KR101730644B1 - 액정 디스펜서에 액정을 공급하는 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 액정 디스펜서에 액정을 공급하는 방법에 관한 것으로, 액정이 적하되지 않은 기판을 스테이지에 안착시키는 1단계; 액정이 저장되어 있는 액정병이 구비된 헤드유닛을 통해 상기 기판에 소정양의 상기 액정을 적하하는 2단계; 및 소정양의 상기 액정의 적하가 완료된 기판을 액정이 적하되지 않은 기판으로 교체하는 3단계를 포함하되, 상기 1단계부터 상기 3단계까지를 반복하고, 상기 1단계 및 상기 3단계 중 어느 한 단계에서, 상기 액정병에 액정을 공급하는 것을 특징으로 한다. 본 발명에 따르면, 상기 스테이지에 놓인 기판을 새로운 기판으로 교체하는 동안에 상기 헤드 유닛의 액정 병에 액정을 공급하게 된다. 따라서, 상기 헤드 유닛의 액정 병에 항상 소정 양 이상의 액정이 채워져 있게 되어 상기 헤드 유닛의 노즐을 통해 기판에 소정 양의 액정을 적하시키는 공정 중에 액정 병에 액정을 공급하기 위하여 액정을 적하하는 것을 멈추는 것을 방지하게 되므로 기판에 소정 양의 액정을 적하하는 시간을 단축시킨다.

Description

액정 디스펜서에 액정을 공급하는 방법{METHOD FOR SUPPLYING A LIQUID CRYSTAL TO A LIQUID CRYSTAL DISPENSER}
본 발명은 액정 디스펜서에 액정을 공급하는 방법에 관한 것이다.
도 1은 액정 디스펜서와 액정 공급시스템을 개략적으로 도시한 측면도이다.
도 1에 도시한 바와 같이, 액정 디스펜서가 설치되고, 상기 액정 디스펜서를 덮도록 커버 프레임(B)이 설치된다. 상기 커버 프레임(B) 밖에 액정 공급시스템이 설치된다.
상기 액정 디스펜서는 프레임(100)과, 상기 프레임(100)에 장착되는 스테이지(200)와, 상기 스테이지(200)의 양쪽에 각각 위치하도록 상기 프레임(100)에 결합되는 제1 가이드 유닛(G1)들과, 상기 제1 가이드 유닛(G1)들에 결합되는 헤드 유닛 지지대(400)와, 상기 헤드 유닛 지지대(400)를 움직이는 제1 구동유닛(미도시)과, 상기 헤드 유닛 지지대(400)에 구비되는 제2 가이드 유닛(G2)과, 상기 제2 가이드 유닛(G2)에 결합되는 복수 개 헤드 유닛(500)들과, 상기 헤드 유닛(500)들을 움직이는 제2 구동유닛(미도시)을 포함한다.
상기 헤드 유닛(500)은 상기 제2 가이드 유닛에 연결되는 지지 조립체(510)와, 상기 지지 조립체(510)에 결합되는 액정 병 삽입부재(520)와, 상기 액정 병 삽입부재(520)에 삽입된 액정 병(530)과, 상기 액정 병(530)의 입구를 막도록 액정 병(530)의 주둥이에 결합되는 마개(540)와, 상기 지지 조립체(510)의 하부에 구비된 노즐 유닛(550)과, 상기 마개(540)에 관통된 상태로 결합되어 액정 병(530)의 액정을 노즐 유닛(550)으로 흐르도록 하는 노즐 연결 튜브(560)를 포함한다. 상기 마개(540)에 주입 통로(H)가 구비된다. 상기 노즐 유닛(550)은 노즐(551)을 포함한다. 상기 액정 병(530)의 아래 부분 측면과 위부분의 측면에 각각 센서(미도시)가 구비된다.
상기 액정 공급시스템은 베이스 플레이트(610)에 설치되는 액정 탱크(620)와, 상기 액정 탱크(620)에 압력을 공급하는 압력 공급 유닛(630)과, 상기 액정 탱크(620)와 압력 공급 유닛(630)을 연결하는 연결관(640)과, 상기 커버 프레임(B)의 일측벽에 관통된 상태로 결합되는 액정 주입장치(700)와, 상기 액정 탱크(620)와 액정 주입장치(700)를 연결하는 튜브(650)와 상기 튜브(650)에 구비되는 밸브(800)를 포함한다. 상기 밸브(800)는 상기 튜브(650) 내부로 액정을 흐르게 하거나 흐르지 못하게 한다.
상기 액정 주입장치(700)는 상기 커버 프레임(B)의 벽에 결합되는 베이스 부재(720)와, 상기 베이스 부재(720)에 결합되는 엑츄에이터(730)와, 상기 엑츄에이터(730)에 결합되는 가이드 레일(미도시)과, 상기 가이드 레일에 슬라이딩 가능하게 결합되며, 상기 엑츄에이터(730)에 연결되는 슬라이딩 부재(740)와, 상기 슬라이딩 부재(740)에 고정되도록 결합되는 홀더(750)와, 상기 홀더(750)에 관통된 상태로 결합되는 튜브 지지관(710)을 포함한다. 상기 튜브(650)의 한쪽 끝 부분이 상기 튜브 지지관(710)에 관통된 상태로 결합되고 상기 튜브(650)의 다른 한쪽 끝 부분이 상기 액정 탱크(620)에 연결된다.
상기 액정 디스펜서와 액정 공급시스템의 작동을 설명하면 다음과 같다.
상기 액정 디스펜서의 스테이지(200)에 기판이 놓여진다. 상기 제1 구동유닛과 제2 구동유닛이 상기 헤드 유닛(500)들을 초기 위치에서 액정 적하 위치로 이동시킨다.
상기 제1 구동유닛과 제2 구동유닛이 상기 헤드 유닛(500)들을 각각 설정된 데이터에 따라 움직인다. 상기 헤드 유닛(500)들이 움직이는 동안 상기 헤드 유닛(500)의 노즐(551)을 통해 기판에 소정 양의 액정을 적하시킨다. 상기 기판은 단위 패널 영역들로 구획되어 있으며, 그 단위 패널 영역들에 각각 정해진 액정 양을 적하시킨다. 상기 단위 패널 영역들에 각각 적하된 액정 양을 모두 합친 것이 기판에 적하된 소정 양의 액정이다.
상기 기판에 소정 양의 액정을 적하시킨 후 상기 제1 구동유닛과 제2 구동유닛이 상기 헤드 유닛(500)들을 초기 위치로 이동시킨다.
