KR970701099A - 도포방법 및 도포장치(coating method and coating apparatus) - Google Patents

도포방법 및 도포장치(coating method and coating apparatus)

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KR970701099A
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테쯔오 수주키
카주히코 아베
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테쯔야 고토
타카요시 아카마쯔
마사하루 토오야마
토시히데 세키도
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Abstract

본 발명은, 평탄한 낱장부재의 표면에 도막을 안정된 상태로 형성하는데 적합한 도포방법 및 도포장치, 및 칼라필터 등의 낱장 도포제품의 제조방법에 관한 것이다.
본 발명에 의한 도포방법의 한 실시예는, 도포액 장치에의해 도포액 토출용 슬리트가 있는 도포액 토출장치에 도포액을 공급하며, 도포액 토출장치 또는 피도포부재의 적어도 한쪽을 상대적으로 이동시켜서 피도포액 위에 소정두께의 도막을 형성하는 도포방법으로서 피도포부재의 도포개시부를 도포액 토출장치의 도포액 토출용 슬리트에 상대하는 위치에서 정지시키고, 상기한 도포액 토출용 슬리트로부터 도포액의 토출을 개시하여, 상기한 도포액, 토출용 슬리트의건단 개구부와 피도포부재의 적어도 한쪽의 상대이동을 개시하는 것을 특징으로 하는 도포방법이다.
이 실시예의 도포방법에 의하면, 도포액 토출용 슬리트에 대하여 피도포재가 정지하고 있을 때에 도포액의 토출을 개시하며, 도포액 비이드의 형성을 확인 후, 도포액 비이드가 안정된 상태로 피도포부재를 상대적으로 이동시키는 것이므로, 도포 개시위치가 정확하게 결정되어 높은 정밀도의 도막을 형성할 수 있다.

Description

도포방법 및 도포장치(COATING METHOD AND COATING APPARATUS)
본 내용은 요부공개 건이므로 전문내용을 수록하지 않았음
제1도는 다이코터를 도포액의 공급계를 포함하여 표시한 개략적인 구성도이다.
제2도는 한 실시예의 다이코터를 표시한 개략적인 사시도이다.
제3도는 한 실시예의 다이코터에 사용되고 있는 다이의 단면도이다.

Claims (34)

