JP3105161B2 - 塗布装置 - Google Patents

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は塗布対象物の表面に
合成樹脂液あるいは塗料等の液体を間歇的に塗布する塗
布装置、または塗布操作を停止する毎にスリットダイの
液体吐出口部を清掃する塗布装置に関するものである。

【０００２】

【従来の技術】一般に、長尺のシート状の合成樹脂フイ
ルム、紙あるいは所定の寸法に裁断された枚葉状のガラ
ス基板、ウエハ等の塗布対象物の表面に合成樹脂液ある
いは塗料等の液体を間歇的に塗布する場合には、塗布対
象物を水平方向に搬送するコンベアー等の上方に幅方向
にスリット状の液体吐出口を有するスリットダイが設置
された塗布装置が使用されている。

【０００３】該塗布装置は、スリットダイをシリンダー
等の駆動機構によってコンベア上の塗布対象物に対して
垂直方向あるいは水平方向に移動されることによって液
体吐出口が塗布位置と待機位置とに移動するようになっ
ている。

【０００４】上述のような布装置によって液体の塗布を
行なうと、液体吐出口の先端部に塗布液体の一部が滴状
になって付着するため、この滴状の液体が吐出口から送
出される液体と共に塗布対象物に塗布され、均一な塗布
面を得ることができない。

【０００５】そこで、液体吐出口の先端部に付着した塗
布液体を清掃するため、例えば特開平７−８０３８６号
公報に記載されているような清掃装置が提案されてい
る。

【０００６】該清掃装置は塗布対象物搬送用のコンベア
ーの端部に清掃機構を設置し、液体吐出口部の清掃が必
要になると、該スリットダイを塗布位置から所定量上方
に移動させ、次いで清掃機構位置に向って水平方向に移
動させるようになっている。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】上述のスリットダイが
垂直方向にあるいは水平方向に移動する構成のものでは
停止時の衝撃力が大きく、高速移動させることができな
いという問題がある。

【０００８】また、垂直方向あるいは水平方向への移動
を繰り返し行なうと停止時の衝撃力によってスリットダ
イの塗布用液体吐出位置と塗布対象物との垂直方向の間
隔寸法および水平方向位置寸法が変化して塗布厚さに斑
を生じたり、塗布位置にずれを生じるという問題があ
る。

【０００９】さらに、スリットダイの液体吐出口を清掃
するためにスリットダイを垂直方向と水平方向に移動さ
せなければならず、移動機構全体が複雑になると共に清
掃のための機台停止時間が長くなって稼働効率が悪くな
るという問題がある。

【００１０】本発明は上述のような問題点を解決し、塗
布位置と待機位置間の移動を高速度で行なうことができ
るようにするという第１の課題、スリットダイの液体吐
出位置と塗布対象物との間隔寸法が変化するのを防止で
きるようにするという第２の課題、塗布動作を停止する
毎に液体吐出口部の付着物を確実に拭き取ることができ
るようにするという第３の課題を達成することができる
塗布装置を提供することを目的とするものである。

【００１１】

【課題を解決するための手段】 上述の第１、２及び３
の課題を解決するため本発明の塗布装置は請求項１のよ
うにスリットダイを幅方向の両端部が機枠に回動自在に
支持されるように設置すると共に、前記スリットダイを
駆動機構によって回動させて液体吐出口を塗布位置と待
機位置とに移動せしめるようにした塗布装置において、
清掃用のシート部材を有する清掃機構を前記スリットダ
イの液体吐出口が待機位置に移動すると前記液体吐出口
の先端部が接触する位置に配設せしめ、前記清掃機構
を、清掃用のシート巻取ロール装着用の巻出軸と、前記
シート巻取ロールから引出されたシートを巻取る巻取軸
と、前記巻出軸と巻取軸との間に位置し前記シートを周
面に巻回させて清掃部を形成するローラとを機枠に回転
自在に装着せしめると共に、前記ローラを軸心長手方向
と直交する方向に移動できるようにし、スリットダイの
吐出口の先端部がローラの周面に巻回された清掃用シー
トに当接すると、スプリングを圧縮して前記ローラが押
下げられた状態になるように構成してある。

