JP2011047048A - 薄膜蒸着装置及びこれを利用した有機発光表示装置の製造方法 - Google Patents
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Abstract
【解決手段】基板500に薄膜を蒸着する薄膜蒸着アセンブリ100を含む真空に維持される複数のチャンバにおいて、被蒸着用基板と接し、基板を支持する支持面を具備した本体と、本体に内蔵され、支持面に静電気力を生成させる電極と、電極に電気的に連結され、本体に備わった電池を有する静電チャック600がチャンバを通過するように移動させるキャリアを含む薄膜蒸着装置、及びこれを利用した有機発光表示装置の製造方法である。
【選択図】図7
Description
前記キャリアは、前記チャンバを貫通するように配設される支持台と、前記支持台上に配され、前記静電チャックのエッジを支持する移動台と、前記支持台と移動台との間に介在され、前記移動台を前記支持台に沿って移動させる駆動部と、を含むことができる。
前記連結部材は、前記蒸着源、前記蒸着源ノズル部及び前記パターニングスリット・シート間の空間を外部から密閉するように形成されうる。
前記複数個の蒸着源ノズルは、前記第1方向に沿って形成された2列の蒸着源ノズルを含み、前記2列の蒸着源ノズルは、互いに対面する方向にチルトされたものでありうる。
前記複数個の蒸着源ノズルは、前記第1方向に沿って形成された2列の蒸着源ノズルを含み、前記2列の蒸着源ノズルのうち第1側に配された蒸着源ノズルは、パターニングスリット・シートの第2側端部を向くように配され、前記2列の蒸着源ノズルのうち第2側に配された蒸着源ノズルは、パターニングスリット・シートの第1側端部を向くように配されうる。
前記遮断板アセンブリは、複数個の第1遮断板を具備する第1遮断板アセンブリと、複数個の第2遮断板を具備する第2遮断板アセンブリと、を含むことができる。
前記複数個の第1遮断板及び前記複数個の第2遮断板それぞれは、互いに対応しうる。
前記蒸着源と前記遮断板アセンブリは、互いに離隔しうる。
前記遮断板アセンブリと前記パターニングスリット・シートは、互いに離隔しうる。
前記薄膜蒸着アセンブリは、蒸着物質を放射する蒸着源と、前記蒸着源の一側に配され、第1方向に沿って複数個の蒸着源ノズルが形成された蒸着源ノズル部と、前記蒸着源ノズル部と対向するように配され、前記第1方向に対して垂直である第2方向に沿って複数個のパターニングスリットが形成されるパターニングスリット・シートと、を含み、前記蒸着源、前記蒸着源ノズル部及び前記パターニングスリット・シートは、一体に形成され、前記薄膜蒸着アセンブリは、前記基板と離隔されるように配され、蒸着が進められる間、前記基板が前記薄膜蒸着アセンブリに対して前記第1方向に沿って移動しつつ蒸着がなされるものでありうる。
また、大型基板を静電チャックによって、基板のたわみ込みなしに安定的に支持し、チャンバ間の移動が円滑になされうる。
また、静電チャックのチャンバ内の移動及びチャンバ間の移動時に、別途の電源線が不要であるので、システムがさらに簡便になりうる。
図1は、本発明の一実施形態に係わる薄膜蒸着装置を概略的に図示したシステム構成図であり、図2は、図1の変形例を図示したものである。図3は、静電チャック600の一例を図示した概略図である。
ローディング部710は、第1ラック712と、導入ロボット714と、導入室716と、第1反転室718とを含むことができる。
本発明の望ましい一実施形態による静電チャック600は、図3から分かるように、誘電体でもって備わった本体601の内部に、電源が印加される電極602が内蔵されている。この電極602は、本体601の基板500に向いた支持面603から一定間隔離隔されており、電極602によって支持面603に静電気力が印加されることによって、基板500を吸着固定させる。
本体601の前記支持面603の対向面には、前記電池605を出入りさせることができるように、カバー601aが設けられている。
かような静電チャック600の場合、前記電極602に電力の印加が、本体601に内蔵されている電池605によってなされることによって、別途の電源線が連結される必要がない。従って、基板500を支持した静電チャック600が前述のように、チャンバ内で移動するときは、チャンバとチャンバとの間を移動するときに容易であり、システム具現がはるかに簡単になりうる。
