KR20230072763A - 마이크로 디스플레이패널 증착용 마스크시트 합착장치 - Google Patents

마이크로 디스플레이패널 증착용 마스크시트 합착장치 Download PDF

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KR20230072763A
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Abstract

본 발명은 마이크로 디스플레이패널 증착용 마스크시트 합착장치에 관한 것이다. 이는, 증착챔버내에 설치된 상태로 기판상에 마스크시트를 합치시키는 것으로서, 상기 기판의 하부에 위치하고 마스크시트의 외곽부를 받쳐 수평 지지하는 마스크프레임과; 기판의 상부에 승강 가능하도록 설치되며, 기판하부의 마스크시트에 자기력을 가하여 마스크시트가 기판의 저면에 밀착되도록 유도하되, 부분적으로 상이한 자속밀도의 자기력을 출력하는 판상의 마그네트플레이트를 구비하는 것을 특징으로 한다.
상기와 같이 이루어지는 본 발명의 마이크로 디스플레이패널 증착용 마스크시트 합착장치는, 단차가 있는 초박형 마스크시트를 사용함에도 불구하고, 기판에 대한 마스크시트의 합착을 안정적으로 구현함으로써, 뛰어난 증착 품질을 구현하며, 제품의 수율 및 성능을 향상시킬 수 있게 한다.

Description

마이크로 디스플레이패널 증착용 마스크시트 합착장치{Mask sheet sticking device for micro display panel deposition}
본 발명은 마이크로 디스플레이패널 증착장비에 관한 것으로서, 보다 상세하게는, 기판에 대한 마스크시트의 밀착이 균일한 압력으로 유지되므로, 양호한 증착을 가능하게 하여, 제품의 수율 및 성능을 향상시킬 수 있는, 마이크로 디스플레이패널 증착용 마스크시트 합착장치에 관한 것이다.
유기전계발광소자(OLED)는, 형광성 유기화합물에 전류가 흐르면 빛을 내는 전계 발광현상을 이용하는 소자로서, 백라이트가 필요하지 않아, 경량이고 박형인 평판표시장치의 기초 소재로 사용된다. 유기전계발광소자를 이용한 디스플레이패널은, 응답속도가 빠르며 시야각이 넓고, 제조공정이 단순하다는 장점을 갖는다.
유기전계발광소자는, 애노드 및 캐소드 전극을 제외한 나머지 구성층인 정공주입층, 정공수송층, 발광층, 전자수송층 및 전자주입층 등이 유기 박막으로 되어 있고, 이러한 유기박막은, 기판상에 진공열 증착방법으로 적층된다.
진공열 증착방법은 증착챔버 내에, 기판을 설치한 후, 마스크시트를 기판에 맞춘 후, 증발원에 열을 가하여 증발원에서 승화되는 증발물질이 마스크시트를 통과해 기판에 증착하는 방식으로 이루어진다.
도 1은 일반적인 진공 증착장비(10)의 기본 구성을 나타내 보인 도면이고, 도 2는 도 1의 마스크시트(16)를 따로 도시한 측면도이다.
도시한 바와 같이, 진공 증착장비(10)는, 증착챔버(11), 증발원12), 마스크홀더(13), 기판홀더(14), 터치플레이트(18), 마그네트플레이트(19)를 포함한다. 증참챔버(11)는, 증착이 진행되는 증착공간(11a)을 제공하며, 측부에 기판(17)이 드나드는 도어(미도시)를 갖는다.
마스크홀더(13)는 마스크프레임(13a)을 구비한다. 마스크프레임(13a)은 마스크시트(16)를 받쳐 지지하는 부재로서, 마스크시트(16)의 외곽부를 수평으로 지지한다.
마스크시트(16)는 증착이 진행되는 동안 기판(17)의 저면에 밀착하는 부재로서, 설계된 패턴이 반영된 관통구멍을 갖는다. 관통구멍은, 증발원(12)에서 증발된 증착기체가 상향 통과하는 구멍이다. 증착용 기체가 관통구멍을 통과하여 기판(17)의 저면에 증착되는 것이다.
