KR102145845B1 - 슬릿 노즐 및 이를 포함하는 약액 도포 장치 - Google Patents
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Abstract
기판에 약액을 도포하는 약액 도포 장치의 슬릿 노즐에 있어서, 슬릿 노즐은 제 1 분할 노즐, 약액이 토출되는 토출구를 가지는 심 및 심을 사이에 두고 제 1 분할 노즐과 마주하는 상태로 배치되는 제 2 분할 노즐을 포함하고, 제 1 분할 노즐 및 제 2 분할 노즐 중 적어도 하나는 기판에 약액이 도포될 때 도포된 약액이 슬릿 노즐에 점착되는 것을 방지하는 경사부를 포함한다.
Description
본 발명은 약액 도포 장치에 관한 것이다. 보다 상세하게는, 본 발명은 슬릿 노즐 및 이를 포함하는 약액 도포 장치에 관한 것이다.
평판 디스플레이 장치(flat panel display apparatus)는 광을 조절하여 화상을 구현하는 디스플레이 소자로서, 경량박형, 고해상도, 대화면화를 실현할 수 있고, 소비전력이 작아 여러 가지 전자 기기 및 산업 분야에 이용되고 있다. 평판 디스플레이 장치에 포함된 평판 디스플레이 패널의 종류에 따라 액정 표시 장치(Liquid Crystal Display device: LCD), 플라즈마 표시 패널(Plasma Display Panel: PDP) 및 유기 발광 표시 장치(Organic Light Emitting Diode display: OLED) 등으로 나뉜다.
이러한 평판 디스플레이 장치를 구현하기 위해서 수지, 광학용 투명 접착제(Optically Clear Adhesive: OCA), 포토레지스트(photoresist) 등의 약액을 기판 상에 도포하는 공정을 진행할 수 있다. 약액이 기판 상에 도포되는 상태에 따라 제품의 내구성 및 신뢰성에 영향을 줄 수 있다.
본 발명의 일 목적은 슬릿 노즐을 제공하는 것이다.
본 발명의 다른 목적은 슬릿 노즐을 포함하는 약액 도포 장치를 제공하는 것이다.
그러나, 본 발명이 목적은 상술한 목적에 한정되는 것은 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.
본 발명의 일 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시예들에 기판에 약액을 도포하는 약액 도포 장치의 슬릿 노즐에 있어서, 제 1 분할 노즐, 상기 약액이 토출되는 토출구를 가지는 심(shim) 및 상기 심을 사이에 두고 상기 제 1 분할 노즐과 마주하는 상태로 배치되는 제 2 분할 노즐을 포함하고, 상기 제1 분할 노즐 및 상기 제2 분할 노즐 중 적어도 하나는 상기 기판에 상기 약액이 도포될 때 상기 도포된 약액이 상기 슬릿 노즐에 점착되는 것을 방지하는 경사부를 포함할 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 경사부는 수평면과 0도 초과 및 10도 이하의 각도를 이룰 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 제1 분할 노즐은 수평면과 제1 각도를 이루는 제1 경사부를 포함하고, 상기 제2 분할 노즐은 상기 수평면과 제2 각도를 이루는 제 2 경사부를 포함하며, 상기 제 1 각도와 상기 제 2 각도는 서로 다를 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 제 1 분할 노즐은 약액이 주입되는 주입구 및 상기 약액을 저장하는 저장부를 포함할 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 제 2 분할 노즐은 약액이 주입되는 주입구 및 상기 약액을 저장하는 저장부를 포함할 수 있다.
본 발명의 일 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시예들에 따른 기판에 약액을 도포하는 약액 도포 장치의 슬릿 노즐에 있어서, 제 1 분할 노즐, 상기 약액이 토출되는 토출구를 가지는 심(shim) 및 상기 심을 사이에 두고 상기 제 1 분할 노즐과 마주하는 상태로 배치되는 제 2 분할 노즐을 포함하고, 상기 제1 분할 노즐 및 상기 제2 분할 노즐 중 적어도 하나는 상기 기판에 상기 약액이 도포될 때 상기 도포된 약액이 상기 슬릿 노즐에 점착되는 것을 방지하는 요철부를 포함할 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 요철부는 톱니 모양으로 형성될 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 제 1 분할 노즐은 약액이 주입되는 주입구 및 상기 약액을 저장하는 저장부를 포함할 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 제 2 분할 노즐은 약액이 주입되는 주입구 및 상기 약액을 저장하는 저장부를 포함할 수 있다.
본 발명의 다른 목적을 달성하기 위하여, 본 발명의 실시예들에 따른 기판을 지지하는 스테이지, 상기 기판에 대향하여 위치하고, 제 1 분할 노즐, 약액이 토출되는 토출구를 가지는 심(shim), 및 상기 심을 사이에 두고 상기 제 1 분할 노즐과 마주하는 상태로 배치되는 제 2 분할 노즐을 포함하는 슬릿 노즐 및 상기 슬릿 노즐을 이동시키는 이동 장치를 포함하고, 상기 제1 분할 노즐 및 상기 제2 분할 노즐 중 적어도 하나는 상기 기판에 상기 약액이 도포될 때 상기 도포된 약액이 상기 슬릿 노즐에 점착되는 것을 방지하는 점착 방지부를 포함할 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 슬릿 노즐은 상기 슬릿 노즐의 중심으로부터 상기 점착 방지부가 형성된 방향의 반대 방향으로 이동하면서 약액을 도포할 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 점착 방지부는 수평면과 소정의 각도를 이루는 경사부일 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 소정의 각도는 0도 초과 및 10도 이하일 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 점착 방지부는 요철부일 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 요철부는 톱니 모양으로 형성될 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 제 1 분할 노즐은 상기 약액이 주입되는 주입구 및 상기 약액을 저장하는 저장부를 포함할 수 있다.
