KR101654209B1

KR101654209B1 - 기판 코터 장치

Info

Publication number: KR101654209B1
Application number: KR1020150095925A
Authority: KR
Inventors: 김효규; 신용욱; 장재혁
Original assignee: 주식회사 톱텍
Priority date: 2015-07-06
Filing date: 2015-07-06
Publication date: 2016-09-12

Abstract

본 발명은 단일의 슬릿노즐을 이용하여 선택에 따라 토출구를 단일 또는 듀얼로 선택할 수 있도록 함으로써 다양한 패널의 도포영역에 도포공정이 이루어지도록 하는 기판 코터 장치에 관한 것으로, 베이스와; 상기 베이스 배치되며, 다양한 크기의 패널이 안착되는 소정의 넓이를 갖는 스테이지; 승강모터가 구비된 상태로 상기 스테이지의 양측에 각각 배치되어 상기 스테이지의 X축방향으로 이동하는 한 쌍의 승강이동대; 승강모터에 의해 상기 한 쌍의 승강이동대 사이에 승강 가능하게 설치되며, 상기 스테이지에 안착되는 다양한 크기의 패널에 대응하여 수지를 토출하는 노즐유닛; 상기 베이스의 일측에 배치되어 상기 노즐유닛을 통해 토출되는 수지의 양과 속도를 제어하는 펌핑부; 및 상기 한 쌍의 승강이동대의 일면에 가로질러 결합되며, 상기 스테이지에 안착되는 패널의 종류를 인식하는 비젼카메라와 상기 패널에 도포된 수지의 도포두께를 센싱하는 측정센서가 Y축방향으로 이동 가능하게 설치된 Y축이송대;를 포함하여 구성된다.

Description

기판 코터 장치{COATER APPARATUS}

본 발명은 기판 코터 장치에 관한 것으로, 더욱 상세하게는 단일의 슬릿노즐을 이용하여 선택에 따라 토출구를 단일 또는 듀얼로 선택할 수 있도록 함으로써 다양한 패널의 도포영역에 도포공정이 이루어지도록 하는 기판 코터 장치에 관한 것이다.

일반적으로, 액정디스플레이(liquid crystal display, LCD), 유기발광다이오드(organic light emitting diode, OLED)와 같은 평판디스플레이(FPD)는 LCD 소자, OLED 소자 등의 표시소자가 포함된 표시패널에 강화유리나 아크릴판과 같은 커버패널을 합착하는 방식으로 제조되고, 합착된 표시패널과 커버패널 사이에는 광시야각 확보를 위한 광학탄성수지(super view resin, SVR)가 개재된다.

종래에는 표시패널과 커버패널 사이에 공기층을 두었으나, 근래에는 광학탄성수지로 대체되고 있는 추세에 있다. 광학탄성수지가 적용되면, 굴절률 조절기능으로 빛의 산란현상을 줄여 한층 향상된 휘도 및 콘트라스트를 보장할 수 있고, 외부로부터의 충격을 탄성작용으로 완화시킬 수 있다.

이러한 광학탄성수지는 표시패널과 커버패널의 합착공정에 앞서 수행되는 도포공정에 의하여 표시패널 또는 커버패널에 도포된다. 그리고, 광학탄성수지 도포공정에는 슬릿노즐(slit nozzle)을 갖는 도포장치가 이용된다.

슬릿노즐은 패널의 도포영역의 폭에 대응되는 길이를 가지면서 패널과의 사이에 간극을 유지한 상태로 패널의 길이방향 일단(시작단)에서 타단(종료단)으로 이동하면서 공급되는 광학탄성수지를 토출하여 패널의 도포영역에 도포층을 형성한다.

한편, 슬릿노즐 및 도포장치에 관련된 기술은 국내공개특허 제10-2015-0031820호, 국내등록실용 제20-0456619호 및 국내공개특허 제10-2015-0019308호 등에 다양하게 제안되어 있다.

