KR101392437B1 - 액정의 이상 토출 감지 방법 - Google Patents

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Abstract

본 발명은 액정 디스플레이의 제조 공정 중 액정 적하 공정에 이용되는 액정 디스펜서의 액정 이상 토출을 감지하기 위한 방법에 관한 것이다. 본 발명에 의하면, 액정 디스펜서의 액정 이상 토출을 사전에 감지할 수 있어 액정 디스플레이의 불량이 발생하는 것을 방지할 수 있다.

Description

액정의 이상 토출 감지 방법{METHOD FOR DETECTING FAULTY DISCHARGE OF LIQUID CRYSTAL}
본 발명은 액정의 이상 토출 감지 방법에 관한 것으로서, 더욱 상세하게는 액정 디스플레이의 제조 공정 중 액정 적하 공정에 이용되는 액정 디스펜서의 액정 이상 토출을 감지하기 위한 방법에 관한 것이다.
액정 디스플레이(LCD)는 매트릭스 형태로 배열된 액정 셀들에 화상정보 신호를 각각 입력하여 액정 셀들의 광 투과율을 조절함으로써 화상을 표시하는 장치이다.
일반적으로 액정 디스플레이는, TFT(Thin Film Transistor)와 같은 구동 소자가 형성된 하부 기판과, 컬러필터가 형성된 상부 기판과, 양 기판 사이에 충전된 액정층으로 구성된다. 따라서, 액정 디스플레이를 제조하기 위해서는 양 기판 사이에 액정층을 형성시키는 공정이 필요하며, 그 방법 중의 하나로서 액정 적하 방식이 있다.
액정 적하 방식은 하부 기판과 상부 기판 중 어느 하나의 기판에 액정 디스펜서가 액정을 적하한 후 양 기판을 서로 합착시켜 액정층을 형성하는 방식이다. 액정 디스펜서는 기판 상의 복수의 위치에 액정을 방울 형태로 적하시킨다. 그런데, 액정 디스펜서의 동작 중에 발생하는 진동 등에 의하여 발생된 기포가 액정 토출수단에 유입되면 액정 디스펜서는 미리 설정된 액정을 정해진 위치에 적하하지 못하게 된다. 이 경우 액정 디스플레이의 불량을 야기하므로 이와 같은 액정의 이상 토출을 감지하여 불량을 사전에 방지할 필요가 있다.
본 발명은 전술한 종래기술의 문제점을 해결하기 위한 것으로서, 액정 적하 공정 중에 액정 디스펜서의 액정 이상 토출을 감지할 수 있는 방법을 제공하는데 그 목적이 있다.
상기와 같은 과제를 해결하기 위하여, 본 발명은, 디스펜싱 헤드유닛에 액정 방울을 적어도 두 번 적하하도록 지시하는 단계; 상기 지시에 의해 차례로 적하되는 액정 방울들을 센서가 감지하는 단계; 상기 센서에 의해 상기 액정 방울들이 감지되는 감지시점에 대응되는 동작데이터를 저장하는 단계; 저장된 상기 동작데이터로부터 적하피치를 계산하는 단계; 계산된 상기 적하피치와 기준피치로부터 오차값을 계산하는 단계; 계산된 상기 오차값이 허용피치오차범위를 벗어나는지 여부를 판단하는 단계; 및 상기 판단에 따라 상기 오차값이 상기 허용피치오차범위를 벗어나는 경우 알람을 발생하는 단계를 포함하는 액정의 이상 토출 감지 방법을 제공한다.
상기 동작데이터는 상기 감지시점에 대응되는 디스펜싱 헤드유닛의 위치데이터이고, 상기 적하피치는 상기 위치데이터로부터 계산될 수 있다.
다른 실시 형태로서, 상기 동작데이터는 상기 감지시점의 시간데이터이고, 상기 적하피치는 상기 시간데이터로부터 계산될 수 있다.
상기 기준피치는, 차례로 적하된 상기 액정 방울들이 각각 적하되어야 할 설정좌표로부터 계산될 수 있다.
다른 실시 형태로서, 상기 기준피치는, 상기 디스펜싱 헤드유닛이 상기 액정 방울을 차례로 적하하도록 지시하는 각각의 시점에서의 상기 디스펜싱 헤드유닛의 위치데이터로부터 계산될 수 있다.
여기서, 상기 디스펜싱 헤드유닛은 x축 방향을 따라 놓이는 적어도 둘의 적하 라인을 따라 이동하며 차례로 액정 방울을 적하하며, 상기 오차값은 상기 적하 라인들 중 동일한 적하 라인 상에 적하된 액정 방울에 대해서만 구해지는 것이 바람직하다.
또한, 상기 알람을 발생하는 단계는, 상기 허용피치오차범위를 벗어나는 액정 방울의 위치를 매핑하여 디스플레이하는 것이 바람직하다.
또한 본 발명은, 디스펜싱 헤드유닛에 액정을 적어도 두 번 적하하도록 지시하는 단계; 상기 지시에 의해 기판 상에 적하된 액정 방울들을 촬영하는 단계; 촬영된 상기 액정 방울들의 위치데이터를 구하는 단계; 상기 위치데이터로부터 차례로 적하된 상기 액정 방울들의 적하피치를 계산하는 단계; 계산된 상기 적하피치와 기준피치로부터 오차값을 계산하는 단계; 계산된 상기 오차값이 허용피치오차범위를 벗어나는지 여부를 판단하는 단계; 및 상기 판단에 따라 상기 오차값이 상기 허용피치오차범위를 벗어나는 경우 알람을 발생하는 단계를 포함하는 액정의 이상 토출 감지 방법을 제공한다.