일 실시예에 의하면, 상기 제 2 분할 노즐은 상기 약액이 주입되는 주입구 및 상기 약액을 저장하는 저장부를 포함할 수 있다.
본 발명의 실시예들에 따른 슬릿 노즐 및 이를 포함하는 약액 도포 장치는 슬릿 노즐 하부의 각도를 조절하여 약액이 균일하게 도포되도록 할 수 있다. 다만, 본 발명의 효과는 상술한 효과에 한정되는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위에서 다양하게 확장될 수 있을 것이다.
도 1a 내지 도 1c는 약액 도포의 형상을 나타내는 일 예를 나타내는 도면들이다.
도 2는 본 발명의 실시예들에 따른 슬릿 노즐을 나타내는 사시도이다.
도 3은 도 2의 슬릿 노즐을 나타내는 분해 사시도이다.
도 4는 도 2의 슬릿 노즐을 나타내는 단면도이다.
도 5는 도 2의 슬릿 노즐에서 약액이 도포되는 일 예를 나타내는 도면이다.
도 6은 도 2의 슬릿 노즐을 구비하는 약액 도포 장치를 나타내는 사시도이다.
도 7은 도 6의 약액 도포 장치를 이용하여 약액이 도포되는 일 예를 나타내는 도면이다.
도 8은 본 발명의 실시예들에 따른 슬릿 노즐을 나타내는 사시도이다.
도 9는 도 8의 슬릿 노즐을 나타내는 분해 사시도이다.
도 10은 도 8의 슬릿 노즐을 나타내는 단면도이다.
도 11은 도 8의 슬릿 노즐에서 약액이 도포되는 일 예를 나타내는 도면이다.
도 12는 도 8의 슬릿 노즐을 구비하는 약액 도포 장치를 나타내는 사시도이다.
도 13은 도 12의 약액 도포 장치를 이용하여 약액이 도포되는 일 예를 나타내는 도면이다.
도 2는 본 발명의 실시예들에 따른 슬릿 노즐을 나타내는 사시도이다.
도 3은 도 2의 슬릿 노즐을 나타내는 분해 사시도이다.
도 4는 도 2의 슬릿 노즐을 나타내는 단면도이다.
도 5는 도 2의 슬릿 노즐에서 약액이 도포되는 일 예를 나타내는 도면이다.
도 6은 도 2의 슬릿 노즐을 구비하는 약액 도포 장치를 나타내는 사시도이다.
도 7은 도 6의 약액 도포 장치를 이용하여 약액이 도포되는 일 예를 나타내는 도면이다.
도 8은 본 발명의 실시예들에 따른 슬릿 노즐을 나타내는 사시도이다.
도 9는 도 8의 슬릿 노즐을 나타내는 분해 사시도이다.
도 10은 도 8의 슬릿 노즐을 나타내는 단면도이다.
도 11은 도 8의 슬릿 노즐에서 약액이 도포되는 일 예를 나타내는 도면이다.
도 12는 도 8의 슬릿 노즐을 구비하는 약액 도포 장치를 나타내는 사시도이다.
도 13은 도 12의 약액 도포 장치를 이용하여 약액이 도포되는 일 예를 나타내는 도면이다.
본문에 개시되어 있는 본 발명의 실시예들에 대해서, 특정한 구조적 내지 기능적 설명들은 단지 본 발명의 실시예를 설명하기 위한 목적으로 예시된 것으로, 본 발명의 실시예들은 다양한 형태로 실시될 수 있으며 본문에 설명된 실시예들에 한정되는 것으로 해석되어서는 아니 된다.
본 발명은 다양한 변경을 가할 수 있고 여러 가지 형태를 가질 수 있는바, 특정 실시예들을 도면에 예시하고 본문에 상세하게 설명하고자 한다. 그러나 이는 본 발명을 특정한 개시 형태에 대해 한정하려는 것이 아니며, 본 발명의 사상 및 기술 범위에 포함되는 모든 변경, 균등물 내지 대체물을 포함하는 것으로 이해되어야 한다.
제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성 요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 상기 구성요소들은 상기 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 상기 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성 요소로부터 구별하는 목적으로 사용될 수 있다. 예를 들어, 본 발명의 권리 범위로부터 이탈되지 않은 채 제1 구성 요소는 제2 구성 요소로 명명될 수 있고, 유사하게 제 2 구성 요소도 제1 구성 요소로 명명될 수 있다.
어떤 구성 요소가 다른 구성 요소에 "연결되어" 있다거나 "접속되어" 있다고 언급된 때에는, 그 다른 구성 요소에 직접적으로 연결되어 있거나 또는 접속되어 있을 수도 있지만, 중간에 다른 구성 요소가 존재할 수도 있다고 이해되어야 할 것이다. 반면에, 어떤 구성 요소가 다른 구성 요소에 "직접 연결되어" 있다거나 "직접 접속되어" 있다고 언급된 때에는, 중간에 다른 구성요소가 존재하지 않는 것으로 이해되어야 할 것이다. 구성 요소들 간의 관계를 설명하는 다른 표현들, 즉 "~사이에"와 "바로 ~사이에" 또는 "~에 이웃하는"과 "~에 직접 이웃하는" 등도 마찬가지로 해석되어야 한다.
본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 설시된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부분품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.