또한, 기판(17)은 기판홀더(14)에 지지된 상태로 마스크시트(16)와 밀착된다. 상기한 바와 같이, 마스크시트(16)가 기판(17)의 저면에 밀착하는 것이다.
기판(17)의 상부에는 터치플레이트(18)와 마그네트플레이트(19)가 승강 가능하게 설치된다. 마그네트플레이트(19)는 다수의 영구자석으로 구성된 판상 구조체로서, 자기력을 이용해 마스크시트(16)를 당겨 올려, 마스크시트(16)가 기판(17)의 저면에 합착되게 한다. 보다 정밀한 증착을 위해서는, 당연히, 기판(17)과 마스크시트(16)의 밀착이 전체면에 걸쳐 고르게 이루어져야 한다. 예를 들어, 마스크시트(16)의 일부분이 기판(17)으로부터 들뜰 경우, 증착 정밀도가 크게 떨어진다.
이러한 합착 불량에 의한 문제는, 마스크시트(23)가, 도 3에 도시한 바와 같이, 그 자체의 두께가 이미 얇고, 더욱이 중앙부의 두께가 외곽부의 두께 보다 더욱 얇을 때 자주 발생한다. 도 3에 도시한 마스크시트(23)는 고해상도 디스플레이 패널을 제작하기 위해 제작된 것이다.
도 3에 도시한 마스크시트(23)는 프레임합착부(23a)와 픽셀부(23b)를 갖는다. 프레임합착부(23a)는 마스크프레임(13a)에 용접이나 본딩 방식으로 고정되는 부분이다. 픽셀부(23b)는 기판(17)의 저면에 밀착하는 부분으로서 다수의 증착구멍(23d)을 갖는다.
프레임합착부(23a)를 픽셀부(23b)와 같은 두께로 형성하면, 위에 설명한 들뜸 현상이 거의 발생하지 않을 것이지만, 그렇게 할 경우, 마스크프레임(13a)에 대한 프레임합착부(23a)의 용접 자체가 불가능해진다.
이러한 구조의 마스크시트(23)는, 프레임합착부(23a)와 픽셀부(23b)의 두께가 상이하므로, 픽셀부(23b) 내의 증착유효영역과, 프레임합착부(23a) 영역에서의 물리적 특성과 자기장 영향력이 다를 수밖에 없다.
도 4는 도 3의 마스크시트(23)가 기판인 웨이퍼(21)에 적용된 모습을 도시한 도면이고, 도 5 및 도 6은 종래 마스크시트 합착장치의 문제점을 설명하기 위한 도면이다. 또한, 도 7은 도 5에 도시한 마그네트플레이트(19)를 구성하는 자석(19a)의 배치 구조를 나타내 보인 평면도이다.
도 4에 도시한 바와 같이, 웨이퍼(21)는, 대략, 픽셀부(23b)의 증착유효영역, 즉, 단차부(23e) 내에 포함되어 있다. 단차부(23e)는 프레임합착부(23a)와 픽셀부(23b)의 경계부로서, 프레임합착부(23a)의 두께면 이기도 하다.
도 5는 종래 합착장치를 전체적으로 도시한 도면이다. 특히 도 5에서의 마그네트플레이트(19)는 하부로 자기력을 출력하되 출력 자기력이 모든 부분에서 균일하다. 말하자면, 중앙부의 자기력이나 외곽부의 자기력이 같은 것이다.
도 7에 도시한 것처럼, 종래의 마그네트플레이트(19)는, 다수의 자석(19a)이 가로세로로 밀착한 구조를 가지는데, 모든 자석의 가우스가 비슷하다. (도 7의 도면상, 색이 진할수록 가우스가 높다.) 유사한 가우스의 자석(19a)이 고르게 분포되어 있는 것이다. 이는, 마그네트플레이트(19)의 2차원적 출력 자기력이 거의 균일함을 의미한다.
이와 같이, 마그네트플레이트(19)가 균일한 자기력을 출력하면, 기판에 대한 마스크시트(23)의 합착 시 들뜸부(A)가 발생하기 쉽다. 들뜸부(A)는 기판(17)의 표면에 밀착하지 않은 부분으로서 증착 불량을 야기한다.