【００１２】

【００１３】

【００１４】

【発明の実施の態様】図１は本発明の塗布装置の１実施
例を示す概略図であって、該塗布装置は機枠１に回転自
在に設置され、塗布対象物である合成樹脂フイルム４０
を走行させるバックアップローラ２および案内用ローラ
３と、該バックアップローラ２の近接位置に設置された
塗布液体である塗料を吐出するためのスリットダイ４
と、該スリットダイ４の下方に設置された清掃機構５と
により構成されている。

【００１５】上述のスリットダイ４は、所定の間隔をも
って配設された一対の案内用ローラの間で、かつ該ロー
ラによって搬送される塗布対象物である合成樹脂フイル
ム４０に近接した位置に設置することもできる。

【００１６】上述のスリットダイ４は図２に示すように
塗料の供給口（図示せず）とスリット状の液体吐出口６
ａを有するダイ本体６と、軸部７ａを有しダイ本体６の
両端部に取付けられた側板７と、機枠１に設置され該軸
部７ａを回転自在に支持する軸受８と、該軸部７ａに一
体的に取付けられたアーム９と、ピストンロッド１０ｂ
の端部が継手金具１１によって該アーム９にシリンダー
本体１０ａが機枠７に取付けられた流体シリンダー１０
とにより構成されている。

【００１７】該流体シリンダー１０には圧力調節弁、管
路切替用電磁弁等を有する圧力流体供給用管（図示せ
ず）が連結されており、制御装置（図示せず）からの動
作指令信号によって管路が切替えられるようになってい
る。

【００１８】そして、流体シリンダー１０のピストンロ
ッド１０ｂが引込むとダイ本体６が反時計方向に回動さ
れて液体吐出口６ａがバックアップローラ２の周面と対
向する塗布位置に、ピストンロッド１０ｂが突出すると
ダイ本体６が時計方向に回動されて液体吐出口６ａが待
機位置に移動する。

【００１９】上述のダイ本体６を回動させる流体シリン
ダー１０に代えて電動機と歯車を組合わせた機構あるい
は電動機と螺子を組合わせた機構を使用することもでき
る。

【００２０】また、ダイ本体６の塗料の供給口６ｂに
は、塗料の貯槽、定量供給用ポンプ等を有する塗料供給
用管１２が連結され、制御装置（図示せず）からの動作
指令信号によってポンプが回転、停止されるようになっ
ている。

【００２１】上述のダイ本体６の回動動作とポンプの回
転停止動作を関係は、ダイ本体６が回動して液体吐出口
６ａが塗布位置に移動した後にポンプが回転して塗料が
供給され、ポンプが停止して塗料の供給が停止された後
にダイ本体６が回動して液体吐出口６ａが塗布位置に移
動するようにする。

【００２２】清掃機構５は清掃用のシート巻取ロール３
０を装着するための巻出軸１４と、該ロール３０から引
出されたシート３１を巻取るための巻取軸１４と、該巻
取軸１５の上方に位置し、シート３１を周面に巻回させ
て清掃部を形成するローラ１６とが枠体１３に回転自在
に装着された構成になっている。

【００２３】該枠体１３は機枠７と一体の形状にするこ
とができる 上述の巻出軸１４にはシート３１が所定の張力を有する
状態で引出されるようにブレーキ（図示せず）が取付け
られており、巻取軸１５にはシート３１を巻取るための
電動機、減速機、一方向クラッチ等からなる駆動装置
（図示せず）が連結されている。

【００２４】また、ローラ１６は図３、図４に示すよう
にローラ本体１７の軸部１８ａが枠体１３に形成された
ガイドに沿って垂直方向に昇降するスライド軸受１８に
回転自在に取付けられている。