다르게 정의되지 않는 한, 기술적이거나 과학적인 용어를 포함해서 여기서 사용되는 모든 용어들은 본 발명이 속하는 기술분야에서 통 통상의 지식을 가진 자에 의해 일반적으로 이해되는 것과 동일한 의미이다. 일반적으로 사용되는 사전에 정의되어 있는 것과 같은 용어들은 관련 기술의 문맥상 가지는 의미와 일치하는 의미인 것으로 해석되어야 하며, 본 출원에서 명백하게 정의하지 않는 한, 이상적이거나 과도하게 형식적인 의미로 해석되지 않는다.
이하, 첨부한 도면들을 참조하여, 본 발명의 실시예들을 보다 상세하게 설명하고자 한다. 도면상의 동일한 구성 요소에 대해서는 동일하거나 유사한 참조 부호를 사용한다.
도 1a 내지 도 1c는 약액 도포의 형상을 나타내는 일 예를 나타내는 도면들이다.
약액(50)은 수지, 광학용 투명 접착제(Optically Clear Adhesive: OCA) 및 포토레지스트(photoresist) 등의 물질일 수 있고, 상기 약액(50)은 글래스 기판, 플라스틱 기판 및 디스플레이 패널 상에 도포될 수 있다.
도 1a에 도시된 바와 같이, 기판(S) 상에 약액(50)이 제 1 방향에서 제 2 방향으로 도포될 때, 약액(50)은 직사각형 모양으로 형성되는 것이 가장 이상적이다. 예를 들어, 약액(50)이 디스플레이 기판과 윈도우 패널 등을 합착시키는 경화성 수지일 경우, 약액(50)이 일정한 두께를 갖는 직사각형 모양으로 형성되면, 디스플레이 패널과 윈도우 패널의 합착 시 접착력이 높아져 제품의 내구성 및 신뢰성이 향상될 수 있다. 또한, 약액(50)이 포토레지스트일 경우, 약액(50)이 일정한 두께를 갖는 직사각형으로 형성되면, 영상이 표시되는 표시 영역이 매끈하게 형성되어, 표시 품질이 향상될 수 있다. 약액(50)이 도포되는 형상은 약액을 토출하는 노즐의 모양 및 재질에 의해 결정될 수 있다.
도 1b에 도시된 바와 같이, 기판(S) 상에 약액(50)이 제 1 방향에서 제 2 방향으로 도포될 때, 약액(50)의 도포가 시작되는 지점 및 끝나는 지점에서 약액(50)이 부족하게 도포될 수 있다. 구체적으로, 약액(50)의 표면 장력에 의해 토출된 약액(50)이 슬릿 노즐에 점착될 수 있다. 약액(50)이 슬릿 노즐에 점착되는 약액의 높이가 높을수록 많은 양의 약액(50)이 슬릿 노즐에 점착되어 슬릿 노즐과 함께 이동할 수 있다. 약액(50)의 도포가 시작되는 지점에서 토출된 약액(50)이 슬릿 노즐에 점착되어 제 2 방향으로 함께 이동하는 경우 약액(50)의 도포가 시작되는 부분의 약액(50)의 양이 부족할 수 있다. 또한, 약액(50)의 도포가 종료되는 지점에서 슬릿 노즐이 상기 기판(S)에서 분리될 때 슬릿 노즐에 점착되는 약액(50)의 양이 많으면 약액(50)의 도포가 끝나는 부분의 약액(50)이 부족하게 도포될 수 있다.
예를 들어, 약액(50)이 디스플레이 기판과 윈도우 패널 등을 합착시키는 경화성 수지일 경우, 약액(50)의 도포가 시작되는 지점 및 약액(50)의 도포가 끝나는 지점에서 약액(50)이 부족하게 도포되면, 디스플레이 패널과 윈도우 패널 합착 시 접착력이 떨어져 제품의 내구성 및 신뢰성이 저하될 수 있다. 또한, 약액(50)이 포토레지스트일 경우, 약액(50)의 도포가 시작되는 지점 및 끝나는 지점에서 약액(50)이 부족하게 도포되면, 영상이 표시되는 표시 영역에서 포토레지스트가 균일하게 분포하지 못하고 이로 인해 얼룩이나 빛샘 불량 등이 발생할 수 있다.
도 1c에 도시된 바와 같이, 기판(S) 상에 약액(50)이 제 1 방향에서 제 2 방향으로 도포될 때, 약액(50)의 도포가 시작되는 지점 및 약액(50)의 도포가 끝나는 지점에서 약액(50)이 과잉 도포될 수 있다. 구체적으로, 약액(50)의 표면 장력에 의해 토출된 약액(50)이 슬릿 노즐에 점착될 수 있다. 약액(50)의 도포가 시작되는 지점에서 약액(50)이 슬릿 노즐에 점착되는 약액의 높이가 높으면, 도포가 시작되는 부분의 약액(50)이 높게 형성되어 과잉 도포될 수 있다. 약액(50)의 도포가 종료되는 지점에서 슬릿 노즐이 상기 기판(S)에서 분리될 때 슬릿 노즐에 점착된 약액(50)의 높이가 높으면, 도포가 끝나는 부분의 약액(50)이 높게 형성되어 과잉 도포될 수 있다.
예를 들어, 약액(50)이 디스플레이 기판과 윈도우 패널 등을 합착할 수 있는 경화성 수지일 경우, 약액(50)의 도포가 시작되는 지점 및 약액(50)의 도포가 끝나는 지점에서 약액(50)이 과잉 도포되면, 디스플레이 패널과 윈도우 패널의 합착 시 경화성 수지가 흘러 넘쳐 접착력 및 표시 품질에 영향을 줄 수 있다. 또한, 약액(50)이 포토레지스트일 경우, 약액(50)의 도포가 시작되는 지점 및 끝나는 지점에서 약액(50)이 과잉 도포되면, 영상이 표시되는 표시 영역에서 포토레지스트가 균일하게 분포하지 못하고 이로 인해 얼룩이나 빛샘 불량 등이 발생할 수 있다.