상기 기준피치는, 차례로 적하된 상기 액정 방울들이 각각 적하되어야 할 설정좌표로부터 계산될 수 있다.
다른 실시 형태로서, 상기 기준피치는, 상기 디스펜싱 헤드유닛이 차례로 액정 방울들을 적하하도록 지시하는 각각의 시점에 서의 상기 디스펜싱 헤드유닛의 위치데이터로부터 계산될 수 있다.
본 발명의 일 실시예에 의하면, 액정 방울의 적하가 이루어지지 않거나 미리 설정된 크기보다 큰 액정 방울이 적하되기 전에 액정 디스펜서의 액정 이상 토출을 감지할 수 있어 액정 디스플레이의 불량이 발생하는 것을 방지할 수 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 의하면, 허용피치오차범위를 벗어나는 액정 방울의 위치가 매핑되어 사용자에게 디스플레이되므로 사용자가 허용피치오차범위를 벗어나는 액정 방울의 유무 및 허용피치오차범위를 벗어난 액정 방울의 위치를 신속하게 확인할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 의하면, 액정 방울들이 적하될 때 센서에 의해 실시간으로 액정 방울들이 감지될 수 있기 때문에 액정의 이상 토출 여부를 액정의 적하와 함께 실시간으로 감지할 수 있는 효과가 있다.
또한, 본 발명의 일 실시예에 의하면, 차례로 적하된 두 액정 방울간의 적하피치가 카메라에 의해 촬영된 영상으로부터 계산되므로 적하피치를 더욱 정확하게 계산할 수 있는 효과가 있다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정의 이상 토출 감지 방법이 적용되는 액정 디스펜서의 일례를 도시하는 도면이다.
도 2는 도 1의 액정 디스펜서의 구성을 도시하는 블록도이다.
도 3은 디스펜싱 헤드유닛에 의해 마더기판 상에 적하된 액정 방울들의 일례를 도시하는 도면이다.
도 4a는 디스펜싱 헤드유닛의 일부 및 센서 유닛을 도시하는 도면이며, 도 4b는 센서 유닛의 발광부와 수광부 사이로 액정 방울이 통과하는 상태를 도시하는 도면이다.
도 5 는 기포의 영향으로 액정 방울이 마더기판의 설정좌표에 토출되지 않은 상태를 도시하는 도면이다.
도 6은 기포의 영향으로 액정 방울의 적하가 이루어지지 않거나 미리 설정된 크기보다 큰 액정 방울이 적하된 상태를 도시하는 도면이다.
도 7은 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정의 이상 토출 감지 방법의 플로우 차트이다.
도 8은 허용피치오차범위를 벗어나는 액정 방울의 위치가 매핑되어 디스플레이되는 일례를 도시하는 도면이다.
도 9는 본 발명의 제2 실시예에 따른 액정의 이상 토출 감지 방법의 플로우 차트이다.
도 10은 본 발명의 제2 실시예에 따른 액정의 이상 토출 감지 방법이 적용되는 액정 디스펜서의 구성을 도시하는 블록도이다.
도 11은 본 발명의 제2 실시예에 따른 액정의 이상 토출 감지 방법에 있어서 카메라에 의해 촬영된 액정 방울의 영상을 도시하는 도면이다.
이하에서는 첨부한 도면을 참조하여 본 발명의 바람직한 실시예를 설명한다.
먼저, 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정의 이상 토출 감지 방법이 적용되는 액정 디스펜서의 일례를 설명한다.
도 1은 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정의 이상 토출 감지 방법이 적용되는 액정 디스펜서의 일례를 도시하는 도면이고, 도 2는 도 1의 액정 디스펜서의 구성을 도시하는 블록도이다.
도 1 및 도 2를 참조하면, 액정 디스펜서(100)는 프레임(110), 스테이지(120), 디스펜싱 헤드유닛 지지프레임(130), 디스펜싱 헤드유닛(140), 센서 유닛(150), 중앙처리부(160), 및 메모리(170)를 포함한다.
스테이지(120)는 프레임(110)의 상부에 설치되며, 스테이지(120)의 상면에는 마더기판(200)이 로딩 및 언로딩된다. 디스펜싱 헤드유닛 지지프레임(130)은 프레임(110)에 이동 가능하게 설치된다. 디스펜싱 헤드유닛(140)은, 디스펜싱 헤드유닛 지지프레임(130)의 이동 방향과 수직 방향으로 이동 가능하게 디스펜싱 헤드유닛 지지프레임(130)에 설치된다.
