KR100780050B1 - 유기전계 발광소자 증착장치용 기판 홀딩장치 - Google Patents

Abstract

본 발명은 유기전계 발광소자 증착장치용 기판 홀딩장치를 개시한다.

본 발명의 유기전계 발광소자 증착장치용 기판 홀딩장치는, 메인 실린더에 의해 직진 왕복 이동하는 트레이를 구비한 이송 챔버를 사이에 두고 양 끝에 기판의 장입과 반출을 위한 장입·반출 챔버가 구비되고 이들 사이에 이송 챔버상에서 증착공정을 수행하는 진공상태의 여러 공정챔버가 교차 배치되며, 이 공정챔버는 장입된 기판의 하면으로 선택적으로 밀착되는 마스크가 구비되는 유기전계 발광소자 증착장치에 있어서, 상기 공정챔버는 기판의 양측면에 위치되어 기판을 지지하는 클립을 일체로 구비하는 브라켓트와, 상기 브라켓트의 상측에 수직하게 배치되게 구비되며 승강로드의 일단에 결합되어 승강되는 고정부재 및 이 고정부재의 일측에 일체로 구비되어 기판의 상면에 선택적으로 접촉되는 고정편을 구비하는 승강 실린더와, 상기 기판의 상면에 위치되어 승강되는 것으로 기판의 상면에 폭넓게 접촉되는 판재형상을 갖는 마그네트로 된 상부 승강체와, 상기 승강 실린더의 고정부재에 가이드핀으로 연결되어 연동되는 것으로 상측에 마스크가 구비되는 판재형상을 갖는 자성체로 된 하부 승강체를 포함하여 구성된다.

상기와 같이 구성되는 유기전계 발광소자 증착장치용 기판 홀딩장치는 증착공정시 기판과 마스크와의 밀착성을 높일 수 있도록 하여 안정되고 균일한 증착공정을 보장하여 제품의 불량률을 저감시킬 수 있으므로 생산수율 향상을 꾀할 수 있는 산업상 유용한 효과를 제공한다.

유기, 기판, 마그네트, 증착

Description

유기전계 발광소자 증착장치용 기판 홀딩장치{ Board holding device of organic electroluminescent devices}

도 1은 종래 기술에 따른 유기전계 발광 디스플레이 소자 증착장치의 구성을 설명하기 위한 평면도,

도 2는 본 발명이 적용되는 유기전계 발광소자 제조장치의 구성을 설명하기 위한 계통 구성도,

도 3 내지 도 6은 본 발명에 따른 유기전계 발광소자 증착장치용 기판 홀딩장치의 구성 및 동작상태를 설명하기 위한 도면.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

1 : 증착장치 2 : 이송 챔버

3 : 장입챔버 4 : 반출챔버

5 : 공정 챔버 10 : 공정챔버

20,21 : 브라켓트 30,31 : 승강 실린더

40,50 : 상·하부 승강체 g : 기판

m : 마스크

본 발명은 인라인 크로스 타입의 유기전계 발광소자 증착장치용 기판 홀딩장치에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 공정챔버내로 장입된 기판을 유동없이 안정되게 지지하여 공정수행을 원활하게 실시할 수 있도록 한 유기전계 발광소자 증착장치용 기판 홀딩장치에 관한 것이다.

최근, 음극선관(Cathode Ray Tube)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 각종 평판 디스플레이 장치들이 개발되고 있으며, 이러한 평판 디스플레이 장치로는 액정 표시장치(Liquid Crystal Display : LCD)와, 전계 방출 표시장치(Field Emission Display : FED)와, 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel : PDP) 및 일렉트로 일루미네센스(Electro-luminescence : EL) 표시소자 등이 있다.

여기서, 상기 PDP는 구조와 제조공정이 비교적 단순하기 때문에 대화면화에 가장 유리하지만 발광효율과 휘도가 낮고 소비전력이 큰 단점이 있으며, 상기 LCD는 반도체공정을 이용하기 때문에 대화면화에 어려움이 있지만 노트북 컴퓨터의 표시소자로 주로 이용되면서 수요가 늘고 있지만, 대화면화가 어렵고 백라이트 유닛으로 인하여 소비전력이 큰 단점과 더불어 LCD는 편광필터, 프리즘시트, 확산판 등의 광학소자들에 의해 광손실이 많고 시야각이 좁은 문제점이 있었다. 이에 비하여, EL 표시소자는 유기 EL과 무기 EL로 대별되며, 응답속도가 빠르고 발광효율, 휘도 및 시야각이 큰 장점이 있다. 이때, 유기 EL인 유기전계 발광 디스플레이 소자는 대략 10[V] 정도의 전압으로 수만 [cd/㎡]의 높은 휘도로 화상을 표시할 수 있다.

