KR100722802B1 - 유기전계 발광소자 증착장치용 이송 챔버 확장구조 - Google Patents

Abstract

본 발명은 유기전계 발광소자 증착장치용 이송 챔버 확장 구조를 개시한다.

본 발명에 따른 유기전계 발광소자 증착장치용 이송 챔버 확장구조는 메인 실린더에 의해 직진 왕복 이동하는 트레이를 구비한 이송 챔버를 사이에 두고 양 끝에 기판의 장입과 반출을 위한 반입출 챔버가 각각 구비되고, 이들 사이에 이송 챔버상에서 증착과 봉지공정을 수행하는 진공상태의 여러 공정챔버가 교차 배치되고, 반입출 챔버의 각 일측에 구비되어 기판을 공급 및 반출시키는 기판 반입출 장치를 구비하고, 상기 메인 실린더는 벨로우즈관에 의해 밀봉되어 진공상태가 유지되게 한 유기전계 발광소자 제조장치에 있어서, 상기 이송 챔버는 길이 방향으로 증설될 수 있게 복수개의 이송 챔버유닛으로 분할 구성되고, 상기 이송 챔버유닛은 폭방향으로 테두리면을 따라 입구 일측에 이탈방지턱이 구비된 소정깊이의 결속홈이 일체로 형성되는 구조이고, 상기 서로 인접하게 배치된 한쌍의 이송 챔버유닛을 일체로 결속시키는 것으로, 하부는 결속홈에 삽입되어 이탈방지턱에 걸림되는 걸림편이 돌출 형성되고 상부는 상향 돌출되어 이송 챔버 유닛의 외면에 접촉되는 단차부가 형성되는 한쌍의 구속 브라켓트 및 이들 한쌍의 구속 브라켓트를 통과하여 나사체결에 의해 지지력을 생성시키는 나사부재로 된 클램핑 수단을 더 포함하여 구성된다.

상기와 같이 구성되는 유기전계 발광소자 증착장치용 이송 챔버 확장구조는 복수개로 분할 구성되는 이송 챔버유닛을 클램핑 수단을 이용하여 결속시키는 비교 적 간소한 작업만으로도 실시가 가능하다. 따라서, 작업의 용이성을 확보할 수 있어 작업에 소요되는 시간을 최소화시킬 수 있어 결과적으로 공정 챔버의 추가 증설로 인한 생산성에 미치는 영향을 최소화시킬 수 있는 산업상 유용한 효과를 제공한다.

유기, 테이블, 진공, 벨로우즈, 확장

Description

유기전계 발광소자 증착장치용 이송 챔버 확장구조{chamber extension structure of organic electroluminescent devices}

도 1은 종래 기술에 따른 유기전계 발광 디스플레이 소자 증착장치의 구성을 설명하기 위한 평면도,

도 2는 본 발명이 적용되는 유기전계 발광소자 제조장치의 구성을 설명하기 위한 계통 구성도,

도 3은 본 발명에 따른 유기전계 발광소자 증착장치에서 이송 챔버가 놓여지는 테이블을 나타낸 측면도,

도 4는 본 발명에 따른 유기전계 발광소자 증착장치에서 테이블의 연결부위를 나타낸 요부 확대도,

도 5는 도 4의 요부 구성을 발췌한 분해 사시도.

<도면의 주요 부분에 대한 부호의 설명>

1 : 증착장치 2 : 이송 챔버

3 : 장입챔버 4 : 반출챔버

5 : 공정챔버 10 : 테이블

15 : 볼트 20 : 이송 챔버

21 : 이송 챔버유닛 25 : 결속홈

26 : 이탈방지턱 30 : 클램핑 수단

31, 32 : 구속 브라켓트 35 : 나사부재

본 발명은 인라인 크로스 타입의 유기전계 발광소자 증착장치용 이송 챔버 확장구조에 관한 것으로서, 보다 상세하게는 생산량 증대를 위한 여러 공정 챔버의 추가설치를 위해 이송 챔버를 간소한 구조에 의해 증설 가능하게 유기전계 발광소자 증착장치용 이송 챔버 확장구조에 관한 것이다.