도 3은 도 1에 도시된 디스펜싱 헤드유닛에 의해 마더기판 상에 적하된 액정 방울들의 일례를 도시하는 도면이다. 도 3에서, x축 및 y축을 따라 행렬 형태로 적하된 복수의 액정 방울은 하나의 디스펜싱 헤드유닛(140)에 의해 차례로 적하된 액정 방울들이며, 액정 방울들을 가로지르는 점선은 디스펜싱 헤드유닛(140)의 이동 경로, 즉, 디스펜싱 헤드유닛(140)의 적하 경로를 나타낸다. 도 3의 실시예에서, 적하 경로는 x축 방향을 따라 놓이는 제1 적하 라인(220), 제2 적하 라인(230), 제3 적하 라인(240) 및 제4 적하 라인(250)을 포함한다. 물론 실시예에 따라서 적하 라인의 개수는 가감될 수 있다. 마더기판(200)에는 단위패널영역(210)이 적어도 하나 정의되며, 디스펜싱 헤드유닛(140)은 제1 적하 라인(220), 제2 적하 라인(230), 제3 적하 라인(240) 및 제4 적하 라인(250)을 따라 차례로 이동하면서 마더기판(200)의 단위패널영역(210) 내에 액정을 적하한다. 디스펜싱 헤드유닛(140)의 적하 과정을 자세히 설명하면, 먼저, 디스펜싱 헤드유닛(140)은 x축 방향을 따라 이동하면서 마더기판(200)의 제1 적하 라인(220) 상에 액정을 적하한다. 제1 적하 라인(220) 상에 대한 액정의 적하가 완료되면 디스펜싱 헤드유닛(140)은 제1 적하 라인(220)의 종료 지점에서 y축 방향으로 소정 거리 이동한 후 제1 적하 라인(220) 상에 액정을 적하할 때와는 반대 방향으로 이동하면서 마더기판(200)의 제2 적하 라인(230) 상에 액정을 적하한다. 이와 같이, 디스펜싱 헤드유닛(140)은 x축 방향을 따라 이동하면서 마더기판(200)에 액정을 적하하며, 해당 적하 라인 상에 액정의 적하가 완료되면 완료 지점에서 y축을 따라 이동하여 적하 라인을 변경한 후 다시 x축 방향을 따라 이동하면서 변경된 적하 라인 상에 액정을 적하한다. 여기서, 디스펜싱 헤드유닛(140)의 적하 라인의 변경에 대해 자세히 설명하면, 디스펜싱 헤드유닛(140)이 제1 적하 라인(220)을 따라 이동하면서 액정 방울 A를 적하한 후 x축 방향으로 소정 거리 이동하여 다시 액정 방울 B를 적하함으로써 제1 적하 라인(220)에 대한 액정 방울의 적하를 완료한다. 제1 적하 라인(220)에 대한 액정 방울의 적하 완료 지점에서 디스펜싱 헤드유닛(140)은 y축 방향으로 소정 거리 이동하여 제2 적하 라인(230) 상에 위치한다. 이 상태에서 제1 적하 라인(220) 상에 액정을 적하할 때와는 반대 방향으로 이동하며 액정 방울 C 및 액정 방울 D를 적하하는 방식으로 제2 적하 라인(230) 상에 액정을 적하한다. 이와 같이, 디스펜싱 헤드유닛(140)의 y축 방향으로의 이동은 디스펜싱 헤드유닛(140)의 위치를 다른 적하 라인 상에 위치시키기 위한 것이다.
센서 유닛(150)은 디스펜싱 헤드유닛(140)과 일체로 이동하며, 디스펜싱 헤드유닛(140)으로부터 토출되는 액정 방울을 감지한다. 도 4a는 디스펜싱 헤드유닛의 일부 및 센서 유닛을 도시하는 도면이며, 도 4b는 센서 유닛의 발광부와 수광부 사이로 액정 방울이 통과하는 상태를 도시하는 도면이다. 도 4a 및 도 4b의 점선화살표는 발광부로부터 수광부로 방출되는 빛을 나타낸다. 센서 유닛(150)은 발광부(152) 및 수광부(154)를 포함한다. 발광부(152)와 수광부(154)는 디스펜싱 헤드유닛(140)으로부터 토출되는 액정 방울의 낙하 경로를 사이에 두고 서로 마주하도록 설치된다. 발광부(152)는 빛을 방출하며, 발광부(152)로부터 방출되는 빛은 수광부(154)로 입사된다. 센서 유닛(150)은 수광부(154)에 입사되는 빛을 전기적 신호로 변환하여 중앙처리부(160)로 전달한다. 수광부(154)에는 발광부(152)로부터 방출되는 빛이 지속적으로 입사되는데, 디스펜싱 헤드유닛(140)으로부터 액정 방울이 토출되면 토출된 액정 방울은 발광부(152)로부터 방출되는 빛을 가로질러 통과한다. 발광부(152)와 수광부(154) 사이로 액정 방울이 통과할 때 액정 방울이 수광부(154)로 입사되는 빛을 차단하므로 발광부(152)과 수광부(154) 사이로 액정 방울이 통과하면 수광부(154)에 입사되는 빛의 양이 줄어들게 되며, 수광부(154)에 입사되는 빛의 양의 변화에 따라 전기적 신호의 세기가 변한다. 이와 같이, 액정 방울이 발광부(152)와 수광부(154) 사이를 통과할 때마다 수광부(154)에 입사되는 빛의 양이 감소되고, 이에 따른 전기적 신호의 세기의 변화에 따라 중앙처리부(160)는 액정 방울의 토출 여부 및 토출 시점을 감지할 수 있다.