  1. 도포액 공급장치에 의해, 도포액 토출용 슬리트가 있는 도포액 토출장치에 도포액을 공급하고, 도포액 토출장치 또는 피도포부재의 적어도 한쪽을 상대적으로 이동시켜서 피도포부재 위에 소정두께의 도막을 형성하는 도포방법에 있어서, 피도포부재의 도포개시부를 도포액 토출장치의 도포액 토출용 슬리트에 상대하는 위치에서 정지시키고, 도포액 토출용 슬리트로부터 도포액의 토출을 개시하고, 도포액 토출용 슬리트의 선단 개구부와 피도포부재 위의 도포개시부와의 쌍방에 접촉하는 도포액 비이드를 형성한 후에, 도포액 토출장치 또는 피도포부재의 적어도 한쪽의 상대이동을 개시하는 것을 특징으로 하는 도포방법.
  2. 제1항에 있어서, 상기한 한 피도포부재를 반송체에 의해 지지하여 반송하는 것에 의해 이동시켜서 피도포부재 위에 소정두께의 도막을 형성하는 것을 특징으로 하는 도포방법.
  3. 도포액 공급장치에 의해, 도포액 토출용 슬리트가 있는 도포액 토출장치에 도포액을 공급하고, 피도포부재를 반송체에 의해 지지하여 반송하는 것에 의해 피도포부재 위에 도막을 형성하는 도포방법에 있어서, 상기한 반송체를 구동하여 피도포부재를 반송하고, 피도포부재의 도포 개시 위치를 도포액 토출장치의 아래쪽으로 위치시키도록 피도포부재를 정지시킴과 동시에, 도포액 공급장치를 작동시켜서 도포액 토출장치의 슬리트로부터 도포액의 토출을 개시하고, 도포액 토출장치의 선단에 슬리트 전체 폭에 있어서의 도포액 비이드를 형성한 후, 상기한 반송체에 의한 피도포부재의 반송을 개시하는 것을 특징으로 하는 도포방법.
  4. 제1항 또는 제3항에 있어서, 상기한 도포액 토출장치는 적어도 상기한 피도포부재의 상대적인 진행방향에 대하여 전후로 위치한 프론트립과 리어립과, 이들 프론트립 및 리어립 사이에 형성되어 그 개구부가 도포액 토출구로서 규정된 슬리트로 구성되어 있고, 상기한 프론트립의 하단면 길이를 (LF)(㎜), 리어립의 하단면 길이를 (LR)(㎜), 슬리트 선단 개구부의 개구폭을 h(㎜)로 하고, 도포액 도출장치의 슬리트의 선단 개구부와 상기한 피도포부재의 도포개시부와의 클리어런스를(LC)(㎜), 도포방향에 직교하는 방향에서의 상기한 슬리트의 선단개구부의 길이를 W(㎜)으로 할 때, 상기한 도포액 비이드를 형성하기 위해서 상기한 피도포부재를 정지시켜서 상기한 슬리트로부터 토출하는 도포액의 부피(V)(㎜')가 다음의 식 h×LC×W≤V≤(LF+LR+h)×LC×W를 만족하는 것을 특징으로 하는 도포방법.
  5. 제1항 또는 제3항에 있어서, 상기한 피도포부재 위의 도포개시부를 상기한 도포액 토출장치의 도포액 토출용 슬리트에 상대하는 위치에서 정지시켰을 때의 상기한 피도포부재의 도포하고자 하는 부분의 폭방향에서의 위치 어긋남과, 상기한 도포액 토출장치의 도포액 토출용 슬리트의 선단 개구부와 상기한 피도포부재 위의 도포개시부의 이동방향에서의 어긋남을, 각각 ±1㎜ 이하에서 도포개시 전에 위치 결정하는 것을 특징으로 하는 도포방법.
  6. 제2항 또는 제3항에 있어서, 상기한 피도포부재 위의 도포개시부를 상기한 도포액 토출장치의도포액 토출용 슬리트에 상대하는 위치에서 정지시켰을 때, 상기한 피도포부재 위의 도포하여야 할 부분의 폭방향에서의 위치 어긋남과, 상기한 도포액 토출장치의 도포액 토출용 슬리트의 선단 개구부와 상기한 피도포부재 위의 도포개시부의 이동방향에서의 위치 어긋남을, ±1㎜ 이하에서 도포개시 전에 상기한 반송체 위에서 위치 결정하는 것을 특징으로 하는 도포방법.
  7. 제6항에 있어서, 상기한 반송체 위에서 상기한 피도포부재를 흡착하면서 위치 결정하는 것을 특징으로 하는 도포방법.
  8. 제1항 또는 제3항에 있어서, 상기한 도포액 토출장치의 도포액 토출용 슬리트의 선단부에 잔류하는 도포액을, 도포 종표 후 또는 도포 개시 전에 세정하는 것을 특징으로 하는 도포방법.
  9. 제1항 또는 제3항에 있어서, 도포종료 후 또는 도포개시 전에 상기한 도포액 공급장치를 작동시켜서 상기한 도포액 토출장치로부터 도포액을 토출하여, 상기한 도포액 토출용 슬리트 내를 도포액으로 충전함과 동시에, 상기한 도포액 토출용 슬리트의 선단부를 도포액에 의해서 적시고, 이어서, 상기한 도포액 토출용 슬리트의 선단부에 부착한 과잉의 도포액을 세성하며, 상기한 도포액 토출용 슬리트의 선단부를 대략 균일하게 하는 것을 특징으로 하는 도포방법.
