝에 기판의 장입과 반출을 위한 증착 장입챔버(3)와 증착 반출챔버(4)를 구비시키고, 상기 증착 이송챔버(2)의 양측으로 다수의 챔버로 구성되는 증착 공정챔버(5)를 교차 배치한 구성이다.

여기서, 상기 각각의 챔버들은 공지의 진공펌프와 같은 진공수단에 의해 진 공상태가 유지되며, 다만 기판을 장입 및 반출하는 증착 장입챔버(3) 및 증착 반출챔버(4)는 선택적으로 진공상태가 유지되는 구성이다.

한편, 봉지파트는 상기 증착파트의 반출챔버(4)와 글로브 박스(6)로 연결되어 로봇(r)에 의해 증착기판을 제공받는다.

이러한 봉지파트는 증착파트와 마찬가지로 증착기판에 대한 봉지공정시 장시간에 걸쳐 신속한 연속증착을 가능하게 하면서 장비 업그레이드의 용이성을 확보하기 위한 것으로서, 글라스 캔을 이송하는 봉지 이송챔버(2')를 소정의 길이를 갖는 일자형의 구조로 마련하고, 이 봉지 이송챔버(2')의 양 끝에 글라스 캔의 장입과 발광기판의 반출을 위한 봉지 장입챔버(3')와 봉지 반출챔버(4')를 구비시키고, 상기 봉지 이송챔버(2')의 양측으로 다수의 챔버로 구성되는 봉지 공정챔버(5')를 교차 배치한 구성이다. 이때, 상기 봉지 공정챔버(5') 상에는 증착파트로부터 증착기판을 제공받아 봉지 이송챔버(2')로 제공하기 위한 봉지 기판 장입챔버(7)가 부가 구성된다.

여기서, 상기 증착파트와 봉지파트를 구성하는 각각의 챔버들은 공지의 진공펌프와 같은 진공수단에 의해 진공상태가 유지되는 구성이고, 이러한 각각의 챔버들의 진공을 위한 구조는 공지된 기술에 의해 실시되어도 무방하므로 상세한 설명은 생략한다.

이와 같이 구성되는 유기전계 발광소자 제조장치(1)의 특징은 진공 상태에서 글라스 기판 및 글라스 캔이 이송되는 트레이(2a,2a')를 구비한 일직선상으로 배치되는 증착 이송챔버(2) 및 봉지 이송챔버(2')와, 증착 및 봉지 공정이 진행되는 각 각의 챔버들을 상기 일자형의 증착 이송챔버(2) 및 봉지 이송챔버(2')를 중심으로 좌,우측에 교차 배치하고 각각의 챔버(5,5')에 대향하는 위치 즉, 각 이송챔버(2,2')를 사이에 두고 대향하는 위치에 상기 이송챔버(2,2')상의 소재(유기전계 디스플레이 소자)를 각 챔버로 진입시키기 위한 실린더를 구비한 트랜스퍼 챔버(2b)가 배치되는 것에 의해 이송 및 반송경로를 단순화하고 이송로봇 대신 트레이(2a,2a')와 메인 실린더(2b,2b')를 이용하여 글라스 기판 및 글라스캔, 증착기판의 신속한 이송 및 반송을 구현하는 것에 있다.

한편, 본 발명은 앞서 설명한 바와 같이 도 1의 유기전계 발광소자 제조장치 또는 상기 도 2의 인라인 크로스 타입의 유기전계 발광소자 제조장치에 적용 실시될 수 있는 것으로서, 도 3 내지 도 6에서 보는 바와 같이 공정챔버(10)는 그 내부 하측에 소스를 가열시켜 기화상태로 하여 기판에 증착이 이루어지도록 하는 소스 발생기(15)가 설치되며, 이 소스 발생기(15)의 상측으로는 공정챔버(10)의 내부로 장입된 기판을 클램핑한 뒤 180도 회전 즉, 반전한 상태에서 증착이 실시되도록 하는 로테이터 하우징(20)과 홀딩 프레임(30) 그리고 마스크 척(40) 및 승강 실린더(50)로 된 구성요소가 설치된다.