메모리(170)에는 설정좌표가 저장된다. 설정좌표는 액정 방울들이 마더기판(200) 상에 적하되어야 할 미리 설정된 지점을 의미한다. 중앙처리부(160)는 메모리(170)에 저장된 설정좌표를 추출하여 디스펜싱 헤드유닛(140)이 설정좌표에 액정 방울을 적하할 수 있도록 액정 디스펜서(100)의 작동을 제어한다.
도 5는 기포의 영향으로 액정 방울이 마더기판의 설정좌표에 토출되지 않은 상태를 도시하는 도면이며, 도 6은 기포의 영향으로 액정 방울의 적하가 이루어지지 않거나 미리 설정된 크기보다 큰 액정 방울이 적하된 상태를 도시하는 도면이다. 도 5 및 도 6에서 점선으로 표시된 원(310)은 설정좌표를 나타내고, 채워진 원(320)은 실제 적하된 액정 방울을 나타낸다.
도 2 및 도 5를 참조하면, 액정 방울이 설정좌표에 적하될 수 있도록 중앙처리부(160)가 액정 디스펜서(100)를 제어했음에도 불구하고 디스펜싱 헤드유닛(140)에 기포가 유입되면 디스펜싱 헤드유닛(140)이 기포의 영향으로 오작동하여 액정 방울은 설정좌표가 아닌 다른 지점에 적하된다. 그런데, 이 상태는 액정 방울이 원래 적하되어야 할 지점이 아닌 다른 지점에 적하되었을 뿐이지 마더기판(200)에 적하되는 액정의 총량은 변함이 없다. 그러나, 도 6에 도시된 바와 같이, 디스펜싱 헤드유닛(140)에 기포가 계속 유입되어 누적되는 경우에는 액정 방울이 설정좌표에 적하되지 않을 뿐만 아니라, 액정 방울의 적하가 이루어지지 않거나 미리 설정된 크기보다 큰 액정 방울이 적하됨으로써 마더기판(200)에 적하되는 액정의 총량이 미리 설정된 양과 달라지게 되며, 이로 인하여 액정 디스플레이는 불량이 된다. 따라서, 도 5에서 도시된 바와 같이 액정 방울이 설정좌표와는 다른 지점에 적하되는 현상은 액정의 이상 토출의 전조 현상이라고 볼 수 있다. 따라서, 본 발명에 따른 액정의 이상 토출 감지 방법은 액정 방울이 설정좌표가 아닌 다른 지점에 적하될 때 이를 감지하여 액정 디스플레이의 불량을 방지하는 것을 목적으로 한다.
도 7은 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정의 이상 토출 감지 방법의 플로우 차트이다. 도 7을 참조하면, 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정의 이상 토출 감지 방법은, 디스펜싱 헤드유닛에 액정 방울을 적어도 두 번 적하하도록 지시하는 단계(S110), 지시에 의해 차례로 적하되는 액정 방울들을 센서가 감지하는 단계(S120), 센서에 의해 액정 방울들이 감지되는 감지시점에 대응되는 동작데이터를 저장하는 단계(S130), 저장된 동작데이터로부터 적하피치를 계산하는 단계(S140), 계산된 적하피치와 기준피치로부터 오차값을 계산하는 단계(S150), 계산된 오차값이 허용피치오차범위를 벗어나는지 여부를 판단하는 단계(S160), 및 판단에 따라 오차값이 허용피치오차범위를 벗어나는 경우 알람을 발생하는 단계(S170)를 포함한다.
이하에서는, 본 발명의 제1 실시예에 따른 액정의 이상 토출 감지 방법을 도 2및 도 5를 참조하여 각 단계별로 자세히 설명한다.
먼저, 디스펜싱 헤드유닛에 액정 방울을 적하하도록 지시하는 단계(S110)는 디스펜싱 헤드유닛(140)이 적하 경로를 따라 마더기판(200)에 대해 이동하는 동안에 이루어진다. 디스펜싱 헤드유닛(140)이 적하 경로를 따라 이동하는 동안 중앙처리부(160)는 액정 방울을 설정좌표에 적하되도록 디스펜싱 헤드유닛(140)에 지시한다. 디스펜싱 헤드유닛(140)에 액정 적하 명령이 전달되면 디스펜싱 헤드유닛(140)은 액정 방울을 적하하며, 액정 방울은 디스펜싱 헤드유닛(140)의 적하 경로를 따라 적어도 두 번 적하된다.
이때, 디스펜싱 헤드유닛(140)으로부터 액정 방울이 토출되면 액정 방울이 마더기판(200)에 도달하기 전에 센서 유닛(150)에 의해 액정 방울이 감지된다(S120). 액정 방울은 디스펜싱 헤드유닛(140)으로부터 토출될 때마다 센서 유닛(150)에 의해 감지된다. 그리고, 센서 유닛(150)에 의해 액정 방울이 감지될 때마다 액정 방울이 감지되는 감지시점에서의 디스펜싱 헤드유닛(140)의 동작데이터가 저장된다(S130). 동작데이터는, 센서 유닛(150)에 의해 액정 방울이 감지되는 시점에서의 디스펜싱 헤드유닛(140)의 위치 정보를 포함하는 위치데이터, 및 센서 유닛(150)에 의해 액정 방울이 감지되는 시점에서의 시간 정보를 포함하는 시간데이터를 포함한다. 위치데이터 및 시간데이터는 메모리(170)에 저장된다.