図5は、本発明の望ましい一実施形態による第1循環部610の断面を図示したものである。
前記第1キャリア611は、第1支持台613と、第2支持台614と、移動台615と、第1駆動部616とを含む。
第2循環部610は、基板500が分離された静電チャック600を移動させる第2キャリア621を含む。
前記第2キャリア621も、第3支持台623と、移動台615と、第1駆動部616とを含む。
前記のような静電チャック600を移動させるシステムは、必ずしも前述の実施形態に限定されるものではなく、静電チャック600を別途のローラ、またはチェーンシステムなどでレールに沿って単純に移動させるシステムを適用することができることは、言うまでもない。
図7は、本発明の薄膜蒸着アセンブリの第1実施形態を概略的に図示した斜視図であり、図8は、図7の薄膜蒸着アセンブリの概略的な側面図であり、図9は、図7の薄膜蒸着アセンブリの概略的な平面図である。
詳細には、蒸着源110から放出された蒸着物質115を、蒸着源ノズル部120及びパターニングスリット・シート150を通過させ、基板500に所望のパターンで蒸着させようとするなら、基本的には、第1チャンバ731内部は、FMM(fine metal mask)蒸着法と同一の高真空状態を維持しなければならない。また、パターニングスリット・シート150の温度が蒸着源110の温度より十分に低くなければならない(約100゜以下)。なぜならば、パターニングスリット・シート150の温度が十分に低くあってこそ、温度によるパターニングスリット・シート150の熱膨張問題を最小化できるからである。
ここで、本発明の一実施形態では、基板500が薄膜蒸着アセンブリ100に対して相対移動しつつ、蒸着が進められることを1つの特徴とする。
図12ないし図14を参照すれば、本発明の第4実施形態に係わる薄膜蒸着アセンブリ100は、蒸着源110、蒸着源ノズル部120、遮断板アセンブリ130及びパターニングスリット151を含む。
このようなチャンバ内には、被蒸着体である基板500が静電チャック600によって移送される。前記基板500は、平板表示装置用基板になれうるが、多数の平板表示装置を形成できるマザーガラスのような大面積基板が適用されうる。
前記蒸着源110は、その内部に蒸着物質115が充填されるルツボ112と、このルツボ112を覆い包む冷却ブロック111とが備わる。冷却ブロック111は、ルツボ112からの熱が外部、すなわち、第1チャンバ内部に発散されることを最大限抑制するためのものであり、該冷却ブロック111には、ルツボ111を加熱させるヒータ(図示せず)が含まれている。
図15を参照すれば、前記アクティブマトリス型の有機発光表示装置は、基板30上に形成される。前記基板30は、透明な素材、例えば、ガラス材、プラスチック材、または金属材から形成されうる。前記基板30上には、全体的にバッファ層のような絶縁膜31が形成されている。
前記絶縁膜31の上面には、所定パターンに配列された半導体活性層41が形成されている。前記半導体活性層41は、ゲート絶縁膜32によって埋め込まれている。前記活性層41は、p型またはn型の半導体によって形成できる。
そして、前記第1電極61を覆うように、画素定義膜35が形成される。この画素定義膜35に所定の開口64を形成した後、この開口64によって限定された領域内に、有機発光膜63を形成する。有機発光膜63上には、第2電極62を形成する。
前記第1電極61と第2電極62は、互いに絶縁されており、有機発光膜63に互いに異なる極性の電圧を加え、発光がなされる。
一方、前記第1電極61は、アノード電極の機能を行い、前記第2電極62は、カソード電極の機能を行えるが、もちろん、それら第1電極61と第2電極62との極性は、反対になっても差し支えない。そして、第1電極61は、各画素の領域に対応するようにパターニングされ、第2電極62は、あらゆる画素を覆うように形成されうる。