일반적으로 유기전계 발광 디스플레이 소자는 전자 주입전극(음극)과 정공 주입 전극(양극) 사이에 형성된 유기막에 전하를 주입하면 전자와 정공이 쌍을 이룬 후 소멸하면서 빛을 내는 소자로서 낮은 전압에서 구동이 가능하고, 또한 전력이 소모가 비교적 적은 것을 특징으로 하는 소자이다.

즉, 유기전계 발광 디스플레이 소자는 유기재료의 적층 박막에 직류전압을 인가하면, 전기에너지가 빛에너지로 변화하여 발광하는 현상을 이용한 평판디스플레이이다.

최근까지 제품화되어 있는 유기EL디스플레이는 저 분자계의 분체 유기발광 재료가 사용되고 있고, 이 저분자 유기발광재료는 수분이나 고에너지 입자에 약하기 때문에 유기발광층이나 음극 금속전극의 박막형성은 섀도우 마스크(Shadow Mask)를 사용한 진공 증착에 의하여 패턴을 형성하고 있다.

이러한 유기 EL(electroluminesecence)디스플레이 소자의 제작 과정을 살펴보면 다음과 같다.

먼저, 절연성 및 투명성을 갖는 글라스 기판 상부면에 ITO(indium Tin Oxide)로 이루어진 투명도전막이 형성되는 양극을 형성한다. 그리고, 상기 양극 상부면에 정공 주입층을 형성하고, 상기 정공 주입층 상부면에 정공수송층을 증착한다. 그리고 정공 수송층 상부면에 윳기 발광층을 형성한다. 이때 필요에 따라 상기 유기 발광층에 일종의 불순물인 도펀트(dopant)를 첨가한다. 이어 전자 주입층 상부면에 금속 화합물층 알칼리 금속 또는 알카리토 금속을 얇게 증착하여 전자의 주입을 좋게 한다. 그리고 마지막으로 상기금속층 위에 금속을 이용하여 음극을 형성 한다.

이때, 유기 발광층은 일반적으로 파이 전자를 갖고 있기 때문에 물분자와 상호작용을 하게 된다. 따라서 공기중의 수분, 또는 이미 기판 등에 부착된 수분은 소자를 구동하지 않고 단순히 보관만 할 경우에도 서서히 전극 및 유기박막을 공격하여 흑점을 만들게 된다.

이와 같이 유기전계 발광 디스플레이 소자의 최대 과제는 내구성의 개선에 있으며, 그 중 상기 흑점이라 불리는 비 발광부의 발생과 그 성장의 방지가 가장 큰 과제로 되어 있다.

따라서, 유기전계 발광 디스플레이 소자를 양산하기 위해서는 재료에 어떠한 영향이 없도록 정제 처리하는 것이 매우 중요하며, 이를 위하여 유기전계 발광 디스플레이 소자는 챔버내에 밀봉한 후 진공 상태에서 각 물질을 성막함으로써 공기와 최대한 차단하도록 하고 있다.

이러한 이유로 한번 로딩된 ITO기판은 증착공정은 모두 진공에서 진행되어지고 봉지공정을 진행하는 동안에도 수분, 산소가 배제된 불활성 가스 분위기내에서 가공되어 진다. 이를 위해 현재는 하나의 이송 챔버를 중심으로 프로세서 챔버가 부착되어 있는 인공위성형의 장비가 주를 이루고 있다.

도 1은 종래 기술에 따른 유기전계 발광 디스플레이소자 증착장치의 일례를 보여주는 평면 계통도이다.

이에 나타내 보인 바와 같이 기판 보관실(100)에 보관되어 있던 유리기판을 중앙에 위치한 반송실(200)로부터 진공 반송로봇(300)에 의하여 인출하여 전처리실 (400)로 급송하고, 전처리실(400)에서는 진공 증착을 수행하기전에 전처리를 수행한 다음, 다시 반송실(200)의 반송로봇(300)에 의하여 이를 인출하여 여러 증착실(500,600,700,800)로 분배 급송하고, 이들 각각의 증착실(500,600,700,800)에서는 유리기판상에 여러 적층박막을 성형하고자 진공 증착 과정을 수행하고 진공 증착 과정이 완료되면 반송실(200)의 반송로봇(300)에 의하여 다음공정을 수행하기 위하여 급송실(900)로 공급하게 된다.

