KR100780038B1

KR100780038B1 - 유기전계 발광소자 증착장치용 이송 트레이

Info

Publication number: KR100780038B1
Application number: KR1020060021067A
Authority: KR
Inventors: 윤근천
Original assignee: (주) 디오브이
Priority date: 2006-03-06
Filing date: 2006-03-06
Publication date: 2007-11-27
Also published as: KR20060054216A

Abstract

본 발명은 유기전계 발광소자 증착장치용 이송 트레이를 개시한다.

본 발명의 유기전계 발광소자 증착장치용 이송 트레이는 메인 실린더에 의해 직진 왕복 이동하는 이송 트레이를 구비한 다수의 이송 챔버를 연결 구성하고 이들 이송 챔버를 사이에 두고 양 끝에 기판의 장입과 반출을 위한 장입·반출 챔버 및 그 일측에 구비되어 기판을 공급 및 반출시키는 반입출 장치가 각각 구비되고, 이들 사이에 교차 배치되는 것으로 이송 챔버상에서 증착과 봉지공정을 수행하는 진공상태의 여러 공정 챔버 및 각 공정 챔버와 대향하는 위치에 이송 챔버상의 기판을 해당 공정 챔버로 반입출시키는 포크 트레이를 구비한 트랜스퍼 챔버를 포함하는 유기전계 발광소자 증착장치에 있어서, 상기 이송 챔버는 상면 양측에 길이 방향으로 레일이 일체로 구비되는 베이스 프레임과, 상기 베이스 프레임의 상측에 구비되어 저면 양측에 레일을 따라 이동되게 슬라이드 끼움되는 레일홈이 형성되는 판재형의 플레이트와, 상기 이송 챔버의 전·후 방향을 기준으로 어느 일측에 "ㄷ"자 형태로 마련되는 것으로 일측 모서리 부분이 하향 연장되는 플랜지부가 형성되어 플레이트에 고정 결합되는 고정 브라켓트와, 상기 고정 브라켓트와 마주보는 위치에 플레이트 상에서 일정 간격을 두고 이격된 위치에 구비되는 플로팅 브라켓트와, 상기 고정 브라켓트와 플로팅 브라켓트의 상면에 양단이 결합되어 플로팅 브라켓트가 플레이트에서 이격된 상태로 위치되게 하여 공간을 형성함으로써 교차 배치된 트랜스퍼 챔버의 포크 트레이가 고정 브라켓트와 플로팅 브라켓트에 지지되는 기판을 들어 올려 이동시킬 수 있게 하는 연결판을 포함하여 구성된다.

상기와 같이 구성되는 유기전계 발광소자 증착장치용 이송 트레이는 기판이 안착된 상태에서 일정구간을 전진 및 후진 이동하면서 교차 배치된 트랜스퍼 챔버의 포크 트레이와의 위치 간섭 현상이 없이 안정된 동작이 가능하게 되므로 제품에 대한 신뢰성 향상을 꾀할 수 있는 산업상 유용한 효과를 제공한다.

유기, 기판, 이송 챔버, 이송 트레이

Description

유기전계 발광소자 증착장치용 이송 트레이{transfer tray structure of organic electroluminescent devices}

도 1은 종래 기술에 따른 유기전계 발광 디스플레이 소자 증착장치의 구성을 설명하기 위한 평면도,

도 2는 본 발명이 적용되는 유기전계 발광소자 제조장치의 구성을 설명하기 위한 계통 구성도,

도 3은 본 발명에 따른 이송 트레이가 적용된 유기전계 발광소자 증착장치의 구성을 개략적으로 나타낸 도면,

도 4는 본 발명에 따른 이송 트레이의 요부 구성을 나타낸 분해 사시도,

도 5 및 도 6은 본 발명에 따른 이송 트레이의 동작과정을 설명하기 위한 유기전계 발광소자 증착장치의 요부 구성을 나타낸 평면도.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

1 : 증착장치 2 : 이송 챔버

3 : 장입챔버 4 : 반출챔버

5 : 공정 챔버 10 : 공정 챔버

20 : 이송 챔버 30 : 트랜스퍼 챔버

40 : 이송 트레이 41 : 베이스 프레임

42 : 플레이트 43 : 고정 브라켓트

44 : 플로팅 브라켓트 45 : 연결판

46 : 몰드

본 발명은 인라인 크로스 타입의 유기전계 발광소자 증착장치에서 이송 챔버에 구비되는 이송 트레이에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 기판이 안착된 상태에서 일정 구간을 직진 왕복 이동하면서 교차 배치된 트랜스퍼 챔버의 포크 트레이와 위치 간섭없이 안정된 동작을 원활하게 실시할 수 있도록 한 유기전계 발광소자 증착장치용 이송 트레이에 관한 것이다.