【００２５】該ローラ本体１７の周面にはロール３０か
ら引出されたシート３１が巻回されている。

【００２６】また、スライド軸受１８は、このスライド
軸受１８の下面と枠体１３の間に配されたスプリング１
９と、枠体１３に螺着された螺子体２０によってローラ
本体１７に巻回されたシート３１面が、待機位置に移動
されたダイ本体５の液体吐出口５ａの先端部と当接する
ように位置調整を行なう。

【００２７】該液体吐出口６ａの先端部がシート３１面
に確実に当接させるために、液体吐出口６ａの先端部に
よってローラ本体１７が押下げられるようにスライド軸
受１８の位置を調節するのが好ましい。

【００２８】上述のスプリング１９に代えて流体シリン
ダー等を使用することができる。

【００２９】上述の塗布装置における清掃動作は次のよ
うに行なわれる。

【００３０】バックアップローラ２および案内用ローラ
３を予め設定された速度で回転して塗布対象物である合
成樹脂フイルム４０を搬送せしめ、制御装置（図示せ
ず）のキーボードを操作して塗布動作開始信号を入力す
ると、流体シリンダ１０の圧力流体供給用管（図示せ
ず）の管路が切替えられてピストンロッド１０ｂが引込
んでダイ本体５が回動されて液体吐出口が塗布位置に移
動し、次いで、ポンプ（図示せず）が作動してダイ本体
５から塗料５０が吐出され、該フイルム４０の表面に所
定長さ塗布されると、制御装置（図示せず）から流体シ
リンダー１０とポンプ（図示せず）に塗布動作停止のた
めの動作指令信号が送られる。

【００３１】すると、該流体シリンダ１０のピストンロ
ッド１０ｂが突出してダイ本体６が時計方向に回動され
て液体吐出口６ａが塗布位置から待機位置に移動され
る。

【００３２】該動作と同時にポンプ（図示せず）の回転
が停止されて塗料の供給が停止される。

【００３３】上述の液体吐出口６ａが待機位置に移動し
て該液体吐出口６ａの先端部がローラ本体１７の周面に
巻回されたシート３１に当接すると、スプリング１９を
圧縮して該ローラ本体１７が押下げられた状態になり、
液体吐出口６ａの先端部における付着物が該シート３１
によって拭き取られる。

【００３４】次いで、塗布された合成樹脂フイルム４０
が予め設定された長さ搬送されると、制御装置（図示せ
ず）から流体シリンダー１０とポンプ（図示せず）に塗
布開始のための動作指令信号が送られる。

【００３５】すると、該流体シリンダ１０のピストンロ
ッド１０ｂが引込んでダイ本体６が反時計方向に回動し
て液体吐出口６ａが待機位置から塗布位置に移動され
る。

【００３６】該動作と同時にポンプ（図示せず）が回転
して塗料５０が供給されて合成樹脂フイルム４０面上に
該塗料５０が吐出される。

【００３７】上述の動作で液体吐出口６ａが塗布位置に
移動すると、巻取軸１５の駆動装置が作動してシート３
１を巻取り、清掃部にあった塗料が付着したシート部分
を移動する。

【００３８】上述の清掃動作においては、シート３１を
停止させた状態で液体吐出口６ａの付着物を拭き取った
が、該シート３１を低速度で移動させながら拭き取るよ
うにすることもできる。

【００３９】上述の実施例においてはスリットダイ４の
下部に清掃機構５を設置したが、該清掃機構５をスリッ
トダイ４の上部に設置して、ダイ本体６が回動して液体
吐出口６ａが上方待機位置に移動すると該液体吐出口６
ａの付着物を拭き取る構成にすることもできる。

【００４０】上述の塗布動作を繰り返して行なうことに
よって長尺のシート３１に対して液体を所定の長さずつ
間歇的に塗布することができる。

【００４１】また、ダイ本体６の液体吐出口６ａが待機
位置に移動する度に付着物を拭き取ることができる。

【００４２】上述の清掃動作においては、シート３１を
停止させた状態で液体吐出口６ａの付着物を拭き取った
が、該シート３１を低速度で移動させながら拭き取るよ
うにすることもできる。