  10. 제1항 또는 제3항에 있어서, 도포액 토출장치와 피도포부재와의 간격이 소정간격이 되도록 도포액 토출장치를 하강시킨 후 반송체를 구동하여 피도포부재를 반송하며, 피도포부재의 도포 개시위치를 도포액 토출장치의 아래쪽으로 위치시키도록 피도포부재를 정지시키는 것을 특징으로 하는 도포방법.
  11. 제1항 또는 제3항에 있어서, 반송체를 구동하여 피도포부재를 반송하며, 피도포부재의 도포 개시위치를 도포액 토출장치의 아래쪽으로 위치시키도록 피도포부재를 정지시킨 후, 도포액 토출장치와 피도포부재와의 간격이 소정간격이 되도록 도포액 토출장치를 하강시키는 것을 특징으로 하는 도포방법.
  12. 제1항 또는 제3항에 있어서, 피도포부재가 도포 종료위치에 도달하기 전의 시점에서, 도포액 토출장치로부터 도포액의 토출을 정지하는 것을 특징으로 하는 도포방법.
  13. 제1항 또는 제3항에 있어서, 피도포부재가 도포 종료위치에 도달한 시점 또는 도포 종표 위치에서 도달하기 전의 시점에서 피도포부재에 대한 도포액의 공급을 정지하며, 이어서, 도포액 토출장치의 선단부에 형성되어 있는 도포액 비이드를 도포액 토출장치를 개재하여서 흡인하는 것을 특징으로 하는 도포방법.
  14. 제3항에 있어서, 피도포부재가 도포 종료위치에 위치하는 상태에서, 도포액 토출장치의 선단부에 형성되어 있는 도포액 비이드를 도포액 토출장치를 개재하여 흡인하는 것을 특징으로 하는 도포방법.
  15. 제1항 또는 제3항에 있어서, 피도포부재가 도포 종료위치에 도달한 시점 또는 도포 종료위치 도달하기 전의 시점에서 피도포부재에 대한 도포액의 공급을 정지하며, 이어서 피도포부재가 도포 종료위치에 도달한 시점 또는 종료위치를 통과한 후에 도포액 토출장치를 피도포부재로부터 떨어지도록 하는 것을 특징으로 하는 도포방법.
  16. 제13항 또는 제14항에 있어서, 도포액 토출장치의 선단부에 형성되어 있는 도포액 비이드를 도포액 토출장치의 슬리트를 개재하여서 흡인하며, 이어서 간격이 발생한 슬리트 내에 도포액을 충전하는 것을 특징으로 하는 도포방법.
  17. 제1항 또는 제3항에 있어서, 도포액 토출장치의 선단의 도포액 비이드에 대해, 피도포부재의 이동방향의 상류측으로부터 정압 또는 부압을 부여하는 것을 특징으로 하는 도포방법.
  18. 제1항 내지 제17항 중의 어느 한 항에 있어서, 피도포부재가 낱장형상인 것을 특징으로 하는 도포방법.
  19. 제1항 내지 제18항 중의 어느 한 항의 도포방법을 이용하는 것을 특징으로 하는 칼라필터의 제조방법.
  20. 제1항 내지 제18항 중의 어느 한 항의 도포방법을 이용하여, 보호층, 착색층, 수지차광출, 포토레지스트 층 중의 적어도 한 층을 도포하는 것을 특징으로 하는 칼라필터의 제조방법.
  21. 제19항 또는 제20항의 방법에 의해 얻어지는 것을 특징으로 하는 칼라필터.
  22. (A) 도포액 토출용 슬리트가 있는 도포액 토출장치 또는 낱장형상 피도포부재의 적어도 한쪽을 상대적으로 이동시켜서, 낱장형상 피도포부재의 도포개시부를 상기한 도포액 토출용 슬리트에 상대하는 위치에서 정지시키는 공정과, (B) 도포액 공급장치로부터 도포액 토출장치의 슬리트에 도포액을 공급하며, 상기한 슬리트로부터 도포액의 토출을 개시시키는 공정과, (C) 도포액 토출장치의 슬리트의 선단 개구부와, 낱장형상 피도포부재 위치 도포개시부와의 쌍방에 접촉하는 도포액 비이드를 형성한 후에, 도포액 토출장치 또는 낱장형상 피도포부재의 적어도 한쪽의 상대이동을 개시하여, 낱장형상 피도포부재 위에 소정두께의 도막을 형성하는 공정과, (D) 도막이 형성된 낱장형상 피도포부재를 진공건조기의 내부로 이동시키는 공정과, (E) 낱장형상 피도포부재를 20Torr 이하에서, 또한 30~180℃의 온도범위에서 건조하는 공정을 구비하는 것을 특징으로 하는 낱장도포제품의 제조방법.
  23. 제22항에 있어서, 낱장형상 피도포부재의 위치결정공정을 더 구비하는 것을 특징으로 하는 낱장도포제품의 제조방법.