그러나 상기의 기술들에 적용된 슬릿노즐은 수지의 직접 분사 방식을 통해 패널의 도포영역에 도포층을 형성하는 것으로, 수지가 토출되는 토출구의 길이는 반드시 한정될 수밖에 없다. 이는, 토출구의 길이가 도포 대상이 되는 패널의 도포영역과 반드시 일치하는 길이를 유지하고 있어야하기 때문이다.

이에 따라 다양한 크기의 패널의 도포영역에 대응하는 토출구를 갖는 여러 개의 슬릿노즐이 준비되야 하는 문제가 있다.

국내공개특허 제10-2015-0031820호 국내등록실용 제20-0456619호 국내공개특허 제10-2015-0019308호

본 발명은 상기와 같은 문제점 및 기술적 편견을 해소하기 위해 안출된 것으로, 단일의 슬릿노즐을 이용하여 선택에 따라 토출구를 단일 또는 듀얼로 선택할 수 있도록 함으로써 다양한 패널의 도포영역에 도포공정이 이루어지도록 하는 기판 코터 장치를 제공하는 데 그 목적이 있다.

상기의 목적을 달성하기 위한 본 발명의 기판 코터 장치는, 베이스와; 상기 베이스 배치되며, 다양한 크기의 패널이 안착되는 소정의 넓이를 갖는 스테이지; 승강모터가 구비된 상태로 상기 스테이지의 양측에 각각 배치되어 상기 스테이지의 X축방향으로 이동하는 한 쌍의 승강이동대; 승강모터에 의해 상기 한 쌍의 승강이동대 사이에 승강 가능하게 설치되며, 상기 스테이지에 안착되는 다양한 크기의 패널에 대응하여 수지를 토출하는 노즐유닛; 상기 베이스의 일측에 배치되어 상기 노즐유닛을 통해 토출되는 수지의 양과 속도를 제어하는 펌핑부; 및 상기 한 쌍의 승강이동대의 일면에 가로질러 결합되며, 상기 스테이지에 안착되는 패널의 종류를 인식하는 비젼카메라와 상기 패널에 도포된 수지의 도포두께를 센싱하는 측정센서가 Y축방향으로 이동 가능하게 설치된 Y축이송대;를 포함하여 구성된다.

이때, 상기 노즐유닛은, 상기 한 쌍의 승강이동대 사이에 배치되어 상기 스테이지에 안착된 상기 패널에 수지를 토출하는 소정의 길이를 갖는 슬릿노즐; 상기 양측이 상기 승강이동대의 상기 승강모터와 연결된 상태로 상기 슬릿노즐의 상측에 안착되어 상기 슬릿노즐의 직진도를 보강하는 'H'형상의 휨방지프레임; 상기 슬릿노즐과 상기 휨방지프레임 사이에 개재되어 상기 휨방지프레임의 자중을 분산시켜 상기 슬릿노즐과 상기 휨방지프레임의 직진도를 유지시키는 복수개의 보강블럭; 및 상기 슬릿노즐과 상기 휨방지프레임을 상호결합시키며, 상기 슬릿노즐을 통해 수지가 듀얼(Duel)로 토출될 때 상기 슬릿노즐의 길이방향 중심부를 가압하여 수지가 고른 분포로 토출되도록 하는 한 쌍의 가압부재;로 구성된 것이 바람직하다.

또한, 상기 슬릿노즐은, 소정의 길이를 갖는 대응하는 형상으로 서로 마주하게 결합되며, 어느 하나의 내측에는 수지공급관을 통해 공급되는 수지가 확산되도록 길이방향을 따라 캐비티가 형성된 한 쌍의 노즐몸체; 및 판 상으로 상기 한 쌍의 노즐몸체 사이에 개재되며, 상기 노즐몸체로 공급된 수지가 분사되도록 안내하는 심(shim);으로 구성된 것이 바람직하다.

더하여, 상기 심은, 내측에 상기 캐비티와 연통하는 소정의 길이를 갖는 수지유로와, 상기 수지유로의 길이방향 중심을 양분하는 분리막과, 분리된 상기 수지유로의 하측으로 유입된 수지가 토출되는 토출구와, 상기 토출구의 하단으로부터 연장되어 상기 토출구의 토출 길이를 설정하는 폐쇄막으로 구성된 것이 바람직하다.