도 2는 본 발명의 실시예들에 따른 슬릿 노즐을 나타내는 사시도이고, 도 3은 도 2의 슬릿 노즐을 나타내는 분해 사시도이다.
도 2 및 도 3을 참조하면, 슬릿 노즐(100)은 제 1 분할 노즐(110), 심(shim) (130) 및 제 2 분할 노즐(120)을 포함할 수 있다.
제 1 분할 노즐(110)과 제 2 분할 노즐(120)은 심(130)을 사이에 두고 마주하는 상태로 배치될 수 있다. 심(130)의 하부에 형성된 직사각형의 개구부를 통해서 약액이 토출되는 토출구(140)가 형성될 수 있다. 이 때, 심(130)의 두께에 따라 토출구(140)의 폭(d1)이 결정되고, 심(130)에 형성되는 개구부의 길이에 따라 토출구(140)의 길이(d2)가 결정될 수 있다. 토출구(140)의 폭(d1)과 길이(d2)에 따라 기판 상에 약액이 도포되는 양과 형태가 변경될 수 있으므로, 약액의 종류 및 기판의 크기에 따라 심(130)을 변경하여 사용할 수 있다.
제 1 분할 노즐(110) 및 제 2 분할 노즐(120)에는 각각 약액이 주입되는 주입구(116, 126) 및 주입된 약액을 저장하기 위한 저장부(114, 124)가 형성될 수 있다. 주입구(116, 126)는 제 1 분할 노즐(110) 및 제 2 분할 노즐(120)의 한 쪽 면에 형성되어 공급부로부터 약액을 전달받게 된다. 저장부(114, 124)는 토출구(140)를 통하여 약액이 균일하게 토출될 수 있도록 일정량의 약액을 일시 저장할 수 있다. 저장부(114, 124)는 제 1 분할 노즐(110) 및 제 2 분할 노즐(120)의 중앙부에 넓게 구성될 수 있고, 압출 장치와 연결되어 약액의 도포를 원활히 할 수 있다.
도 4는 도 2의 슬릿 노즐을 나타내는 단면도이고, 도 5는 도 2의 슬릿 노즐에서 약액이 도포되는 일 예를 나타내는 도면이다.
도 4 및 도 5를 참조하면, 약액(50)의 표면 장력에 의해 약액(50)이 슬릿 노즐(100)에 점착되는 것을 방지하기 위하여 제 1 분할 노즐(110) 및 제 2 분할 노즐(120) 중 적어도 하나에 경사부(112, 122)를 형성할 수 있다. 경사부(112, 122)는 수평면과 0도 초과 및 10도 이하의 각도를 이룰 수 있다. 예를 들어, 도 4에 도시된 바와 같이, 제 1 분할 노즐(110)은 수평면과 θ1의 각도를 이루는 제 1 경사부(112)를 구비할 수 있고, 제 2 분할 노즐(120)은 수평면과 θ2의 각도를 이루는 제 2 경사부(122)를 구비할 수 있다. 이 때, 제 1 경사부(112)가 수평면과 이루는 각도, 즉, θ1은 0도 초과 및 10도 이하일 수 있고, 제 2 경사부(122)가 수평면과 이루는 각도, 즉, θ2는 0도 초과 및 45도 이하일 수 있다.
도 5에 도시된 바와 같이, 슬릿 노즐(100)을 통해 약액(50)이 제 1 방향에서 제 2 방향으로 도포될 때, 제 1 경사부(112), 즉, 0도 초과 및 10도 이하의 각도를 갖는 제 1 분할 노즐(110)은 제 1 방향에 배치될 수 있다. 슬릿 노즐(100)의 중심으로부터 슬릿 노즐(100)이 진행하는 반대 방향에 0도 초과 및 10도 이하의 각도를 갖는 제 1 분할 노즐(110)을 배치함으로써, 슬릿 노즐(100)에 점착되는 약액(50)의 높이를 낮출 수 있다.
슬릿 노즐(100)을 통해 약액(50)이 제 1 방향에서 제 2 방향으로 도포될 때, 제 2 경사부(122)를 갖는 제 2 분할 노즐(120)은 제 2 방향에 배치될 수 있다. 제 2 경사부(122)는 0도 초과 및 45도 이하로 형성될 수 있으나, 이에 제한되지 않고 다양한 구성을 가질 수 있다. 제 2 분할 노즐(120)은 슬릿 노즐(100)의 중심으로부터 슬릿 노즐(100)이 진행하는 방향에 배치되기 때문에 제 2 분할 노즐(120)에 약액(50)이 점착되는 양이 매우 적을 수 있다.
도 6은 도 1의 슬릿 노즐을 구비하는 약액 도포 장치를 나타내는 사시도이고, 도 7은 도 6의 약액 도포 장치를 이용하여 약액이 도포되는 일 예를 나타내는 도면이다.
도 6 및 도 7을 참조하면, 약액 도포 장치(1000)는 스테이지(60), 슬릿 노즐(100) 및 이동 장치(70)를 포함할 수 있다.
