JP4324770B2 - 基板クリーニング装置及びクリーニング方法 - Google Patents
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Description
2,3 透明基板
4 電極群
10 クリーニングテープ
11 テープ供給リール
12 テープ回収リール
16〜20 ガイドローラ
21 反転送りローラ
22 第1の加圧ローラユニット
23 第2の加圧ローラユニット
22a,22b,23a,23b 加圧ローラ
26 昇降駆動手段
29 往復動手段
Claims (7)
- 表裏を有する基板で、その一面側が高い清浄度を必要とし、反対面側はそれより低い清浄度を許容する工程に際し、加圧ローラユニットによりクリーニングテープを前記基板に加圧することでクリーニングする装置であって、
テープ供給リールとテープ回収リールとの間に、入口と出口とに設けた2個のガイドローラと、テープの走行経路を反転させる反転ローラとによりクリーニングテープの往復路を形成し、
この往復路の途中に、往復路を挟んで対向する第1,第2の加圧ローラユニットで前記基板の表裏を挟んで加圧する加圧機構を有し、
かつ拭き取り加圧後に、前記往復路を保ちつつ、前記ガイドローラと前記反転ローラとの間隔より短い距離前記クリーニングテープを前記テープ回収リールに巻き取る
構成としたことを特徴とする基板クリーニング装置。 - 前記第1,第2の加圧ローラユニットによって、前記基板の表裏両面に前記クリーニングテープが押圧された状態で、この基板を移動手段によって、前記往復路に挟まれる面内で前記反転ローラに当らない方向へ移動させることにより拭き取り動作を行わせる構成としたことを特徴とする請求項1記載の基板クリーニング装置。
- 前記クリーニングテープの送り機構は、前記反転ローラに前記クリーニングテープの往復路の長さを増減する往復機構を設け、前記テープ供給リールと前記テープ回収リールとの間にテンションを保ちつつ、前記往復機構による往復路の長さ変動分を巻き取ることで、前記加圧ローラユニットで押圧している前記クリーニングテープの長さ以上の長さ毎にピッチ送りを行う構成としたことを特徴とする請求項1記載の基板クリーニング装置。
- 前記基板の表裏両面を各々2度拭きするために、前記第1,第2の加圧ローラユニットをそれぞれ2個の弾性ローラからなる加圧ローラで構成し、これらの加圧ローラによる前記クリーニングテープの前記基板への加圧部分を含むゾーンを設定して、前記往復機構による1回のクリーニング毎の前記クリーニングテープの送り長さを2ゾーン分とし、しかも前記2個の加圧ローラ間を奇数ゾーン分だけ離して設置することで、前記2個の加圧ローラはそれぞれ毎回未使用のクリーニングテープのゾーンを加圧する構成としたことを特徴とする請求項3記載の基板クリーニング装置。
- 前記2個の加圧ローラの間隔は前記基板の端部から最初の電極群が形成されている部位までの幅寸法より短く設定する構成としたことを特徴とする請求項4記載の基板クリーニング装置。
- 前記クリーニングテープの送り機構は、前記テープ供給リール及び前記テープ回収リールにそれぞれクラッチとテンション用のモータとを設けて、前記反転ローラを前記往復路を伸ばす方向に移動させる際には、前記テープ回収リールのクラッチを固定状態とし、前記テープ供給リールのクラッチをモータ側に接続してバックテンションを掛けてこのモータを従動させてクリーニングテープを送り出し、前記反転ローラを前記往復路を縮める方向に移動させる際には、前記テープ供給リールのクラッチを固定状態とし、前記テープ回収リールのクラッチをモータ側に接続してクリーニングテープを巻き取る方向にテンションを掛けて、モータを従属させてクリーニングテープを巻き取る構成としたことを特徴とする請求項3乃至請求項5のいずれかに記載の基板クリーニング装置。
- 表裏を有する基板で、その一面側が高い清浄度を必要とし、反対面側はそれより低い清浄度を許容する工程に際し、加圧ローラユニットでクリーニングテープを前記基板に加圧することによりクリーニングする方法であって、
テープ供給リールとテープ回収リールとの間に、入口と出口とに設けた2個のガイドローラと、テープの走行経路を反転させる反転ローラとにより形成したクリーニングテープの往復路に前記基板を挟み、この基板の表裏の対向する位置を第1,第2の加圧ローラユニットで挟み込むことでクリーニングテープを押圧し、前記基板を前記往復路の面内方向で反転ローラに当らない方向に摺動させることで、所定幅にわたってクリーニングするテープクリーニング工程と、
前記基板が往復路から抜け出した後に前記加圧ローラユニットを退避させるローラ退避工程と、
前記クリーニングテープを前記ガイドローラと前記反転ローラとの間隔より短い距離前記クリーニングテープを前記テープ回収リールに巻き取る
ことを特徴とする基板クリーニング方法。
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