상기 스테이지(200)에 얹힌 기판을 새로운 기판으로 교체한다.
상기 스테이지(200)에 새로운 기판이 놓여진 후 상기 제1 구동유닛과 제2 구동유닛이 상기 헤드 유닛(500)들을 기판에 액정을 떨어뜨리기 위한 액정 적하 위치로 이동시킨다.
상기 제1 구동유닛과 제2 구동유닛이 상기 헤드 유닛(500)들을 각각 설정된 데이터에 따라 움직인다. 상기 헤드 유닛(500)들이 움직이는 동안 헤드 유닛(500)의 노즐(551)을 통해 기판에 소정 양의 액정을 적하시킨다.
상기 기판에 소정 양의 액정을 적하시킨 후 헤드 유닛(500)들을 초기 위치로 이동시킨다. 상기 스테이지(200)에 놓인 기판을 새로운 기판으로 교체한다.
이와 같은 공정을 반복하면서 다수 장의 기판들에 각각 소정 양의 액정을 적하시킨다.
상기 액정 디스펜서가 다수 장의 기판들에 각각 소정 양의 액정을 적하시킨 후 상기 헤드 유닛(500)의 노즐(551)을 통해 적하되는 액정의 양을 측정하게 된다. 보통, 20장 또는 25장의 기판들에 각각 소정 양의 액정을 적하시킨 후 상기 헤드 유닛(500)의 노즐(551)을 통해 적하되는 액정의 양을 측정한다. 상기 액정 디스펜서에 설치된 측정 기기(110)를 이용하여 액정의 양을 측정한다. 상기 헤드 유닛(500)을 측정 기기(110)가 설치된 위치로 이동시킨 후 헤드 유닛(500)의 노즐(551)을 통해 상기 측정 기기(110)에 액정을 떨어뜨려 측정한다.
상기 측정 기기(110)를 이용하여 측정된 액정의 양이 기준 범위내에 있으면 상기 헤드 유닛(500)을, 액정 적하 위치로 이동시켜 기판에 액정을 적하시키게 된다. 만일, 상기 측정 기기(110)를 통해 측정된 액정의 양이 기준 범위를 벗어나면 상기 헤드 유닛(500)의 노즐(551)을 통해 적하된 액정의 양이 기준 범위내에 있도록 토출량을 조정한 다음 상기 헤드 유닛(500)을 액정 적하 위치로 이동시킨다.
한편 상기 액정 병(530)에 담겨진 액정의 양이 일정 수준까지 감소되면 액정 디스펜서에 구비된 표시유닛으로부터 알람이 나타난다. 알람이 나타나면 헤드 유닛(500)의 노즐(551)을 통해 기판에 액정을 적하시키는 공정을 정지시킨다.
그리고 상기 헤드 유닛(500)을 액정을 공급받는 위치로 이동시킨다.
상기 헤드 유닛(500)이 액정을 공급받는 위치로 이동한 상태에서 상기 액정 공급시스템이 상기 헤드 유닛(500)의 액정 병(530)에 액정을 공급한다.
상기 액정 공급시스템이 상기 헤드 유닛(500)의 액정 병(530)에 다음과 같이 액정을 공급한다.
먼저, 상기 엑츄에이터(730)가 상기 슬라이딩 부재(740)를 전진시킨다. 상기 슬라이딩 부재(740)가 전진함에 따라 그 슬라이딩 부재(740)에 결합된 홀더(750)와 상기 홀더(750)에 결합된 튜브 지지관(710) 및 튜브(650)가 앞으로 이동하여 상기 액정 병(530)의 마개(540)의 주입 통로(H)에 삽입된다.
상기 액정 탱크(620)에 저장된 액정이 튜브(650)를 통해 흐르도록 상기 밸브(800)를 열고 상기 압력 공급 유닛(630)이 상기 액정 탱크(620)내부에 압력을 공급한다. 상기 액정 탱크(620)내부에 공급된 압력에 의해 액정 탱크(620)에 저장된 액정이 튜브(650)와 마개(540)의 주입 통로(H)를 통해 액정 병(530) 내부에 공급된다.
상기 액정 병(530) 내부에 액정의 양이 일정 수준까지 채워지게 되면 상기 압력 공급 유닛(630)이 상기 액정 탱크(620)에 압력을 공급하는 것을 중단하고 상기 밸브(800)를 닫아 상기 액정 탱크(620)에 저장된 액정이 상기 튜브(650)를 통해 액정 병(530)에 공급되는 것을 중지시킨다.
상기 엑츄에이터(730)가 슬라이딩 부재(740)를 후진시킨다. 상기 슬라이딩 부재(740)가 후진함에 따라 그 슬라이딩 부재(740)에 결합된 홀더(750)와 상기 홀더(750)에 결합된 튜브 지지관(710) 및 튜브(650)가 뒤로 이동하여 상기 액정 병(530)의 마개(540)의 주입 통로(H)로부터 빠져나오게 된다.
상기 헤드 유닛(500)의 액정 병(530)에 액정을 공급하는 것을 완료하면 상기 헤드 유닛(500)을 액정 적하 위치로 이동시킨다.
이와 같이, 상기 헤드 유닛(500)의 액정 병(530)에 액정의 양이 일정 수준까지 감소되면 상기 헤드 유닛(500)이 액정을 공급받는 위치로 이동한 다음 상기 액정 공급시스템으로부터 액정을 공급받는다.
그러나 상기한 바와 같은 액정 디스펜서 및 액정 공급시스템의 작동은 상기 헤드 유닛(500)의 액정 병(530)에 담겨진 액정의 양이 일정 수준까지 감소된 후 액정 공급시스템으로부터 액정을 공급받게 되므로 상기 헤드 유닛(500)이 설정된 데이터에 따라 움직이면서 헤드 유닛(500)의 노즐(551)을 통해 기판에 소정 양의 액정을 적하시키는 동안에 상기 액정 병(530)에 담겨진 액정의 양이 일정 수준까지 감소되면 상기 헤드 유닛(500)의 노즐(551)을 통해 기판에 액정을 적하시키는 것을 중지시킨 후 상기 헤드 유닛(500)을 액정을 공급받는 위치로 이동시켜 액정을 공급받게 된다. 따라서, 기판에 소정 양의 액정을 적하하는 도중에 액정 병(530)에 액정을 공급받게 되므로 기판에 소정 양의 액정을 적하시키는 시간이 길어지게 된다.