그 후, 동작데이터로부터 차례로 적하된 두 액정 방울 사이의 적하피치가 계산된다(S140). 적하피치는 디스펜싱 헤드유닛(140)에 의해 차례로 적하되는 두 액정 방울 사이의 마더기판(200) 상에서의 간격을 의미한다. 도 5를 기준으로 설명하면, 적하피치는 차례로 적하된 액정 방울 1a'와 액정 방울 1b' 사이의 간격인 P1'과 액정 방울 1b'와 액정 방울 1c' 사이의 간격인 P2' 등이다. 제1 실시예에서 적하피치는, 마더기판(200) 상에 차례로 적하된 두 액정 방울 사이의 실제 간격이 아니라 동작데이터로부터 계산되어 얻어지는 계산값이다. 적하피치는 다음의 방법에 의해 계산될 수 있다.
먼저, 적하피치는 디스펜싱 헤드유닛(140)의 위치데이터로부터 계산될 수 있다. 액정 방울이 센서 유닛(150)에 의해 감지되는 감지시점부터 마더기판(200)에 도달하기까지 걸리는 시간이 모든 액정 방울에 대해 동일하다고 가정하면, 차례로 적하되는 두 액정 방울 사이의 마더기판(200) 상에서의 간격, 즉, 적하피치는 센서 유닛(150)이 두 액정 방울을 감지할 때의 디스펜싱 헤드유닛(140)의 두 위치 사이의 간격과 동일하다. 즉, 적하피치는, 제1 액정 방울이 센서 유닛(150)에 의해 감지되는 시점에서의 디스펜싱 헤드유닛(140)의 제1 위치와 제2 액정 방울이 센서 유닛(150)에 의해 감지되는 시점에서의 디스펜싱 헤드유닛(140)의 제2 위치 사이의 간격과 동일하다.
또한, 적하피치는 시간데이터로부터 계산될 수 있다. 액정 방울이 센서 유닛(150)에 의해 감지되는 감지시점부터 마더기판(200)에 도달하기까지 걸리는 시간이 모든 액정 방울에 대해 동일하다고 가정하면, 차례로 적하되는 두 액정 방울 사이의 마더기판(200) 상에서의 간격, 즉, 적하피치는 센서 유닛(150)이 두 액정 방울을 감지하는 두 감지시점 사이의 시간차 및 디스펜싱 헤드유닛(140)의 이동속도의 곱에 의해 계산될 수 있다. 즉, 적하피치는, 제1 액정 방울이 센서 유닛(150)에 의해 감지되는 제1 감지시점과 제2 액정 방울이 센서 유닛(150)에 의해 감지되는 제2 감지시점 사이의 시간차와 디스펜싱 헤드유닛(140)의 이동속도의 곱과 동일하다.
여기서, 동작데이터로부터 액정 방울의 적하피치를 계산하는 단계는 액정 적하 공정 중에 액정 적하 동작과 함께 수행되거나, 액정 적하 공정이 모두 완료된 후에 수행될 수 있다.
다음 단계에서는, 계산된 적하피치와 기준피치로부터 오차값을 계산한다(S150). 오차값은, 적하피치와 기준피치의 차이값, 그 차이값의 절대값 또는 적하피치와 기준피치의 비 등이 될 수 있다. 기준피치는 차례로 적하되는 두 액정 방울이 기포의 영향을 받지 않았을 경우 마더기판(200) 상에 실제 적하되어야 하는 두 지점 사이의 간격을 의미한다. 여기서, 액정 방울이 기포의 영향을 받지 않았을 경우 실제 적하되어야 하는 마더기판(200) 상의 지점을 기준좌표라고 하면, 기준피치는 액정 방울 1a'의 기준좌표인 1a와 액정 방울 1b'의 기준좌표인 1b 사이의 간격인 P1이며, 또한, 액정 방울 1b'의 기준좌표인 1b와 액정 방울 1c'의 기준좌표인 1c 사이의 간격인 P2이다. 기준피치는 다음 두 가지 방법에 의해 계산될 수 있다.
기준피치는 차례로 적하된 두 액정 방울의 설정좌표로부터 계산될 수 있다. 상술한 바와 같이, 마더기판(200)에 적하되는 각각의 액정 방울이 적하되어야 할 지점이 액정 적하 공정 전에 미리 설정된다. 기준피치는 차례로 적하되는 두 액정 방울의 설정좌표 사이의 간격과 동일하다.
또한, 기준피치는, 두 액정 방울을 차례로 적하하도록 디스펜싱 헤드유닛(140)이 지시 받는 두 시점에서의 디스펜싱 헤드유닛(140)의 위치데이터로부터 계산될 수 있다. 기포의 영향을 받지 않았을 경우 액정 방울을 적하하도록 디스펜싱 헤드유닛(140)이 지시 받는 시점으로부터, 즉 중앙처리부(160)로부터 디스펜싱 헤드유닛(140)에 적하 명령이 전달될 때부터, 해당 적하 지시에 의해 적하된 액정 방울이 마더기판(200)에 도달하기까지 걸리는 시간이 모든 액정 방울에 대해 동일하다고 가정하면, 기준피치는, 제1 액정 방울을 적하하도록 디스펜싱 헤드유닛(140)이 지시 받는 시점에서의 디스펜싱 헤드유닛(140)의 제3 위치와 제2 액정 방울을 적하하도록 디스펜싱 헤드유닛(140)이 지시 받는 시점에서의 디스펜싱 헤드유닛(140)의 제4 위치 사이의 간격과 동일하다.
