JP3105161B2 - 塗布装置 - Google Patents
塗布装置Info
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- JP3105161B2 JP3105161B2 JP08045499A JP4549996A JP3105161B2 JP 3105161 B2 JP3105161 B2 JP 3105161B2 JP 08045499 A JP08045499 A JP 08045499A JP 4549996 A JP4549996 A JP 4549996A JP 3105161 B2 JP3105161 B2 JP 3105161B2
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Description
合成樹脂液あるいは塗料等の液体を間歇的に塗布する塗
布装置、または塗布操作を停止する毎にスリットダイの
液体吐出口部を清掃する塗布装置に関するものである。
ルム、紙あるいは所定の寸法に裁断された枚葉状のガラ
ス基板、ウエハ等の塗布対象物の表面に合成樹脂液ある
いは塗料等の液体を間歇的に塗布する場合には、塗布対
象物を水平方向に搬送するコンベアー等の上方に幅方向
にスリット状の液体吐出口を有するスリットダイが設置
された塗布装置が使用されている。
等の駆動機構によってコンベア上の塗布対象物に対して
垂直方向あるいは水平方向に移動されることによって液
体吐出口が塗布位置と待機位置とに移動するようになっ
ている。
行なうと、液体吐出口の先端部に塗布液体の一部が滴状
になって付着するため、この滴状の液体が吐出口から送
出される液体と共に塗布対象物に塗布され、均一な塗布
面を得ることができない。
布液体を清掃するため、例えば特開平7−80386号
公報に記載されているような清掃装置が提案されてい
る。
ーの端部に清掃機構を設置し、液体吐出口部の清掃が必
要になると、該スリットダイを塗布位置から所定量上方
に移動させ、次いで清掃機構位置に向って水平方向に移
動させるようになっている。
垂直方向にあるいは水平方向に移動する構成のものでは
停止時の衝撃力が大きく、高速移動させることができな
いという問題がある。
を繰り返し行なうと停止時の衝撃力によってスリットダ
イの塗布用液体吐出位置と塗布対象物との垂直方向の間
隔寸法および水平方向位置寸法が変化して塗布厚さに斑
を生じたり、塗布位置にずれを生じるという問題があ
る。
するためにスリットダイを垂直方向と水平方向に移動さ
せなければならず、移動機構全体が複雑になると共に清
掃のための機台停止時間が長くなって稼働効率が悪くな
るという問題がある。
布位置と待機位置間の移動を高速度で行なうことができ
るようにするという第1の課題、スリットダイの液体吐
出位置と塗布対象物との間隔寸法が変化するのを防止で
きるようにするという第2の課題、塗布動作を停止する
毎に液体吐出口部の付着物を確実に拭き取ることができ
るようにするという第3の課題を達成することができる
塗布装置を提供することを目的とするものである。
の課題を解決するため本発明の塗布装置は請求項1のよ
うにスリットダイを幅方向の両端部が機枠に回動自在に
支持されるように設置すると共に、前記スリットダイを
駆動機構によって回動させて液体吐出口を塗布位置と待
機位置とに移動せしめるようにした塗布装置において、
清掃用のシート部材を有する清掃機構を前記スリットダ
イの液体吐出口が待機位置に移動すると前記液体吐出口
の先端部が接触する位置に配設せしめ、前記清掃機構
を、清掃用のシート巻取ロール装着用の巻出軸と、前記
シート巻取ロールから引出されたシートを巻取る巻取軸
と、前記巻出軸と巻取軸との間に位置し前記シートを周
面に巻回させて清掃部を形成するローラとを機枠に回転
自在に装着せしめると共に、前記ローラを軸心長手方向
と直交する方向に移動できるようにし、スリットダイの
吐出口の先端部がローラの周面に巻回された清掃用シー
トに当接すると、スプリングを圧縮して前記ローラが押
下げられた状態になるように構成してある。
例を示す概略図であって、該塗布装置は機枠1に回転自
在に設置され、塗布対象物である合成樹脂フイルム40
を走行させるバックアップローラ2および案内用ローラ