최근, 음극선관(Cathode Ray Tube)의 단점인 무게와 부피를 줄일 수 있는 각종 평판 디스플레이 장치들이 개발되고 있으며, 이러한 평판 디스플레이 장치로는 액정 표시장치(Liquid Crystal Display : LCD)와, 전계 방출 표시장치(Field Emission Display : FED)와, 플라즈마 디스플레이 패널(Plasma Display Panel : PDP) 및 일렉트로 일루미네센스(Electro-luminescence : EL) 표시소자 등이 있다.

여기서, 상기 PDP는 구조와 제조공정이 비교적 단순하기 때문에 대화면화에 가장 유리하지만 발광효율과 휘도가 낮고 소비전력이 큰 단점이 있으며, 상기 LCD는 반도체공정을 이용하기 때문에 대화면화에 어려움이 있지만 노트북 컴퓨터의 표시소자로 주로 이용되면서 수요가 늘고 있지만, 대화면화가 어렵고 백라이트 유닛으로 인하여 소비전력이 큰 단점과 더불어 LCD는 편광필터, 프리즘시트, 확산판 등 의 광학소자들에 의해 광손실이 많고 시야각이 좁은 문제점이 있었다. 이에 비하여, EL 표시소자는 유기 EL과 무기 EL로 대별되며, 응답속도가 빠르고 발광효율, 휘도 및 시야각이 큰 장점이 있다. 이때, 유기 EL인 유기전계 발광 디스플레이 소자는 대략 10[V] 정도의 전압으로 수만 [cd/㎡]의 높은 휘도로 화상을 표시할 수 있다.

일반적으로 유기전계 발광 디스플레이 소자는 전자 주입전극(음극)과 정공 주입 전극(양극) 사이에 형성된 유기막에 전하를 주입하면 전자와 정공이 쌍을 이룬 후 소멸하면서 빛을 내는 소자로서 낮은 전압에서 구동이 가능하고, 또한 전력이 소모가 비교적 적은 것을 특징으로 하는 소자이다.

즉, 유기전계 발광 디스플레이 소자는 유기재료의 적층 박막에 직류전압을 인가하면, 전기에너지가 빛에너지로 변화하여 발광하는 현상을 이용한 평판디스플레이이다.

최근까지 제품화되어 있는 유기EL디스플레이는 저 분자계의 분체 유기발광 재료가 사용되고 있고, 이 저분자 유기발광재료는 수분이나 고에너지 입자에 약하기 때문에 유기발광층이나 음극금속전극의 박막형성은 섀도우 마스크(Shadow Mask)를 사용한 진공 증착에 의하여 패턴을 형성하고 있다.

이러한 유기 EL(electroluminesecence)디스플레이 소자의 제작 과정을 살펴보면 다음과 같다.

먼저, 절연성 및 투명성을 갖는 글라스 기판 상부면에 ITO(indium Tin Oxide)로 이루어진 투명도전막이 형성되는 양극을 형성한다. 그리고, 상기 양극 상 부면에 정공 주입층을 형성하고, 상기 정공 주입층 상부면에 정공수송층을 증착한다. 그리고 정공 수송층 상부면에 윳기 발광층을 형성한다. 이때 필요에 따라 상기 유기 발광층에 일종의 불순물인 도펀트(dopant)를 첨가한다. 이어 전자 주입층 상부면에 금속 화합물층 알칼리 금속 또는 알카리토 금속을 얇게 증착하여 전자의 주입을 좋게 한다. 그리고 마지막으로 상기금속층 위에 금속을 이용하여 음극을 형성한다.