최근, 음극선관(Cathode Ray Tube)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 각종 평판 디스플레이 장치들이 개발되고 있으며, 이러한 평판 디스플레이 장치로는 액정 표시장치(Liquid Crystal Display : LCD)와, 전계 방출 표시장치(Field Emission Display : FED)와, 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel : PDP) 및 일렉트로 일루미네센스(Electro-luminescence : EL) 표시소자 등이 있다.

여기서, 상기 PDP는 구조와 제조공정이 비교적 단순하기 때문에 대화면화에 가장 유리하지만 발광효율과 휘도가 낮고 소비전력이 큰 단점이 있으며, 상기 LCD는 반도체공정을 이용하기 때문에 대화면화에 어려움이 있지만 노트북 컴퓨터의 표시소자로 주로 이용되면서 수요가 늘고 있지만, 대화면화가 어렵고 백라이트 유닛 으로 인하여 소비전력이 큰 단점과 더불어 LCD는 편광필터, 프리즘시트, 확산판 등의 광학소자들에 의해 광손실이 많고 시야각이 좁은 문제점이 있었다. 이에 비하여, EL 표시소자는 유기 EL과 무기 EL로 대별되며, 응답속도가 빠르고 발광효율, 휘도 및 시야각이 큰 장점이 있다. 이때, 유기 EL인 유기전계 발광 디스플레이 소자는 대략 10[V] 정도의 전압으로 수만 [cd/㎡]의 높은 휘도로 화상을 표시할 수 있다.

일반적으로 유기전계 발광 디스플레이 소자는 전자 주입전극(음극)과 정공 주입 전극(양극) 사이에 형성된 유기막에 전하를 주입하면 전자와 정공이 쌍을 이룬 후 소멸하면서 빛을 내는 소자로서 낮은 전압에서 구동이 가능하고, 또한 전력이 소모가 비교적 적은 것을 특징으로 하는 소자이다.

즉, 유기전계 발광 디스플레이 소자는 유기재료의 적층 박막에 직류전압을 인가하면, 전기에너지가 빛에너지로 변화하여 발광하는 현상을 이용한 평판디스플레이이다.

최근까지 제품화되어 있는 유기EL디스플레이는 저 분자계의 분체 유기발광 재료가 사용되고 있고, 이 저분자 유기발광재료는 수분이나 고에너지 입자에 약하기 때문에 유기발광층이나 음극 금속전극의 박막형성은 섀도우 마스크(Shadow Mask)를 사용한 진공 증착에 의하여 패턴을 형성하고 있다.

이러한 유기 EL(electroluminesecence)디스플레이 소자의 제작 과정을 살펴보면 다음과 같다.

먼저, 절연성 및 투명성을 갖는 글라스 기판 상부면에 ITO(indium Tin Oxide)로 이루어진 투명도전막이 형성되는 양극을 형성한다. 그리고, 상기 양극 상부면에 정공 주입층을 형성하고, 상기 정공 주입층 상부면에 정공수송층을 증착한다. 그리고 정공 수송층 상부면에 윳기 발광층을 형성한다. 이때 필요에 따라 상기 유기 발광층에 일종의 불순물인 도펀트(dopant)를 첨가한다. 이어 전자 주입층 상부면에 금속 화합물층 알칼리 금속 또는 알카리토 금속을 얇게 증착하여 전자의 주입을 좋게 한다. 그리고 마지막으로 상기금속층 위에 금속을 이용하여 음극을 형성한다.