또한, 상기 심은, 내측에 상기 캐비티와 연통하는 소정의 길이를 갖는 수지유로와, 상기 수지유로의 하측으로 유입된 수지가 토출되는 토출구로 구성된 것이 바람직하다.

그리고, 상기 슬릿노즐의 일측에는 내부를 유동하는 가열유체에 의해 가열되며, 가열된 열을 상기 슬릿노즐로 전도하여 상기 슬릿노즐의 온도를 설정온도까지 승온시킴으로써 공급되는 수지가 최적의 온도상태에서 토출될 수 있도록 하는 전도플레이트가 구비된 것이 바람직하다.

이때, 상기 한 쌍의 가압부재는, 상기 슬릿노즐과 상기 휨방지프레임에 마주하게 배치되어 상기 슬릿노즐과 상기 휨방지프레임을 각각 관통하는 소정길이를 갖는 볼트와 상기 볼트에 체결되는 너트에 의해 결합되는 것이 바람직하다.

더하여, 상기 한 쌍의 가압부재와 접촉하는 상기 각 노즐몸체의 일면에는 상기 가압부재가 결합될 때 상기 노즐몸체에 탄성적으로 가압되도록 가압패드가 더 구비된 것이 바람직하다.

또한, 상기 베이스에는 상기 슬릿노즐을 통해 수지의 토출이 완료된 후 상기 슬릿노즐의 토출구에 잔류하는 수지를 제거하는 노즐클리어유닛이 배치된 것이 바람직하다.

마지막으로, 상기 스테이지의 하부에는 상기 스테이지 상면으로 출몰하면서 도포가 완료된 상기 패널을 상기 스테이지 상면으로부터 이격시키는 복수개의 리프트핀이 더 구비된 것이 바람직하다.

상기와 같은 구성을 가진 본 발명의 기판 코터 장치에 의하면, 단일의 슬릿노즐에 교체되는 심의 선택에 따라 토출구를 단일 또는 듀얼로 변경할 수 있도록 함으로써, 하나의 대면적 패널의 도포공정 또는 2개의 소면적 패널의 도포공정이 이루어질 수 있도록 하여 각 패널의 크기에 대응하도록 준비되어야 하는 슬릿노즐의 개수를 줄일 수 있기 때문에 이에 따른 제조원가가 절감되는 탁월한 효과가 있다.

또한, 대면적 패널의 도포공정을 위해 길어지는 슬릿노즐의 직진도가 유지됨에 따라 토출되는 수지의 균일한 도포에 의해 결국 제품의 신뢰도를 향상시키는 큰 효과가 있다.

도 1은 본 발명에 따른 기판 코터 장치를 나타낸 사시도이고,
도 2는 도 1의 평면도이며,
도 3은 본 발명에 따른 기판 코터 장치의 구성 중 노즐유닛을 나타낸 사시도이고,
도 4는 도 3의 노즐유닛의 구성을 분해한 분해사시도이며,
도 5는 도 3의 노즐유닛의 구성 중 슬릿노즐을 분해한 분해사시도이고,
도 6은 도 3의 결합된 상태를 나타낸 요부단면도이며,
도 7은 도 6의 상태에서 가압패드가 구비된 상태를 나타낸 요부단면도이고,
도 8은 슬릿노즐의 구성 중 심(shim)을 나타낸 정면도이며,
도 9는 슬릿노즐의 구성 중 심(shim)의 다른 형상을 나타낸 정면도이다.

이하, 본 발명의 바람직한 실시 예들을 첨부된 도면을 참고하여 더욱 상세히 설명한다. 본 발명의 실시 예들은 여러 가지 형태로 변형될 수 있으며, 본 발명의 범위가 아래에서 설명하는 실시 예들에 한정되는 것으로 해석되어서는 안 된다. 본 실시 예들은 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자에게 본 발명을 더욱 상세하게 설명하기 위해서 제공되는 것이다. 따라서 도면에 나타난 각 요소의 형상은 보다 분명한 설명을 강조하기 위하여 과장될 수 있다.