3と、該バックアップローラ2の近接位置に設置された
塗布液体である塗料を吐出するためのスリットダイ4
と、該スリットダイ4の下方に設置された清掃機構5と
により構成されている。
って配設された一対の案内用ローラの間で、かつ該ロー
ラによって搬送される塗布対象物である合成樹脂フイル
ム40に近接した位置に設置することもできる。
塗料の供給口(図示せず)とスリット状の液体吐出口6
aを有するダイ本体6と、軸部7aを有しダイ本体6の
両端部に取付けられた側板7と、機枠1に設置され該軸
部7aを回転自在に支持する軸受8と、該軸部7aに一
体的に取付けられたアーム9と、ピストンロッド10b
の端部が継手金具11によって該アーム9にシリンダー
本体10aが機枠7に取付けられた流体シリンダー10
とにより構成されている。
路切替用電磁弁等を有する圧力流体供給用管(図示せ
ず)が連結されており、制御装置(図示せず)からの動
作指令信号によって管路が切替えられるようになってい
る。
ッド10bが引込むとダイ本体6が反時計方向に回動さ
れて液体吐出口6aがバックアップローラ2の周面と対
向する塗布位置に、ピストンロッド10bが突出すると
ダイ本体6が時計方向に回動されて液体吐出口6aが待
機位置に移動する。
ダー10に代えて電動機と歯車を組合わせた機構あるい
は電動機と螺子を組合わせた機構を使用することもでき
る。
は、塗料の貯槽、定量供給用ポンプ等を有する塗料供給
用管12が連結され、制御装置(図示せず)からの動作
指令信号によってポンプが回転、停止されるようになっ
ている。
転停止動作を関係は、ダイ本体6が回動して液体吐出口
6aが塗布位置に移動した後にポンプが回転して塗料が
供給され、ポンプが停止して塗料の供給が停止された後
にダイ本体6が回動して液体吐出口6aが塗布位置に移
動するようにする。
0を装着するための巻出軸14と、該ロール30から引
出されたシート31を巻取るための巻取軸14と、該巻
取軸15の上方に位置し、シート31を周面に巻回させ
て清掃部を形成するローラ16とが枠体13に回転自在
に装着された構成になっている。
とができる 上述の巻出軸14にはシート31が所定の張力を有する
状態で引出されるようにブレーキ(図示せず)が取付け
られており、巻取軸15にはシート31を巻取るための
電動機、減速機、一方向クラッチ等からなる駆動装置
(図示せず)が連結されている。
にローラ本体17の軸部18aが枠体13に形成された
ガイドに沿って垂直方向に昇降するスライド軸受18に
回転自在に取付けられている。
ら引出されたシート31が巻回されている。
軸受18の下面と枠体13の間に配されたスプリング1
9と、枠体13に螺着された螺子体20によってローラ
本体17に巻回されたシート31面が、待機位置に移動
されたダイ本体5の液体吐出口5aの先端部と当接する
ように位置調整を行なう。
に確実に当接させるために、液体吐出口6aの先端部に
よってローラ本体17が押下げられるようにスライド軸
受18の位置を調節するのが好ましい。
ダー等を使用することができる。
うに行なわれる。
3を予め設定された速度で回転して塗布対象物である合
成樹脂フイルム40を搬送せしめ、制御装置(図示せ
ず)のキーボードを操作して塗布動作開始信号を入力す
ると、流体シリンダ10の圧力流体供給用管(図示せ
ず)の管路が切替えられてピストンロッド10bが引込
んでダイ本体5が回動されて液体吐出口が塗布位置に移
動し、次いで、ポンプ(図示せず)が作動してダイ本体
5から塗料50が吐出され、該フイルム40の表面に所
定長さ塗布されると、制御装置(図示せず)から流体シ
リンダー10とポンプ(図示せず)に塗布動作停止のた
めの動作指令信号が送られる。
ッド10bが突出してダイ本体6が時計方向に回動され
て液体吐出口6aが塗布位置から待機位置に移動され
る。
が停止されて塗料の供給が停止される。
て該液体吐出口6aの先端部がローラ本体17の周面に
巻回されたシート31に当接すると、スプリング19を
圧縮して該ローラ本体17が押下げられた状態になり、
液体吐出口6aの先端部における付着物が該シート31
によって拭き取られる。
が予め設定された長さ搬送されると、制御装置(図示せ
ず)から流体シリンダー10とポンプ(図示せず)に塗
布開始のための動作指令信号が送られる。
ッド10bが引込んでダイ本体6が反時計方向に回動し
