JP2001259540A - 基板の清掃装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 布の送り量を調整することができ、かつ、金
属粉等のダストが発生しない基板の清掃装置を提供す
る。 【解決手段】 布送り機構４６は、第２ロール３０を送
出し角度回転させる布送りレバー５０と、布送りレバー
５０を回動させる布送りシリンダ４８と、第２ロール３
０と同軸に設けられたブレーキホイール５２と、ブレー
キホイール５２に当接可能なようにストップレバー５８
に設けられたゴム部材５６と、ストップレバー５８を回
動させるストップシリンダ５４とよりなるものである。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶表示装置等の
平面表示装置に用いられるガラス基板等の基板の清掃装
置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】液晶表示装置の液晶セル１０を構成する
ガラス基板の製造工程には、図１０に示すように、ガラ
ス基板１１の両面に偏光板１２を貼り付ける工程があ
る。

【０００３】この貼り付ける工程においては、偏光板１
２を貼り付ける前にガラス基板１１の表面に付着した封
止剤やゴミ等の異物を取り除く必要があり、そのために
ガラス基板１１の表面をクリーニングする工程が設けら
れている。

【０００４】従来、このクリーニングする工程では、研
磨ヘッドでガラス基板１１の表面に付着した異物を取り
除いた後、布でガラス基板１１の表面を拭き取る方法が
採られている。

【０００５】ここで、このガラス基板１１を布で拭き取
る清掃装置１００の構成について、図７〜図９に基づい
て説明する。

【０００６】図７は、清掃装置１００の斜視図である。

【０００７】図７に示すように、ガラス基板１１を載せ
るステージ１３の上方を、清掃ヘッド１４が矢印Ｘの方
向に移動可能なように配されている。すなわち、清掃装
置１００の本体に設けられた取付アーム１６に上下駆動
部１５が設けられ、この上下駆動部１５に清掃ヘッド１
４が設けられている。そして、取付アーム１６がステー
ジ１３の上面に載置されたガラス基板１１に沿って矢印
Ｘ方向に移動可能になされており、また、上下駆動部１
５によって清掃ヘッド１４が上下動できる。なお、この
取付アーム１６には不図示の研磨ヘッドも設けられてい
る。

【０００８】次に、従来の清掃ヘッド１４の構造につい
て図８及び図９に基づいて説明する。

【０００９】清掃ヘッド１４には、使用前の布Ｓを巻回
した第１ロール１０２と、使用済みの布Ｓを巻回する第
２ロール１０４が設けられ、この第１ロール１０２と第
２ロール１０４との間には布Ｓをガラス基板１１に押し
当てるための清掃ロール１０６が設けられている。そし
て、ガラス基板１１を入れ替えるたびに新しい布Ｓを少
しずつ第１ロール１０２から清掃ロール１０６を経て第
２ロール１０４に送る布送り機構１０８が設けられてい
る。

【００１０】この布送り機構１０８は、布送りシリンダ
１１０が突出すると、布送りレバー１１２を介してラチ
ェットホイール１１４の爪の数個分だけ第２ロール１０
４が回転し、布Ｓが巻き取られる。

【００１１】次に、布送りシリンダ１１０が後退する
と、第２ロール１０４はラチェット爪１１６に引っ掛か
り静止したままで、布送りレバー１１２だけが戻ること
ができる。

【００１２】このようにすることで、ラチェット爪１１
６の数個分ずつ布送りが可能となっている。

【００１３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
布送り機構１０８であると、布送り量はラチェット爪１
１６によって決定され、その送り量を調整することがで
きなかった。すなわち、ラチェット爪１１６のピッチで
送り量が確定され変更することができなかった。そのた
め、布Ｓの送り量は、第１ロール１０２と第２ロール１
０４の交換頻度を減らすために、必要最小限の量に調整
する必要があった。

【００１４】また、布送りの際に第２ロール１０４の回
転角θが一定であるため、布Ｓを巻き取ると、図９に示
すように第２ロール１０４の直径が徐々に大きくなり、
布Ｓの送り量も増加するため、この増加量を考慮して最
適位置に調整する必要があった。