또한, 이러한 종래의 증착방식은 여러 증착실(500,600,700,800)내부에서 유리기판상에 진공 증착하는 경우, 이들 증착실(500,600,700,800)은 섀도우 마스크를 장착한 유리기판을 단일의 스테이지에 투입 고정하고 여러 단계에 걸쳐 순차적으로 진공 증착 과정을 거치게 되는데, 이와 같이 진공 증착이 이루어지는 과정은 독립적이면서 단일 스테이지 형태인 증착실(5,6,7,8) 각각의 내부에서 진공 증착이 이루어지고 있다.

그러나, 상술한 바와같은 종래 기술에 따른 유기전계 발광 디스플레이소자 증착장치는 다음과 같은 문제점이 있었다.

첫째, 이송 챔버간의 연결시 불필요한 부가 챔버를 설치하거나 이송 챔버에 공정 챔버를 부착하는 것이 불가능한 면이 발생하며, 이로 인하여 설비 비용의 상승과 생산 속도가 저하되는 문제점이 있었다.

둘째 공정의 변화 및 생산량 증대를 위한 챔버의 추가가 사실상 불가능한 단점이 있으며, 이는 하나의 이송 챔버에 여러 공정 챔버를 부착할 경우 이송 챔버가 과도하게 커지고, 이송 로봇의 아암이 길어져야 하는 문제가 있으며, 이송 챔버를 추가할 경우 각각의 이송 챔버에 이송 로봇이 소요되어 비용이 상승되는 폐단이 있었다.

셋째 각 공정 챔버가 이송 챔버와 가까이 붙어 있으므로 생산시 공정의 모니터링이 용이치 못하며, 유지 보수시 많은 시간이 소용되고 이송 챔버에 이상 발생시 작업이 용이치 않은 문제점이 있었다.

상기의 문제점을 개선하기 위하여 인라인 크로스 타입이 제안된 바 있으며, 이러한 인라인 크로스 타입의 유기전계 발광소자 증착장치는 일직선상으로 배치되는 길이재의 이송 챔버를 사이에 두고 양측으로 증착 및 봉지 공정을 수행하는 공정 챔버와, 이들 공정 챔버의 대향하는 위치에 구비되어 이송 챔버상의 소자를 해당 챔버로 장입 또는 반입시키는 트랜스퍼 챔버가 배치되는 구조이다.

여기서, 상기 공정단계에서 여러 증착공정을 실시하는 증착용 공정챔버로 장입된 기판이 마스크와 밀착된 상태에서 증착이 실시되어야 하므로 높은 신뢰성과 안정성을 확보한 기판 홀딩장치의 개발이 시급한 실정이다.

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 본 발명은 증착 공정을 수행하는 공정챔버로 장입된 기판이 마스크와 안정되게 밀착될 수 있게 하여 증착 효율성을 높이면서 제품 불량을 미연에 방지할 수 있는 유기전계 발광소자 증착장치용 기판 홀딩장치를 제공하는데 그 목적이 있다.

상기의 목적을 실현하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계 발광소자 증착장치용 기판 홀딩장치는 메인 실린더에 의해 직진 왕복 이동하는 트레이를 구비한 이송 챔버를 사이에 두고 양 끝에 기판의 장입과 반출을 위한 장입·반출 챔버가 구비되고 이들 사이에 이송 챔버상에서 증착공정을 수행하는 진공상태의 여러 공정챔버가 교차 배치되며, 이 공정챔버는 장입된 기판의 하면으로 선택적으로 밀착되는 마스크가 구비되는 유기전계 발광소자 증착장치에 있어서,

상기 공정챔버는 기판의 양측면에 위치되어 기판을 지지하는 클립을 일체로 구비하는 브라켓트와; 상기 브라켓트의 상측에 수직하게 배치되게 구비되며 승강로드의 일단에 결합되어 승강되는 고정부재 및 이 고정부재의 일측에 일체로 구비되어 기판의 상면에 선택적으로 접촉되는 고정편을 구비하는 승강 실린더와; 상기 기판의 상면에 위치되어 승강되는 것으로 기판의 상면에 폭넓게 접촉되는 판재형상을 갖는 마그네트로 된 상부 승강체와; 상기 승강 실린더의 고정부재에 가이드핀으로 연결되어 연동되는 것으로 상측에 마스크가 구비되는 판재형상을 갖는 자성체로 된 하부 승강체를 포함하여 구성되는 것을 그 특징으로 한다.