상기와 같은 방법에 의해 구해진 적하피치와 기준피치로부터 오차값을 계산할 수 있다. 다음으로, 계산된 오차값이 허용피치오차범위를 벗어나는지 여부를 판단한다(S160). 여기서, 허용피치오차범위는 사용자에 의해 미리 설정되는 오차 범위이다. 상기의 판단에 의해, 오차값이 허용피치오차범위 내에 있는 경우 액정이 정상적으로 토출되었다고 판단한 후 다른 차례로 적하된 두 액정 방울에 대해 상기의 단계를 반복적으로 수행한다. 반면, 오차값이 허용피치오차범위를 벗어나는 경우 액정이 비정상적으로 토출되었다고 판단하며 이를 사용자에게 알람으로 알린다(S170). 알람은 경보음, 음성, 문자, 그래픽 등 다양한 형태로 구현될 수 있다.
특히, 알람이 그래픽으로 구현되는 경우, 허용피치오차범위를 벗어나는 액정 방울의 위치를 매핑하여 사용자에게 디스플레이하는 것이 바람직하다. 도 8은 허용피치오차범위를 벗어나는 액정 방울의 위치가 매핑되어 디스플레이되는 일례를 도시하는 도면이다. 도 8에 도시된 바와 같이, 허용피치오차범위를 벗어나는 액정 방울(410)이 디스플레이 장치(400)에 디스플레이되면 사용자는 허용피치오차범위를 벗어나는 액정 방울의 유무 및 허용피치오차범위를 벗어난 액정 방울의 위치를 신속하게 확인할 수 있다.
한편, 상기 오차값은 마더기판(200)에 설정되는 복수의 적하 라인들 중 동일한 적하 라인 상에 적하된 액정 방울에 대해서만 구해지는 것이 바람직하다. 다시 말해, 디스펜싱 헤드유닛(140)의 적하 경로가 도 5에 도시된 바와 같을 때, 오차값은 x축 방향으로 놓이는 동일한 적하 라인 상에 적하된 두 액정 방울에 대해서만 구해지며, y축 방향으로 이격된 서로 다른 적하 라인 상에 적하된 두 액정 방울에 대해서는 구해지지 않는다. 예컨대, 오차값은 제1 적하 라인(330) 상에 차례로 적하된 액정 방울 1d'와 액정 방울 1e'에 대해서 구해지고, 제2 적하 라인(340) 상에 차례로 적하된 액정 방울2a'와 액정 방울 2b'에 대해서도 구해지지만 서로 다른 적하 라인인 제1 적하 라인(330)과 제2 적하 라인(340)에 각각 적하된 액정 방울 1e'와 액정 방울 2a'에 대해서는 구해지지 않는다.
다음으로는, 본 발명의 제2 실시예에 따른 액정의 이상 토출 감지 방법에 대해 설명한다.
도 9는 본 발명의 제2 실시예에 따른 액정의 이상 토출 감지 방법의 플로우 차트이다.
도 9를 참조하면, 본 발명의 제2 실시예에 따른 액정의 이상 토출 감지 방법은, 디스펜싱 헤드유닛에 액정을 적어도 두 번 적하하도록 지시하는 단계(S210), 상기 지시에 의해 기판 상에 적하된 액정 방울들을 촬영하는 단계(S220), 촬영된 상기 액정 방울들의 위치데이터를 구하는 단계(S230), 차례로 적하된 상기 액정 방울들의 위치데이터로부터 적하피치를 계산하는 단계(S240), 계산된 상기 적하피치와 기준피치로부터 오차값을 계산하는 단계(S250), 계산된 상기 오차값이 허용피치오차범위를 벗어나는지 여부를 판단하는 단계(S260), 및 상기 판단에 따라 상기 오차값이 상기 허용피치오차범위를 벗어나는 경우 알람을 발생하는 단계(S270)를 포함한다.
적하피치를 계산하기 위하여 제1 실시예에서는 센서 유닛이 이용된 반면, 제2 실시예에서는 카메라가 이용된다. 따라서, 도 10에 도시된 바와 같이, 본 발명의 제2 실시예에 따른 액정의 이상 토출 감지 방법이 적용되는 액정 디스펜서는 마더기판(200) 상에 적하된 액정 방울을 촬영할 수 있는 카메라(180)를 포함한다. 카메라(180)는 마더기판(200) 상에 적하된 모든 액정 방울을 포함하는 영역을 한번에 촬영하거나, 분할하여 촬영할 수 있다. 본 발명의 제2 실시예에 따른 액정의 이상 토출 감지 방법이 적용되는 액정 디스펜서의 카메라(180)를 제외한 나머지 구성은 제1 실시예의 액정 디스펜서와 동일하다.
이하에서는, 본 발명의 제2 실시예에 따른 액정의 이상 토출 감지 방법을 각 단계별로 자세히 설명한다.