【００１５】さらに、ラチェット爪１１６が噛み合う動
作をする際に、金属粉が発生して落下することがあり、
液晶表示装置に悪影響を及ぼすこともあった。

【００１６】そこで、本発明は上記問題点に鑑み、布の
送り量を調整することができ、かつ、金属粉等のダスト
が発生しない基板の清掃装置を提供するものである。

【００１７】

【課題を解決するための手段】請求項１の発明は、平面
表示装置の基板の表面を布で拭き取る基板の清掃装置に
おいて、使用前の布を巻回した第１ロールと、使用済み
の布を巻回する第２ロールと、布を前記基板に当てるた
めの清掃ロールと、前記第１ロールに巻回された布を前
記清掃ロールを経て前記第２ロールに送る布送り機構
と、を有し、前記布送り機構は、布を巻回する方向へ前
記第２ロールを送出し角度回動させる布送りレバーと、
前記布送りレバーを回動させる布送りシリンダーと、前
記第２ロールの回転軸と同軸に設けられたブレーキホイ
ールと、回動自在に設けられたストップレバーと、前記
ブレーキホイールに当接可能なように前記ストップレバ
ーに設けられた弾性部材と、前記ストップレバーを回動
させるストップシリンダーと、を有したことを特徴とす
る基板の清掃装置である。

【００１８】請求項２の発明は、前記布送りレバーにワ
ンウェイクラッチを設けて、前記第２ロールが布を巻回
する方向とは反対方向に回動しないようにしたことを特
徴とする請求項１記載の基板の清掃装置である。

【００１９】請求項３の発明は、前記布送りレバーから
突出部を、一対の調整ネジの間に位置するように突出さ
せ、前記突出部がこれら一対の調整ネジの間を移動させ
ることによって、前記布送りレバーが前記送出し角度回
動するようにしたことを特徴とする請求項１記載の基板
の清掃装置である。

【００２０】請求項４の発明は、前記第１ロールに巻回
された布の量を検出するセンサを有し、前記センサが検
出した布の量に対応させて前記布送りレバーの駆動を制
御することを特徴とする請求項１記載の基板の清掃装置
である。

【００２１】請求項１の基板の清掃装置について説明す
る。

【００２２】この清掃装置において布を送り出す場合に
は、布送りシリンダを駆動させて布送りレバーを回動さ
せる。すると、第２ロールが送出し角度、布を巻回する
方向へ回転するため、布が引っ張られ、第１ロールから
布が引き出される。そして、送出し角度回転すると、ス
トップシリンダが駆動してストップレバーが回転し、弾
性部材がブレーキホイールを押圧する。これによって第
２ロールは所定の位置で固定される。

【００２３】以上のようにすることによって、布送りシ
リンダとストップシリンダを動作させるだけで所定の量
の布送りを行うことができる。

【００２４】請求項２の基板の清掃装置であると、布送
りレバーにワンウェイクラッチを設けることにより、第
２ロールが布を巻回する方向とは反対方向に回動しな
い。

【００２５】請求項３の基板の清掃装置であると、一対
の調整ネジの間を調整して、布送りレバーから突出した
突出部の移動距離を変更させて、第２ロール１０４が回
転する角度を調整する。これによって、布送り量を自由
に変更することができる。

【００２６】

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施例を図１〜
図６に基づいて説明する。

【００２７】図１は本実施例の清掃装置２０の斜視図で
あって、従来技術で説明したのと同様に、ステージ１３
の上にガラス基板１１が載置され、この上方を清掃ヘッ
ド２２が、図１中の矢印Ｘ方向と矢印Ｚ方向に移動す
る。この移動させる手段は、上下駆動部１５及び取付ア
ーム１６によって移動する。

【００２８】次に、清掃ヘッド２２の構造について詳し
く説明する。

【００２９】図２は、清掃ヘッド２２の正面図であり、
図３は清掃ヘッド２２の右側面図、図４は縦断面図、図
５は左側面図である。

【００３０】清掃ヘッド２２の本体を構成するフレーム
２４は、板をコの字状に折曲したものであり、下方が開
口している。

【００３１】フレーム２４の上部には、使用前の布Ｓを
巻回するための第１ロール２６が架設されている。そし
て、第１ロール２６の両端には、第１ロール２６を回動
自在に保持するための第１ロール保持機構２８，２８が
設けられている。

【００３２】第１ロール２６の下方には、使用済みの布
Ｓを巻回するための第２ロール３０が架設され、その両
端には第２ロール保持機構３２，３２が設けられてい
る。

【００３３】そして、第１ロール２６及び第２ロール３
０は、着脱機構３４，３６によって着脱自在になってお
り、第１ロール２６の布Ｓが使用された場合及び第２ロ
ール３０に布Ｓがいっぱいに巻かれた場合には外して新
しいロールを取付けることができる。