스테이지(60)는 약액(50)이 도포될 기판(S)을 지지할 수 있다. 기판(S)은 글래스 기판, 플라스틱 기판 및 디스플레이 패널 중 한 종류일 수 있다. 스테이지(60)의 상부에는 기판(S)이 안착되며, 기판(S)을 스테이지(60)로부터 들어올리기 위한 핀이 스테이지(60) 표면에 다수 개 설치될 수 있다. 스테이지(60)의 상면에는 다수의 진공 흡착구가 형성되어 약액(50)이 도포되는 동안 기판(S)을 흡착함으로써, 기판(S)이 수평 상태를 유지하도록 할 수 있다. 스테이지(60)는 기판(S)의 모양과 크기에 따라 다양한 형태로 제작될 수 있다.
슬릿 노즐(100)은 토출구(140)를 구비하여 기판(S) 상에 약액(50)을 도포할 수 있다. 슬릿 노즐(100)은 제 1 분할 노즐(110), 심(130) 및 제 2 분할 노즐(120)을 포함할 수 있으며, 약액(50)의 표면 장력에 의해 슬릿 노즐(100)에 약액(50)이 점착되는 것을 방지하기 위한 점착 방지부(132)를 포함할 수 있다. 점착 방지부(132)는 제 1 분할 노즐(110) 및 제 2 분할 노즐(120) 중 적어도 하나에 형성되고, 수평면과 0도 초과 및 10도 이하의 각도를 가지는 경사부일 수 있다. 예를 들어, 도 7에 도시된 바와 같이, 제 1 분할 노즐(110) 및 제 2 분할 노즐(120)은 각각 제 1 경사부(112) 및 제 2 경사부(122)를 형성할 수 있다. 제 1 경사부(112)는 수평면과 0도 초과 및 10도 이하의 각도로 형성되고, 제 2 경사부(122)는 수평면과 0도 초과 및 45도 이하의 각도로 형성될 수 있다. 슬릿 노즐(100)을 통해 토출되는 약액(50)이 제 1 방향에서 제 2 방향으로 도포될 때, 제 1 경사부(112)를 갖는 제 1 분할 노즐(110)은 제 1 방향, 즉, 슬릿 노즐(100)의 중심으로부터 슬릿 노즐(100)이 진행하는 반대 방향에 배치될 수 있다. 제 1 방향에 위치하는 제 1 분할 노즐(110)의 제 1 경사부(112)는 0도 초과 10도 이하로 형성되고, 제 1 분할 노즐(110)에 점착되는 약액(50)의 높이를 낮추어 약액(50)을 평평하게 도포할 수 있다. 제 2 경사부(122)를 갖는 제 2 분할 노즐(120)은 제 2 방향, 즉, 슬릿 노즐(100)의 중심으로부터 슬릿 노즐(100)이 진행하는 방향에 배치될 수 있다. 제 2 방향에 위치하는 제 2 분할 노즐(120)의 제 2 경사부(122)는 0도 초과 45도 이하의 각도로 형성되고, 약액(50)과 제 2 분할 노즐(120)이 접촉하는 면적을 최소화하여 약액(50)이 직사각형 모양으로 도포되도록 할 수 있다. 제 2 경사부(122)의 각도는 이에 제한되지 않는다.
제 1 분할 노즐(110) 및 제 2 분할 노즐(120)은 약액(50)이 주입되는 주입구(116, 126) 및 약액(50)을 저장하는 저장부(114, 124)를 포함할 수 있다. 제 1 분할 노즐(110) 및 제 2 분할 노즐(120)에 구비되는 주입구(116, 126)는 약액 도포 장치(1000)의 공급부(80)와 연결될 수 있다. 공급부(80)에는 슬릿 노즐(100)에 약액(50)을 원활히 공급하기 위한 압출 장치를 구비하거나, 약액(50)이 토출되는 양과 속도를 조절하기 위한 제어 장치를 구비할 수 있다. 도 6에 도시된 약액 도포 장치(1000)는 공급부(80)를 하나만 포함하고 있으나, 공급부(80)는 제 1 분할 노즐의 주입구(116) 및 제 2 분할 노즐의 주입구(126)에 각각 하나씩 연결될 수 있다. 저장부(114, 124)는 주입구(116, 126)를 통하여 슬릿 노즐(100)로 공급되는 일정량의 약액(50)을 일시 저장하여 약액(50)이 지속적으로 토출될 수 있게 한다. 저장부(114, 124)에는 약액(50)의 토출을 원활히 하기 위한 압출 장치가 구비될 수 있다.
이동 장치(70)는 기판(S) 상에 위치하는 슬릿 노즐(100)을 일정 방향으로 이동시킬 수 있다. 이동 장치(70)는 일정한 양과 속도로 약액(50)을 토출하는 슬릿 노즐(100)을 이동시켜 균일한 두께의 약액(50)층을 형성할 수 있다. 이동 장치(70)는 모터와 이동 레일, 가이드 레일과 같은 이동 수단으로 구성될 수 있다.
상술한 바와 같이, 약액 도포 장치(1000)는 슬릿 노즐(100)을 구성하는 제 1 분할 노즐(110) 및 제 2 분할 노즐(120) 중 적어도 하나는 점착 방지부(132)를 구비할 수 있다. 점착 방지부(132)는 수평면과 0도 초과 10도 미만의 각도를 이루는 경사부(112)일 수 있고, 경사부(112)를 포함하는 분할 노즐을 슬릿 노즐(100)의 중심으로부터 슬릿 노즐(100)이 진행하는 방향의 반대편에 배치될 수 있다. 이 때, 분할 노즐(110)에 형성된 경사부(112)에 의해 슬릿 노즐(100)에 점착되는 약액(50)의 높이가 낮아져서 약액(50)을 평평하게 도포할 수 있다.