먼저, 디스펜싱 헤드유닛(140)이 적하 경로를 따라 마더기판(200)에 대해 이동하며, 디스펜싱 헤드유닛(140)이 이동하는 동안 중앙처리부(160)는 디스펜싱 헤드유닛(140)에 액정을 적하하도록 지시한다(S210). 디스펜싱 헤드유닛(140)에 액정 적하 명령이 전달되면 디스펜싱 헤드유닛(140)은 적하 경로를 따라 이동하면서 액정을 적하한다. 이때, 액정 방울은 디스펜싱 헤드유닛(140)의 적하 경로를 따라 적어도 두 번 적하된다.
액정 적하 공정이 완료되면 카메라(180)에 의해 마더기판(200) 상에 적하된 액정 방울들이 촬영된다(S220). 도 11은 본 발명의 제2 실시예에 따른 액정의 이상 토출 감지 방법에 있어서 카메라에 의해 촬영된 액정 방울의 영상을 도시하는 도면이다. 액정 방울들이 포함된 영상은 영상처리됨으로써 마더기판(200)상에 적하된 모든 액정 방울들의 위치데이터가 생성된다(S230). 위치데이터는 액정 방울들의 마더기판(200)에 대한 절대 위치값을 포함하거나, 액정 방울들의 다른 액정 방울에 대한 상대 위치값을 포함할 수 있다.
다음 단계에서는, 위치데이터로부터 차례로 적하된 두 액정 방울의 적하피치(P3')를 계산한다(S240). 적하피치(P3')는 마더기판(200) 상에 적하된 액정 방울 중 차례로 적하된 두 액정 방울에 대해서 계산된다. 즉, 적하피치(P3')는 제1 액정 방울과 제2 액정 방울, 제2 액정 방울과 제3 액정 방울, …… 제n-1 액정 방울과 제n 액정 방울에 대해서 계산된다.
적하피치(P3')가 계산되면, 적하피치(P3')와 기준피치(P3)로부터 오차값을 계산한다(S250). 상술한 바와 같이, 오차값은 적하피치(P3')와 기준피치(P3)의 차이값, 그 차이값의 절대값 또는 적하피치(P3')와 기준피치(P3)의 비 등이 될 수 있으며, 기준피치(P3)는 차례로 적하되는 두 액정 방울이 기포의 영향을 받지 않았을 경우 실제 적하되어야 하는 마더기판(200) 상의 두 지점 사이의 간격을 의미한다. 기준피치는 제1 실시예와 동일하게, 차례로 적하된 두 액정 방울의 설정좌표 또는 두 액정 방울을 차례로 적하하도록 디스펜싱 헤드유닛(140)이 지시 받는 두 시점에서의 디스펜싱 헤드유닛(140)의 위치데이터로부터 계산될 수 있다. 또한, 제1 실시예에서와 동일하게, x축 방향으로 놓이는 동일한 적하 라인 상에 적하된 두 액정 방울에 대해서만 구해지는 것이 바람직하다.
다음 단계에서는, 계산된 오차값이 허용피치오차범위를 벗어나는지 여부를 판단한 후(S260), 상기의 판단에 의해, 오차값이 허용피치오차범위 내에 있는 경우 액정이 정상적으로 토출되었다고 판단하고, 오차값이 허용피치오차범위를 벗어나는 경우 액정이 비정상적으로 토출되었다고 판단하며 이를 사용자에게 알람으로 알린다(S270). 여기서, 알람은 경보음, 음성, 문자, 그래픽 등 다양한 형태로 구현될 수 있으나, 특히, 알람이 그래픽으로 구현되는 경우, 허용피치오차범위를 벗어나는 액정 방울의 위치를 매핑하여 사용자에게 디스플레이하는 것이 바람직하다.
100: 액정 디스펜서 110: 프레임
120: 스테이지 130: 디스펜싱 헤드유닛 지지프레임
140: 디스펜싱 헤드유닛 150: 센서 유닛
160: 중앙처리부 170: 메모리
180: 카메라 200: 마더기판
210: 단위패널영역

Claims (10)

  1. 디스펜싱 헤드유닛에 액정 방울을 적어도 두 번 적하하도록 지시하는 단계;
    상기 지시에 의해 차례로 적하되는 액정 방울들을 센서가 감지하는 단계;
    상기 센서에 의해 상기 액정 방울들이 감지되는 감지시점에 대응되는 동작데이터를 저장하는 단계;
    저장된 상기 동작데이터로부터 적하피치를 계산하는 단계;
    계산된 상기 적하피치와 기준피치로부터 오차값을 계산하는 단계;
    계산된 상기 오차값이 허용피치오차범위를 벗어나는지 여부를 판단하는 단계; 및
    상기 판단에 따라 상기 오차값이 상기 허용피치오차범위를 벗어나는 경우 알람을 발생하는 단계를 포함하며,
    상기 동작데이터는 상기 감지시점에 대응되는 디스펜싱 헤드유닛의 위치데이터 또는 상기 감지시점의 시간데이터이며, 상기 적하피치는 상기 위치데이터 또는 상기 시간데이터로부터 계산되는 것을 특징으로 하는 액정의 이상 토출 감지 방법.
  2. 삭제
  3. 삭제
  4. 제1항에 있어서,
    상기 기준피치는,
    차례로 적하된 상기 액정 방울들이 각각 적하되어야 할 설정좌표로부터 계산되는 것을 특징으로 하는 액정의 이상 토출 감지 방법.