【００３４】第２ロール３０の下方には、布Ｓをガラス
基板１１に押し当てるための清掃ロール３８が設けられ
ている。

【００３５】第１ロール２６の上方には、第１ロール２
６の逆転を防止して、引き出される布Ｓの張力を一定に
保つためのスプリング式の押さえ部材４０が設けられて
いる。この押さえ部材４０は、フレーム２４に揺動可能
な状態で保持され、第１ロール２６の表面と常に接触し
て布Ｓに張力を与えている。

【００３６】フレーム２４の左側面には、押さえ部材４
０の揺動位置を検出して、第１ロール２６に巻回された
布Ｓの量を検出するためのセンサ４２，４４が設けられ
ている。このセンサ４２，４４は光学式のセンサであ
り、押さえ部材４０がセンサ４２を動作させると、布Ｓ
の残り量が少し減ったこととなり、センサ４４を動作さ
せると布Ｓの残り量が殆ど無いことを示している。

【００３７】フレーム２４の右側面には布送り機構４６
が設けられている。この布送り機構４６は、第１ロール
２６から布Ｓを引き出し清掃ロール３８を経て第２ロー
ル３０に巻回させるためのものである。以下、その構造
について説明する。

【００３８】フレーム２４の右側面後部には、上下に伸
縮する布送りシリンダ４８が設けられ、この布送りシリ
ンダ４８のピストン部の先端には布送りレバー５０が取
付けられている。この布送りレバー５０は、第２ロール
３０と同軸に回動可能なように取付けられている。すな
わち、この布送りレバー５０は、図３において、第２ロ
ール３０が布Ｓを巻回する方向（以下、順方向という）
に回転する場合には第２ロール３０と共に回転し、順方
向とは反対方向（以下、反対方向という）に回転しよう
とすると、布送りレバー５０に内蔵された不図示のワン
ウェイクラッチによってその回転は阻止される構造とな
っている。

【００３９】第２ロール３０とは同軸にブレーキホイー
ル５２が取付けられている。

【００４０】ブレーキホイール５２の上方には、ストッ
プシリンダ５４、ゴム部材５６を取り付けたストップレ
バーが設けられている。そして、ストップシリンダ５４
が突出するとストップレバー５８が回動してゴム部材５
６がブレーキホイール５２を押圧して、第２ロール３０
の回転を阻止するものである。

【００４１】さらに、送りレバー５０の下部からは突出
部６０が突出している。すなわち、布送りレバー５０
は、図３に示すようにＬ字状に構成されている。この突
出部６０の下端部の両側からは一対の当接部６２，６４
が設けられている。

【００４２】図６に示すように、突出部６０は、フレー
ム２４に設けられた一対の調整ネジ６６，６８の間を移
動するようになっている。すなわち、布送りレバー５０
が回転して当接部６２が調整ネジ６６と当たるとそれ以
上布送りレバー５０は回転せず、逆に当接部６４が調整
ネジ６８に当たると布送りレバー５０はそれ以上回動し
ない。そして、この調整ネジ６６と調整ネジ６８との間
の距離Ｌは調整ネジ６６，６８の螺合具合を調整するこ
とによって調整することができる。これによって、布送
りレバー５０の回転量を調整することが可能となる。

【００４３】次に、上記構成の布送り機構４６の動作に
ついて説明する。

【００４４】第１に、ストップシリンダ５４が後退する
と、ブレーキホイール５２の押圧が解除されて第２ロー
ル３０の回転が自由となる。

【００４５】第２に、布送りシリンダ４８を突出させる
と布送りレバー５０が送出し角度θだけ順方向に回転
し、布Ｓが第２ロール３０に巻き取られる。この場合の
送出し角度θは、調整ネジ６６，６８の間の距離Ｌで調
整し、前記したように突出部６０の当接部６２，６４が
それぞれ調整ネジ６６，６８に当たることによって決定
できる。

【００４６】第３に、ストップシリンダ５４が突出する
とゴム部材５６がブレーキホイール５２を押圧して第２
ロール３０の回転が阻止される。この状態で布送りシリ
ンダ４８を後退させると、布送りレバー５０は反対方向
に回転して元の状態に戻るが、ワンウェイクラッチを内
蔵しているので第２ロール３０は停止したままで、布送
りレバー５０だけが元に戻る。

【００４７】以上により、送出し角度θを調整する場合
には前記したように調整ネジ６６，６８を調整すること
によって変化させることができるので、布Ｓの送り出し
量を任意に調整することができ、布Ｓを有効活用するこ
とができ、布Ｓの交換頻度を減らすことができる。