이때, 유기 발광층은 일반적으로 파이 전자를 갖고 있기 때문에 물분자와 상호작용을 하게 된다. 따라서 공기중의 수분, 또는 이미 기판 등에 부착된 수분은 소자를 구동하지 않고 단순히 보관만 할 경우에도 서서히 전극 및 유기박막을 공격하여 흑점을 만들게 된다.

이와 같이 유기전계 발광 디스플레이 소자의 최대 과제는 내구성의 개선에 있으며, 그 중 상기 흑점이라 불리는 비 발광부의 발생과 그 성장의 방지가 가장 큰 과제로 되어 있다.

따라서, 유기전계 발광 디스플레이 소자를 양산하기 위해서는 재료에 어떠한 영향이 없도록 정제 처리하는 것이 매우 중요하며, 이를 위하여 유기전계 발광 디스플레이 소자는 챔버내에 밀봉한 후 진공 상태에서 각 물질을 성막함으로써 공기와 최대한 차단하도록 하고 있다.

이러한 이유로 한번 로딩된 ITO기판은 증착공정은 모두 진공에서 진행되어지고 봉지공정을 진행하는 동안에도 수분, 산소가 배제된 불활성 가스 분위기내에서 가공되어 진다. 이를 위해 현재는 하나의 이송 챔버를 중심으로 프로세서 챔버가 부착되어 있는 인공위성형의 장비가 주를 이루고 있다.

도 1은 종래 기술에 따른 유기전계 발광 디스플레이소자 증착장치의 일례를 보여주는 평면 계통도이다.

이에 나타내 보인 바와 같이 기판 보관실(100)에 보관되어 있던 유리기판을 중앙에 위치한 반송실(200)로부터 진공 반송로봇(300)에 의하여 인출하여 전처리실(400)로 급송하고, 전처리실(400)에서는 진공 증착을 수행하기전에 전처리를 수행한 다음, 다시 반송실(200)의 반송로봇(300)에 의하여 이를 인출하여 여러 증착실(500,600,700,800)로 분배 급송하고, 이들 각각의 증착실(500,600,700,800)에서는 유리기판상에 여러 적층박막을 성형하고자 진공 증착 과정을 수행하고 진공 증착 과정이 완료되면 반송실(200)의 반송로봇(300)에 의하여 다음공정을 수행하기 위하여 급송실(900)로 공급하게 된다.

또한, 이러한 종래의 증착방식은 여러 증착실(500,600,700,800)내부에서 유리기판상에 진공 증착하는 경우, 이들 증착실(500,600,700,800)은 섀도우 마스크를 장착한 유리기판을 단일의 스테이지에 투입 고정하고 여러 단계에 걸쳐 순차적으로 진공 증착 과정을 거치게 되는데, 이와 같이 진공 증착이 이루어지는 과정은 독립적이면서 단일 스테이지 형태인 증착실(5,6,7,8) 각각의 내부에서 진공 증착이 이루어지고 있다.

그러나, 상술한 바와같은 종래 기술에 따른 유기전계 발광 디스플레이소자 증착장치는 다음과 같은 문제점이 있었다.

첫째, 이송 챔버간의 연결시 불필요한 부가 챔버를 설치하거나 이송 챔버에 공정 챔버를 부착하는 것이 불가능한 면이 발생하며, 이로 인하여 설비 비용의 상승과 생산 속도가 저하되는 문제점이 있었다.

둘째 공정의 변화 및 생산량 증대를 위한 챔버의 추가가 사실상 불가능한 단점이 있으며, 이는 하나의 이송 챔버에 여러 공정 챔버를 부착할 경우 이송 챔버가 과도하게 커지고, 이송 로봇의 아암이 길어져야 하는 문제가 있으며, 이송 챔버를 추가할 경우 각각의 이송 챔버에 이송 로봇이 소요되어 비용이 상승되는 폐단이 있었다.

셋째 각 공정 챔버가 이송 챔버와 가까이 붙어 있으므로 생산시 공정의 모니터링이 용이치 못하며, 유지 보수시 많은 시간이 소용되고 이송 챔버에 이상 발생시 작업이 용이치 않은 문제점이 있었다.