【００４３】上述の実施例においては長尺のシート状の
塗布対象物に対して液体を塗布したが、所定の寸法に裁
断された枚葉状のガラス基板、ウエハ等の塗布対象物の
表面に合成樹脂液あるいは塗料等の液体を間歇的に塗布
する場合は、スリットダイを塗布対象物を水平方向に移
動するコンベアーの上方に設置し、液体吐出口を塗布位
置と待機位置に回動させるようにする。

【００４４】また、スリットダイ４は電動機によって直
接回動させるようにすることができ、その詳細は図５、
図６に示されるようなダイ本体２１の両端部に回動アー
ム２２、２３が取付けられ、この回動アーム２２の軸部
２２ａが機枠１に設置された軸受２４に回動可能に支持
されていると共に回動アーム２３の軸部２３ａが同じ機
枠１に設置されたＡＣサーボモータ２５に連結された構
成になっている。

【００４５】上述の機枠１と軸受２４のと間にはライナ
ー２６が、機枠１とＡＣサーボモータ２５との間にはラ
イナー２７が、ダイ本体２１と回動アーム２２、２３と
の間にはライナー２８がそれぞれ取付けてある。

【００４６】そして、ＡＣサーボモータ２５を作動させ
てダイ本体２１を回動せしめ、回生制動を作用させて停
止させるようにすると、ダイ本体２１の液体吐出口２１
ａを塗布位置または清掃位置に正確に停止させることが
できる。

【００４７】上述のＡＣサーボモータ２５の回転速度を
減速するために減速機あるいはインデックステーブル等
を設ける場合は、停止位置に誤差が生じないようにする
ためバックラッシュが殆ど無い構成のものを使用する必
要がある。

【００４８】上述の回動アーム２３の軸部２３ａをＡＣ
サーボモータ２５に対して直接連結せず軸受によって回
動可能に支持し、カップリングによって軸部２３ａの端
部とＡＣサーボモータ２５の出力軸を連結させるように
することもでき、ダイ本体２１が長尺の場合には両側に
ＡＣサーボモータ２５を連結して回動させるようにする
こともできる。

【００４９】また、図５、図６におけるライナー２６、
２７、２８の厚さを変更することによってダイ本体２１
の吐出位置と回動アーム２２、２３の回動中心位置を偏
心（α）させると、液体吐出口２１ａを少ない回動角度
で清掃位置あるいは退避位置等に移動させることがで
き、移動時間を短縮することができる。

【００５０】上述の偏心（α）は、大きくし過ぎると回
動時の慣性力が大きくなって停止精度が悪くなるため、
１〜５０mmの範囲で設定するのが好ましい。

【００５１】上述の実施例においては塗料５０を連続し
た長尺のシート状塗布対象物である合成樹脂フイルム４
０に塗布するためにダイ本体６、２１の液体吐出口６
ａ、２１ａが水平方向の塗布位置と垂直方向下方の清掃
位置に回動するように構成されているが、塗料５０等を
枚葉状の塗布対象物であるガラス基板４１に塗布する場
合合は、図７に示されるようなガラス基板４１を搬送す
るためのベルトコンベアあるいは間歇的に往復動するベ
ッド等の搬送機構２９上にスリットダイ４が設置され、
ダイ本体６ａ、２１の液体吐出口６ａ、２１ａが垂直方
向下方の塗布位置と水平方向の清掃位置に回動される構
成にする。