도 8은 본 발명의 실시예들에 따른 슬릿 노즐을 나타내는 사시도이고, 도 9는 도 8의 슬릿 노즐을 나타내는 분해 사시도이다.
도 8 및 도 9를 참조하면, 슬릿 노즐(200)은 제 1 분할 노즐(210), 심(230) 및 제 2 분할 노즐(220)을 포함할 수 있다.
제 1 분할 노즐(210)과 제 2 분할 노즐(220)은 심(230)을 사이에 두고 마주하는 상태로 배치될 수 있다. 심(230)의 하부에 형성된 직사각형의 개구부를 통해서 약액이 토출되는 토출구(240)가 형성될 수 있다. 이 때, 심(230)의 두께에 따라 토출구(240)의 폭(d1)이 결정되고, 심(230)에 형성되는 개구부의 길이에 따라 토출구(240)의 길이(d2)가 결정될 수 있다. 토출구(240)의 폭(d1)과 길이(d2)에 따라 기판 상에 약액이 도포되는 양과 형태가 변경될 수 있으므로, 약액의 종류 및 기판의 크기에 따라 심(230)을 변경하여 사용할 수 있다.
제 1 분할 노즐(210) 및 제 2 분할 노즐(220)에는 각각 약액이 주입되는 주입구(216, 226) 및 주입된 약액을 저장하기 위한 저장부(214, 224)가 형성될 수 있다. 주입구(216, 226)는 제 1 분할 노즐(210) 또는 제 2 분할 노즐(220)의 상부에 형성되어 공급부로부터 약액을 전달받게 된다. 저장부(214, 224)는 토출구(240)를 통하여 약액이 균일하게 토출될 수 있도록 일정량의 약액을 일시 저장할 수 있다. 저장부(214, 224)는 제 1 분할 노즐(210) 및 제 2 분할 노즐(220)의 중앙부에 넓게 구성될 수 있고, 압출 장치와 연결되어 약액의 도포를 원활히 할 수 있다.
도 10은 도 8의 슬릿 노즐을 나타내는 단면도이고, 도 11은 도 8의 슬릿 노즐에서 약액이 도포되는 일 예를 나타내는 도면이다.
도 10 및 도 11을 참조하면, 약액(50)의 표면 장력에 의해 약액(50)이 슬릿 노즐(200)에 점착되는 것을 방지하기 위하여 제 1 분할 노즐(210) 및 제 2 분할 노즐(220) 중 적어도 하나에 요철부(212)를 형성할 수 있다. 요철부(212)는 톱니 모양으로 형성될 수 있다. 예를 들어, 도 10에 도시된 바와 같이, 제 1 분할 노즐(210)은 약액(50) 과 맞닿는 면에 요철부(212)를 구비할 수 있고, 제 2 분할 노즐(220)은 수평면과 θ2의 각도를 이루는 제 2 경사부(222)를 구비할 수 있다.
도 11에 도시된 바와 같이, 슬릿 노즐(200)을 통해 약액(50)이 제 1 방향에서 제 2 방향으로 도포될 때, 요철부(212)를 갖는 제 1 분할 노즐(210)은 제 1 방향에 배치될 수 있다. 슬릿 노즐(200)의 중심으로부터 슬릿 노즐(200)이 진행하는 반대 방향에 톱니 모양의 요철부를 갖는 제 1 분할 노즐(210)을 배치함으로써, 슬릿 노즐(200)에 점착되는 약액(50)의 높이를 낮추고, 약액(50)이 제 1 분할 노즐(210)로부터 쉽게 분리될 수 있도록 할 수 있다.
슬릿 노즐(200)을 통해 약액(50)이 제 1 방향에서 제 2 방향으로 도포될 때, 제 2 경사부(222)를 갖는 제 2 분할 노즐(220)은 제 2 방향에 배치될 수 있다. 제 2 경사부(222)는 0도 초과 및 45도 이하로 형성될 수 있으나, 이에 제한되지 않고 다양한 구성을 가질 수 있다. 제 2 분할 노즐(220)은 슬릿 노즐(200)의 중심으로부터 슬릿 노즐(200)이 진행하는 방향에 배치되기 때문에 제 2 분할 노즐(220)에 약액(50)이 점착되는 양이 매우 적을 수 있다.
도 12는 도 8의 슬릿 노즐을 구비하는 약액 도포 장치를 나타내는 사시도이고, 도 13은 도 8의 약액 도포 장치를 이용하여 약액이 도포되는 일 예를 나타내는 도면이다.
도 12 및 도 13을 참조하면, 약액 도포 장치(1000)는 스테이지(60), 슬릿 노즐(200) 및 이동 장치(70)를 포함할 수 있다.
스테이지(60)는 약액(50)이 도포될 기판(S)을 지지할 수 있다. 기판(S)은 글래스 기판, 플라스틱 기판 및 디스플레이 패널 중 한 종류일 수 있다. 스테이지(60)의 상부에는 기판(S)이 안착되며, 기판(S)을 스테이지(60)로부터 들어올리기 위한 핀이 스테이지(60) 표면에 다수 개 설치될 수 있다. 스테이지(60)의 상면에는 다수의 진공 흡착구가 형성되어 약액(50)이 도포되는 동안 기판(S)을 흡착함으로써, 기판(S)이 수평 상태를 유지하도록 할 수 있다. 스테이지(60)는 기판(S)의 모양과 크기에 따라 다양한 형태로 제작될 수 있다.