상기의 문제점을 개선하기 위하여 인라인 크로스 타입이 제안된 바 있으며, 이러한 인라인 크로스 타입의 유기전계 발광소자 증착장치는 일직선상으로 배치되는 길이재의 이송 챔버를 사이에 두고 양측으로 증착 및 봉지 공정을 수행하는 공정 챔버와, 이들 공정 챔버의 대향하는 위치에 구비되어 이송 챔버상의 소자를 해당 챔버로 장입 또는 반입시키는 트랜스퍼 챔버가 배치되는 구조이다.

여기서 상기 이송 챔버는 기판이 안착되는 이송 트레이를 구비하고 있으며 이 이송 트레이는 이송 챔버의 일측 끝에 구비된 메인 실린더에 연결되어 길이 방향으로 배치된 이송 챔버를 따라 일정구간을 직진 왕복 이동하게 된다. 이렇게 이송 트레이에 의해 해당 공정 챔버의 앞쪽으로 이동한 기판은 상기 해당 공정 챔버 와 대향 배치된 트랜스퍼 챔버의 포크 트레이에 의해 공정 챔버로 장입 또는 반출되게 된다.

여기서, 상기 이송 챔버의 이송 트레이는 트랜스퍼 챔버와 교차 배치되는 구조이므로 상호간의 위치 간섭없이 안정되게 기판을 이동시켜야 하므로 높은 신뢰성과 안정성을 확보할 수 있는 이송 트레이의 개발이 시급한 실정이다.

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 본 발명은 이송 트레이의 구조를 개선하여 트랜스퍼 챔버의 포크 트레이와의 위치 간섭없이 안정된 이송동작을 보장할 수 있는 유기전계 발광소자 증착장치용 이송 트레이를 제공하는데 그 목적이 있다.

상기의 목적을 실현하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계 발광소자 증착장치용 이송 트레이는, 메인 실린더에 의해 직진 왕복 이동하는 이송 트레이를 구비한 다수의 이송 챔버를 연결 구성하고 이들 이송 챔버를 사이에 두고 양 끝에 기판의 장입과 반출을 위한 장입·반출 챔버 및 그 일측에 구비되어 기판을 공급 및 반출시키는 반입출 장치가 각각 구비되고, 이들 사이에 교차 배치되는 것으로 이송 챔버상에서 증착과 봉지공정을 수행하는 진공상태의 여러 공정 챔버 및 각 공정 챔버와 대향하는 위치에 이송 챔버상의 기판을 해당 공정 챔버로 반입출시키는 포크 트레이를 구비한 트랜스퍼 챔버를 포함하는 유기전계 발광소자 증착장치에 있어서,

상기 이송 챔버는 상면 양측에 길이 방향으로 레일이 일체로 구비되는 베이스 프레임과; 상기 베이스 프레임의 상측에 구비되어 저면 양측에 레일을 따라 이동되게 슬라이드 끼움되는 레일홈이 형성되는 판재형의 플레이트와; 상기 이송 챔버의 전·후 방향을 기준으로 어느 일측에 "ㄷ"자 형태로 마련되는 것으로 일측 모서리 부분이 하향 연장되는 플랜지부가 형성되어 플레이트에 고정 결합되는 고정 브라켓트와; 상기 고정 브라켓트와 마주보는 위치에 플레이트 상에서 일정 간격을 두고 이격된 위치에 구비되는 플로팅 브라켓트와; 상기 고정 브라켓트와 플로팅 브라켓트의 상면에 양단이 결합되어 플로팅 브라켓트가 플레이트에서 이격된 상태로 위치되게 하여 공간을 형성함으로써 교차 배치된 트랜스퍼 챔버의 포크 트레이가 고정 브라켓트와 플로팅 브라켓트에 지지되는 기판을 들어 올려 이동시킬 수 있게 하는 연결판을 포함하여 구성되는 것을 그 특징으로 한다.

본 발명의 바람직한 한 특징으로서, 상기 고정 브라켓트와 플로팅 브라켓트는 상면이 동일 평면상에 위치되게 구비되면서 기판이 안착될 수 있게 모서리측에 단차부가 형성되는 것에 있다.

본 발명의 바람직한 다른 특징으로서, 상기 고정 및 플로팅 브라켓트와 연결판 사이에는 간극 형성을 위한 길이재의 몰드가 개재되어 일체로 결합 구성되는 것에 있다.