본 발명의 목적은 기판에 액정을 적하하는 공정 중에 액정을 공급하기 위하여 액정을 적하하는 것을 멈추는 것을 방지하는 것이다.
상기한 바와 같은 본 발명의 목적을 달성하기 위하여, 액정이 적하되지 않은 기판을 스테이지에 안착시키는 1단계와, 액정이 저장되어 있는 액정병이 구비된 헤드유닛을 통해 상기 기판에 소정양의 상기 액정을 적하하는 2단계와, 소정양의 상기 액정의 적하가 완료된 기판을 액정이 적하되지 않은 기판으로 교체하는 3단계를 포함하되, 상기 1단계부터 상기 3단계까지를 반복하고, 상기 1단계 및 상기 3단계 중 어느 한 단계에서, 상기 액정병에 액정을 공급하는 것을 특징으로 하는 액정 디스펜서에 액정을 공급하는 방법이 제공된다.
상기 1단계부터 상기 3단계까지를 반복하는 과정에서 상기 반복 횟수가 미리 설정된 횟수째일 때, 상기 1단계 및 상기 3단계 중 어느 한 단계에서 상기 액정병에 액정을 공급할 수 있다.
상기 1단계부터 상기 3단계까지를 반복하는 과정에서 상기 반복 횟수가 미리 설정된 횟수째가 아닐 때, 상기 액정병에 저장된 액정이 설정된 양 이하인 것이 감지되면, 상기 1단계 및 상기 3단계 중 어느 한 단계에서 상기 액정병에 액정을 공급할 수 있다.
액정이 적하되지 않은 기판을 스테이지에 안착시키는 1단계와, 액정이 저장되어 있는 액정병이 구비된 헤드유닛을 통해 상기 기판에 소정양의 상기 액정을 적하하는 2단계와, 소정양의 상기 액정의 적하가 완료된 기판을 액정이 적하되지 않은 기판으로 교체하는 3단계를 포함하되, 상기 1단계부터 상기 3단계까지를 반복하고, 상기 1단계 및 상기 3단계 중 어느 한 단계에서, 노즐을 통해 적하되는 액정의 양을 측정하면서 상기 액정병에 액정을 공급하는 것을 특징으로 하는 액정 디스펜서에 액정을 공급하는 방법이 제공된다.
상기 1단계부터 상기 3단계까지를 반복하는 과정에서 상기 반복 횟수가 미리 설정된 횟수째일 때, 상기 1단계 및 상기 3단계 중 어느 한 단계에서 노즐을 통해 적하되는 액정의 양을 측정하면서 상기 액정병에 액정을 공급할 수 있다.
상기 1단계부터 상기 3단계까지를 반복하는 과정에서 상기 반복 횟수가 미리 설정된 횟수째가 아닐 때, 상기 액정병에 저장된 액정이 설정된 양 이하인 것이 감지되면, 상기 1단계 및 상기 3단계 중 어느 한 단계에서 상기 액정병에 액정을 공급할 수 있다.
액정이 적하되지 않은 기판을 스테이지에 안착시키는 1단계와, 액정이 저장되어 있는 액정병이 구비된 헤드유닛을 통해 상기 기판에 소정양의 상기 액정을 적하하는 2단계와, 소정양의 상기 액정의 적하가 완료된 기판을 액정이 적하되지 않은 기판으로 교체하는 3단계를 포함하되, 상기 1단계부터 상기 3단계까지를 반복하고, 상기 1단계부터 상기 3단계까지를 반복하는 과정에서 상기 반복 횟수가 미리 설정된 m횟수째일 때, 상기 1단계 및 상기 3단계 중 어느 한 단계에서 상기 액정병에 액정을 공급하며, 상기 1단계부터 상기 3단계까지를 반복하는 과정에서 상기 반복 횟수가 미리 설정된 n횟수째일 때, 상기 1단계 및 상기 3단계 중 어느 한 단계에서 노즐을 통해 적하되는 액정의 양을 측정하면서 상기 액정병에 액정을 공급하는 것을 특징으로 하는 액정 디스펜서에 액정을 공급하는 방법을 제공한다.
상기 m횟수째와 상기 n횟수째가 서로 동일한 횟수째인 경우, 상기 1단계 및 상기 3단계 중 어느 한 단계에서 상기 액정병에 액정을 공급하거나, 상기 1단계 및 상기 3단계 중 어느 한 단계에서 노즐을 통해 적하되는 액정의 양을 측정하면서 상기 액정병에 액정을 공급할 수 있다.
상기 액정 병이 구비된 헤드 유닛은 복수 개이며 상기 액정 병에 액정을 공급하는 액정 공급시스템이 복수 개일 경우, 상기 액정 공급시스템들이 상기 액정 병들에 액정을 공급할 때마다 상기 액정 공급시스템들이 상기 액정 병들 전부에 일대일로 액정을 공급할 수 있다.
상기 액정 병이 구비된 헤드 유닛은 복수 개이며 상기 액정 병에 액정을 공급하는 액정 공급시스템이 복수 개일 경우, 상기 액정 공급시스템들이 상기 액정 병들에 액정을 공급할 때마다 상기 액정 공급시스템들이 액정 병들의 일부를 번갈아가며 액정을 공급할 수 있다.
상기 헤드 유닛의 액정 병에 액정 공급시스템이 액정을 공급하며, 상기 액정 공급시스템은 액정이 저장된 액정 탱크를 포함하며, 상기 액정 탱크에 측정유닛이 구비되어 상기 측정 유닛이 상기 액정 탱크에 남아있는 액정 양을 감지하여 상기 액정 탱크의 교체여부를 결정할 수 있다.
본 발명은 스테이지에 놓인 기판을 새로운 기판으로 교체하는 동안, 헤드 유닛의 노즐을 통해 적하되는 액정 양을 측정하는 동안, 액정 디스펜서를 점검 및 정비하는 동안에 상기 헤드 유닛의 액정 병에 액정을 공급하게 된다. 따라서, 상기 헤드 유닛의 액정 병에 항상 소정 양의 액정이 채워져 있게 되어 상기 헤드 유닛의 노즐을 통해 기판에 액정을 적하하는 공정 중에 액정 병에 액정을 공급하기 위하여 액정을 적하하는 것을 멈추는 것을 방지한다. 이로 인하여, 액정 디스펜서가 기판에 소정 양의 액정을 적하하는 시간을 단축시키게 된다.