【００４８】また、従来のようにラチェット爪を使用し
ていないため金属の擦れによる金属粉の発生がなく、液
晶表示装置に悪影響が出ない。

【００４９】ところで、第２ロール３０に巻き取られる
布Ｓの量が増えれば増えるほど布Ｓの引き出し量が増え
るため、この分を調整する必要がある。そのため、布Ｓ
の引き出し量が少ない最初の時には布送りシリンダ４８
を複数回動作させて布送り動作を行い、第２ロール３０
の巻回する布Ｓの量が増えて布Ｓの引き出し量が増えて
きた場合には、布送りシリンダ４８の動作回数を減らせ
ばよい。この場合に減らすタイミングとしては、センサ
４２，４４の検出した信号によって行うことができる。

【００５０】具体的には、センサ４２が押さえ部材４０
を検出するまでは１回の布送りに布送りシリンダ４８を
５回動作させ、センサ４２が押さえ部材４０を検出した
場合には布送りシリンダ４８の動作回数を１回にする。
そして、センサ４４が押さえ部材４０を検出した場合に
は、作業者に対し第１ロール２６と第２ロール３０の交
換を報知する。

【００５１】これによって、布Ｓの送り量を平均化する
ことができる。

【００５２】

【発明の効果】以上により本発明の基板の清掃装置であ
ると、布の送り量を任意に変更することができ、また、
従来のように金属粉の落下等がなく、平面表示装置に悪
影響を及ぼすことがない。

【００５３】そして、布送り量を必要最小限の量に調整
することができるので、布を巻回したロールの交換頻度
を減少させることができ、ランニングコストを削減する
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例を示す清掃装置の斜視図であ
る。

【図２】清掃ヘッドの正面図である。

【図３】清掃ヘッドの右側面図である。

【図４】清掃ヘッドの縦断面図である。

【図５】清掃ヘッドの左側面図である。

【図６】突出部及び調整ネジの部分の拡大側面図であ
る。

【図７】従来の清掃装置の斜視図である。

【図８】従来の清掃装置の清掃ヘッドの右側面図であ
る。

【図９】従来の清掃ヘッドの縦断面図である。

【図１０】液晶表示装置の液晶セルの側面図である。

【符号の説明】

１１ ガラス基板 ２０ 清掃装置 ２２ 清掃ヘッド ２４ フレーム ２６ 第１ロール ３０ 第２ロール ３８ 清掃ロール ４６ 送り機構 ４８ 布送りシリンダ ５０ 布送りレバー ５２ ブレーキホイール ５４ ストップシリンダ ５６ ゴム部材 ５８ ストップレバー ６０ 突出部 ６６ 調整ネジ ６８ 調整ネジ

Claims (4)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】平面表示装置の基板の表面を布で拭き取る
   基板の清掃装置において、 使用前の布を巻回した第１ロールと、 使用済みの布を巻回する第２ロールと、 布を前記基板に当てるための清掃ロールと、 前記第１ロールに巻回された布を前記清掃ロールを経て
   前記第２ロールに送る布送り機構と、 を有し、 前記布送り機構は、 布を巻回する方向へ前記第２ロールを所定の送出し角度
   回動させる布送りレバーと、 前記布送りレバーを回動させる布送りシリンダーと、 前記第２ロールの回転軸と同軸に設けられたブレーキホ
   イールと、 回動自在に設けられたストップレバーと、 前記ブレーキホイールに当接可能なように前記ストップ
   レバーに設けられた弾性部材と、 前記ストップレバーを回動させるストップシリンダー
   と、 を有したことを特徴とする基板の清掃装置。
2. 【請求項２】前記布送りレバーにワンウェイクラッチを
   設けて、前記第２ロールが布を巻回する方向とは反対方
   向に回動しないようにしたことを特徴とする請求項１記
   載の基板の清掃装置。
3. 【請求項３】前記布送りレバーから突出部を、一対の調
   整ネジの間に位置するように突出させ、 前記突出部がこれら一対の調整ネジの間を移動させるこ
   とによって、前記布送りレバーが前記送出し角度回動す
   るようにしたことを特徴とする請求項１記載の基板の清
   掃装置。
4. 【請求項４】前記第１ロールに巻回された布の量を検出
   するセンサを有し、 前記センサが検出した布の量に対応させて前記布送りレ
   バーの駆動を制御することを特徴とする請求項１記載の
   基板の清掃装置。