본 발명의 특징 및 이점들은 첨부도면에 의거한 다음의 상세한 설명으로 더욱 명백해질 것이다. 이에 앞서 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 발 명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 유기전계 발광소자 증착장치용 이송 트레이의 바람직한 일 실시예를 설명하면 다음과 같다.

도 2는 본 발명이 적용되는 유기전계 발광소자 제조장치의 구성을 설명하기 위한 계통 구성도이고, 도 3은 본 발명에 따른 이송 트레이가 적용된 유기전계 발광소자 증착장치의 구성을 개략적으로 나타낸 도면이다. 그리고, 도 4는 본 발명에 따른 이송 트레이의 요부 구성을 나타낸 분해 사시도이며, 도 5 및 도 6은 본 발명에 따른 이송 트레이의 동작과정을 설명하기 위한 유기전계 발광소자 증착장치의 요부 구성을 나타낸 평면도이다.

먼저, 도 2에 나타내 보인 바와 같이, 본 발명의 이송 챔버 확장구조는 인라인 크로스 타입의 유기전계 발광소자 제조장치(1)에 실시된다.

즉, 도면에서 보는 바와 같이 본 발명이 적용 실시되는 유기전계 발광 디스플레이소자 제조장치는 크게 글라스 기판에 대해 증착을 실시하는 증착파트와 증착기판을 글라스캔에 흡습제와 함께 합착시키는 봉지파트로 대별된다.

먼저, 증착파트는 글라스 기판에 대한 증착공정시 장시간에 걸쳐 신속한 연속증착을 가능하게 하면서 장비 업그레이드의 용이성을 확보하기 위한 것으로서, 글라스 기판을 이송하는 증착 이송 챔버(2)를 소정의 길이를 갖는 일자형의 구조로 마련하고, 이 증착 이송 챔버(2)의 양 끝에 기판의 장입과 반출을 위한 증착 장입챔버(3)와 증착 반출 챔버(4)를 구비시키고, 상기 증착 이송 챔버(2)의 양측으로 다수의 챔버로 구성되는 증착 공정 챔버(5)를 교차 배치한 구성이다.

여기서, 상기 각각의 챔버들은 공지의 진공펌프와 같은 진공수단에 의해 진공상태가 유지되며, 다만 기판을 장입 및 반출하는 증착 장입챔버(3) 및 증착 반출 챔버(4)는 선택적으로 진공상태가 유지되는 구성이다.

한편, 봉지파트는 상기 증착파트의 반출 챔버(4)와 글로브 박스(6)로 연결되어 로봇(r)에 의해 증착기판을 제공받는다.

이러한 봉지파트는 증착파트와 마찬가지로 증착기판에 대한 봉지공정시 장시간에 걸쳐 신속한 연속증착을 가능하게 하면서 장비 업그레이드의 용이성을 확보하기 위한 것으로서, 글라스 캔을 이송하는 봉지 이송 챔버(2')를 소정의 길이를 갖는 일자형의 구조로 마련하고, 이 봉지 이송 챔버(2')의 양 끝에 글라스 캔의 장입과 발광기판의 반출을 위한 봉지 장입챔버(3')와 봉지 반출 챔버(4')를 구비시키고, 상기 봉지 이송 챔버(2')의 양측으로 다수의 챔버로 구성되는 봉지 공정 챔버(5')를 교차 배치한 구성이다. 이때, 상기 봉지 공정 챔버(5') 상에는 증착파트로부터 증착기판을 제공받아 봉지 이송 챔버(2')로 제공하기 위한 봉지 기판 장입챔버(7)가 부가 구성된다.