상기한 들뜸부(A)가 생기는 원인은, 마스크시트(23) 자체가 워낙 얇아 중앙부분이 하부로 미세하게나마 쳐지는 것과, 프레임합착부(23a)와 픽셀부(23b)의 두께에 차이가 있는 것과, 마그네트플레이트(19)의 자기력이 균일하기 때문이다. 다시 말하면, 마그네트플레이트(19)가 단차부(23e) 부분을 상대적으로 강하게 당기지 못하기 때문이다.
참고로, 도 5의 상태에서 마그네트플레이트(19)를 하강시키면, 픽셀부(23b)의 중앙부가 가장 먼저 올라붙고, 마치 파도가 이동 하듯이, 합착 부분이 외부로 이동하게 되는데, 이 때, 단차부(23e) 안쪽의 픽셀부(23b)는 기판(17)에 합착되지 못한다. (사실 이러한 과정은 거의 동시에 일어나는 현상이다.) 양호하고 안정적인 합착 능력을 제공할 수 있는 합착장치가 요구되고 있는 것이다.
국내 등록특허공보 제10-0860336호 (대면적 유기전계 발광소자 증착장치에 사용되는 기판 홀딩장치) 국내 등록특허공보 제10-1893942호 (증착 장비의 마스크 텐션 장치 및 이를 이용한 기판과 마스크 합착 방법)
본 발명은 상기 문제점을 해소하고자 창출한 것으로서, 기판에 대한 마스크시트의 합착을 안정적으로 구현함으로써, 뛰어난 증착 품질을 구현하며, 제품의 수율 및 성능을 향상시킬 수 있게 하는, 마이크로 디스플레이패널 증착용 마스크시트 합착장치를 제공함에 목적이 있다.
상기 목적을 달성하기 위한 과제의 해결수단으로서의 본 발명의 마이크로 디스플레이패널 증착용 마스크시트 합착장치는, 증착챔버내에 설치된 상태로 기판상에 마스크시트를 합치시키는 것으로서, 상기 기판의 하부에 위치하고 마스크시트의 외곽부를 받쳐 수평 지지하는 마스크프레임과; 기판의 상부에 승강 가능하도록 설치되며, 기판하부의 마스크시트에 자기력을 가하여 마스크시트가 기판의 저면에 밀착되도록 유도하되, 부분적으로 상이한 자속밀도의 자기력을 출력하는 판상의 마그네트플레이트를 구비하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 마스크시트는; 기판의 저면에 밀착하며 다수의 증착구멍이 형성되어 있는 픽셀부와, 픽셀부를 둘러싸고 마스크프레임의 상면에 고정되며 픽셀부보다 상대적으로 두꺼운 두께를 갖는 프레임합착부를 포함하며, 픽셀부와 프레임합착부의 사이에는 단차부가 형성되고, 상기 마그네트플레이트로부터 출력되는 자기력 중, 단차부를 향하는 자기력은, 픽셀부 중앙을 향하는 자기력에 비해 상대적으로 강하게 유지되는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 마그네트플레이트는; 바닥부와 측벽부를 구비한 자석케이스와, 자석케이스의 내부에 수용되며 바닥부 하부로 자기력을 출력하되, 평균 출력 자기력보다 상대적으로 큰 자기력을 단차부로 가하는 자기력출력부를 구비하는 것을 특징으로 한다.
그리고, 자기력출력부는; 블록의 형태를 취하며 자석케이스 내에 상호 밀착한 상태로 수납되고, 상이한 크기의 자기력을 출력하는 다수의 단위자석인 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 자기력출력부는; 블록의 형태를 취하며 자석케이스 내에 상호 밀착한 상태로 수납되고 동일한 크기의 자기력을 출력하는 다수의 단위자석과, 일부 단위자석의 하부에 설치되어, 자석케이스의 바닥부로부터 단위자석을 이격시킴으로써 해당 단위자석의 출력 자기력을 낮추는 비자성받침부재를 구비하는 것을 특징으로 한다.