본 발명의 바람직한 한 특징으로서, 상기 승강 실린더의 승강로드는 그 선단이 브라켓트에 연결되고, 고정부재와 브라켓트 사이에는 탄성 스프링이 개재되는 구성인 것에 있다.

본 발명의 바람직한 다른 특징으로서, 상기 상부 승강체는 실린더에 의해 승강 가능하게 구비되는 것에 있다.

본 발명의 특징 및 이점들은 첨부도면에 의거한 다음의 상세한 설명으로 더 욱 명백해질 것이다. 이에 앞서 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 유기전계 발광소자 증착장치용 기판 홀딩장치의 바람직한 일 실시예를 설명하면 다음과 같다.

도 2는 본 발명이 적용되는 유기전계 발광소자 제조장치의 구성을 설명하기 위한 계통 구성도이다. 그리고, 도 3 내지 도 6은 본 발명에 따른 유기전계 발광소자 증착장치용 기판 홀딩장치의 구성 및 동작상태를 설명하기 위한 도면이다

먼저, 도 2에 나타내 보인 바와 같이, 본 발명의 이송 챔버 확장구조는 인라인 크로스 타입의 유기전계 발광소자 제조장치(1)에 실시된다.

즉, 도면에서 보는 바와 같이 본 발명이 적용 실시되는 유기전계 발광 디스플레이소자 제조장치는 크게 글라스 기판에 대해 증착을 실시하는 증착파트와 증착기판을 글라스캔에 흡습제와 함께 합착시키는 봉지파트로 대별된다.

증착파트는 글라스 기판에 대한 증착공정시 장시간에 걸쳐 신속한 연속증착을 가능하게 하면서 장비 업그레이드의 용이성을 확보하기 위한 것으로서, 글라스 기판을 이송하는 증착 이송 챔버(2)를 소정의 길이를 갖는 일자형의 구조로 마련하고, 이 증착 이송 챔버(2)의 양 끝에 기판의 장입과 반출을 위한 증착 장입챔버(3)와 증착 반출 챔버(4)를 구비시키고, 상기 증착 이송 챔버(2)의 양측으로 다수의 챔버로 구성되는 증착 공정 챔버(5)를 교차 배치한 구성이다.

여기서, 상기 각각의 챔버들은 공지의 진공펌프와 같은 진공수단에 의해 진공상태가 유지되며, 다만 기판을 장입 및 반출하는 증착 장입챔버(3) 및 증착 반출 챔버(4)는 선택적으로 진공상태가 유지되는 구성이다.

한편, 봉지파트는 상기 증착파트의 반출 챔버(4)와 글로브 박스(6)로 연결되어 로봇(r)에 의해 증착기판을 제공받는다.

이러한 봉지파트는 증착파트와 마찬가지로 증착기판에 대한 봉지공정시 장시간에 걸쳐 신속한 연속증착을 가능하게 하면서 장비 업그레이드의 용이성을 확보하기 위한 것으로서, 글라스 캔을 이송하는 봉지 이송 챔버(2')를 소정의 길이를 갖는 일자형의 구조로 마련하고, 이 봉지 이송 챔버(2')의 양 끝에 글라스 캔의 장입과 발광기판의 반출을 위한 봉지 장입챔버(3')와 봉지 반출 챔버(4')를 구비시키고, 상기 봉지 이송 챔버(2')의 양측으로 다수의 챔버로 구성되는 봉지 공정 챔버(5')를 교차 배치한 구성이다. 이때, 상기 봉지 공정 챔버(5') 상에는 증착파트로부터 증착기판을 제공받아 봉지 이송 챔버(2')로 제공하기 위한 봉지 기판 장입챔버(7)가 부가 구성된다.

여기서, 상기 증착파트와 봉지파트를 구성하는 각각의 챔버들은 공지의 진공펌프와 같은 진공수단에 의해 진공상태가 유지되는 구성이고, 이러한 각각의 챔버들의 진공을 위한 구조는 공지된 기술에 의해 실시되어도 무방하므로 상세한 설명은 생략한다.