이때, 유기 발광층은 일반적으로 파이 전자를 갖고 있기 때문에 물분자와 상호작용을 하게 된다. 따라서 공기중의 수분, 또는 이미 기판 등에 부착된 수분은 소자를 구동하지 않고 단순히 보관만 할 경우에도 서서히 전극 및 유기박막을 공격하여 흑점을 만들게 된다.

이와 같이 유기전계 발광 디스플레이 소자의 최대 과제는 내구성의 개선에 있으며, 그 중 상기 흑점이라 불리는 비 발광부의 발생과 그 성장의 방지가 가장 큰 과제로 되어 있다.

따라서, 유기전계 발광 디스플레이 소자를 양산하기 위해서는 재료에 어떠한 영향이 없도록 정제 처리하는 것이 매우 중요하며, 이를 위하여 유기전계 발광 디스플레이 소자는 챔버내에 밀봉한 후 진공 상태에서 각 물질을 성막함으로써 공기와 최대한 차단하도록 하고 있다.

이러한 이유로 한번 로딩된 ITO기판은 증착공정은 모두 진공에서 진행되어지고 봉지공정을 진행하는 동안에도 수분, 산소가 배제된 불활성 가스 분위기내에서 가공되어 진다. 이를 위해 현재는 하나의 이송 챔버를 중심으로 프로세서 챔버가 부착되어 있는 인공위성형의 장비가 주를 이루고 있다.

도 1은 종래 기술에 따른 유기전계 발광 디스플레이소자 증착장치의 일례를 보여주는 평면 계통도이다.

이에 나타내 보인 바와 같이 기판 보관실(100)에 보관되어 있던 유리기판을 중앙에 위치한 반송실(200)로부터 진공 반송로봇(300)에 의하여 인출하여 전처리실(400)로 급송하고, 전처리실(400)에서는 진공 증착을 수행하기전에 전처리를 수행한 다음, 다시 반송실(200)의 반송로봇(300)에 의하여 이를 인출하여 여러 증착실(500,600,700,800)로 분배 급송하고, 이들 각각의 증착실(500,600,700,800)에서는 유리기판상에 여러 적층박막을 성형하고자 진공 증착 과정을 수행하고 진공 증착 과정이 완료되면 반송실(200)의 반송로봇(300)에 의하여 다음공정을 수행하기 위하여 급송실(900)로 공급하게 된다.

또한, 이러한 종래의 증착방식은 여러 증착실(500,600,700,800)내부에서 유리기판상에 진공 증착하는 경우, 이들 증착실(500,600,700,800)은 섀도우 마스크를 장착한 유리기판을 단일의 스테이지에 투입 고정하고 여러 단계에 걸쳐 순차적으로 진공 증착 과정을 거치게 되는데, 이와 같이 진공 증착이 이루어지는 과정은 독립적이면서 단일 스테이지 형태인 증착실(5,6,7,8) 각각의 내부에서 진공 증착이 이루어지고 있다.

그러나, 상술한 바와같은 종래 기술에 따른 유기전계 발광 디스플레이소자 증착장치는 다음과 같은 문제점이 있었다.

첫째, 이송 챔버간의 연결시 불필요한 부가 챔버를 설치하거나 이송 챔버에 공정 챔버를 부착하는 것이 불가능한 면이 발생하며, 이로 인하여 설비 비용의 상승과 생산 속도가 저하되는 문제점이 있었다.

둘째 공정의 변화 및 생산량 증대를 위한 챔버의 추가가 사실상 불가능한 단점이 있으며, 이는 하나의 이송 챔버에 여러 공정 챔버를 부착할 경우 이송 챔버가 과도하게 커지고, 이송 로봇의 아암이 길어져야 하는 문제가 있으며, 이송 챔버를 추가할 경우 각각의 이송 챔버에 이송 로봇이 소요되어 비용이 상승되는 폐단이 있었다.

셋째 각 공정 챔버가 이송 챔버와 가까이 붙어 있으므로 생산시 공정의 모니터링이 용이치 못하며, 유지 보수시 많은 시간이 소용되고 이송 챔버에 이상 발생시 작업이 용이치 않은 문제점이 있었다.