도 1은 액정 디스펜서와 액정 공급시스템을 도시한 측면도,
도 2는 본 발명에 따른 액정 디스펜서에 액정을 공급하는 방법의 일실시예를 도시한 순서도,
도 3,4,5는 본 발명에 따른 액정 디스펜서에 액정을 공급하는 과정을 각각 도시한 평면도,
도 6은 액정 디스펜서의 헤드 유닛의 노즐을 통해 떨어지는 액정의 양을 측정하면서 헤드 유닛의 액정 병에 액정을 공급하는 상태를 도시한 측면도,
도 7,8은 액정 디스펜서의 헤드 유닛의 액정 병들에 각각 액정을 공급하는 과정을 각각 도시한 평면도.
이하, 본 발명에 따른 액정 디스펜서에 액정을 공급하는 방법의 실시예를 첨부도면을 참조하여 설명한다.
먼저, 도 1을 참조하여, 액정 디스펜서와 액정 공급시스템을 설명한다.
상기 액정 디스펜서가 설치되고 커버 프레임(B)이 상기 액정 디스펜서를 커버한다. 상기 커버 프레임(B) 밖에 액정 공급시스템이 설치된다.
상기 액정 디스펜서는 프레임(100)과, 상기 프레임(100)에 장착되는 스테이지(200)와, 상기 스테이지(200)의 양쪽에 각각 위치하도록 상기 프레임(100)에 결합되는 제1 가이드 유닛(G1)들과, 상기 제1 가이드 유닛(G1)들에 결합되는 헤드 유닛 지지대(400)와, 상기 헤드 유닛 지지대(400)를 움직이는 제1 구동유닛(미도시)과, 상기 헤드 유닛 지지대(400)에 구비되는 제2 가이드 유닛(G2)과, 상기 제2 가이드 유닛(G2)에 결합되는 복수 개 헤드 유닛(500)들과, 상기 헤드 유닛(500)들을 움직이는 제2 구동유닛(미도시)을 포함한다. 상기 액정 디스펜서에 헤드 유닛(500)의 노즐을 통해 적하되는 액정의 양을 측정하기 위한 측정 기기(110)들이 구비된다.
상기 액정 병(530)에 채워진 액정 양을 감지하는 감지 유닛이 상기 액정 병(530)에 구비된다. 상기 감지 유닛은 액정 병(530)의 아래 부분 옆면에 구비된 제1 센서(미도시)와, 상기 액정 병(530)의 중간 부분 옆면에 구비되는 제2 센서(미도시)와, 상기 액정 병(530)의 위 부분의 옆면에 구비되는 제3 센서(미도시)를 포함한다.
상기 액정 공급시스템은 베이스 플레이트(610)에 설치되는 액정 탱크(620)와, 상기 액정 탱크(620)에 압력을 공급하는 압력 공급 유닛(630)과, 상기 액정 탱크(620)와 압력 공급 유닛(630)을 연결하는 연결관(640)과, 상기 커버 프레임(B)의 일측벽에 관통하여 결합되는 액정 주입장치(700)와, 상기 액정 탱크(620)와 액정 주입장치(700)를 연결하는 튜브(650)와, 상기 튜브(650)에 구비되는 밸브(800)를 포함한다. 상기 액정 공급시스템은 복수 개인 것이 바람직하다.
상기 액정 공급시스템의 액정 탱크(620)에 저장된 액정 양을 감지하는 감지 유닛이 상기 액정 탱크(620)에 구비된다. 상기 감지 유닛은 전자 저울, 초음파 센서, 유량계 중 하나가 적용될 수 있다.
상기 액정 주입장치(700)는, 상기 커버 프레임(B)의 벽에 결합되는 베이스 부재(720)와, 상기 베이스 부재(720)에 결합되는 엑츄에이터(730)와, 상기 엑츄에이터(730)에 결합되는 가이드 레일(미도시)과, 상기 가이드 레일에 슬라이딩 가능하게 결합되며, 상기 엑츄에이터(730)에 연결되는 슬라이딩 부재(740)와, 상기 슬라이딩 부재(740)에 고정되도록 결합되는 홀더(750)와, 상기 홀더(750)에 관통된 상태로 결합되는 튜브 지지관(710)을 포함한다. 상기 튜브(650)의 한쪽 끝 부분이 상기 튜브 지지관(710)에 관통하여 결합되고 상기 튜브(650)의 다른 한쪽 끝 부분이 상기 액정 탱크(620)에 연결된다.
도 2는 본 발명에 따른 액정 디스펜서에 액정을 공급하는 방법의 일 실시예를 도시한 순서도이며, 도 3, 4, 5는 본 발명에 따른 액정 디스펜서에 액정을 공급하는 과정을 각각 도시한 평면도이다.
도 2, 3, 4, 5를 참조하여, 본 발명에 따른 액정 디스펜서에 액정을 공급하는 방법의 일 실시예를 설명한다.
도 3을 참조하면, 상기 액정 디스펜서의 스테이지(200)에 액정이 적하되지 않은 기판(S)이 안착된다. 상기 제1 구동유닛과 제2 구동유닛이 상기 헤드 유닛(500)들을 액정 적하 위치로 이동시킨다.
도 4에 도시한 바와 같이, 상기 제1 구동유닛과 제2 구동유닛이 상기 헤드 유닛(500)들을 각각 설정된 데이터에 따라 이동시킨다. 상기 헤드 유닛(500)들이 설정된 경로를 따라 이동하는 동안 상기 헤드 유닛(500)의 노즐(551)을 통해 소정 양의 액정이 기판(S)에 적하된다. 상기 기판(S)은 단위 패널 영역(A)들로 구획되어 있으며, 헤드 유닛(500)은 그 단위 패널 영역(A) 각각에 미리 정해진 양의 액정을 적하시킨다. 상기 단위 패널 영역(A)들에 각각 적하된 액정 양을 모두 합한 것이 기판(S)에 적하된 소정 양의 액정이다.
상기 기판(S)에 소정 양의 액정을 적하시킨 후, 도 5에 도시한 바와 같이, 상기 스테이지(200)에 안착된 기판(S)을 스테이지(200)로부터 반출시키고, 도 3에 도시한 바와 같이, 액정이 적하되지 않은 다른 기판(S)을 스테이지(200)에 안착시킨다.
이하에서 기판(S)을 교체하는 동작은, 액정 적하가 완료된 기판(S)을 스테이지(200)로부터 반출하고 액정이 적하되지 않은 기판(S)을 스테이지(200)로 반입하여 스테이지(200)에 안착시키기 직전까지의 동작을 의미한다.