本発明は、図面に図示された実施形態を参考に説明したが、それらは、例示的なものに過ぎず、本技術分野の当業者であるならば、それらから多様な変形及び均等な他の実施形態が可能であるという点を理解するであろう。従って、本発明の真の技術的保護範囲は、特許請求の範囲の技術的思想によって決まるものである。
110 蒸着源
111 冷却ブロック
112 ルツボ
115 蒸着物質
120 蒸着源ノズル部
121 蒸着源ノズル
130 遮断板アセンブリ
131 遮断板
132 遮断板フレーム
133 第2連結部材
135 第1連結部材
150 パターニングスリット・シート
151 パターニングスリット
155 フレーム
500 基板
600 静電チャック
601 本体
601a カバー
602 電極
603 支持面
605 電池
610 第1循環部
611 第1キャリア
613 第1支持台
614 第2支持台
615 移動台
616 第1駆動部
617 ローラ
618 第2駆動部
620 第2循環部
621 第2キャリア
623 第3支持台
710 ローディング部
712 第1ラック
714 導入ロボット
716 導入室
718 第1反転室
719 第1反転ロボット
720 アンローディング部
722 第2ラック
724 搬出ロボット
726 搬出室
728 第2反転室
729 第2反転ロボット
730 蒸着部
731 第1チャンバ
732 第2チャンバ
Claims (20)
- 被蒸着用基板と接し、前記基板を支持する支持面を具備した本体と、前記本体に内蔵され、前記支持面に静電気力を生成させる電極と、前記電極に電気的に連結され、前記本体に備えられた電池と、を含む静電チャックと、
真空に維持される複数のチャンバと、
前記チャンバのうち少なくとも1つの内部に配され、前記基板と所定間隔離隔され、前記静電チャックに支持された基板に薄膜を蒸着する少なくとも1つの薄膜蒸着アセンブリと、
前記静電チャックを、前記チャンバを通過するように移動させるキャリアと、を含む薄膜蒸着装置。 - 前記電池は、前記本体に内蔵されたことを特徴とする請求項1に記載の薄膜蒸着装置。
- 前記キャリアは、
前記チャンバを貫通するように配設される支持台と、
前記支持台上に配され、前記静電チャックのエッジを支持する移動台と、
前記支持台と移動台との間に介在され、前記移動台を前記支持台に沿って移動させる駆動部と、を含むことを特徴とする請求項1に記載の薄膜蒸着装置。 - 前記薄膜蒸着アセンブリは、
蒸着物質を放射する蒸着源と、
前記蒸着源の一側に配され、第1方向に沿って複数個の蒸着源ノズルが形成された蒸着源ノズル部と、
前記蒸着源ノズル部と対向するように配され、前記第1方向に対して垂直である第2方向に沿って複数個のパターニングスリットが形成されるパターニングスリット・シートと、を含み、
前記基板が前記薄膜蒸着アセンブリに対して、前記第1方向に沿って移動しつつ蒸着が行われ、
前記蒸着源、前記蒸着源ノズル部及び前記パターニングスリット・シートは、一体に形成されることを特徴とする請求項1に記載の薄膜蒸着装置。 - 前記蒸着源、前記蒸着源ノズル部及び前記パターニングスリット・シートは、前記蒸着物質の移動経路をガイドする連結部材によって連結され、一体に形成されることを特徴とする請求項4に記載の薄膜蒸着装置。
- 前記連結部材は、前記蒸着源、前記蒸着源ノズル部及び前記パターニングスリット・シート間の空間を外部から密閉するように形成されることを特徴とする請求項5に記載の薄膜蒸着装置。
- 前記複数個の蒸着源ノズルは、所定角度チルトされるように形成されることを特徴とする請求項4に記載の薄膜蒸着装置。
- 前記複数個の蒸着源ノズルは、前記第1方向に沿って形成された2列の蒸着源ノズルを含み、前記2列の蒸着源ノズルは、互いに対面する方向にチルトされていることを特徴とする請求項7に記載の薄膜蒸着装置。
- 前記複数個の蒸着源ノズルは、前記第1方向に沿って形成された2列の蒸着源ノズルを含み、
前記2列の蒸着源ノズルのうち第1側に配された蒸着源ノズルは、パターニングスリット・シートの第2側端部を向くように配され、
前記2列の蒸着源ノズルのうち第2側に配された蒸着源ノズルは、パターニングスリット・シートの第1側端部を向くように配されることを特徴とする請求項7に記載の薄膜蒸着装置。 - 前記薄膜蒸着アセンブリは、
蒸着物質を放射する蒸着源と、