상기의 문제점을 개선하기 위하여 인라인 크로스 타입이 제안된 바 있으며, 이러한 인라인 크로스 타입의 유기전계 발광소자 증착장치는 일직선상으로 배치되는 길이재의 이송 챔버를 사이에 두고 양측으로 증착 및 봉지 공정을 수행하는 공정 챔버와, 이들 공정 챔버의 대향하는 위치에 구비되어 이송 챔버상의 소자를 해당 챔버로 장입 또는 반입시키는 트랜스퍼 챔버가 배치되는 구조이다.

요약하면 상기 인라인 크로스 타입의 유기전계 발광소자 증착장치는 이송 챔버를 일직선상으로 배치하고 그 양측으로 각 공정챔버를 교차 배치하는 기술적 특징을 가지며, 이때 상기 이송 챔버의 확장을 통해 각 공정챔버의 증설이 가능하게 된다.

따라서, 상기 이송 챔버를 비교적 간소한 구조와 작업을 통해 확장시킬 수 있는 기술 개발이 시급한 실정이다.

본 발명은 상기한 문제점을 해결하기 위하여 창출된 것으로서, 본 발명은 이송 챔버가 놓이는 테이블를 간소한 구조를 통해 확장시킬 수 있도록 하여 작업 소요시간을 최소화하여 그로 인한 생산성 저하에 미치는 영향을 최소화시킬 수 있는 유기전계 발광소자 증착장치용 이송 챔버 확장구조를 제공하는데 그 목적이 있다.

상기의 목적을 실현하기 위한 본 발명의 일 실시예에 따른 유기전계 발광소자 증착장치용 이송 챔버 확장구조는, 메인 실린더에 의해 직진 왕복 이동하는 트레이를 구비한 이송 챔버를 사이에 두고 양 끝에 기판의 장입과 반출을 위한 반입출 챔버가 각각 구비되고, 이들 사이에 이송 챔버상에서 증착과 봉지공정을 수행하는 진공상태의 여러 공정챔버가 교차 배치되고, 반입출 챔버의 각 일측에 구비되어 기판을 공급 및 반출시키는 기판 반입출 장치를 구비하고, 상기 메인 실린더는 벨로우즈관에 의해 밀봉되어 진공상태가 유지되게 한 유기전계 발광소자 제조장치에 있어서,

상기 이송 챔버는 길이 방향으로 증설될 수 있게 복수개의 이송 챔버유닛으로 분할 구성되고, 상기 이송 챔버유닛은 폭방향으로 테두리면을 따라 입구 일측에 이탈방지턱이 구비된 소정깊이의 결속홈이 일체로 형성되는 구조이고,

상기 서로 인접하게 배치된 한쌍의 이송 챔버유닛을 일체로 결속시키는 것으로, 하부는 결속홈에 삽입되어 이탈방지턱에 걸림되는 걸림편이 돌출 형성되고 상 부는 상향 돌출되어 이송 챔버 유닛의 외면에 접촉되는 단차부가 형성되는 한쌍의 구속 브라켓트 및 이들 한쌍의 구속 브라켓트를 통과하여 나사체결에 의해 지지력을 생성시키는 나사부재로 된 클램핑 수단을 더 포함하여 구성되는 것을 그 특징으로 한다.

본 발명의 바람직한 한 특징으로서, 상기 이송 챔버는 지면에서 일정높이에 위치되게 하는 테이블의 상면에 놓여지며, 이 테이블에 볼트로 체결되어 위치 고정되는 구성인 것에 있다.

본 발명의 특징 및 이점들은 첨부도면에 의거한 다음의 상세한 설명으로 더욱 명백해질 것이다. 이에 앞서 본 명세서 및 청구범위에 사용된 용어나 단어는 발명자가 그 자신의 발명을 가장 최선의 방법으로 설명하기 위해 용어의 개념을 적절하게 정의할 수 있다는 원칙에 입각하여 본 발명의 기술적 사상에 부합되는 의미와 개념으로 해석되어야만 한다.