슬릿 노즐(200)은 토출구(240)를 구비하여 기판(S) 상에 약액(50)을 도포할 수 있다. 슬릿 노즐(200)은 제 1 분할 노즐(210), 심(230) 및 제 2 분할 노즐(220)을 포함할 수 있으며, 약액(50)의 표면 장력에 의해 슬릿 노즐(200)에 약액(50)이 점착되는 것을 방지하기 위한 점착 방지부(232)를 포함할 수 있다. 점착 방지부(232)는 제 1 분할 노즐(210) 및 제 2 분할 노즐(220) 중 적어도 하나에 형성되고, 톱니 모양의 요철부일 수 있다. 예를 들어, 도 13에 도시된 바와 같이, 제 1 분할 노즐(210)은 요철부(212)를 구비할 수 있고, 제 2 분할 노즐(220)은 제 2 경사부(222)를 구비할 수 있다. 제 1 분할 노즐(210)의 요철부(212)는 일정한 기울기를 갖는 톱니 모양으로 형성될 수 있고, 제 2 분할 노즐(220)의 제 2 경사부(222)는 수평면과 0도 초과 및 45도 이하의 각도로 형성될 수 있다. 슬릿 노즐(200)을 통해 토출되는 약액(50)이 제 1 방향에서 제 2 방향으로 도포될 때, 요철부(212)를 갖는 제 1 분할 노즐(210)은 제 1 방향, 즉, 슬릿 노즐(200)의 중심으로부터 슬릿 노즐(200)이 진행하는 반대 방향에 배치될 수 있다. 제 1 방향에 위치하는 제 1 분할 노즐은 요철부(212)를 구비하여, 제 1 분할 노즐(210)에 점착되는 약액(50)의 높이를 낮추고, 약액(50)이 제 1 분할 노즐(210)로부터 쉽게 분리될 수 있도록 하여 약액(50)을 평평하게 도포할 수 있다. 제 2 경사부(222)를 갖는 제 2 분할 노즐(220)은 제 2 방향, 즉, 슬릿 노즐(200)의 중심으로부터 슬릿 노즐(200)이 진행하는 방향에 배치될 수 있다. 제 2 방향에 위치하는 제 2 분할 노즐(220)의 제 2 경사부(222)는 0도 초과 45도 이하의 각도로 형성되고, 약액(50)과 제 2 분할 노즐(220)이 접촉하는 면적을 최소화하여 약액(50)이 직사각형 모양으로 도포되도록 할 수 있다. 제 2 경사부(122)의 각도는 이에 제한되지 않는다.
제 1 분할 노즐(210) 및 제 2 분할 노즐(220)은 약액(50)이 주입되는 주입구(216, 226) 및 약액(50)을 저장하는 저장부(214, 224)를 포함할 수 있다. 제 1 분할 노즐(210) 및 제 2 분할 노즐(220)에 포함되는 주입구(216, 226)는 약액 도포 장치(2000)의 공급부(80)와 연결될 수 있다. 공급부(80)에는 슬릿 노즐(200)에 약액(50)을 원활히 공급하기 위한 압출 장치를 구비하거나, 약액(50)이 토출되는 양과 속도를 조절하기 위한 제어 장치를 구비할 수 있다. 도 12에 도시된 약액 도포 장치(2000)는 공급부(80)를 하나만 포함하고 있으나, 공급부(80)는 제 1 분할 노즐의 주입구(216) 및 제 2 분할 노즐의 주입구(226)에 각각 하나씩 연결될 수 있다. 저장부(214, 224)는 주입구(216, 226)를 통하여 슬릿 노즐(200)로 공급되는 일정량의 약액(50)을 일시 저장하여 약액(50)이 지속적으로 토출될 수 있게 한다. 저장부(214, 224)에는 약액(50)의 토출을 원활히 하기 위한 압출 장치가 구비될 수 있다.
이동 장치(70)는 기판(S) 상에 위치하는 슬릿 노즐(200)을 일정 방향으로 이동시킬 수 있다. 이동 장치(70)는 일정한 양과 속도로 약액(50)을 토출하는 슬릿 노즐(200)을 이동시켜 균일한 두께의 약액(50)층을 형성할 수 있다. 이동 장치(70)는 모터와 이동 레일, 가이드 레일과 같은 이동 수단으로 구성될 수 있다.
상술한 바와 같이, 약액 도포 장치(100)는 슬릿 노즐(200)을 구성하는 제 1 분할 노즐(210) 및 제 2 분할 노즐(220) 중 적어도 하나는 점착 방지부(232)를 구비할 수 있다. 점착 방지부(232)는 톱니 모양을 갖는 요철부(212)일 수 있고, 요철부(212)를 포함하는 분할 노즐을 슬릿 노즐(200)의 중심으로부터 슬릿 노즐(200)이 진행하는 방향의 반대편에 배치될 수 있다. 이 때, 분할 노즐에 형성된 요철부(212)에 의해 슬릿 노즐(200)에 점착되는 약액(50)의 높이가 낮아지고, 약액(50)이 슬릿 노즐(200)로부터 쉽게 분리되어 약액(50)을 평평하게 도포할 수 있다.
본 발명은 플렉서블 디스플레이 패널을 구비하는 모든 시스템에 적용될 수 있다. 예를 들어, 본 발명은 텔레비전, 컴퓨터 모니터, 노트북, 디지털 카메라, 휴대폰, 스마트폰, 피디에이(PDA), 피엠피(PMP), MP3 플레이어, 네비게이션, 비디오폰 등에 적용될 수 있다.