여기서, 상기 증착파트와 봉지파트를 구성하는 각각의 챔버들은 공지의 진공펌프와 같은 진공수단에 의해 진공상태가 유지되는 구성이고, 이러한 각각의 챔버들의 진공을 위한 구조는 공지된 기술에 의해 실시되어도 무방하므로 상세한 설명은 생략한다.
이와 같이 구성되는 유기전계 발광소자 제조장치(1)의 특징은 진공 상태에서 글라스 기판 및 글라스 캔이 이송되는 트레이(2a,2a')를 구비한 일직선상으로 배치되는 증착 이송 챔버(2) 및 봉지 이송 챔버(2')와, 증착 및 봉지 공정이 진행되는 각각의 챔버들을 상기 일자형의 증착 이송 챔버(2) 및 봉지 이송 챔버(2')를 중심으로 좌,우측에 교차 배치하고 각각의 증착 공정 챔버(5) 및 봉지 공정 챔버(5')에 대향하는 위치 즉, 각 증착 및 봉지 이송 챔버(2,2')를 사이에 두고 대향하는 위치에 상기 증착 및 봉지 이송 챔버(2,2')상의 소재(유기전계 디스플레이 소자)를 각 챔버로 진입시키기 위한 실린더를 구비한 트랜스퍼 챔버(t)가 배치되는 것에 의해 이송 및 반송경로를 단순화하고 이송로봇 대신 트레이(2a,2a')와 메인 실린더(2b,2b')를 이용하여 글라스 기판 및 글라스캔, 증착기판의 신속한 이송 및 반송을 구현하는 것에 있다.

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한편, 본 발명은 상술한 인라인 크로스 타입의 유기전계 발광소자 증착장치에 적용 실시되는 것으로서, 도 3 내지 도 6에서 보는 바와 같이 이송 챔버(20)는 다수개가 분할되어 일직선상으로 배치되게 결합 구성된 것으로서, 이러한 이송 챔버(20)는 공정 챔버(10)측에 위치되는 경우 그 대향하는 위치에 트랜스퍼 챔버(30)가 배치되는 구조이다.

한편, 상기 이송 챔버(20)는 기판(g)을 홀딩하여 다음 공정으로 이송하기 위한 이송 트레이(40)를 포함하는 구성이며, 이때의 상기 이송 트레이(40)는 크게 골조를 형성하는 베이스 프레임(41)과, 이 베이스 프레임(41)의 상측에 구비되어 전 ·후 이동 가능하게 구비되는 플레이트(42)와 그리고 상기 플레이트(42)의 상면에 구비되어 실질적으로 기판(g)이 안착되는 고정 브라켓트(43) 및 플로팅 브라켓트(44)와, 이들 고정 브라켓트(43)와 플로팅 브라켓트(44)를 상호 연결되게 지지하는 연결판(45) 및 몰드(46)로 구성된다.

상기 베이스 프레임(41)은 이송 챔버(20)의 전체적인 골조를 형성하는 것으로서, 도면에서 보는 바와 같이 하나의 부재로 제공되어 여러 이송 챔버에 제공될 수 있다.

이러한 베이스 프레임(41)은 상면 양측에 길이 방향을 따라 레일(41a)이 일체로 구비되는 구조이며, 이때의 레일(41a)은 금속재로 제공되는 베이스 프레임(41)에 인발 가공을 통해 일체로 돌출 형성되게 구비되거나 또는 별도의 부재로 성형하여 용접이나 나사 부재를 통해 마운팅될 수 있다.

상기 플레이트(42)는 상술한 베이스 프레임(41)의 상측에 구비되는 판재형의 부재로서, 저면 양측에 레일(41a)을 따라 이동 가능하게 레일홈(42a)이 형성되는 구조이며, 이때의 상기 레일홈(42a)은 도면에서 보는 바와 같이 레일(41a)에 슬라이드 끼움되는 것에 의해 플레이트(42)가 베이스 프레임(41)상에서 전·후 이동이 가능하게 되는 것이다. 여기서 상기 플레이트(42)는 상세하게 도시하지는 않았으나 도 2를 참조하여 보면 메인 실린더에 출몰 동작에 연동하여 직진 왕복 이동을 하게 되는 구조이다.

상기 고정 브라켓트(43)는 상기 이송 챔버(20)의 전·후 방향을 기준으로 어느 일측에 "ㄷ"자 형태로 마련되는 부재로서, 일측 모서리 부분이 하향 연장되는 플랜지부(43a)가 형성되어 플레이트(42)에 고정 결합되는 구조이다.