이하, 첨부된 도면을 참조하여 본 발명에 따른 유기전계 발광소자 증착장치용 이송 챔버 확장구조의 바람직한 일 실시예를 설명하면 다음과 같다.

도 2는 본 발명이 적용되는 유기전계 발광소자 제조장치의 구성을 설명하기 위한 계통 구성도이고, 도 3은 본 발명에 따른 유기전계 발광소자 증착장치에서 이송 챔버가 놓여지는 테이블을 나타낸 측면도이다.

그리고, 도 4는 본 발명에 따른 유기전계 발광소자 증착장치에서 테이블의 연결부위를 나타낸 요부 확대도이고, 도 5는 도 4의 요부 구성을 발췌한 분해 사시 도이다.

먼저, 도 1에 나타내 보인 바와 같이, 본 발명의 이송 챔버 확장구조는 인라인 크로스 타입의 유기전계 발광소자 제조장치(1)에 실시된다.

즉, 도면에서 보는 바와 같이 본 발명이 적용 실시되는 유기전계 발광 디스플레이소자 제조장치는 크게 글라스 기판에 대해 증착을 실시하는 증착파트와 증착기판을 글라스캔에 흡습제와 함께 합착시키는 봉지파트로 대별된다.

증착파트는 글라스 기판에 대한 증착공정시 장시간에 걸쳐 신속한 연속증착을 가능하게 하면서 장비 업그레이드의 용이성을 확보하기 위한 것으로서, 글라스 기판을 이송하는 증착 이송 챔버(2)를 소정의 길이를 갖는 일자형의 구조로 마련하고, 이 증착 이송 챔버(2)의 양 끝에 기판의 장입과 반출을 위한 증착 장입챔버(3)와 증착 반출 챔버(4)를 구비시키고, 상기 증착 이송 챔버(2)의 양측으로 다수의 챔버로 구성되는 증착 공정챔버(5)를 교차 배치한 구성이다.

여기서, 상기 각각의 챔버들은 공지의 진공펌프와 같은 진공수단에 의해 진공상태가 유지되며, 다만 기판을 장입 및 반출하는 증착 장입챔버(3) 및 증착 반출 챔버(4)는 선택적으로 진공상태가 유지되는 구성이다.

한편, 봉지파트는 상기 증착파트의 반출 챔버(4)와 글로브 박스(6)로 연결되어 로봇(r)에 의해 증착기판을 제공받는다.

이러한 봉지파트는 증착파트와 마찬가지로 증착기판에 대한 봉지공정시 장시간에 걸쳐 신속한 연속증착을 가능하게 하면서 장비 업그레이드의 용이성을 확보하 기 위한 것으로서, 글라스 캔을 이송하는 봉지 이송 챔버(2')를 소정의 길이를 갖는 일자형의 구조로 마련하고, 이 봉지 이송 챔버(2')의 양 끝에 글라스 캔의 장입과 발광기판의 반출을 위한 봉지 장입챔버(3')와 봉지 반출 챔버(4')를 구비시키고, 상기 봉지 이송 챔버(2')의 양측으로 다수의 챔버로 구성되는 봉지 공정챔버(5')를 교차 배치한 구성이다. 이때, 상기 봉지 공정챔버(5') 상에는 증착파트로부터 증착기판을 제공받아 봉지 이송 챔버(2')로 제공하기 위한 봉지 기판 장입챔버(7)가 부가 구성된다.

여기서, 상기 증착파트와 봉지파트를 구성하는 각각의 챔버들은 공지의 진공펌프와 같은 진공수단에 의해 진공상태가 유지되는 구성이고, 이러한 각각의 챔버들의 진공을 위한 구조는 공지된 기술에 의해 실시되어도 무방하므로 상세한 설명은 생략한다.