前記蒸着源の一側に配され、第1方向に沿って複数個の蒸着源ノズルが形成された蒸着源ノズル部と、
前記蒸着源ノズル部と対向するように配され、前記第1方向に沿って複数個のパターニングスリットが配されるパターニングスリット・シートと、
前記蒸着源ノズル部と前記パターニングスリット・シートとの間に前記第1方向に沿って配され、前記蒸着源ノズル部と前記パターニングスリット・シートとの間の空間を複数個の蒸着空間に区画する複数枚の遮断板を具備する遮断板アセンブリと、を含み、
前記薄膜蒸着アセンブリは、前記基板と離隔されるように配され、
前記薄膜蒸着アセンブリと前記基板は、互いに相対移動することを特徴とする請求項1に記載の薄膜蒸着装置。 - 前記複数枚の遮断板それぞれは、前記第1方向と実質的に垂直である第2方向に沿って延びるように形成されたことを特徴とする請求項10に記載の薄膜蒸着装置。
- 前記遮断板アセンブリは、複数個の第1遮断板を具備する第1遮断板アセンブリと、複数個の第2遮断板を具備する第2遮断板アセンブリと、を含むことを特徴とする請求項10に記載の薄膜蒸着装置。
- 前記複数個の第1遮断板及び前記複数個の第2遮断板それぞれは、前記第1方向と実質的に垂直である第2方向に沿って延びるように形成されたことを特徴とする請求項12に記載の薄膜蒸着装置。
- 前記複数個の第1遮断板及び前記複数個の第2遮断板それぞれは、互いに対応するように配されることを特徴とする請求項13に記載の薄膜蒸着装置。
- 前記蒸着源と前記遮断板アセンブリは、互いに離隔されていることを特徴とする請求項10に記載の薄膜蒸着装置。
- 前記遮断板アセンブリと前記パターニングスリット・シートは、互いに離隔されていることを特徴とする請求項10に記載の薄膜蒸着装置。
- 被蒸着用基板と接し、前記基板を支持する支持面を具備した本体と、前記本体に内蔵され、前記支持面に静電気力を生成させる電極と、前記電極に電気的に連結され、前記本体に備わった電池と、を含む静電チャックに前記基板を固定させる段階と、
前記基板が固定された静電チャックを、真空に維持される複数のチャンバを通過するように移送する段階と、
前記チャンバのうち少なくとも1つの内部に配された薄膜蒸着アセンブリを利用し、前記基板を固定した静電チャックと前記薄膜蒸着アセンブリとの相対移動によって、前記基板に有機膜を蒸着する段階と、を含む有機発光表示装置の製造方法。 - 前記電池は、前記本体に内蔵されていることを特徴とする請求項17に記載の有機発光表示装置の製造方法。
- 前記薄膜蒸着アセンブリは、
蒸着物質を放射する蒸着源と、
前記蒸着源の一側に配され、第1方向に沿って複数個の蒸着源ノズルが形成された蒸着源ノズル部と、
前記蒸着源ノズル部と対向するように配され、前記第1方向に対して垂直である第2方向に沿って複数個のパターニングスリットが形成されるパターニングスリット・シートと、を含み、
前記蒸着源、前記蒸着源ノズル部及び前記パターニングスリット・シートは、一体に形成され、
前記薄膜蒸着アセンブリは、前記基板と離隔されるように配され、蒸着が進められる間、前記基板が前記薄膜蒸着アセンブリに対して前記第1方向に沿って移動しつつ蒸着がなされることを特徴とする請求項17に記載の有機発光表示装置の製造方法。 - 前記薄膜蒸着アセンブリは、
蒸着物質を放射する蒸着源と、
前記蒸着源の一側に配され、第1方向に沿って複数個の蒸着源ノズルが形成された蒸着源ノズル部と、
前記蒸着源ノズル部と対向するように配され、前記第1方向に沿って複数個のパターニングスリットが配されるパターニングスリット・シートと、
前記蒸着源ノズル部と前記パターニングスリット・シートとの間に前記第1方向に沿って配され、前記蒸着源ノズル部と前記パターニングスリット・シートとの間の空間を複数個の蒸着空間に区画する複数枚の遮断板を具備する遮断板アセンブリと、を含み、
前記薄膜蒸着アセンブリは、前記基板と離隔されるように配され、蒸着が進められる間、前記薄膜蒸着アセンブリと前記基板とが互いに相対移動することによって、基板に対する蒸着がなされることを特徴とする請求項17に記載の有機発光表示装置の製造方法。
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