즉, 상기 고정 브라켓트(43)는 이송 챔버(20)의 폭방향을 기준으로 양측에 모서리가 각각 위치되는데, 이때 어느 한쪽에 위치되는 모서리는 도면에서 보는 바와 같이 그 하측 부분이 하향 연장되어 플레이트(42)의 상면에 나사부재(43b)를 통해 결합되는 구조이며, 다른쪽에 위치되는 모서리는 연장되지 않은 상태이므로 플레이트(42)로부터 이격된 상태로 구비된다.

이와 같이 구성되는 고정 브라켓트(43)는 기판(g)이 안착될 수 있게 모서리측에 단차부(h)가 형성되는 구조이다.

상기 플로팅 브라켓트(44)는 상술한 고정 브라켓트(43)와 대동소이한 형태로 마련되면서 그 상면이 고정 브라켓트(43)와 동일 평면에 위치되게 구비되는 구조로서, 후술할 연결판(45)에 의해 상기 고정 브라켓트(43)에 연결되어 플레이트(42) 상에서 간격을 두고 이격 배치된다.

한편, 상기 고정 브라켓트(43)와 플로팅 브라켓트(44)의 사이에는 도 4에서 보는 바와같이 트랜스퍼 챔버(30)의 포크 트레이(31)가 교차 배치되는 형태로 구비되며, 이때의 상기 포크 트레이(31)는 이송 챔버(20)가 전·후 방향으로 이동되는데 반해 좌·우 방향으로 이동되는 구조이다. 따라서, 상기 고정 브라켓트(43)와 플로팅 브라켓트(44)의 구조에 의해 상기 이송 챔버(20)상의 이송 트레이(40)는 전진 또는 후퇴 이동시 교차 배치된 포크 트레이(31)와의 위치 간섭없이 원활한 이동이 가능하게 된다.

이와 같이 구성되는 플로팅 브라켓트(44)는 상술한 고정 브라켓트(43)와 마찬가지로 기판(g)이 안착될 수 있게 모서리측에 단차부(h)가 형성되는 구조이다.

상기 연결판(45)은 판재형이 부재로서 상술한 고정 브라켓트(43)와 플로팅 브라켓트(44)의 상면에 양단이 나사부재(45a)로 결합되어 상기 플로팅 브라켓트(44)가 플레이트(42)에서 이격된 상태로 위치되게 하여 결과적으로 연결판(45)과 공간을 두고 구비되는 부재이다.

즉, 상기 연결판(45)은 고정 브라켓트(43)와 플로팅 브라켓트(44)를 상호 연결하여, 상기 플로팅 브라켓트(44)가 플레이트(42) 상에서 일정 높이에 부상된 상태를 유지되게 하여 결과적으로 이송 트레이(40)의 전·후진 이동시 포크 트레이(31)와 위치 간섭이 일어나지 않도록 하는 것이다.

한편, 상기 고정 브라켓트(43) 및 플로팅 브라켓트(44)와 연결판(45) 사이에는 간극 형성을 위한 길이재의 몰드(46)가 개재될 수 있으며, 이때의 상기 몰드(46)는 상술한 나사부재(45a)에 의해 일체로 연결판(45)과 고정 브라켓트(43) 및 플로팅 브라켓트(44)에 마운팅되는 구조이다. 이와 같은 상기 몰드(46)는 본 발명에서 별도의 부재를 구비하여 연결판과 고정 브라켓트(43) 및 플로팅 브라켓트(44) 사이에 개재시키는 구성을 나타내고 있으나, 본 발명은 이에 한정하지 않고 고정 브라켓트(43) 및 플로팅 브라켓트(44)의 상면에 일체로 가공하여 형성시키거나 이에 대응되는 연결판(45)의 저면 양측에 일체로 형성시켜도 무방할 것이다.

상기와 같이 구성되는 유기전계 발광소자 증착장치용 이송 트레이의 동작 과정을 살펴 보면 다음과 같다.

먼저, 도 5에서와 같이 일정구간을 갖는 여러 개의 유닛으로 구성되는 이송 챔버(20)는 각각 이송 트레이(40)를 구비하는 구조이며, 이들 각각의 이송 트레이(40)는 교차하는 방향으로 트랜스퍼 챔버(30)의 포크 트레이(31)가 위치되어 상기 이송 챔버(20)의 동작방향에 대하여 교차되는 방향으로 직진 왕복 이동을 하게 된다.