이와 같이 구성되는 유기전계 발광소자 제조장치(1)의 특징은 진공 상태에서 글라스 기판 및 글라스 캔이 이송되는 트레이(2a,2a')를 구비한 일직선상으로 배치되는 증착 이송 챔버(2) 및 봉지 이송 챔버(2')와, 증착 및 봉지 공정이 진행되는 각각의 챔버들을 상기 일자형의 증착 이송 챔버(2) 및 봉지 이송 챔버(2')를 중심으로 좌,우측에 교차 배치하고 각각의 챔버(5,5')에 대향하는 위치 즉, 각 이송 챔버(2,2')를 사이에 두고 대향하는 위치에 상기 이송 챔버(2,2')상의 소재(유기전계 디스플레이 소자)를 각 챔버로 진입시키기 위한 실린더를 구비한 트랜스퍼 챔버(t)가 배치되는 것에 의해 이송 및 반송경로를 단순화하고 이송로봇 대신 트레이(2a,2a')와 메인 실린더(2b,2b')를 이용하여 글라스 기판 및 글라스캔, 증착기판의 신속한 이송 및 반송을 구현하는 것에 있다.

한편, 본 발명은 상술한 인라인 크로스 타입의 유기전계 발광소자 증착장치에 적용 실시되는 것으로서, 도 2 내지 도 5에서 보는 바와 같이 일직선상으로 배치되는 이송 챔버(20)는 다수의 이송 챔버유닛(21)으로 구성된다.

즉, 상기 이송 챔버(20)는 길이 방향으로 증설될 수 있게 복수개의 이송 챔버유닛(21)으로 분할 구성되는 구조이다. 이러한 이송 챔버유닛(21)은 길이 방향으로 배치하였을 때 서로 내부가 서로 연통될 수 있는 구조로 마련된다.

한편, 상기 이송 챔버유닛(21)은 폭방향으로 테두리면을 따라 입구 일측에 이탈방지턱(26)이 일체로 형성되는 구조이고, 이 이탈방지턱(26)은 소정 깊이의 결속홈(25)의 입구측에 형성되는 구조이다. 즉, 상기 결속홈(25)은 도시된 바와 같이 장방형상을 갖는 요홈이며, 이 결속홈의 입구측의 일측으로는 이탈방지턱(26)이 플랜지 형태로 일체로 마련되어 입구의 일부를 차폐하는 구조이다.

이와 같이 구성되는 결속홈(25)은 바람직하게는 서로 인접하게 배치된 한쌍의 이송 챔버유닛(21)을 기준으로 하였을 때, 이들 한쌍의 이송 챔버유닛(21)의 접촉하는 접촉경계면에 근접되는 테두리면에 형성되는 것이 바람직하다.

한편, 상기 결속홈(25)을 형성한 이송 챔버유닛(21)은 클램핑 수단(30)에 의해 일체로 결합되는 구조이다.

즉, 상기 클램핑 수단(30)은 서로 인접하게 배치된 한쌍의 이송 챔버유닛(21)을 일체로 결속시키기 위한 것으로서, 하부는 결속홈(25)에 삽입되어 이탈방지턱(26)에 걸림되는 걸림편(31a,32a)이 수평 방향으로 돌출 형성되고, 상부는 상향 돌출되면서 이송 챔버유닛(21)의 외면과 이탈방지턱(26)의 측면에 밀접하게 접촉되는 단차부(31b,32b)가 일체로 형성되는 한쌍의 구속 브라켓트(31,32)로 구성된다.

이와 같이 구성되는 구속 브라켓트(31,32)는 나사부재(35)에 의해 결합되어 구속력을 생성하게 되며, 이때의 상기 나사부재(35)는 한쌍의 구속 브라켓트(31,32)를 통과하여 나사 체결방식에 의해 결합력과 지지력을 생성시키는 것으로서, 통상의 나사부재(35a) 및 너트부재(35b)가 사용될 수 있다.