제1, 제2 등의 용어는 다양한 구성요소들을 설명하는데 사용될 수 있지만, 구성요소들은 용어들에 의해 한정되어서는 안 된다. 용어들은 하나의 구성요소를 다른 구성요소로부터 구별하는 목적으로만 사용된다.

본 출원에서 사용한 용어는 단지 특정한 실시 예를 설명하기 위해 사용된 것으로, 본 발명을 한정하려는 의도가 아니다. 단수의 표현은 문맥상 명백하게 다르게 뜻하지 않는 한, 복수의 표현을 포함한다. 본 출원에서, "포함하다" 또는 "가지다" 등의 용어는 명세서상에 기재된 특징, 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것이 존재함을 지정하려는 것이지, 하나 또는 그 이상의 다른 특징들이나 숫자, 단계, 동작, 구성요소, 부품 또는 이들을 조합한 것들의 존재 또는 부가 가능성을 미리 배제하지 않는 것으로 이해되어야 한다.

도 1 내지 도 9에 나타낸 바와 같이 본 발명의 기판 코터 장치(10)는, 베이스(100)와; 상기 베이스(100) 배치되며, 다양한 크기의 패널(P)이 안착되는 소정의 넓이를 갖는 스테이지(200); 승강모터(310)가 구비된 상태로 상기 스테이지(200)의 양측에 각각 배치되어 상기 스테이지(200)의 X축방향으로 이동하는 한 쌍의 승강이동대(300); 승강모터(310)에 의해 상기 한 쌍의 승강이동대(300) 사이에 승강 가능하게 설치되며, 상기 스테이지(200)에 안착되는 다양한 크기의 패널(P)에 대응하여 수지를 토출하는 노즐유닛(400); 상기 베이스(100)의 일측에 배치되어 상기 노즐유닛(400)을 통해 토출되는 수지의 양과 속도를 제어하는 펌핑부(500); 및 상기 한 쌍의 승강이동대(300)의 일면에 가로질러 결합되며, 상기 스테이지(200)에 안착되는 패널(P)의 종류를 인식하는 비젼카메라(610)와 상기 패널(P)에 도포된 수지의 도포두께를 센싱하는 측정센서(620)가 Y축방향으로 이동 가능하게 설치된 Y축이송대(600);를 포함하여 구성되어 있다.

베이스(100)는 도 1 및 도 2와 같이 기판 코터 장치(10)의 메인 바디로 후술하는 스테이지(200), 한 쌍의 승강이동대(300), 노즐유닛(400), 펌핑부(500) 및 Y축이송대(600) 등과 같은 장치의 하부에 위치하여 다양한 구조를 갖는 장치들이 안정적으로 안착되도록 하며, 장치들이 안착된 상태에서 자중에 의한 미세한 변형이 발생되는 것을 고려하여 석(石)정반으로 이루어져 있다.

스테이지(200)는 도 1 및 도 2와 같이 베이스(100) 상부 중심부에 배치되며, 다양한 크기를 갖는 패널(P)이 안착될 수 있도록 소정의 넓이와 폭을 유지하고 있으며, 2개의 스테이지(200)로 구성되어 있다. 또한 각 스테이지(200)의 상부면은 다양한 크기의 패널(P)들이 각각 안정적으로 안착 가능하도록 평탄화된 평면을 유지하고 있다.

여기서 도 2와 같이 스테이지(200)를 2개로 배치하는 것은, 후술하는 슬릿노즐(410)의 토출구가 듀얼로 형성되는 경우 각각의 스테이지(200)에 패널(P)을 안착시킨 상태에서 단일의 슬릿노즐(410)을 통해 2개의 패널(P)에 동시에 도포공정이 이루어질 수 있도록 하며, 슬릿노즐(410)의 토출구가 하나로 형성되는 경우 대면적의 패널(P)을 2개의 스테이지(200)에 안착되도록 하여 도포공정이 이루어지도록 하기 위함이다. 이때, 2개 스테이지(200)의 상부면은 동일한 높이와 평탄도를 갖는 것은 물론일 것이다.