  5. 제1항에 있어서,
    상기 기준피치는,
    상기 디스펜싱 헤드유닛이 상기 액정 방울을 차례로 적하하도록 지시하는 각각의 시점에서의 상기 디스펜싱 헤드유닛의 위치데이터로부터 계산되는 것을 특징으로 하는 액정의 이상 토출 감지 방법.
  6. 제1항에 있어서,
    상기 디스펜싱 헤드유닛은 x축 방향을 따라 놓이는 적어도 둘의 적하 라인을 따라 이동하며 차례로 액정 방울을 적하하며,
    상기 오차값은 상기 적하 라인들 중 동일한 적하 라인 상에 적하된 액정 방울에 대해서만 구해지는 것을 특징으로 하는 이상 토출 감지 방법 .
  7. 제1항에 있어서,
    상기 알람을 발생하는 단계는,
    상기 허용피치오차범위를 벗어나는 액정 방울의 위치를 매핑하여 디스플레이하는 것을 특징으로 하는 디스펜싱 헤드유닛의 이상 토출 감지 방법.
  8. 삭제
  9. 디스펜싱 헤드유닛에 액정을 적어도 두 번 적하하도록 지시하는 단계;
    상기 지시에 의해 기판 상에 적하된 액정 방울들을 촬영하는 단계;
    촬영된 상기 액정 방울들의 위치데이터를 구하는 단계;
    상기 위치데이터로부터 차례로 적하된 상기 액정 방울들의 적하피치를 계산하는 단계;
    계산된 상기 적하피치와 기준피치로부터 오차값을 계산하는 단계;
    계산된 상기 오차값이 허용피치오차범위를 벗어나는지 여부를 판단하는 단계; 및
    상기 판단에 따라 상기 오차값이 상기 허용피치오차범위를 벗어나는 경우 알람을 발생하는 단계를 포함하며,
    상기 기준피치는,
    차례로 적하된 상기 액정 방울들이 각각 적하되어야 할 설정좌표로부터 계산되는 것을 특징으로 하는 액정의 이상 토출 감지 방법.
  10. 디스펜싱 헤드유닛에 액정을 적어도 두 번 적하하도록 지시하는 단계;
    상기 지시에 의해 기판 상에 적하된 액정 방울들을 촬영하는 단계;
    촬영된 상기 액정 방울들의 위치데이터를 구하는 단계;
    상기 위치데이터로부터 차례로 적하된 상기 액정 방울들의 적하피치를 계산하는 단계;
    계산된 상기 적하피치와 기준피치로부터 오차값을 계산하는 단계;
    계산된 상기 오차값이 허용피치오차범위를 벗어나는지 여부를 판단하는 단계; 및
    상기 판단에 따라 상기 오차값이 상기 허용피치오차범위를 벗어나는 경우 알람을 발생하는 단계를 포함하며,
    상기 기준피치는,
    상기 디스펜싱 헤드유닛이 차례로 액정 방울들을 적하하도록 지시하는 각각의 시점에 서의 상기 디스펜싱 헤드유닛의 위치데이터로부터 계산되는 것을 특징으로 하는 액정의 이상 토출 감지 방법.
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Families Citing this family (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN104155973B (zh) * 2014-09-02 2017-05-17 深圳市浩能科技有限公司 间隙涂布故障测试方法及其系统
CN104360548B (zh) * 2014-12-09 2017-06-06 合肥鑫晟光电科技有限公司 液晶喷墨涂布设备及参数调整方法、液晶涂布与检查系统
KR20210105413A (ko) * 2018-12-21 2021-08-26 마이크로닉 아베 이젝터를 제어하기 위한 방법 및 관련된 시스템
CN109799633B (zh) * 2019-03-21 2020-09-01 深圳市华星光电技术有限公司 导电胶滴下系统及导电胶滴下方法

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003165209A (ja) * 2001-11-30 2003-06-10 Konica Corp インクジェット記録装置
JP2005280351A (ja) 2004-03-05 2005-10-13 Fuji Photo Film Co Ltd 液滴吐出装置の液滴検出装置及び液滴検出方法

Family Cites Families (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003133691A (ja) * 2001-10-22 2003-05-09 Seiko Epson Corp 膜パターンの形成方法、膜パターン形成装置、導電膜配線、電気光学装置、電子機器、並びに非接触型カード媒体
JP4107248B2 (ja) * 2003-03-12 2008-06-25 セイコーエプソン株式会社 膜形成方法、膜形成装置、液晶の配置方法、液晶の配置装置、液晶装置、液晶装置の製造方法、並びに電子機器
KR100919407B1 (ko) * 2008-01-28 2009-09-29 주식회사 탑 엔지니어링 액정 적하 장치
KR100964949B1 (ko) * 2008-07-30 2010-06-21 주식회사 탑 엔지니어링 액정방울수 카운팅 방법
CN102000652B (zh) * 2010-09-10 2013-03-13 深圳市华星光电技术有限公司 液晶涂布装置及液晶涂布方法

Patent Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003165209A (ja) * 2001-11-30 2003-06-10 Konica Corp インクジェット記録装置
JP2005280351A (ja) 2004-03-05 2005-10-13 Fuji Photo Film Co Ltd 液滴吐出装置の液滴検出装置及び液滴検出方法

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