한편, 상기 이송 챔버(20)는 지면에서 일정높이에 위치되게 지지하는 테이블(10)의 상면에 구비되는 바, 이때의 상기 이송 챔버유닛(21)은 통상의 프레임 구조로 마련되는 테이블(10)의 상면에 놓여진 상태에서 복수개의 볼트(15)에 의해 일체로 마운팅되는 구조이다.

상기와 같이 구성되는 유기전계 발광소자 증착장치용 이송 챔버 확장구조는 일직선상으로 상호 연통될 수 있게 복수개의 이송 챔버유닛(21)을 배치시킨 상태에서, 각 이송 챔버유닛(21)의 결속홈(25)에 구속 브라켓트(31,32)의 걸림편(31a,32a)을 끼움 결합시키고 이들 구속 브라켓트(31,32)를 나사부재로 결속시키는 것에 의해 서로 인접하게 배치된 한쌍의 이송 챔버유닛(21)을 일체로 결합시킬 수 있게 된다.

한편, 본 발명은 기재된 실시예에 한정하는 것이 아니고, 본 발명의 사상 및 범위를 벗어나지 않고 다양하게 수정 및 변형을 할 수 있음은 이 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게는 자명하다. 따라서, 그러한 변형예 또는 수정 예들은 본 발명의 특허청구범위에 속한다 해야 할 것이다.

상기와 같이 구성되고 작용되는 유기전계 발광소자 증착장치용 이송 챔버 확장구조는 복수개로 분할 구성되는 이송 챔버유닛을 클램핑 수단을 이용하여 결속시키는 비교적 간소한 작업만으로도 실시가 가능하다.

따라서, 작업의 용이성을 확보할 수 있어 작업에 소요되는 시간을 최소화시킬 수 있어 결과적으로 공정 챔버의 추가 증설로 인한 생산성에 미치는 영향을 최소화시킬 수 있는 산업상 유용한 효과를 제공한다.

Claims (2)

1. 메인 실린더에 의해 직진 왕복 이동하는 트레이를 구비한 이송 챔버를 사이에 두고 양 끝에 기판의 장입과 반출을 위한 반입출 챔버가 각각 구비되고, 이들 사이에 이송 챔버상에서 증착과 봉지공정을 수행하는 진공상태의 여러 공정챔버가 교차 배치되고, 반입출 챔버의 각 일측에 구비되어 기판을 공급 및 반출시키는 기판 반입출 장치를 구비하고, 상기 메인 실린더는 벨로우즈관에 의해 밀봉되어 진공상태가 유지되게 한 유기전계 발광소자 제조장치에 있어서,

   상기 이송 챔버는 길이 방향으로 증설될 수 있게 복수개의 이송 챔버유닛으로 분할 구성되고, 상기 이송 챔버유닛은 폭방향으로 테두리면을 따라 입구 일측에 이탈방지턱이 구비된 소정깊이의 결속홈이 일체로 형성되는 구조이고,

   상기 서로 인접하게 배치된 한쌍의 이송 챔버유닛을 일체로 결속시키는 것으로, 하부는 결속홈에 삽입되어 이탈방지턱에 걸림되는 걸림편이 돌출 형성되고 상부는 상향 돌출되어 이송 챔버 유닛의 외면에 접촉되는 단차부가 형성되는 한쌍의 구속 브라켓트 및 이들 한쌍의 구속 브라켓트를 통과하여 나사체결에 의해 지지력을 생성시키는 나사부재로 된 클램핑 수단을 더 포함하여 구성되는 것을 특징으로 하는 유기전계 발광소자 증착장치용 이송 챔버 확장구조.
2. 제 1항에 있어서, 상기 이송 챔버는,

   지면에서 일정높이에 위치되게 하는 테이블의 상면에 놓여지며, 이 테이블 에 볼트로 체결되어 위치 고정되는 구성인 것을 특징으로 하는 유기전계 발광소자 증착장치용 이송 챔버 확장구조.

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