KR100796589B1 - 증발원 및 그를 포함하는 증착장치 - Google Patents
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Abstract
Description
Claims (10)
- 증착 물질이 위치하고 일부분이 개구된 증착 물질 저장부;상기 증착 물질 저장부를 감싸는 하우징;상기 하우징과 상기 증착 물질 저장부 사이에 개재된 가열부;상기 증착 물질 저장부의 개구된 부분과 연결되고 상기 증착 물질을 분사하기 위한 개구부를 가지는 노즐부;상기 노즐부의 일부의 모서리를 감싸며, 상기 가열부와 직접 연결되어 있는 반사판; 및상기 반사판 상에 위치하고, 상기 가열부와 직접 연결되어 있지 않아 상기 가열부에 의해 직접 가열되지 않도록 형성되어 상기 반사판을 덮는 커버를 포함하는 증발원.
- 제 1 항에 있어서,상기 커버는 증착 방향으로 돌출된 돌출부를 구비하는 것을 특징으로 하는 증발원.
- 제 1 항에 있어서,상기 하우징과 상기 가열부 사이에 반사판이 개재되는 것을 더욱 포함하는 증발원.
- 제 1 항에 있어서,상기 증착물질은 유기물인 것을 특징으로 하는 증발원.
- 제 1 항에 있어서,상기 증착물질은 도전성 물질인 것을 특징으로 하는 증발원.
- 제 1 항에 있어서,상기 가열부는 열원 및 열원 지지체를 구비하는 것을 특징으로 하는 증발원.
- 증착 물질이 위치하고 일부분이 개구된 증착 물질 저장부;상기 증착 물질 저장부를 감싸는 하우징;상기 하우징과 상기 증착 물질 저장부 사이에 개재된 가열부;상기 증착 물질 저장부의 개구된 부분과 연결되고 상기 증착 물질을 분사하기 위한 개구부를 가지는 노즐부;상기 노즐부의 일부의 모서리를 감싸며, 상기 가열부와 직접 연결된 반사판; 및상기 반사판 상에 위치하고, 상기 가열부와 직접 연결되어 있지 않아 상기 가열부에 의해 직접 가열되지 않도록 형성되어 상기 반사판을 덮는 커버를 포함하는 증발원 및 기판을 지지하는 챔버를 포함하는 것을 특징으로 하는 증착장치.
- 제 7항에 있어서,상기 증발원의 커버는 증착 방향으로 돌출된 돌출부를 구비하는 것을 특징으로 하는 증착장치.
- 제 7항에 있어서,상기 증발원은 선형증발원인 것을 특징으로 하는 증착장치.
- 제 7항에 있어서,상기 챔버 내에 상기 증발원을 이송시키는 이송장치가 배치되는 것을 포함하는 증착장치.
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