위와 같은 공정이 액정이 적하될 기판(S) 각각에 대하여 반복되며, 이와 같은 반복 도중에 상기 제1 구동유닛과 제2 구동유닛이 상기 헤드 유닛(500)들을 액정을 공급받는 위치로 이동시킨다. 액정 공급 위치로 이동한 헤드 유닛(500)에는 액정 공급시스템으로부터 액정이 공급된다.
헤드 유닛(500)이 액정 공급시스템으로부터 액정을 공급받는 동작은, 기판(S)에 소정 양의 액정을 적하한 후 스테이지(200) 상의 기판(S)을 새로운 기판(S)으로 교체하고, 교체된 기판(S)을 스테이지(200)에 안착시키는 동안에 수행되거나, 또는 헤드 유닛(500)의 노즐(551)을 통해 적하되는 액정의 양을 측정하는 동안에 수행될 수 있다.
먼저, 기판(S)에 소정 양의 액정을 적하한 후 스테이지(200) 상의 기판(S)을 다른 기판(S)으로 교체하고, 교체된 기판(S)을 스테이지(200)에 안착시키는 동안에 헤드 유닛(500)이 액정 공급 위치로 이동하여 액정 공급시스템으로부터 액정 병(530)에 액정을 공급받는 경우를 설명한다.
상기 스테이지(200)에 안착된 기판(S)에 소정 양의 액정을 적하한 후 액정 적하가 완료된 기판(S)을 다른 기판(S)으로 교체하고, 교체된 기판(S)을 스테이지(200)에 안착시키는 동안 상기 액정 공급시스템이 상기 헤드 유닛(500)의 액정 병(530)에 액정을 공급한다. 상기 헤드 유닛(500)의 액정 병(530)에 액정이 일정 수준까지 채워지면 액정 공급을 중지한다. 만일, 교체된 기판(S)이 스테이지(200)에 안착될 때까지 액정이 액정 병(530)에 일정 수준까지 채워지지 않을 경우, 액정이 액정 병(530)에 일정 수준까지 채워질 때까지 추가적인 시간 동안 액정을 공급하거나, 교체된 기판(S)이 스테이지(200)에 안착되는 시점에서 액정 공급을 중지할 수 있다.
상기 헤드 유닛의 액정 병(530)에 액정 공급을 중지한 후 상기 제1 구동유닛과 제2 구동유닛이 상기 헤드 유닛(500)들을 액정 적하 위치로 이동시킨다.
상기 제1 구동유닛과 제2 구동유닛이 상기 헤드 유닛(500)들을 각각 설정된 데이터에 따라 이동시킨다. 상기 헤드 유닛(500)들이 설정된 경로를 따라 이동하는 동안 상기 헤드 유닛(500)의 노즐(551)을 통해 소정 양의 액정이 기판(S)에 적하된다. 상기 기판(S)에 소정 양의 액정을 적하시킨 후 상기 스테이지(200)에 안착된 기판(S)을 다른 기판(S)으로 교체하고, 교체된 기판(S)을 스테이지(200)에 안착시킨다. 기판(S) 교체 동작과 병행하여, 상기 제1 구동유닛과 제2 구동유닛이 상기 헤드 유닛(500)들을 액정 공급시스템으로부터 액정을 공급받는 위치로 이동시킨다.
상기와 같은 공정을 반복하면서 다수 장의 기판(S)에 각각 소정 양의 액정을 적하하고, 아울러 헤드 유닛(500)의 액정 병(530)에 액정을 공급한다.
한편, 헤드 유닛(500)의 액정 병(530)에 액정을 공급하는 시기는 사용자에 의해 다양하게 설정될 수 있다.
먼저, 액정 적하가 완료된 기판(S)을 다른 기판(S)으로 교체하여 스테이지(200)에 안착시킬 때마다 매번 상기 헤드 유닛(500)의 액정 병(530)에 액정을 공급할 수 있다. 즉, 기판(S)에 소정 양의 액정을 적하한 후 다른 기판(S)으로 교체하여 스테이지(200)에 안착시킬 때 항상 헤드 유닛(500)에 액정이 공급되도록 설정할 수 있다.
이와는 달리, 상기 공정들이 반복되어 사용자에 의해 미리 설정된 횟수째에 스테이지(200)에 안착되는 기판(S)에 액정을 적하한 후 해당 기판(S)을 다른 기판(S)으로 교체하여 스테이지(200)에 안착시킬 때 헤드 유닛(500)에 액정이 공급되도록 설정할 수도 있다. 이때, 사용자가 미리 설정하는 반복 횟수는, 예컨대 2 또는 3과 같은 특정 정수의 배수일 수 있고, 사용자가 정하는 임의의 수(예컨대 3, 5, 7...)일 수도 있다.
만약 사용자가 미리 설정하는 반복 횟수가 3의 배수인 경우, 3의 배수에 해당하는 반복 횟수째(3, 6, 9번째...)에 스테이지(200)에 안착되어 액정이 적하되는 기판(S)을 다른 새로운 기판(S)으로 교체하여 스테이지(200)에 안착시키는 동안 액정 병(530)에 액정이 공급될 수 있다. 한편, 상기 3의 배수에 해당하지 않는 반복 횟수째에 스테이지(200)에 안착되는 기판(S), 예를 들면 4번째나 5번째 반복 횟수째에 스테이지(200)에 안착되는 기판(S)에 액정을 적하하는 중에 상기 액정 병(530)에 저장된 액정이 설정된 양 이하인 것이 센서 등에 의해 감지되면 해당 기판(S)을 다른 기판(S)으로 교체하여 스테이지(200)에 안착시키는 동안에 상기 액정 병(530)에 액정을 공급하는 것이 바람직하다.
다음으로, 헤드 유닛(500)의 노즐을 통해 토출되는 액정의 양을 측정하는 동안에 헤드 유닛(500)이 액정 공급 위치로 이동하여 액정 공급시스템으로부터 액정 병(530)에 액정을 공급받는 경우를 설명한다.