여기서, 상기 전진 이동하는 방향의 선단측에는 고정 브라켓트(43)가 고정 설치되고 후단측에는 플로팅 브라켓트(44)가 상기 고정 브라켓트(43)와 연결판(45)에 의해 연결 구비되는 구조이다.

이와 같은 상태에서 이송 챔버(20)의 고정 브라켓트(43)와 플로팅 브라켓트(44)의 각 단차부(h)에 기판(g)이 안착된 상태에서 앞쪽으로 이동하게 되면 트랜스퍼 챔버(30)의 포크 트레이(31)는 일정 높이에 부상된 플로팅 브라켓트(44)와 위치 간섭을 일으키지 않으므로 결과적으로 이송 트레이(40)의 원활한 전진 이동이 가능하게 된다.

한편, 본 발명은 기재된 실시예에 한정하는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형을 할 수 있음은 이 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게는 자명하다. 따라서, 그러한 변형예 또는 수정 예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 해야 할 것이다.

상기와 같이 구성되고 작용되는 유기전계 발광소자 증착장치용 이송 트레이는 기판이 안착된 상태에서 일정구간을 전진 및 후진 이동하면서 교차 배치된 트랜스퍼 챔버의 포크 트레이와의 위치 간섭 현상이 없이 안정된 동작이 가능하게 되므로 제품에 대한 신뢰성 향상을 꾀할 수 있는 산업상 유용한 효과를 제공한다.

Claims

메인 실린더에 의해 직진 왕복 이동하는 이송 트레이를 구비한 다수의 이송 챔버를 연결 구성하고 이들 이송 챔버를 사이에 두고 양 끝에 기판의 장입과 반출을 위한 장입·반출 챔버 및 그 일측에 구비되어 기판을 공급 및 반출시키는 반입출 장치가 각각 구비되고, 이들 사이에 교차 배치되는 것으로 상기 이송 챔버상에서 공정을 수행하는 진공상태의 여러 공정 챔버 및 이들 각 공정 챔버와 대향하는 위치에 상기 이송 챔버상의 기판을 해당 공정 챔버로 반입출시키는 포크 트레이를 구비한 트랜스퍼 챔버로 구성되는 증착파트 및 봉지파트로 이루어진 유기전계 발광소자 증착장치에 있어서,

상기 이송 챔버는 상면 양측에 길이 방향으로 레일이 일체로 구비되는 베이스 프레임과;

상기 베이스 프레임의 상측에 구비되어 저면 양측에 레일을 따라 이동되게 슬라이드 끼움되는 레일홈이 형성되는 판재형의 플레이트와;

상기 이송 챔버의 전·후 방향을 기준으로 어느 일측에 "ㄷ"자 형태로 마련되는 것으로 일측 모서리 부분이 하향 연장되는 플랜지부가 형성되어 플레이트에 고정 결합되는 고정 브라켓트와;

상기 고정 브라켓트와 마주보는 위치에 플레이트 상에서 일정 간격을 두고 이격된 위치에 구비되는 플로팅 브라켓트와;

상기 고정 브라켓트와 플로팅 브라켓트의 상면에 양단이 결합되어 플로팅 브라켓트가 플레이트에서 이격된 상태로 위치되게 하여 공간을 형성함으로써 교차 배치된 트랜스퍼 챔버의 포크 트레이가 고정 브라켓트와 플로팅 브라켓트에 지지되는 기판을 들어 올려 이동시킬 수 있게 하는 연결판;

을 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 유기전계 발광소자 증착장치용 이송 트레이.
제 1항에 있어서, 상기 고정 브라켓트와 플로팅 브라켓트는 상면이 동일 평면상에 위치되게 구비되면서 기판이 안착될 수 있게 모서리측에 단차부가 형성되는 것을 특징으로 하는 유기전계 발광소자 증착장치용 이송 트레이.
제 1항에 있어서, 상기 고정 및 플로팅 브라켓트와 연결판 사이에는 간극 형성을 위한 길이재의 몰드가 개재되어 일체로 결합 구성되는 것을 특징으로 하는 유기전계 발광소자 증착장치용 이송 트레이.