로테이터 하우징(20)은 상술한 공정챔버(10)의 내부에 설치되는 상자 형태로 구비되는 부재로서 그 내부에는 각종 구성품이 설치될 수 있도록 공간이 형성된다.

이러한 로테이터 하우징(20)은 선택적으로 180도 반전 회전될 수 있도록 설 치되는 바, 이를 위해 도면에서 보는 바와 같이 양측면에 회전축(21)이 설치되며, 이러한 회전축(21)은 공정챔버(10)의 외측으로 노출되게 연장되는 구조이다. 또한, 상기 회전축(21)은 베어링(23)에 의해 회전 가능하게 지지되는 구성이다.

한편, 상기 로테이터 하우징(20)은 도시하지는 않았으나 전동모터 또는 유공압 실린더 등과 같은 구동원에 연결되어 회전력을 전달받는 구성이며, 이러한 구성은 통상의 공지기술에 의해 실시되어도 무방하므로 상세한 설명은 생략한다.

또한, 상기 로테이터 하우징(20)의 양단에 설치되는 한쌍의 회전축(21)중 어느 하나의 회전축은 중공의 관 형상으로 구비되는 것이 바람직하며, 이는 상기 로테이터 하우징(20)의 내부에 설치될 승강 실린더(50)에 전원 또는 기타 작동원을 공급하기 위한 배관 및 선로를 배설하기 위함이다. 이러한 구조 역시 공지의 기술에 의해 실시될 수 있으므로 상세한 설명은 생략한다.

홀딩 프레임(30)은 상술한 로테이터 하우징(20)의 상측에 일체로 구비되어 연동 회전하는 부재이다. 이러한 홀딩 프레임(30)은 상기 로테이터 하우징(20)의 상면과 소정의 간격을 두고 이격되는 위치에 증착용 마스크(35)가 고정 설치된다. 여기서 상기 증착용 마스크(35)는 통상의 기판(b) 증착용 마스크가 사용되어도 무방하므로 상세한 설명은 생략한다.

여기서, 상기 마스크(35)는 외곽 테두리 부분이 홀딩 프레임(30)에 용접 또는 나사체결에 의해 고정되며 그 상·하면이 노출된 상태로 구비된다.

한편, 상기 마스크(35)는 후술할 마스크 척(40)의 상면에 안착된 기판(b)과 밀착된 상태에서 소스 발생기(15)로부터 가열된 소스가 기화되는 것에 의해 기판에 대한 증착이 실시된다.

마스크 척(40)은 상술한 홀딩 프레임(30)의 내측으로 마스크(35)와 대향 배치되는 판재형의 부재로서, 그 상면으로 기판(b)이 놓여진다.

이러한 마스크 척(40)은 후술할 승강 실린더(50)의 승강 동작에 연동하여 선택적으로 상기 마스크(35)의 저면측으로 상승 이동되는 것에 의해 그 상면에 놓여진 기판(b)을 마스크(35)의 저면에 밀착시킨다.

승강 실린더(50)는 상술한 로테이터 하우징(20)의 내부에 수직하게 설치되는 구동부재로서, 선택적으로 출몰되는 로드(55)를 구비한다. 이러한 승강 실린더(50)는 로드(55)의 상단이 상기 마스크 척(40)의 저면에 연결되어 선택적으로 승강 연동되게 한다.

상기와 같이 구성되는 대면적 유기전계 발광소자의 이송 및 증착방법의 동작과정을 간략하게 살펴보면 다음과 같다.

먼저, 도 3에서 보는 바와 같이 이송챔버(2)의 트레이(2a,2a')에 의해서 기판(b)을 증착할 면이 상측을 향하도록 하여 이송하고, 공정챔버(10)내로 장입된 기판(b)이 상기 마스크 척(40)의 상면에 위치된다.

이어서, 도 4에서 보는 바와 같이 승강 실린더(50)의 로드(55)가 상승 이동 되는 것에 의해 상기 승강 실린더(50)이 로드(55)와 연결된 마스크 척(40)이 일체로 상승 이동되어 상기 기판(b)을 마스크(35)의 저면에 밀착시킨다.