액정이 적하되지 않은 기판(S)을 스테이지(200)에 안착시킨다. 상기 액정 디스펜서가 기판(S)에 소정 양의 액정을 적하한 후, 도 6에 도시한 바와 같이, 상기 헤드 유닛(500)의 노즐(551)을 통해 적하되는 액정의 양을 측정하기 위하여 상기 헤드 유닛(500)들을 측정 기기(110)들의 상측으로 이동시킨다. 상기 측정 기기(110)들은 상기 헤드 유닛(500)이 액정을 공급받는 위치의 아래쪽에 설치되는 것이 바람직하다. 상기 측정 기기(110)를 이용하여 상기 헤드 유닛(500)의 노즐(551)을 통해 적하되는 액정의 양을 측정하기 시작한다. 상기 측정 기기(110)를 이용하여 헤드 유닛(500)의 노즐(551)을 통해 적하되는 액정의 양을 측정하는 동안 상기 액정 공급시스템이 상기 헤드 유닛(500)의 액정 병(530)에 액정을 공급한다. 이때, 스테이지(200) 상의 기판(S)에 소정 양의 액정이 적하된 후, 헤드 유닛(500)의 노즐(551)을 통해 적하되는 액정의 양을 측정하는 동작과는 별개로 액정이 적하된 기판(S)을 다른 기판(S)으로 교체하는 동작이 이루어질 수 있다.
노즐(551)을 통해 적하되는 액정 양의 측정이 끝난 후 상기 제1 구동유닛과 제2 구동유닛이 상기 헤드 유닛(500)들을 액정 적하 위치로 이동시킨다.
상기 제1 구동유닛과 제2 구동유닛이 상기 헤드 유닛(500)들을 각각 설정된 데이터에 따라 이동시킨다. 상기 헤드 유닛(500)들이 설정된 경로를 따라 이동하는 동안 상기 헤드 유닛(500)의 노즐(551)을 통해 소정 양의 액정이 기판(S)에 적하된다.
상기 기판(S)에 소정 양의 액정을 적하시킨 후 상기 제1 구동유닛과 제2 구동유닛이 상기 헤드 유닛(500)들을 측정 기기(110)의 상측으로 이동시키며, 상기 스테이지(200)에 안착된 기판(S)을 다른 새로운 기판(S)으로 교체한다.
액정이 적하될 기판(S) 각각에 대하여 위와 같은 공정을 반복하면서, 액정 디스펜서가 다수 장의 기판(S)에 각각 소정 양의 액정을 적하시킨다. 이와 같은 반복 과정 도중에 헤드 유닛(500)의 노즐(551)을 통해 적하되는 액정의 양이 측정되며, 액정의 양을 측정하는 동안 헤드 유닛(500)의 액정 병(530)에 액정이 공급된다.
한편, 상기 헤드 유닛의 노즐을 통해 적하되는 액정의 양을 측정하고, 액정의 양을 측정하는 동안 헤드 유닛(500)의 액정 병(530)에 액정을 공급하는 동작은, 기판(S)에 소정 양의 액정을 적하한 후 매번 시행될 수도 있고, 또한 사용자가 미리 설정하는 반복 횟수째에 스테이지(200)에 안착되는 기판(S)에 소정 양의 액정을 적하한 후에만 시행될 수도 있다.
사용자가 미리 설정하는 반복 횟수째에 스테이지(200)에 안착되는 기판(S)에 해당하지 않는 기판(S)에 소정 양의 액정을 적하한 후일지라도, 필요에 따라서는 헤드 유닛(500)의 노즐(551)을 통해 적하되는 액정의 양을 측정하는 동작이 수행될 수 있으며, 이때는 액정의 양이 측정되는 동안 헤드 유닛(500)의 액정 병(530)에 액정을 공급하지 않을 수 있다.
한편, 사용자가 미리 설정하는 반복 횟수째에 스테이지(200)에 안착되는 기판(S)에 해당되지 않는 기판(S)에 액정을 적하하는 중에 상기 액정 병(530)에 저장된 액정이 설정된 양 이하인 것이 센서 등에 의해 감지되면 해당 기판(S)에 소정 양의 액정이 적하된 후에 상기 액정 병(530)에 액정을 공급하는 것이 바람직하다.
상기 액정 디스펜서가 다수 장의 기판들에 각각 소정 양의 액정을 적하시킨 후에는 상기 액정 디스펜서를 점검 및 정비하게 된다. 상기 액정 디스펜서를 점검 및 정비할 때는 기판(S)을 점검 및 정비가 실시중인 액정 디스펜서로 공급하지 않고 그 액정 디스펜서의 다음에 위치하는 액정 디스펜서로 기판(S)을 공급하게 된다.
상기 액정 디스펜서를 정비하는 동안 상기 액정 공급시스템이 상기 헤드 유닛(500)의 액정 병(530)에 액정을 공급할 수 있다.
상기 액정 디스펜서의 정비가 완료된 후 기판(S)을 스테이지(200)에 안착시킨다. 상기 제1 구동유닛과 제2 구동유닛이 상기 헤드 유닛(500)들을 액정 적하 위치로 이동시킨다.
상기 제1 구동유닛과 제2 구동유닛이 상기 헤드 유닛(500)들을 각각 설정된 데이터에 따라 이동시킨다. 상기 헤드 유닛(500)들이 설정된 경로를 따라 이동하는 동안 상기 헤드 유닛(500)의 노즐(551)을 통해 소정 양의 액정이 기판(S)에 적하된다.
상기 액정 디스펜서의 점검 및 정비는 다수 장의 기판들에 각각 소정 양의 액정을 적하시킨 후마다 진행된다. 즉, 상기 액정 디스펜서는 주기적으로 점검 및 정비한다.
한편, 상기 액정 공급시스템이 상기 헤드 유닛(500)의 액정 병(530)에 다음과 같이 액정을 공급한다.
먼저, 상기 엑츄에이터(730)가 상기 슬라이딩 부재(740)를 전진시킨다. 상기 슬라이딩 부재(740)가 전진함에 따라 그 슬라이딩 부재(740)에 결합된 홀더(750)와 상기 홀더(750)에 결합된 튜브 지지관(710) 및 튜브(650)가 앞으로 이동하여 상기 액정 병(530)의 마개(540)의 주입 통로(H)에 삽입된다.
상기 액정 탱크(620)에 저장된 액정이 튜브(650)를 통해 흐르도록 상기 밸브(800)를 열고 상기 압력 공급 유닛(630)이 상기 액정 탱크(620)내부에 압력을 공급한다. 상기 액정 탱크(620)내부에 공급된 압력에 의해 액정 탱크(620)에 저장된 액정이 튜브(650)와 마개(540)의 주입 통로(H)를 통해 액정 병(530) 내부에 공급된다.