각 스테이지(200)에는 안착되는 다양한 크기의 패널(P)이 각각 안정적인 안착상태를 유지할 수 있도록 복수개의 흡착홀(203)이 형성된 것은 당연할 것이다.

그리고, 각 스테이지(200)는 하부에 위치하는 지지블럭(210)에 의해 평탄도가 유지된 상태로 배치되어 있다.

한편, 스테이지(200)의 하부에는 스테이지(200) 상면으로 출몰하면서 도포공정이 완료된 패널(P)을 스테이지(200) 상면으로부터 이격시키는 복수개의 리프트핀(213)이 더 구비될 수도 있다.

이는, 별도의 이송장비(미 도시)를 통해 투입된 패널(P)이 수지의 도포공정이 완료된 이후 이송장비에 안정적으로 픽킹될 수 있도록 패널(P)이 스테이지(200)와 분리된 상태를 이루도록 하기 위함이다.

또한, 리프트핀(213)이 복수개로 구비되는 것은 도포대상이 되는 패널(P)의 다양한 크기에 대응하여 각 패널(P)의 안정적인 승강이 이루어지도록 하기 위함이다.

이때, 리프트핀(213)들은 스테이지(200)의 하부에 위치한 지지블럭(210)을 통해 스테이지(200)의 상면으로 출몰한다.

한편, 스테이지(200)의 하부에는 지지블럭(210)을 통해 후술하는 비젼카메라(610)에 의해 인식된 패널(P)의 크기에 맞춰 스테이지(200)를 얼라인시키는 얼라인구동부(220)가 구비되어 있다.

상기의 얼라인구동부(220)는 다양한 구조 및 방식을 통해 스테이지(200)를 이동시키게 됨에 따라 그 구조 및 방식을 반드시 한정하지는 않는다.

승강이동대(300)는 도 1 및 도 2와 같이 후술하는 노즐유닛(400)와 Y축이송대(600)를 X축방향으로 이동시킴과 더불어 노즐유닛(400)을 승강시키는 것으로, 스테이지(200)의 양측에 소정의 길이를 갖는 블럭형상으로 배치되어 한 쌍으로 이루어져 있다.

또한, 상기의 승강이동대(300)의 상측에는 노즐유닛(400)을 상.하부로 승강시키기 위한 승강모터(310)가 각각 구비되어 있으며, 각 승강모터(310)의 로드(313)에는 후술하는 슬릿노즐(410)의 양단이 각각 결합되어 있다.

이때, 승강이동대(300)의 하측인 베이스(100)에는 승강이동대(300)가 X축방향으로 이동하도록 X축방향을 향하는 LM가이드(G)가 설치되어있으며, 상기 승강이동대(300)에는 별도의 구동원(미 부호)이 구비되며 이 구동원에 의해 LM가이드(G)를 타고 이동하게 된다.

즉, 승강이동대(300)는 노즐유닛(400)을 지지한 상태로 스테이지(200)에 안착된 패널(P)의 도포공정을 위해 노즐유닛(400)을 하강시켜 슬릿노즐(410)의 토출구를 토출 위치까지 하강시키고, 이후 노즐유닛(400)을 X축방향으로 이동시키면서 패널(P)의 도포공정이 이루어지도록 하는 것이다.

노즐유닛(400)은 도 1 내지 도 9와 같이 스테이지(200)에 안착되는 다양한 크기의 패널(P)의 도포영역에 수지를 토출하는 것으로, 승강모터(310)의 로드(313)와의 결합을 통해 한 쌍의 승강이동대(300) 사이에 승강 가능하게 설치되어 있다.

노즐유닛(400)은 슬릿노즐(410)과, 휨방지프레임(440)과, 보강블럭(450) 및 가압부재(460)로 구성된다.