아울러, 상기 단위자석은, 동일한 사이즈를 갖는 육면체 형태의 영구자석으로서 자석케이스 내에서 전후좌우로 밀착하며, 자석케이스의 중심부로부터 측벽부로 갈수록 강한 자기력을 출력하는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 단위자석은, 동일한 사이즈를 갖는 육면체 형태의 영구자석으로서 자석케이스 내에서 전후좌우로 밀착하며, 자석케이스의 바닥부에 대한 각 단위자석의 이격거리는, 자석케이스의 중심부로부터 측벽부로 갈수록 작아지는 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 단위자석의 일측면에는, 일정폭을 가지며 나란하게 연장된 다수의 가이드홈이 형성되고, 타측면에는 상기 가이드홈에 대응하며 이웃 단위자석의 가이드홈에 끼움 결합하는 끼움돌기가 형성된 것을 특징으로 한다.
또한, 상기 단위자석의 저면에는 하단슬릿이 형성되고, 비자성받침부재의 상면에는, 하단슬릿에 삽입되는 선형돌기가 마련되어 있는 것을 특징으로 한다.
그리고, 상기 단위자석의 저면에는 일정내경을 갖는 다수의 하단원형홈이 형성되어 있고, 비자성받침부재의 상면에는 하단원형홈에 삽입 결합하는 다수의 원형돌기가 형성된 것을 특징으로 한다.
상기와 같이 이루어지는 본 발명의 마이크로 디스플레이패널 증착용 마스크시트 합착장치는, 단차가 있는 초박형 마스크시트를 사용함에도 불구하고, 기판에 대한 마스크시트의 합착을 안정적으로 구현함으로써, 뛰어난 증착 품질을 구현하며, 제품의 수율 및 성능을 향상시킬 수 있게 한다.
도 1은 일반적인 진공 증착장비의 기본 구성을 나타내 보인 도면이다.
도 2는 도 1의 마스크시트를 따로 도시한 측면도이다.
도 3은 종래의 마이크로 디스플레이패널 증착용 마스크시트의 구조를 나타내 보인 도면이다.
도 4는 도 3의 마스크시트가 웨이퍼에 적용된 모습을 개략적으로 도시한 평면도이다.
도 5 및 도 6은 종래 마스크시트 합착장치의 문제점을 설명하기 위한 도면이다.
도 7은 도 5에 도시한 마그네트플레이트를 구성하는 자석의 배치 구조를 나타내 보인 평면도이다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 마이크로 디스플레이패널 증착용 마스크시트 합착장치의 구성을 나타내 보인 도면이다.
도 9는 도 8에 도시한 마그네트플레이트의 평면도이다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 마이크로 디스플레이패널 증착용 마스크시트 합착장치의 변형 예를 도시한 도면이다.
도 11은 도 10의 마그네트플레이트의 평면도이다.
도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 합착장치에서의 마그네트플레이터의 또 다른 변형 예를 나타내 보인 도면이다.
도 13 내지 도 16은 본 발명의 일 실시예에 따른 마이크로 디스플레이패널 증착용 마스크시트 합착장치에 적용 가능한 자석의 변형 예를 도시한 도면이다.
이하, 본 발명에 따른 하나의 실시예를 첨부된 도면을 참조하여 보다 상세히 설명하기로 한다.
본 발명의 마이크로 디스플레이패널 증착용 마스크시트 합착장치는, 증착챔버내에 설치된 상태로 기판상에 마스크시트를 합치시키는 것으로서, 마스크시트를 당기는 자기력을 부분적으로 달리하는 것이다. 그렇게 하는 이유는 사용되는 마스크시트가 초박형이고 게다가 외곽부에 단차가 형성되어 있기 때문이다.
고해상도의 디스플레이를 구현하기 위해서는 픽셀의 사이즈가 작아지고, 작은 픽셀에 대한 증착을 위해서는 마스크시트가 얇아질 수밖에 없다. 그렇다고 마스크시트를 전체적으로 얇게 제작할 수는 없다. 마스크프레임에 고정되는 부분(외곽부분)은 최소한의 물리적인 강성이 필요하므로 무작정 얇게 할 수는 없는 것이다.