【００５２】

【発明の効果】 本発明の塗布装置は請求項１のように
スリットダイを幅方向の両端部が機枠に回動自在に支持
されるように設置すると共に、前記スリットダイを駆動
機構によって回動させて液体吐出口を塗布位置と待機位
置とに移動せしめるようにした塗布装置において、清掃
用のシート部材を有する清掃機構を前記スリットダイの
液体吐出口が待機位置に移動すると前記液体吐出口の先
端部が接触する位置に配設せしめ、前記清掃機構を、清
掃用のシート巻取ロール装着用の巻出軸と、前記シート
巻取ロールから引出されたシートを巻取る巻取軸と、前
記巻出軸と巻取軸との間に位置し前記シートを周面に巻
回させて清掃部を形成するローラとを機枠に回転自在に
装着せしめると共に、前記ローラを軸心長手方向と直交
する方向に移動できるようにし、スリットダイの吐出口
の先端部がローラの周面に巻回された清掃用シートに当
接すると、スプリングを圧縮して前記ローラが押下げら
れた状態になるように構成すると、スリットダイの回動
による慣性力が小さくなるため、回動停止時の衝撃力を
小さくすることができ、塗布位置と待機位置間の移動速
度を高速度にすることができると共にスリットダイの液
体吐出位置と塗布対象物との間隔寸法が変化するのを防
止することができる。また塗布動作を停止する毎に確実
に液体吐出口部の清掃動作を実施することができる。さ
らに、スリットダイの液体吐出口の先端部を清掃用のシ
ート面に確実に当接させることができ、液体吐出口部の
付着物の拭き取りを確実に行なうことができる。

【００５３】

【００５４】

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の塗布装置の構成の１実施例を示す概略
正面図である。

【図２】図１におけるスリットダイの構成の１実施例を
示す概略斜視図である。

【図３】図１における清掃機構のローラ部の詳細を示す
概略側面図ある。

【図４】図３におけるＩ−Ｉ矢視図である。

【図５】スリットダイ回動機構の他の構成の実施例を示
す概略正面図である。

【図６】図５の概略側面図である。

【図７】本発明の塗布装置の構成の他の実施例を示す概
略正面図である。

【符号の説明】

１ 機枠 ２ バックアップローラ ３ 案内用ローラ ４ スリットダイ ５ 清掃機構 ６、２１ ダイ本体 ７ 側板 ８、２４ 軸受 ９ アーム １０ 流体シリンダー １１ 継手金具 １２ 塗料供給用管 １３ 枠体 １４ 巻出軸 １５ 巻取軸 １６ ローラ １７ ローラ本体 １８ スライド軸受 １９ スプリング ２０ 螺子体 ２２、２３ 回動アーム ２５ ＡＣサーボモータ ２６、２７、２８ ライナー ２９ 搬送機構 ３０ シート巻取ロール ３１ シート ４０ 合成樹脂フイルム ４１ ガラス基板 ６ａ、２１ａ 液体吐出口 ６ｂ 液体供給口 ７ａ、１７ａ、２２ａ、２３ａ 軸部 １０ａ シリンダー本体 １０ｂ ピストンロッド

Claims (1)

(57)【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 スリットダイを幅方向の両端部が機枠に
   回動自在に支持されるように設置すると共に、前記スリ
   ットダイを駆動機構によって回動させて液体吐出口を塗
   布位置と待機位置とに移動せしめるようにした塗布装置
   において、清掃用のシート部材を有する清掃機構を前記
   スリットダイの液体吐出口が待機位置に移動すると前記
   液体吐出口の先端部が接触する位置に配設せしめ、前記
   清掃機構を、清掃用のシート巻取ロール装着用の巻出軸
   と、前記シート巻取ロールから引出されたシートを巻取
   る巻取軸と、前記巻出軸と巻取軸との間に位置し前記シ
   ートを周面に巻回させて清掃部を形成するローラとを機
   枠に回転自在に装着せしめると共に、前記ローラを軸心
   長手方向と直交する方向に移動できるようにし、スリッ
   トダイの吐出口の先端部がローラの周面に巻回された清
   掃用シートに当接すると、スプリングを圧縮して前記ロ
   ーラが押下げられた状態になるように構成したことを特
   徴とする塗布装置。