슬릿노즐(410)은 한 쌍의 승강이동대(300) 사이에 배치되어 스테이지(200)에 안착된 패널(P)에 수지를 토출하도록 소정의 길이를 갖고 있다. 이때, 슬릿노즐(410)의 길이는 스테이지(200)에 안착되는 최대면적 패널(P)의 도포영역에 수지를 토출할 수 있는 길이를 갖는 것은 물론일 것이다.

이 경우, 슬릿노즐(410)은 도 4 및 도 5와 같이 소정의 길이를 갖는 대응하는 형상으로 서로 마주하게 결합되며 어느 하나의 내측에는 수지공급관(412)을 통해 공급되는 수지가 확산되도록 길이방향을 따라 공간을 갖는 캐비티(413)가 형성된 한 쌍의 노즐몸체(411)와, 판 상으로 한 쌍의 노즐몸체(411) 사이에 개재되며 노즐몸체(411)로 공급된 수지가 분사되도록 안내하는 심(420)(shim)으로 구성되는 것이 바람직하다.

한편, 슬릿노즐(410) 즉 노즐몸체(411)의 일측에는 내부를 유동하는 가열유체에 의해 가열되며, 가열된 열을 슬릿노즐(410)로 전도하여 슬릿노즐(410)의 온도를 설정온도까지 승온시킴으로써 공급되는 수지가 최적의 온도상태에서 토출될 수 있도록 하는 전도플레이트(430)가 구비된다.

즉, 전도플레이트(430)에 의해 노즐몸체(411)가 토출되는 수지의 특성에 맞는 최적의 온도상태를 유지토록 함으로써 수지가 안정적인 점성을 유지한 상태에서 패널(P)에 토출되도록 하기 위함인 것이다.

상기의 전도플레이트(430)는 도시하지 않은 온도제어유닛에 의해 제어됨은 물론이다.

한편, 슬릿노즐(410)을 통해 분사되는 수지가 2개의 토출구(423)를 통한 듀얼(Duel)로 토출되도록 하는 경우에는 심(420)(shim)의 구조가 내측에 캐비티(413)와 연통하는 소정의 길이를 갖는 수지유로(421)와, 수지유로(421)의 길이방향 중심(420)을 양분하는 분리막(422)과, 분리된 수지유로(421)의 하측으로 유입된 수지가 토출되는 토출구(423)와, 토출구(423)의 하단으로부터 연장되어 토출구(423)의 토출 길이를 설정하는 폐쇄막(424)으로 구성되는 것이 바람직하다.

즉, 분리막(422)이 수지유로(421)를 2개로 양분되도록 함으로써 2개의 토출구(423)를 형성하여 캐비티(413)로 공급된 수지가 2개의 토출구(423)로 동시에 토출(분사)되도록 하는 것이다. 이때, 2개의 스테이지(200)에는 각각 하나의 패널(P)이 안착된 상태임은 물론일 것이다.

여기서, 폐쇄막(424)은 그 길이에 따라 토출구(423)의 길이가 결정됨에 따라 한정하지 않으며, 도포대상이 되는 패널(P)의 크기에 맞게 설정된다.

상기와 같이 수지가 듀얼(Duel)로 토출되는 경우, 심을 가압하는 후술하는 가압부재(460)에 의해 수지가 고른 분포로 토출되는데 이에 대한 설명은 후술하기로 한다(도 8 참조).

한편, 슬릿노즐(410)을 통해 분사되는 수지가 하나의 토출구(423)를 통해 토출되는 경우, 심(420')(shim)은 내측에 캐비티(413)와 연통하는 소정의 길이를 갖는 수지유로(421')와, 수지유로(421')의 하측으로 캐비티(413)를 통해 유입된 수지가 토출되는 토출구(423')로 구성되는 것이 바람직하다(도 9 참조).

상기의 경우는 슬릿노즐(410)에 하나의 토출구(423')를 형성함으로써, 2개의 스테이지(200)에 안착된 단일의 대면적 패널(P)에 도포공정이 이루어질 때 적용되는 것이다.

따라서, 슬릿노즐(410)에 개재되는 심(420,420')의 선택에 따라 슬릿노즐(410)로부터 단일 또는 듀얼로 수지가 토출되는 구조를 이룰 수 있기 때문에 패널(P)의 크기에 대응하도록 준비되어야 하는 슬릿노즐(410)의 개수를 줄일 수 있다.