고해상도의 디스플레이용 기판의 제작에는, 두께가 초박형이고 단차부가 있는 마스크시트(23)를 사용할 수밖에 없는 것이다. 단차부(23e)는, 마스크시트의 외곽부분(마스크프레임에 결합하는 부분)과 중앙부분(증착구멍이 형성되어 있는 부분)의 두께 차에 의해 생긴 턱으로서, 일반적인 마그네트플레이트(도 6의 19)를 이용해 흡착하면 단차부(23e) 부분이 들뜨게 된다. 이에 대해서는 위에 언급한 바 있다.
본 발명은, 단차부(23e)가 포함되어 있는 마스크시트의 중앙부분 보다 가장자리 부분을 상대적으로 더 강하게 흡착함으로써, 합착 시의 들뜸 현상을 방지할 수 있는 것이다. 다시 말하면, 마그네트플레이트의 출력 자기력을 차등적으로 제공하여, 마그네트플레이트의 중앙부의 출력 자기력에 비해 외곽부의 출력 자기력을 크게 유지하여 단차부(23e) 부근에서의 들뜸을 방지하는 것이다.
본 발명의 합착장치는, 상기 기판의 하부에 위치하고 마스크시트의 외곽부를 받쳐 수평 지지하는 마스크프레임과; 기판의 상부에 승강 가능하도록 설치되며, 기판하부의 마스크시트에 자기력을 가하여 마스크시트가 기판의 저면에 밀착되도록 유도하되, 부분적으로 상이한 자속밀도의 자기력을 출력하는 판상의 마그네트플레이트의 기본 구성을 갖는다.
도 8은 본 발명의 일 실시예에 따른 마이크로 디스플레이패널 증착용 마스크시트 합착장치(30)의 구성을 나타내 보인 도면이고, 도 9는 도 8에 도시한 마그네트플레이트(31)의 평면도이다.
도시한 바와 같이, 본 실시예에 따른 마이크로 디스플레이패널 증착용 마스크시트 합착장치는, 증착챔버(11), 마스크홀더(13), 마스크프레임(13a), 기판홀더(14), 터치플레이트(18), 마그네트플레이트(31)를 포함한다.
상기한 도면부호와 동일한 도면부호는 동일한 기능의 동일한 부재이다.
마스크홀더(13)는 마스크프레임(13a)을 지지한다. 마스크프레임(13a)은 마스크홀더(13)에 설치된 상태로 마스크시트(23)를 수평으로 받쳐 지지한다.
마스크시트(23)는 자성체로 제작된 초박형 시트로서 중앙의 픽셀부(23b)와 외곽부의 프레임합착부(23a)로 이루어진다. 프레임합착부(23a)는 마스크프레임(13a)의 상면에 용접 또는 본딩 고정된다. 픽셀부(23b)는 증착구멍(23d)이 관통 형성되어 있는 부분으로서, 증착 시 기판(17)의 저면에 밀착한다.
기판홀더(14)는 기판(17)을 승강 가능하게 지지한다. 기판(17)은 마스크시트(23)의 상부에 수평으로 대기하며 증착을 기다린다.
또한, 마그네트플레이트(31)는, 기판의 상부에 승강 가능하도록 설치되는 것으로서, 하부로 자기력을 출력하여 마스크시트(23)를 당겨 올림으로써 마스크시트가 기판(17)의 저면에 밀착하도록 한다.
특히 마그네트플레이트(31)는, 부분적으로 상이한 자속밀도의 자기력을 출력한다. 즉, 하향 출력되는 자기력이, 중앙부 보다 외곽부가 더 강한 것이다. 도 8에 작동자기력범위(Z)를 점선으로 표시하였다.
점선으로 알 수 있는 것처럼, 마그네트플레이트(31)의 중앙부에서 출력되는 자기력은 일정한 반면, 외곽부, 즉 위에 설명한 단차부(23e)의 수직방향 상부에서의 자기력은 증가하여 자기력 범위가 포물선의 형상을 취한다. 이러한 차등적 자력 분포를 구현함으로써 기판(17)에 대한 마스크시트(23)의 합착이 안정적으로 이루어질 수 있다.