이와 같이 구성되는 유기전계 발광소자 제조장치(1)의 특징은 진공 상태에서 글라스 기판 및 글라스 캔이 이송되는 트레이(2a,2a')를 구비한 일직선상으로 배치되는 증착 이송 챔버(2) 및 봉지 이송 챔버(2')와, 증착 및 봉지 공정이 진행되는 각각의 챔버들을 상기 일자형의 증착 이송 챔버(2) 및 봉지 이송 챔버(2')를 중심으로 좌,우측에 교차 배치하고 각각의 증착 및 봉지 공정 챔버(5,5')에 대향하는 위치 즉, 각 이송 챔버(2,2')를 사이에 두고 대향하는 위치에 상기 이송 챔버(2,2')상의 소재(유기전계 디스플레이 소자)를 각 챔버로 진입시키기 위한 실린더를 구비한 트랜스퍼 챔버(t)가 배치되는 것에 의해 이송 및 반송경로를 단순화하고 이송로봇 대신 트레이(2a,2a')와 메인 실린더(2b,2b')를 이용하여 글라스 기판 및 글라스캔, 증착기판의 신속한 이송 및 반송을 구현하는 것에 있다.

한편, 본 발명은 상술한 인라인 크로스 타입의 유기전계 발광소자 증착장치에 적용 실시되는 것으로서, 도 3 내지 도 6에서 보는 바와 같이 위치 정렬이 완료된 기판에 대한 고정을 실시하기 위하여 본 발명은 브라켓트(20,21)와 승강 실린더(30,31) 그리고 상부 승강체(40) 및 하부 승강체(50)를 포함하여 구성된다.

상기 브라켓트(20,21)는 도면에서 보는 바와 같이 기판(g)의 진입 방향을 기준으로 그 양측에 배치되는 길이재의 부재로서, 각종 구성품이 설치되는 공간을 제공하는 것이다.

이와 같이 구성되는 브라켓트(20,21)는 기판(g)의 진입시 위치 간섭이 일어나지 않도록 기판(g)과는 일정한 간격을 두고 위치될 수 있게 구비되어야 할 것이 다.

상기 승강 실린더(30,31)는 상술한 브라켓트(20,21)의 상측에 수직하게 배치되게 구비되는 것으로서, 상기 브라켓트(20,21)에 연결되는 승강로드(30a,31a)를 구비하고, 이 승강로드(30a,31a)의 일단에는 고정부재(30b,31b)가 결합되어 승강되는 구조이다. 이때 상기 고정부재(30b,31b)는 기판(g)과의 위치간섭이 일어나지 않도록 기판(g)의 외측에 구비되는 구조이며, 상기 고정부재(30b,31b)의 일측으로는 기판(g)의 상면에 선택적으로 접촉되는 고정편(30b',31b')이 일체로 구비되는 구조이다.

이와 같이 구성되는 승강 실린더(30,31)는 고정부재(30b,31b)가 하강하여 브라켓트(20,21)의 상측에 근접하게 이동되면, 고정편(30b',31b')이 기판(g)의 상면에 접촉되어 기판(g)의 고정상태를 유지하게 된다.

상기 상부 승강체(40)는 도시하지는 않았으나 실린더에 의해 선택적으로 승강되는 판재형의 부재로서, 자력을 갖는 마그네트 판으로 구성된다.

이러한 상부 승강체(40)는 기판(g)의 상면에 밀접하게 접촉될 수 있도록 저부면이 평탄하게 가공되는 구조이며, 기판(g)의 상면에 폭넓게 접촉할 수 있도록 기판(g)에 대응되는 크기로 구비되거나 또는 기판(g)에 비해 큰 크기로 구비되는 것이 바람직하다.

이와 같이 구성되는 상부 승강체(40)는 후술할 하부 승강체(50)와 상호작용 에 의해 상호 기판(g)의 상·하면에서 밀접하게 구비되게 된다.

상기 하부 승강체(50)는 상술한 승강 실린더(30,31)의 고정부재(30b,31b)에 가이드핀(51)으로 연결되어 일체로 연동하여 승강되는 부재로서, 상측에 마스크(m)가 구비되는 판재형상을 갖는 자성체로 구비된다.

한편, 상기 승강 실린더(30,31)의 승강로드(30a,31a)는 그 선단이 브라켓트(20,21)에 연결되고, 상기 고정부재(30b,31b)와 브라켓트(20,21) 사이에는 탄성 스프링(52)이 개재되는 구성이며, 이때의 상기 탄성 스프링(52)은 고정부재(30b,31b)의 승강시 급격한 승강동작에 의한 기기 및 기판(g)에 가해지는 충격을 저감시키기 위한 것이다.

