JPS63202516A - 板状物の移送装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は板状物の移送装置に係り特に板状物を液体噴流
で浮上させて移送する装置に関する。

〔従来の技術〕

半導体製造工程では各処理工程の前後で、ウェハ上の不
純物を除去するために洗浄を行っている。

このウェハの洗浄方法としては、１つのキャリアに複数
のウェハを収納してキャリア毎に一括して洗浄する方法
が一般に用いられている。しかし、この方法ではウェハ
の間隔が狭いため、ウェハ面に洗浄むらが生じ易く、近
年のウェハの大口径化に伴い、この傾向はますます顕著
になると予想されている。

そこで、この不均一をな（すための手段として、第３図
に示すような、ウェハを１枚ずつ液中で浮上させながら
洗浄する装置が提案されてきた。この装置は、搬送路を
兼ねた洗浄槽１の開孔部２から洗浄薬液３を噴出させる
ことにより、ウェハ４を液中に浮上させると共に、該ウ
ェハ４の面を洗浄するものであり、ウェハ４は順次搬送
用アーム５で前方（矢印入方向）に移送されるようにな
っている。

〔発明が解決しようとする問題点〕

ところで、従来のこのような移送装置では、一般的な洗
浄工程、即ち薬液による洗浄後、直ちに純水洗浄を行う
よう構成されているため、第４図に示すように、洗浄薬
液３と純水６とがその境界域で混合してしまい、その結
果洗浄薬液３の消費量が多くなると共に、境界域での混
合むらからウェハ４の面の清浄度が不均一になる等の欠
点があった。

本発明の目的は上述した欠点に鑑みなされたもので、異
種の液を混合することなく、板状物を浮上させたまま異
種の波間を移送させることができるよう１こした板状物
の移送装置を提供するにある。

〔問題点を解決するための手段〕

本発明は、ウェハ等の板状物を液流で浮上させたまま、
異種の液間を連続して移送する際、異種の液の境界付近
で両液が混合してしまい、液を多量に消費してしまうこ
とに着目し、異種の液と混合しない媒体を噴出する域を
異種の液の噴出域の中間に設けた構成としたものである
。

〔作用〕 本発明によれば、異種の液の噴出域の中間に両液と混じ
り合わない媒体が噴出するので、異種の液の噴出域を完
全に分離でき、よって板状物を連続して移動させても異
種の液どうしが混合することはない。

〔実施例〕

以下、図に示す実施例を用いて本発明の詳細な説明する
。

第１図および第２図は本発明に係る板状物の移送装置の
一実施例を示す図であり、第３図および第４図と同一部
分には同一符号を付しである。板状物であるウェハ４は
、搬送路兼用の洗浄槽１に水平方向に配置されると共に
、この洗浄槽１に摺動自在に装着された搬送用アーム５
によって一定速度で矢印へ方向に移動させられるように
構成されている。

また、前記洗浄槽１には洗浄薬液噴出部７および純水噴
出部８が設けられていると共に、これら各噴出部７．８
の中間には空気噴出部９が配設されている。そして、前
記洗浄薬液噴出部７の開孔部７ａから洗浄薬液３が、ま
た純水噴出部８の開孔部８ａから純水６が、さらに空気
噴出部９の開孔部９ａから加圧空気１０がそれぞれ噴出
するよう構成されている。なお、洗浄槽１の下側には洗
浄薬液導入ロアｂ、純水導入口８ｂおよび空気導入口９
ｂが設けられている。

また、前記洗浄薬液噴出部７と空気噴出部９との間、お
よび空気噴出部９と純水噴出部８との間には排液溝１１
．１２が設けられており、使用後の洗浄薬液３および純
水６を外部に排出するようになっている。

次に、以上のように構成された移送装置の作用について
説明する。ウェハ４は第１図の位置で、洗浄薬液噴出部
７の開孔ｉ７ａから噴出する洗浄薬液３により浮上させ
られた状態でその表面を洗浄される。そして、これと同
時にウェハ４は搬送用アーム５によって一定速度で矢印
への方向に移動させられ、第２図の状態になる。この第
２図の状態でウェハ４は洗浄薬液３の噴出流と、加圧空
気ｌＯの噴出流の両方から浮上刃を得て連続して浮上し
つつ移動できると共に、ウェハ４の面に当たる加圧空気
１０の気流により、このウェハ４の面を伝って水平方向
に流れようとする洗浄薬液３の流れを阻止でき、これに
よって洗浄薬液３は排液溝１１に落下し、外部に排出さ
れる。したがって、洗浄薬液３はウェハ４の上面に残留
する液滴を除き、前記排液溝１１の位置から前方側、つ
まり空気噴出Ｂ９側へは流れない。

この後、ウェハ４は搬送用アーム５によってさらに矢印
へ方向へ移動させられ、加圧空気１０の噴出する域、つ
まり空気噴出部９の上方を通過し、第２図に二点鎖線４
′で示すごとくウェハ４の進行方向の端部が純水６の噴
出する域、つまり純水噴出部８に到達する。ここでも、
前記洗浄薬液３の場合と同様に、純水６がウェハ４の面
を伝ってウェハ４の進行方向と逆向きに流れようとする
が、加圧空気１０の気流によってその流れを阻止され、
排液溝１２から排出される。

このように、洗浄薬液噴出部７と純水噴出部８の間に、
加圧空気１０を噴出する空気噴出部９を設けたことによ
り、ウェハ４を連続して浮上させたまま移送したとして
も、洗浄薬液３と純水６との混合は確実に避けられるの
で、その分洗浄薬液３の消費量を削減できる。

なお、上述した実施例においては、洗浄薬液３と純水６
との間の媒体として加圧空気１０を用いたが、これは他
のいかなる気体であってもよい。

また、前後の液が水溶液等の場合は、水と容易に分離す
るフロンを前記気体のかわりに用いる等、前後の液と混
じり合わない液体を用いてもよい。

ただし、この場合は排液溝から洗浄薬液とフロン等の液
体が一緒に排出されるため、排出後に洗浄薬液とフロン
等の液体とを分離する設備が必要となる。

〔発明の効果〕

以上説明したように本発明に係る板状物の移送装置によ
れば、異種の液の中間に両液と混じり合わない媒体を介
在させるようにしたので、異種の液どうしを混合させる
ことなくウェハ等の板状物を浮上させたまま異種の液間
を移送できるようになった。したがって、従来に比べて
洗浄薬液の消費量を削減することができると共に、板状
物面の清浄度も均一にできるという効果を有する。

【図面の簡単な説明】

第１図および第２図は本発明に係る板状物の搬送装置の
一実施例を示す斜視図と断面図、第３図および第４図は
従来の板状物の搬送装置の斜視図と断面図である。 ３・・・洗浄薬液、　４・・・ウェハ、　　６・・・純
水、７・・・洗浄薬液噴出部、　８・・・純水噴出部、
　９・・・空気噴出部、　ｌＯ・・・加圧空気。 出願人　日立プラント建設株式会社 第１図 第２図 ］０・７７０に’４ｆｆｔ 第３図 第４図

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）水平方向に配置された板状物を連続して噴出する
   液流で浮上させつつ移送する装置において、異種の液の
   噴出域の中間に両液と混じり合わない媒体が噴出する領
   域を設け、前記異種の液を混合することなく、板状物を
   浮上させたまま移送するよう構成したことを特徴とする
   板状物の移送装置。
2. （２）前記媒体として加圧空気を用いたことを特徴とす
   る特許請求の範囲第（１）項記載の板状物の移送装置。