도 9는 도 8에 도시한 마그네트플레이트(31)의 평면도이다.
도시한 바와 같이, 마그네트플레이트(31)는 사각틀 형태의 자석케이스(31a)와 자석케이스(31a)에 수용되는 다수의 단위자석(33)을 포함한다. 자석케이스(31a)는 단위자석(33)을 밀집된 상태로 수용하는 수납케이스이다. 단위자석(33)은 육면체 형상의 영구자석으로서 전후좌우로 밀착하여 플레이트의 형태를 취한다.
특히, 도면을 참조하면, 중앙부분의 색이 옅고, 외곽부의 색이 진하며, 최외곽부는 다시 옅어짐을 알 수 있다. 색이 진할수록 출력 자기력이 강함을 의미한다.
도면 상, 색이 가장 진한 부분은 위에 설명한 단차부(23e)의 수직방향 상부에 해당한다. 또한 최외곽부는 단차부(23e)의 외측부로서 마스크시트(23)의 합착에는 무관한 부분이다. 중앙의 옅은 부분은 픽셀부(23b)의 중앙부분을 당겨 올리는 부분이다.
실시예에 따라 다르지만, 단차부(23e)에 자기력을 가하는 단위자석은 전체 단위자석의 40%, 픽셀부 중앙부분을 당겨 올리는 단위자석은 전체자석의 50%, 나머지 자석이 10% 일 수 있다.
도 10은 본 발명의 일 실시예에 따른 마이크로 디스플레이패널 증착용 마스크시트 합착장치의 변형 예를 도시한 도면이고, 도 11은 도 10의 마그네트플레이트(31)의 평면도이다.
도 10 및 도 11에 도시한 합착장치(30)는 도 9에 비해 마그네트플레이트(31) 내부의 자석 배치가 약간 다르다. 즉, 마그네트플레이트(31)의 중앙부에서 출력되는 자기력이 정중앙에서 주변으로 갈수록 점차 강해지도록 설계된 것이다. 그 외의 특징은 도 8 및 도 9와 동일하다.
도 8 내지 도 11에 도시한 마그네트플레이트(31)는, 자기력을 차등 출력하기 위하여 개별 단위자석(33) 자체의 출력 자기력을 달리한 것이다. 즉, 강한 자석과 약한 자석을 혼합 사용한 것이다.
하지만, 자기력을 차등 출력하기 위하여 도 12에 도시한 구성을 채택할 수도 있다.
도 12는 본 발명의 일 실시예에 따른 합착장치에서의 마그네트플레이트(31)의 또 다른 변형 예를 나타내 보인 도면이다.
도 12에 도시한 마그네트플레이트(31)는, 자석케이스(31a), 다수의 단위자석(33), 비자성받침부재(34)를 포함한다.
자석케이스(31a)는, 수평의 바닥부(31e)와 바닥부(31e)를 둘러싸는 측벽부(31c)로 구성되고 비자성체로 제작된 수납용기이다. 자석케이스(31a)는 상부로 개방될 수도 있고, 상부에 커버를 추가하여 밀폐 구조를 가질 수도 있다.
단위자석(33)은, 동일한 크기를 갖는 육면체 블록의 형상을 취하고 동일한 크기의 자기력을 출력한다. 단위자석(33) 자체의 사이즈나 적용 개수는 달라질 수 있다.
비자성받침부재(34)는, 일부 단위자석(33)의 하부에 설치되어, 바닥부(31e)로부터 단위자석(33)을 이격시킴으로써, 해당 단위자석이 마스크시트(23)에 가하는 자기력을 낮추는 역할을 한다. 즉, 단위자석(33)을 바닥부(31e)로부터 띄움으로써, 마스크시트(23)로부터 단위자석(33) 까지의 거리를 늘리는 것이다. 거리가 멀어지면 당연히 작용하는 자기력이 작아진다.