상기 액정 병(530) 내부에 액정의 양이 일정 수준까지 채워지게 되면 상기 압력 공급 유닛(630)이 상기 액정 탱크(620)에 압력을 공급하는 것을 중단하고 상기 밸브(800)를 닫아 상기 액정 탱크(620)에 저장된 액정이 상기 튜브(650)를 통해 액정 병(530)에 공급되는 것을 중지시킨다.
상기 엑츄에이터(730)가 슬라이딩 부재(740)를 후진시킨다. 상기 슬라이딩 부재(740)가 후진함에 따라 그 슬라이딩 부재(740)에 결합된 홀더(750)와 상기 홀더(750)에 결합된 튜브 지지관(710) 및 튜브(650)가 뒤로 이동하여 상기 액정 병(530)의 마개(540)의 주입 통로(H)로부터 빠져나오게 된다.
상기 액정 공급시스템의 수와 상기 헤드 유닛의 수를 같거나 다를 수 있다. 상기 액정 공급시스템의 수와 상기 헤드 유닛(500)의 수가 같을 경우, 상기 헤드 유닛(500)들이 액정을 공급받는 위치로 이동할 때마다 액정 공급시스템들이 일대일로 상기 헤드 유닛(500)들에 액정을 공급한다. 즉 한 개의 액정 공급시스템이 한 개의 헤드 유닛(500)의 액정 병(530)에 액정을 공급한다.
상기 액정 공급시스템의 수가 헤드 유닛(500)의 수보다 적은 경우, 상기 헤드 유닛(500)들의 각 액정 병(530)에 액정 공급시스템들이 번갈아 가며 액정을 공급한다. 예를 들면, 상기 헤드 유닛(500)이 여섯개이고 상기 액정 공급시스템이 세 개인 경우, 도 7에 도시한 바와 같이, 상기 헤드 유닛(500)들이 액정을 공급받는 위치에 첫번째로 이동한 상태에서 세 개의 액정 공급시스템들이 홀수번째 헤드 유닛(500)들의 액정 병(530)에 각각 액정을 공급한다. 그리고 상기 헤드 유닛(500)들이 액정을 공급받는 위치에 두번째로 이동한 상태에서, 도 8에 도시한 바와 같이, 세 개의 액정 공급시스템들이 짝수번째 헤드 유닛(500)들의 액정 병(530)에 각각 액정을 공급하게 된다.
한편, 상기 헤드 유닛(500)의 노즐(551)을 통해 적하되는 액정의 양을 측정하는 시점은, 예컨대 노즐을 통해 적하되는 액정의 양을 마지막으로 측정한 후 20번째 또는 25번째 반복 횟수째에 액정이 적하되는 기판(S)에 소정 양의 액정을 적하시킨 후이다.
상기 측정 기기(110)를 이용하여 측정된 액정의 양이 기준 범위내에 있으면 상기 헤드 유닛(500)을 액정 적하 위치로 이동시켜 기판(S)에 액정을 적하시키게 된다. 만일, 측정 기기(110)를 통해 측정된 액정의 양이 기준 범위를 벗어나면 상기 헤드 유닛(500)의 노즐(551)을 통해 적하되는 액정의 양이 기준 범위내에 있도록 토출량을 조정한 다음 상기 헤드 유닛(500)을 액정 적하 위치로 이동시킨다.
상기 헤드 유닛(500)의 액정 병(530)에 액정이 일정 수준까지 채워지면 상기 액정 병(530)에 구비된 센서가 감지하여 제어 유닛을 통해 액정 공급시스템이 액정을 공급하는 것을 중지시키도록 한다.
상기 액정 공급시스템의 액정 탱크(620)에 저장된 액정이 일정 수준까지 감소되면 측정유닛이 감지하여 제어 유닛을 통해 표시유닛에 알람을 표시한다. 관리자는 액정 탱크(620)를 새로운 액정 탱크로 교체하게 된다.
이하, 본 발명에 따른 액정 디스펜서에 액정을 공급하는 방법의 효과를 설명하면 다음과 같다.
본 발명에 따르면, 상기 스테이지(200)에 안착된 기판(S)을 새로운 기판(S)으로 교체하는 동안 상기 헤드 유닛(500)을 액정을 공급받는 위치로 이동시켜 액정 공급시스템으로부터 헤드 유닛(500)의 액정 병(530)에 액정을 공급받는다.
본 발명에 따르면, 상기 스테이지(200)에 안착된 기판(S)을 새로운 기판(S)으로 교체할 때마다 액정 공급시스템으로부터 헤드 유닛(500)의 액정 병(530)에 액정을 공급받을 수 있고, 또한 설정된 반복 횟수째에 액정이 적하되는 기판(S)을 교체하는 동안 액정을 공급할 수 있다.
본 발명에 따르면, 헤드 유닛(500)의 노즐(551)을 통해 적하되는 액정의 양을 측정하는 동안에 상기 액정 공급시스템으로부터 헤드 유닛(500)의 액정 병(530)에 액정을 공급할 수 있다.
본 발명에 따르면, 액정 디스펜서를 점검 및 정비를 할 때 액정 공급시스템이 헤드 유닛(500)의 액정 병(530)에 액정을 공급할 수 있다.
이와 같이, 본 발명은 스테이지(200)에 안착된 기판(S)을 새로운 기판(S)으로 교체하는 동안이나, 헤드 유닛(500)의 노즐(551)을 통해 적하되는 액정의 양을 측정하는 동안이나, 액정 디스펜서를 점검 및 정비하는 동안에 헤드 유닛(500)의 액정 병(530)에 액정을 공급하게 된다.
종래에는 기판(S)에 소정 양의 액정을 적하하는 공정 중에 액정 병(530)에 액정이 소진되면 기판(S)에 액정을 적하하는 공정을 중지하여야 하므로 액정 적하 공정이 지연되었다.
하지만, 본 발명은 액정 적하 공정이 필연적으로 중단되는 기간인, 스테이지(200) 상에 안착된 기판(S)을 새로운 기판(S)으로 교체하는 동안이나 노즐을 통하여 적하되는 액정의 양을 측정하는 동안에 상기 헤드 유닛(500)의 액정 병(530)에 액정을 공급하게 되므로 액정 병(530)에 항상 소정 양 이상의 액정이 채워져 있게 되어 기판(S)에 액정을 적하하는 도중에 액정 병(530)에 액정을 공급하기 위하여 액정 적하 공정을 중지하는 일이 없게 된다.