て液体吐出口6aが待機位置から塗布位置に移動され
る。
して塗料50が供給されて合成樹脂フイルム40面上に
該塗料50が吐出される。
移動すると、巻取軸15の駆動装置が作動してシート3
1を巻取り、清掃部にあった塗料が付着したシート部分
を移動する。
停止させた状態で液体吐出口6aの付着物を拭き取った
が、該シート31を低速度で移動させながら拭き取るよ
うにすることもできる。
下部に清掃機構5を設置したが、該清掃機構5をスリッ
トダイ4の上部に設置して、ダイ本体6が回動して液体
吐出口6aが上方待機位置に移動すると該液体吐出口6
aの付着物を拭き取る構成にすることもできる。
よって長尺のシート31に対して液体を所定の長さずつ
間歇的に塗布することができる。
位置に移動する度に付着物を拭き取ることができる。
停止させた状態で液体吐出口6aの付着物を拭き取った
が、該シート31を低速度で移動させながら拭き取るよ
うにすることもできる。
塗布対象物に対して液体を塗布したが、所定の寸法に裁
断された枚葉状のガラス基板、ウエハ等の塗布対象物の
表面に合成樹脂液あるいは塗料等の液体を間歇的に塗布
する場合は、スリットダイを塗布対象物を水平方向に移
動するコンベアーの上方に設置し、液体吐出口を塗布位
置と待機位置に回動させるようにする。
接回動させるようにすることができ、その詳細は図5、
図6に示されるようなダイ本体21の両端部に回動アー
ム22、23が取付けられ、この回動アーム22の軸部
22aが機枠1に設置された軸受24に回動可能に支持
されていると共に回動アーム23の軸部23aが同じ機
枠1に設置されたACサーボモータ25に連結された構
成になっている。
ー26が、機枠1とACサーボモータ25との間にはラ
イナー27が、ダイ本体21と回動アーム22、23と
の間にはライナー28がそれぞれ取付けてある。
てダイ本体21を回動せしめ、回生制動を作用させて停
止させるようにすると、ダイ本体21の液体吐出口21
aを塗布位置または清掃位置に正確に停止させることが
できる。
減速するために減速機あるいはインデックステーブル等
を設ける場合は、停止位置に誤差が生じないようにする
ためバックラッシュが殆ど無い構成のものを使用する必
要がある。
サーボモータ25に対して直接連結せず軸受によって回
動可能に支持し、カップリングによって軸部23aの端
部とACサーボモータ25の出力軸を連結させるように
することもでき、ダイ本体21が長尺の場合には両側に
ACサーボモータ25を連結して回動させるようにする
こともできる。
27、28の厚さを変更することによってダイ本体21
の吐出位置と回動アーム22、23の回動中心位置を偏
心(α)させると、液体吐出口21aを少ない回動角度
で清掃位置あるいは退避位置等に移動させることがで
き、移動時間を短縮することができる。
動時の慣性力が大きくなって停止精度が悪くなるため、
1〜50mmの範囲で設定するのが好ましい。
た長尺のシート状塗布対象物である合成樹脂フイルム4
0に塗布するためにダイ本体6、21の液体吐出口6
a、21aが水平方向の塗布位置と垂直方向下方の清掃
位置に回動するように構成されているが、塗料50等を
枚葉状の塗布対象物であるガラス基板41に塗布する場
合合は、図7に示されるようなガラス基板41を搬送す
るためのベルトコンベアあるいは間歇的に往復動するベ
ッド等の搬送機構29上にスリットダイ4が設置され、
ダイ本体6a、21の液体吐出口6a、21aが垂直方
向下方の塗布位置と水平方向の清掃位置に回動される構
成にする。
スリットダイを幅方向の両端部が機枠に回動自在に支持
されるように設置すると共に、前記スリットダイを駆動
機構によって回動させて液体吐出口を塗布位置と待機位
置とに移動せしめるようにした塗布装置において、清掃
用のシート部材を有する清掃機構を前記スリットダイの
液体吐出口が待機位置に移動すると前記液体吐出口の先
端部が接触する位置に配設せしめ、前記清掃機構を、清
掃用のシート巻取ロール装着用の巻出軸と、前記シート
巻取ロールから引出されたシートを巻取る巻取軸と、前
記巻出軸と巻取軸との間に位置し前記シートを周面に巻
回させて清掃部を形成するローラとを機枠に回転自在に
装着せしめると共に、前記ローラを軸心長手方向と直交
する方向に移動できるようにし、スリットダイの吐出口