도 12에서의 비자성받침부재(34)는, 외곽부로 갈수록 높이가 낮아진다. 즉, 자석케이스의 바닥부에 대한 각 단위자석(33)의 이격거리가, 자석케이스의 중심부로부터 측벽부(31c)로 갈수록 작아지는 것이다.
바자성받침부재(34)의 높이(H)는 다양하다. 이를테면 도 13에 도시한 바와 같이, 상이한 높이를 갖는 비자성받침부재(24)를 다수 운용하여, 마그네트플레이트(31)의 출력 가지력을 더욱 세밀하게 조절할 수 있는 것이다.
도 14 내지 도 16은 본 발명의 일 실시예에 따른 마이크로 디스플레이패널 증착용 마스크시트 합착장치에 적용 가능한 단위자석의 변형 예를 도시한 도면이다.
도 14를 참조하면, 단위자석(33)의 저면에 하단슬릿(33a)이 형성되어 있고, 비자성받침부재(34)의 상면에는 선형돌기(34a)가 형성되어 있음을 알 수 있다. 선형돌기(34a)는 하단슬릿(33a)에 끼워지는 돌출부이다. 하단슬릿(33a)과 선형돌기(34a)를 적용함으로써, 비자성받침부재(34)에 대한 단위자석(33)의 결합 상태가 안정적으로 유지될 수 있다.
도 15에 도시한 단위자석(33)은 저면에 하단원형홈(33c)을 가진다. 하단원형홈(33c)은 일정내경을 갖는 홈으로서 하부로 개방되어 있다. 또한 비자성받침부재(34)의 상면에는 원형돌기(34c)가 마련되어 있다. 원형돌기(34c)를 하단원형홈(33c)에 삽입함으로써, 비자성받침부재(34)에 대한 단위자석(33)의 결합이 안정적으로 유지된다.
또한, 도 16에 도시한 단위자석(33)은, 일측면에 가이드홈(33f)을, 반대측면에 끼움돌기(33e)를 갖는다.
가이드홈(33f)은 일정폭을 가지며 두 개가 수직방향으로 나란하게 연장된 홈이다. 또한, 끼움돌기(33e)는 가이드홈에 대응하며 이웃 단위자석의 가이드홈(33f)에 끼움 결합하는 돌출부이다. 이웃하는 단위자석의 끼움돌기(33e)를 가이드홈(33f)에 삽입함으로써, 마그네트프레이트의 진동 발생 시 자석 간의 벌어짐 현상이 없다.
이상, 본 발명을 구체적인 실시예를 통하여 상세하게 설명하였으나, 본 발명은 상기 실시예에 한정하지 않고, 본 발명의 기술적 사상의 범위 내에서 통상의 지식을 가진 자에 의하여 여러 가지 변형이 가능하다.
10:증착장비 11:증착챔버 11a:증착공간
12:증발원 13:마스크홀더 13a:마스크프레임
14:기판홀더 16:마스크시트 17:기판
18:터치플레이트 19:마그네트플레이트 19a:자석
21:웨이퍼 23:마스크시트 23a:프레임합착부
23b:픽셀부 23d:증착구멍 23e:단차부위
30:합착장치 31:마그네트플레이트 31a:자석케이스
31c:측벽부 31e:바닥부 33:단위자석
33a:하단슬릿 33c:하단원형홈 33e:끼움돌기
33f:가이드홈 34:비자성받침부재 34a:선형돌기
34c:원형돌기

Claims (10)

  1. 증착챔버내에 설치된 상태로 기판상에 마스크시트를 합치시키는 것으로서,
    상기 기판의 하부에 위치하고 마스크시트의 외곽부를 받쳐 수평 지지하는 마스크프레임과;
    기판의 상부에 승강 가능하도록 설치되며, 기판하부의 마스크시트에 자기력을 가하여 마스크시트가 기판의 저면에 밀착되도록 유도하되, 부분적으로 상이한 자속밀도의 자기력을 출력하는 판상의 마그네트플레이트를 구비하는 것을 특징으로 하는 마이크로 디스플레이패널 증착용 마스크시트 합착장치.