따라서 액정 디스펜서가 다수 장의 기판(S)들에 각각 소정 양의 액정을 적하하는 시간을 단축시키게 된다.
100 : 프레임110 : 측정 기기
200 : 스테이지400 : 헤드 유닛 지지대
500 : 헤드 유닛530 : 액정 병
700 : 액정 주입장치

Claims (11)

  1. 액정이 적하되지 않은 기판을 스테이지에 안착시키는 1단계;
    액정이 저장되어 있는 액정병이 구비된 헤드유닛을 통해 상기 기판에 소정양의 상기 액정을 적하하는 2단계; 및
    소정양의 상기 액정의 적하가 완료된 기판을 액정이 적하되지 않은 기판으로 교체하는 3단계를 포함하되,
    상기 1단계부터 상기 3단계까지를 반복하고,
    상기 1단계부터 상기 3단계까지를 반복하는 과정에서 상기 1단계부터 상기 3단계까지의 반복 횟수가 미리 설정된 횟수째일 때, 상기 1단계 및 상기 3단계 중 어느 한 단계에서 상기 액정병에 액정을 공급하는 것을 특징으로 하는 액정 디스펜서에 액정을 공급하는 방법.
  2. 삭제
  3. 제1항에 있어서,
    상기 1단계부터 상기 3단계까지를 반복하는 과정에서 상기 1단계부터 상기 3단계까지의 상기 반복 횟수가 미리 설정된 횟수째가 아닐 때,
    상기 액정병에 저장된 액정이 설정된 양 이하인 것이 감지되면, 상기 1단계 및 상기 3단계 중 어느 한 단계에서 상기 액정병에 액정을 공급하는 것을 특징으로 하는 액정 디스펜서에 액정을 공급하는 방법.
  4. 액정이 적하되지 않은 기판을 스테이지에 안착시키는 1단계;
    액정이 저장되어 있는 액정병이 구비된 헤드유닛을 통해 상기 기판에 소정양의 상기 액정을 적하하는 2단계; 및
    소정양의 상기 액정의 적하가 완료된 기판을 액정이 적하되지 않은 기판으로 교체하는 3단계를 포함하되,
    상기 1단계부터 상기 3단계까지를 반복하고,
    상기 1단계부터 상기 3단계까지를 반복하는 과정에서 상기 1단계부터 상기 3단계까지의 반복 횟수가 미리 설정된 횟수째일 때, 상기 1단계 및 상기 3단계 중 어느 한 단계에서 노즐을 통해 적하되는 액정의 양을 측정하면서 상기 액정병에 액정을 공급하는 것을 특징으로 하는 액정 디스펜서에 액정을 공급하는 방법.
  5. 삭제
  6. 제4항에 있어서,
    상기 1단계부터 상기 3단계까지를 반복하는 과정에서 상기 1단계부터 상기 3단계까지의 상기 반복 횟수가 미리 설정된 횟수째가 아닐 때,
    상기 액정병에 저장된 액정이 설정된 양 이하인 것이 감지되면, 상기 1단계 및 상기 3단계 중 어느 한 단계에서 상기 액정병에 액정을 공급하는 것을 특징으로 하는 액정 디스펜서에 액정을 공급하는 방법.
  7. 액정이 적하되지 않은 기판을 스테이지에 안착시키는 1단계;
    액정이 저장되어 있는 액정병이 구비된 헤드유닛을 통해 상기 기판에 소정양의 상기 액정을 적하하는 2단계; 및
    소정양의 상기 액정의 적하가 완료된 기판을 액정이 적하되지 않은 기판으로 교체하는 3단계를 포함하되,
    상기 1단계부터 상기 3단계까지를 반복하고,
    상기 1단계부터 상기 3단계까지를 반복하는 과정에서 상기 1단계부터 상기 3단계까지의 반복 횟수가 미리 설정된 m횟수째일 때, 상기 1단계 및 상기 3단계 중 어느 한 단계에서 상기 액정병에 액정을 공급하며,
    상기 1단계부터 상기 3단계까지를 반복하는 과정에서 상기 1단계부터 상기 3단계까지의 상기 반복 횟수가 미리 설정된 n횟수째일 때, 상기 1단계 및 상기 3단계 중 어느 한 단계에서 노즐을 통해 적하되는 액정의 양을 측정하면서 상기 액정병에 액정을 공급하는 것을 특징으로 하는 액정 디스펜서에 액정을 공급하는 방법.
  8. 제7항에 있어서,
    상기 m횟수째와 상기 n횟수째가 서로 동일한 횟수째인 경우,
    상기 1단계 및 상기 3단계 중 어느 한 단계에서 상기 액정병에 액정을 공급하거나, 상기 1단계 및 상기 3단계 중 어느 한 단계에서 노즐을 통해 적하되는 액정의 양을 측정하면서 상기 액정병에 액정을 공급하는 것을 특징으로 하는 액정 디스펜서에 액정을 공급하는 방법.
  9. 제1항 또는 제4항 또는 제7항에 있어서, 상기 액정 병이 구비된 헤드 유닛은 복수 개이며 상기 액정 병에 액정을 공급하는 액정 공급시스템이 복수 개일 경우, 상기 액정 공급시스템들이 상기 액정 병들에 액정을 공급할 때마다 상기 액정 공급시스템들이 상기 액정 병들 전부에 일대일로 액정을 공급하는 것을 특징으로 하는 액정 디스펜서에 액정을 공급하는 방법.
  10. 제1항 또는 제4항 또는 제7항에 있어서, 상기 액정 병이 구비된 헤드 유닛은 복수 개이며 상기 액정 병에 액정을 공급하는 액정 공급시스템이 복수 개일 경우, 상기 액정 공급시스템들이 상기 액정 병들에 액정을 공급할 때마다 상기 액정 공급시스템들이 액정 병들의 일부를 번갈아가며 액정을 공급하는 것을 특징으로 하는 액정 디스펜서에 액정을 공급하는 방법.
  11. 제1항 또는 제4항 또는 제7항에 있어서, 상기 헤드 유닛의 액정 병에 액정 공급시스템이 액정을 공급하며, 상기 액정 공급시스템은 액정이 저장된 액정 탱크를 포함하며, 상기 액정 탱크에 측정유닛이 구비되어 상기 측정 유닛이 상기 액정 탱크에 남아있는 액정 양을 감지하여 상기 액정 탱크의 교체여부를 결정하는 것을 특징으로 하는 액정 디스펜서에 액정을 공급하는 방법.
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