이상에서는 본 발명의 예시적인 실시예들을 참조하여 설명하였지만, 해당 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 하기의 특허 청구의 범위에 기재된 본 발명의 사상 및 영역으로부터 벗어나지 않는 범위 내에서 본 발명을 다양하게 수정 및 변경시킬 수 있음을 이해할 수 있을 것이다.
100, 200: 슬릿 노즐 1000: 약액 도포 장치
50: 약액 60: 스테이지
70: 이동 장치 80: 공급부
110, 210: 제 1 분할 노즐 112: 제 1 경사부
212: 요철부 120, 220: 제 2 분할 노즐
122, 222: 제 2 경사부 124, 224: 저장부
126, 226: 주입구 130: 심
132, 232: 점착 방지부 140: 토출구
50: 약액 60: 스테이지
70: 이동 장치 80: 공급부
110, 210: 제 1 분할 노즐 112: 제 1 경사부
212: 요철부 120, 220: 제 2 분할 노즐
122, 222: 제 2 경사부 124, 224: 저장부
126, 226: 주입구 130: 심
132, 232: 점착 방지부 140: 토출구
Claims (17)
- 기판에 약액을 도포하는 약액 도포 장치의 슬릿 노즐에 있어서,
제1 주입구 및 제1 저장부를 포함하는 제 1 분할 노즐;
상기 약액이 토출되는 토출구를 가지는 심(shim); 및
상기 심을 사이에 두고 상기 제 1 분할 노즐과 마주하는 상태로 배치되고, 제2 주입구 및 제2 저장부를 포함하는 제 2 분할 노즐을 포함하고,
상기 제1 분할 노즐 및 상기 제2 분할 노즐 중 적어도 하나는 상기 기판에 상기 약액이 도포될 때 상기 도포된 약액이 상기 슬릿 노즐에 점착되는 것을 방지하는 경사부를 포함하고,
상기 제1 분할 노즐은 상기 경사부를 포함하며,
상기 제2 분할 노즐은 상기 기판에 상기 약액이 도포될 때 상기 도포된 약액이 상기 슬릿 노즐에 점착되는 것을 방지하는 요철부를 포함하고,
상기 제1 분할 노즐 및 상기 제2 분할 노즐은 상기 토출구와 접촉하며,
상기 경사부는 상기 토출구부터 상승하고,
상기 요철부는 상기 토출구와 인접한 평탄면에 의해 상기 토출구로부터 수평 방향으로 이격되는 것을 특징으로 하는 슬릿 노즐. - 제 1 항에 있어서, 상기 경사부는 수평면과 0도 초과 및 10도 이하의 각도를 이루는 것을 특징으로 하는 슬릿 노즐.
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- 기판에 약액을 도포하는 약액 도포 장치의 슬릿 노즐에 있어서,
제1 주입구 및 제1 저장부를 포함하는 제 1 분할 노즐;
상기 약액이 토출되는 토출구를 가지는 심(shim); 및
상기 심을 사이에 두고 상기 제 1 분할 노즐과 마주하는 상태로 배치되고, 제2 주입구 및 제2 저장부를 포함하는 제 2 분할 노즐을 포함하고,
상기 제1 분할 노즐 및 상기 제2 분할 노즐 중 적어도 하나는 상기 기판에 상기 약액이 도포될 때 상기 도포된 약액이 상기 슬릿 노즐에 점착되는 것을 방지하는 요철부를 포함하고,
상기 제1 분할 노즐 및 상기 제2 분할 노즐은 상기 토출구와 접촉하고,
상기 요철부는 상기 토출구와 인접한 평탄면에 의해 상기 토출구로부터 수평 방향으로 이격되는 것을 특징으로 하는 슬릿 노즐. - 제 6 항에 있어서, 상기 요철부는 톱니 모양으로 형성되는 것을 특징으로 하는 슬릿 노즐.
- 삭제
- 삭제
- 기판을 지지하는 스테이지;
상기 기판에 대향하여 위치하고, 제1 주입구 및 제1 저장부를 포함하는 제 1 분할 노즐, 약액이 토출되는 토출구를 가지는 심(shim), 및 상기 심을 사이에 두고 상기 제 1 분할 노즐과 마주하는 상태로 배치되고, 제2 주입구 및 제2 저장부를 포함하는 제 2 분할 노즐을 포함하는 슬릿 노즐; 및
상기 슬릿 노즐을 이동시키는 이동 장치를 포함하고,
상기 제1 분할 노즐 및 상기 제2 분할 노즐 중 적어도 하나는 상기 기판에 상기 약액이 도포될 때 상기 도포된 약액이 상기 슬릿 노즐에 점착되는 것을 방지하는 경사부를 포함하고,
상기 제1 분할 노즐 및 상기 제2 분할 노즐은 상기 토출구와 접촉하며,
상기 제1 분할 노즐은 상기 경사부를 포함하고,
상기 제2 분할 노즐은 요철부를 포함하며,
상기 경사부는 상기 토출구부터 상승하고,
상기 요철부는 상기 토출구와 인접한 평탄면에 의해 상기 토출구로부터 수평 방향으로 이격되는 것을 특징으로 하는 약액 도포 장치. - 제 10 항에 있어서, 상기 슬릿 노즐은 상기 슬릿 노즐의 중심으로부터 상기 경사부가 형성된 방향의 반대 방향으로 이동하면서 약액을 도포하는 것을 특징으로 하는 약액 도포 장치.
- 제 10 항에 있어서, 상기 경사부는 수평면과 소정의 각도를 이루는 것을 특징으로 하는 약액 도포 장치.
- 제 12 항에 있어서, 상기 소정의 각도는 0도 초과 및 10도 이하인 것을 특징으로 하는 약액 도포 장치.
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