  24. 도포액을 공급하는 공급수단과, 공급수단으로부터 공급된 도포액을 토출하기 위해서 한방향으로 연장하는 슬리트가 있는 도포액 토출장치와, 도포액 토출장치 또는 피도포부재의 적어도 한쪽을 상대적으로 이동시키는 이동수단을 구비한 도포장치에 있어서, 피도포부재의 도포개시부를 도포액 토출장치 슬리트에 상대하는위치에서 정지시키는 제1제어수단과, 도포액 토출장치의 슬리트의 선단 개구부와 피도포부재 위의 도포개시부와의 쌍방에 접촉하는 도포액 비이드를 형상한 후에, 도포액 토출장치 또는 피도포부재 중의 적어도 한쪽의 상대이동을 개시시키는 제2제어수단이 설치된 것을 특징으로 하는 도포장치.
  25. 제24항에 있어서, 상기한 제1수단이, 상기한 이동수단의 위치를 감지하는 위치감지수단과, 상기한 이동수단을 상기한 위치감지수단의 신호에 따라서 임의의 위치에서의 이동정지가 가능한 콘트롤러로 구성되며, 제2제어수단이, 도포액의 공급개시로부터 일정시간 후에 상기한 콘트롤러에 이동개시신호의 송신이 가능한 타이머 콘트롤러인 것을 특징으로 하는 도포장치.
  26. 제24항에 있어서, 상기한 도포액 토출장치가, 슬리트를 개재하여 이동수단에 의한 상대적인 진행방향의 전후에 설치된 프론트립과 리어립으로 구성되어 있음과 동시에, 상기한 리어립의 하단면이 상대적인 이동방향을 따르는 길이가 상기한 프론트립의 하단면의 상대적인 이동방향에 따른 길이보다도 긴 것을 특징으로 하는 도포장치.
  27. 제26항에 있어서, 상기한 프론트립의 하단면이 상대적인 이동방향에 따른 길이가 0.01~0.5㎜이고, 상기한 리어립의 하단면의 상대적인 이동방향에 따른 길이가 1~4㎜인 것을 특징으로 하는 도포장치.
  28. 도포액을 공급하는 공급수단과, 공급수단으로부터 공급된 도포액을 토출하기 위해서 한방향에 연장되는 슬리트가 있는 도포액 토출장치와, 도포액 토출장치 도는 피도포부재의 적어도 한조을 상대적으로 이동시키는 이동수단을 구비한 도포장치에 있어서, 도포액 토출장치와 피도포부재를 근접하기 전에, 피도포부재의 위치결정을 하는 위치결정수단이 설치된 것을 특징으로 하는 도포장치.
  29. 제28항에 있어서, 상기한 위치결정수단이 피도포부재의 외부 가장자리를 접압하는 부재인 것을 특징으로 하는 도포장치.
  30. 제29항에 있어서, 상기한 위치결정수단이 외부 가장자리를 접압하는 부재가 이동가능한 것을 특징으로 하는 도포장치.
  31. 제28항에 있어서, 상기한 위치결정수단이, 피도포부재의 형상에 근사한 철오목부가 있는 부재인 것을 특징으로 하는 도포장치.
  32. 도포액을 공급하는공급수단과 공급수단으로부터 공급된 도포액을 토출하기 위해서 한방향으로 연장되는 슬리트가 있는 도포액 토출장치와, 도포액 토출장치 또는 피도포부재의 적어도 한쪽을 상대적으로 이동시키는 이동수단을 구비한 도포장치에 있어서, 피도포부재에 대한 도막형성작동을 개시하기 전에, 도포액 토출장치의 토출구의 하면의 서로 떨어진 소정위치와 피도포부재를 반송하는 반송체의 상면에 대응하는 위치와의 간격을 특정하는 간격측정수단과, 양 간격이 서로 동일하게 되도록 도포액 토출장치를 회전시키는 도포액 토출장치 구동수단을 구비하고 있는 것을 특징으로 하는 도포장치.
  33. 도포액 토출장치로부터 도포액을 토출하면서 피도포부재 반송용 테이블에 의해 피도포부재를 이동시키는 것에 의해 피도포부재의 표면에 도막을 형성하는 도포장치에 있어서, 상기한 테이블이 기대 위에서 로울러 베어링을 개재하여 소정방향으로 왕복운동자재한 상태로 지지되어 있음과 동시에,보올나사기구를 개재하여 구동력이 전달되며, 또, 상기한 테이블의 왕복운동에 따르는 로울러베어링의 이동한계위치에 근접하는 소정위치에 로울러베어링의 이동을 강제적으로 저지하는 저지부재가 설치되는 것을 특징으로 하는 도포장치.
  34. 도포액 토출장치로부터 도포액을 토출하면서 피도포부재 반송용 테이블에 의해 피도포부재를 이동시키는 것에 의해 피도포부재의 표면에 도막을 형성하는 도포장치에 있어서, 상기한 테이블이 기대 위에서 로울러 베어링을 개재하여 소정방향으로 왕복운동자재한 상태로 지지되어 있음과 동시에,보올나사기구를 개재하여 구동력이 전달되며, 또, 상기한 테이블이 소정회수만큼 왕복운동한 것에 응답하여 상기한 테이블을 상승시키는 테이블 상승부재가 설치됨과 동시에, 테이블 상승부재에 의한 테이블의 상승에 응답하여 로울러베어링을 복동시키는 로울러베어링 복동부재가 설치되는 것을 특징으로 하는 도포액의 도포장치.
    ※ 참고사항 : 최초출원 내용에 의하여 공개하는 것임.
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