만일, 심(420')의 선택에 의해 슬릿노즐(410)에 단일의 토출구(423')를 형성하는 경우, 후술하는 가압부재(460)의 슬릿노즐(410) 가압은 필요치 않다.

휨방지프레임(440)은 도 3 및 도 4와 같이 양측이 승강이동대(300)에 구비된 승강모터(310)의 로드(313)와 연결된 상태로 슬릿노즐(410) 즉 한 쌍의 노즐몸체(411) 상측에 안착된 상태로 슬릿노즐(410)과 결합되어 슬릿노즐(410)의 직진도를 보강하며 'H'형상을 이루고 있다.

이때, 'H'형상을 갖는 휨방지프레임(440)의 길이방향 양측에는 휨방지프레임(440) 자체가 직진도를 유지할 수 있도록 길이방향을 따라 복수개의 리브가 형성된 구조를 갖는다.

따라서, 휨방지프레임(440)은 노즐몸체(411)의 상측면으로 안착된 상태에서 노즐몸체(411)의 길이에 따른 중력방향으로 향하는 하중을 전체적으로 잡아줌으로써 노즐몸체(411)의 직진도(수평도)를 유지시켜주게 된다(도 3 참조).

만일, 휨방지프레임(440)을 통해 노즐몸체(411)의 직진도가 보장되지 못하면, 노즐몸체(411)에 휨이 발생하기 때문에 그 상태에서 패널(P) 도포공정이 이루질 경우 결과적으로 패널(P)에 수지가 균일하게 도포되지 못하게 되어 제품의 불량을 초래하는 문제가 발생한다.

보강블럭(450)은 도 3 및 도 4와 같이 슬릿노즐(410) 즉 노즐몸체(411)와 휨방지프레임(440) 사이에 복수개로 개재되어 휨방지프레임(440)의 자중을 분산시켜 슬릿노즐(410)과 휨방지프레임(440)의 직진도를 유지시킨다.

즉, 보강블럭(450)은 휨방지프레임(440)도 소정의 길이로 인해 자체의 자중이 발생하기 때문에, 노즐몸체(411)와 휨방지프레임(440) 사이에 일정한 간격으로 복수개가 개재되어 휨방지프레임(440)의 자중을 분산시킴으로써 자중이 노즐몸체(411)로 전달되는 것을 막아주는 것이다. 따라서, 슬릿노즐(410)의 직진도는 유지된다.

가압부재(460)는 도 3, 도 4 및 도 6과 같이 슬릿노즐(410)과 휨방지프레임(440)을 상호결합시키며, 슬릿노즐(410) 즉 노즐몸체(411)를 통해 수지가 2방향인 듀얼(Duel)로 토출될 때 슬릿노즐(410)의 길이방향 중심부를 가압하여 수지가 고른 분포로 토출되도록 한 쌍으로 이루어져 있다.

한 쌍의 가압부재(460)는, 슬릿노즐(410)과 휨방지프레임(440)에 마주하게 배치되어 슬릿노즐(410)과 휨방지프레임(440)을 각각 관통하는 소정길이를 갖는 볼트(461)와 볼트(461)에 체결되는 너트(462)에 의해 결합되는 구조를 이루고 있다.

도 6에 도시된 바와 같이 가압부재(460)는 휨방지프레임(440)을 관통하는 2개의 볼트(461)와 슬릿노즐(410) 즉 노즐몸체(411)를 관통하는 하나의 볼트(461)에 의해 노즐몸체(411)와 휨방지프레임(440)을 상호 고정시킨다.

여기서 볼트(461)가 노즐몸체(411)를 관통하는 경우는, 수지가 2개의 토출구(423)를 통해 듀얼(Duel)로 토출되는 상태에서 노즐몸체(411)의 외측 양방향에서 노즐몸체(411)의 길이방향 중심부 즉 심(420)의 분리막(422)을 가압할 때 적용되는 것이다(도 8 참조).