이와 같이 마스크 척(40)의 상승 이동에 의해 기판(b)이 마스크(35)에 밀착된 상태에서 도 6에서 보는 바와 같이 로테이터 하우징(20)이 180도 회전하게 되면, 상기 마스크(35)가 공정챔버(10)의 내부 하측에 설치된 소스 발생기(15)측을 향하게 된다.

이러한 상태에서 소스 발생기(15)에서 가열된 소스를 기화시키는 것에 의해 증착이 실시된다.

한편, 상기와 같이 증착이 완료된 기판(b)은 상술한 과정을 역순으로 하여 180도 회전하여 위치 복귀된 뒤 상기 공정챔버(10)의 외부로 반출되며, 반출된 이후에는 증착 이송챔버(2)의 트레이(2a,2a')에 올려진 상태로 다음 공정으로 이송된다.

즉, 상기 기판(b)은 증착이 실시되는 상태에서는 증착면이 하면을 향하도록 배치되고, 증착이 완료된 이전이나 이후에는 증착면이 상면을 향한 상태로 상기 트레이(2a,2a')에 올려지게 되므로 기판(b)의 휨 변형 없이 이송 및 증착이 가능하게 된다.

한편, 본 발명은 기재된 실시예에 한정하는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형을 할 수 있음은 이 기술 분야에서 통 상의 지식을 가진 자에게는 자명하다. 따라서, 그러한 변형예 또는 수정 예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 해야 할 것이다.

상기와 같이 구성되고 작용되는 대면적 유기전계 발광소자의 이송 및 증착방법은 장입된 기판을 클램핑 한 상태에서 180도 회전하여 내부 하측에 설치된 소스 발생기를 향해 배치되게 함으로써 기판에 대한 안정된 지지를 가능하게 하고 균일한 증착공정을 보장하므로 공정상에서의 제품 불량을 저감시킬 수 있는 이점을 제공한다.

특히, 기판이 증착 공정 중에는 하면을 향하도록 180도 회전되고, 이송과정에서는 상면을 향하도록 위치 복귀됨으로써 결과적으로 기판의 안정된 이송 및 증착이 가능하여 제품에 대한 신뢰성을 높일 수 있으므로 결과적으로 생산 수율 향상을 기대할 수 있는 산업상 유용한 효과를 제공한다.

Claims (5)

1. 유기전계 발광소자 제조에 사용되는 기판 상에 유기 박막을 증착하는 것으로 내부 하측에 유기물질을 가열하여 증발시키는 소스발생기가 설치되는 공정챔버에 있어서,

   상기 공정챔버의 내부에 구비되고 양단의 회전축은 챔버의 외부로 노출 연장되면서 구동원에 연결되어 회전력을 전달받아 선택적으로 반전 회전되는 로테이터 하우징과;

   상기 하우징의 상측에 일체로 구비되어 연동 회전하는 것으로 상면에 증착용 마스크가 배치되는 홀딩 프레임과;

   상기 홀딩 프레임의 내측으로 마스크와 대향 배치되며 그 상면에 기판이 놓여지는 판형의 마스크 척과;

   상기 로테이터 하우징의 내부에 설치되고 상기 마스크 척의 저면에 상단이 연결되어 선택적으로 마스크 척상의 기판을 마스크에 밀착시키는 로드를 구비하는 승강 실린더;

   를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 대면적 유기전계 발광소자의 이송 및 증착방법.
2. 제 1항에 있어서, 상기 로테이터 하우징의 회전축은 베어링으로 회전가능하게 지지되는 구성인 것을 특징으로 하는 대면적 유기전계 발광소자의 이송 및 증착 방법.
3. 제 1항에 있어서, 상기 로테이터 하우징은 180도 각도로 정역 회전하는 구성인 것을 특징으로 하는 대면적 유기전계 발광소자의 이송 및 증착방법.
4. 제 1항에 있어서, 상기 구동원은 전동모터 또는 유공압 실린더 중 어느 하나인 것을 특징으로 하는 대면적 유기전계 발광소자의 이송 및 증착방법.
5. 제 1항에 있어서, 상기 마스크는 외곽 테두리 부분이 홀딩 프레임에 용접 또는 나사체결에 의해 고정되어 상·하면이 노출된 상태로 구비되는 것을 특징으로 하는 대면적 유기전계 발광소자의 이송 및 증착방법.

Images