  2. 제1항에 있어서,
    상기 마스크시트는;
    기판의 저면에 밀착하며 다수의 증착구멍이 형성되어 있는 픽셀부와, 픽셀부를 둘러싸고 마스크프레임의 상면에 고정되며 픽셀부보다 상대적으로 두꺼운 두께를 갖는 프레임합착부를 포함하며, 픽셀부와 프레임합착부의 사이에는 단차부가 형성되고,
    상기 마그네트플레이트로부터 출력되는 자기력 중, 단차부를 향하는 자기력은, 픽셀부 중앙을 향하는 자기력에 비해 상대적으로 강하게 유지되는 것을 특징으로 하는 마이크로 디스플레이패널 증착용 마스크시트 합착장치.
  3. 제2항에 있어서,
    상기 마그네트플레이트는;
    바닥부와 측벽부를 구비한 자석케이스와,
    자석케이스의 내부에 수용되며 바닥부 하부로 자기력을 출력하되, 평균 출력 자기력보다 상대적으로 큰 자기력을, 단차부로 가하는 자기력출력부를 구비하는 것을 특징으로 하는 마이크로 디스플레이패널 증착용 마스크시트 합착장치.
  4. 제3항에 있어서,
    상기 자기력출력부는;
    블록의 형태를 취하며 자석케이스 내에 상호 밀착한 상태로 수납되고, 상이한 크기의 자기력을 출력하는 다수의 단위자석인 것을 특징으로 하는 마이크로 디스플레이패널 증착용 마스크시트 합착장치.
  5. 제3항에 있어서,
    상기 자기력출력부는;
    블록의 형태를 취하며 자석케이스 내에 상호 밀착한 상태로 수납되고 동일한 크기의 자기력을 출력하는 다수의 단위자석과,
    일부 단위자석의 하부에 설치되어, 자석케이스의 바닥부로부터 단위자석을 이격시킴으로써 해당 단위자석의 출력 자기력을 낮추는 비자성받침부재를 구비하는 것을 특징으로 하는 마이크로 디스플레이패널 증착용 마스크시트 합착장치.
  6. 제4항에 있어서,
    상기 단위자석은,
    동일한 사이즈를 갖는 육면체 형태의 영구자석으로서 자석케이스 내에서 전후좌우로 밀착하며, 자석케이스의 중심부로부터 측벽부로 갈수록 강한 자기력을 출력하는 것을 특징으로 하는 마이크로 디스플레이패널 증착용 마스크시트 합착장치.
  7. 제5항에 있어서,
    상기 단위자석은,
    동일한 사이즈를 갖는 육면체 형태의 영구자석으로서 자석케이스 내에서 전후좌우로 밀착하며,
    자석케이스의 바닥부에 대한 각 단위자석의 이격거리는, 자석케이스의 중심부로부터 측벽부로 갈수록 작아지는 것을 특징으로 하는 마이크로 디스플레이패널 증착용 마스크시트 합착장치.
  8. 제4항에 있어서,
    상기 단위자석의 일측면에는, 일정폭을 가지며 나란하게 연장된 다수의 가이드홈이 형성되고, 타측면에는 상기 가이드홈에 대응하며 이웃 단위자석의 가이드홈에 끼움 결합하는 끼움돌기가 형성된 것을 특징으로 하는 마이크로 디스플레이패널 증착용 마스크시트 합착장치.
  9. 제6항에 있어서,
    상기 단위자석의 저면에는 하단슬릿이 형성되고,
    비자성받침부재의 상면에는, 하단슬릿에 삽입되는 선형돌기가 마련되어 있는 것을 특징으로 하는 마이크로 디스플레이패널 증착용 마스크시트 합착장치.
  10. 제6항에 있어서,
    상기 단위자석의 저면에는 일정내경을 갖는 다수의 하단원형홈이 형성되어 있고, 비자성받침부재의 상면에는 하단원형홈에 삽입 결합하는 다수의 원형돌기가 형성된 것을 특징으로 하는 마이크로 디스플레이패널 증착용 마스크시트 합착장치.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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