상기와 같이 구성되는 유기전계 발광소자 증착장치용 기판 홀딩장치의 동작과정을 첨부된 도면을 참조하여 살펴보면 다음과 같다.

먼저, 도 3에서와 같이 공정챔버(10)내로 장입된 기판(g)은 상기 승강 실린더(30,31)의 고정편(30b',31b')에 의해 상면이 가압되는 것에 의해 위치 고정된 상태에서 증착공정이 시작된다.

즉, 도 4에서 보는 바와 같이 증착공정이 시작되면 먼저, 고정부재(30b,31b)가 상승하여 기판(g)의 상면에 작용하던 가압력을 해제한다.

이어서, 도 5에서 보는 바와 같이 상기 고정부재(30b,31b)가 일정 높이에 도달하게 되면, 상기 고정부재(30b,31b)의 고정편(30b',31b')에 가이드핀((51)으로 연결된 하부 승강체(50)가 일체로 연동하여 상승이동함에 따라 상기 하부 승강체(50)의 상측에 구비된 마스크의 상면이 기판(g)의 저면에 접촉된 상태를 유지하게 된다.

이와 같은 상태에서 도 6에서 보는 바와 같이 상기 상부 승강체(40)가 하강 이동하게 되면, 마그네트로 된 상부 승강체(40)와 자성체로 된 하부 승강체(50)가 상호작용에 의해 기판(g)의 상·하면에 더욱 밀착된 상태를 유지하게 된다.

따라서, 상기 기판(g)과 마스크(m)가 완전하게 밀착되는 것에 의해 증착기체가 기판(g)에 증착될 때의 정확성을 높일 수 있어 불량률을 낮출 수 있게 된다.

한편, 본 발명은 기재된 실시예에 한정하는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형을 할 수 있음은 이 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게는 자명하다. 따라서, 그러한 변형예 또는 수정 예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 해야 할 것이다.

상기와 같이 구성되고 작용되는 유기전계 발광소자 증착장치용 기판 홀딩장치는 증착공정시 기판과 마스크와의 밀착성을 높일 수 있도록 하여 안정되고 균일한 증착공정을 보장하여 제품의 불량률을 저감시킬 수 있으므로 생산수율 향상을 꾀할 수 있는 산업상 유용한 효과를 제공한다.

Claims (3)

1. 메인 실린더에 의해 직진 왕복 이동하는 트레이를 구비한 이송 챔버를 사이에 두고 양 끝에 기판의 장입과 반출을 위한 장입·반출 챔버가 구비되고 이들 사이에 이송 챔버상에서 증착공정을 수행하는 진공상태의 여러 공정챔버가 교차 배치되며, 이 공정챔버는 장입된 기판의 하면으로 선택적으로 밀착되는 마스크가 구비되는 유기전계 발광소자 증착장치에 있어서,

   상기 공정챔버는 기판의 양측면에 위치되어 기판을 지지하는 클립을 일체로 구비하는 브라켓트와;

   상기 브라켓트의 상측에 수직하게 배치되게 구비되며 승강로드의 일단에 결합되어 승강되는 고정부재 및 이 고정부재의 일측에 일체로 구비되어 기판의 상면에 선택적으로 접촉되는 고정편을 구비하는 승강 실린더와;

   상기 기판의 상면에 위치되어 승강되는 것으로 기판의 상면에 폭넓게 접촉되는 판재형상을 갖는 마그네트로 된 상부 승강체와;

   상기 승강 실린더의 고정부재에 가이드핀으로 연결되어 연동되는 것으로 상측에 마스크가 구비되는 판재형상을 갖는 자성체로 된 하부 승강체;

   를 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 유기전계 발광소자 증착장치용 기판 홀딩장치.
2. 제 1항에 있어서, 상기 승강 실린더의 승강로드는 그 선단이 브라켓트에 연 결되고, 고정부재와 브라켓트 사이에는 탄성 스프링이 개재되는 구성인 것을 특징으로 하는 유기전계 발광소자 증착장치용 기판 홀딩장치.
3. 제 1항에 있어서, 상기 상부 승강체는 실린더 구동에 의해 승강 가능하게 구비되는 것을 특징으로 하는 유기전계 발광소자 증착장치용 기판 홀딩장치.

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