の先端部がローラの周面に巻回された清掃用シートに当
接すると、スプリングを圧縮して前記ローラが押下げら
れた状態になるように構成すると、スリットダイの回動
による慣性力が小さくなるため、回動停止時の衝撃力を
小さくすることができ、塗布位置と待機位置間の移動速
度を高速度にすることができると共にスリットダイの液
体吐出位置と塗布対象物との間隔寸法が変化するのを防
止することができる。また塗布動作を停止する毎に確実
に液体吐出口部の清掃動作を実施することができる。さ
らに、スリットダイの液体吐出口の先端部を清掃用のシ
ート面に確実に当接させることができ、液体吐出口部の
付着物の拭き取りを確実に行なうことができる。
正面図である。
示す概略斜視図である。
概略側面図ある。
す概略正面図である。
略正面図である。
Claims (1)
- 【請求項1】 スリットダイを幅方向の両端部が機枠に
回動自在に支持されるように設置すると共に、前記スリ
ットダイを駆動機構によって回動させて液体吐出口を塗
布位置と待機位置とに移動せしめるようにした塗布装置
において、清掃用のシート部材を有する清掃機構を前記
スリットダイの液体吐出口が待機位置に移動すると前記
液体吐出口の先端部が接触する位置に配設せしめ、前記
清掃機構を、清掃用のシート巻取ロール装着用の巻出軸
と、前記シート巻取ロールから引出されたシートを巻取
る巻取軸と、前記巻出軸と巻取軸との間に位置し前記シ
ートを周面に巻回させて清掃部を形成するローラとを機
枠に回転自在に装着せしめると共に、前記ローラを軸心
長手方向と直交する方向に移動できるようにし、スリッ
トダイの吐出口の先端部がローラの周面に巻回された清
掃用シートに当接すると、スプリングを圧縮して前記ロ
ーラが押下げられた状態になるように構成したことを特
徴とする塗布装置。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP08045499A JP3105161B2 (ja) | 1995-07-06 | 1996-02-06 | 塗布装置 |
US08/675,927 US5766356A (en) | 1995-07-06 | 1996-07-05 | Coating apparatus |
US09/044,037 US5876500A (en) | 1995-07-06 | 1998-03-19 | Coating apparatus |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7-196216 | 1995-07-06 | ||
JP19621695 | 1995-07-06 | ||
JP08045499A JP3105161B2 (ja) | 1995-07-06 | 1996-02-06 | 塗布装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0970564A JPH0970564A (ja) | 1997-03-18 |
JP3105161B2 true JP3105161B2 (ja) | 2000-10-30 |
Family
ID=26385506
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP08045499A Expired - Fee Related JP3105161B2 (ja) | 1995-07-06 | 1996-02-06 | 塗布装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP3105161B2 (ja) |
-
1996
- 1996-02-06 JP JP08045499A patent/JP3105161B2/ja not_active Expired - Fee Related
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Publication number | Publication date |
---|---|
JPH0970564A (ja) | 1997-03-18 |
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