이때, 분리막(422)의 상측방향에는 볼트(461)가 관통하는 관통홀(422a)이 형성되는 것은 물론이다.

위와 같이 심(420)의 분리막(422)이 가압되면, 공급되는 수지가 수지유로(421)를 거쳐 토출구(423)를 통해 토출될 때 수지에 가해지는 공급압력에 의한 분리막(422)의 들뜸 현상이 방지됨에 따라 도 8과 같이 고른 압력분포에 의한 수지의 안정적인 토출이 이루어지게 된다.

한편, 도 7과 같이 한 쌍의 가압부재(460)와 접촉하는 각 노즐몸체(411)의 일면에는 가압부재(460)가 결합될 때 노즐몸체(411)에 탄성적으로 가압되도록 가압패드(463)가 더 구비될 수도 있는데, 이는 볼트(461)의 가압이 이루어질 때 그 가압력이 일차적으로 가압패드(463)를 통해 탄성흡수됨과 동시에 노즐몸체(411)에 가압력이 전달되도록 함으로써 무리한 가압에 의한 노즐몸체(411)의 크랙 또는 파손이 방지되도록 하기 위함이다.

펌핑부(500)는 도 1 및 2와 같이 베이스(100)의 일측에 배치되어 노즐유닛(400)을 통해 토출되는 수지의 양과 속도를 제어한다.

즉, 펌핑부(500)는 일측으로 수지를 공급하는 배관(미 도시)과 연결되고, 타측으로 슬릿노즐(410)을 연결하는 배관(미 도시)과 연결된 된 상태로 펌핑을 통해 수지를 슬릿노즐(410)로 공급하면서 도포대상이 되는 패널(P)의 다양한 크기에 따라 공급되는 수지의 양 또는 공급속도를 제어하는 것이다.

한편, 베이스(100)에는 도 1과 같이 슬릿노즐(410)을 통해 수지의 토출이 완료된 후 슬릿노즐(410)의 토출구(423)에 잔류하는 수지를 제거하는 노즐클리어유닛(700)이 배치되는 것이 바람직하다.

노즐클리어유닛(700)은 슬릿노즐(410)의 하측 즉 노즐몸체(411)의 하측에 배치되어 수지의 토출이 완료되면 토출구(423)에 잔존하는 수지를 제거함으로써 토출구(423)가 클리어한 상태를 이루도록 하여 슬릿노즐(410)의 재 도포공정이 이루어질 때 수지가 일정하게 도포 되도록 한다.

Y축이송대(600)는 도 1 및 2와 같이 한 쌍의 승강이동대(300)의 일면에 가로질러 결합되며, 스테이지(200)에 안착되는 다양한 패널(P)의 종류를 인식하는 비젼카메라(610)와 패널(P)에 도포된 수지의 도포 두께를 센싱하는 측정센서(620)가 Y축방향으로 이동 가능하게 설치되어 있다.

비젼카메라(610)는 Y축이송대(600)를 타고 이동하면서 스테이지(200)에 안착되는 패널(P)의 얼라인마크를 인식함으로써 인식된 데이터 값을 컨트롤러(미 도시)로 전송하고, 컨트롤러의 제어에 의해 스테이지(200)를 패널(P)의 크기에 맞도록 얼라인 시키도록 한다.

측정센서(620)는 레이저변위센서를 이용하는 것으로, Y축이송대(600)를 타고 이동하면서 스테이지(200)에 안착된 패널(P)의 도포영역에 레이저를 조사하여 수지가 설정된 두께로 도포되었는지를 센싱하는 것이다.

지금까지 서술된 바와 같이 본 발명의 기판 코터 장치는, 단일의 슬릿노즐에 교체되는 심의 선택에 따라 토출구를 단일 또는 듀얼로 변경할 수 있도록 함으로써, 하나의 대면적 패널의 도포공정 또는 2개의 소면적 패널의 도포공정이 이루어질 수 있도록 하여 각 패널의 크기에 대응하도록 준비되어야 하는 슬릿노즐의 개수를 줄일 수 있기 때문에 이에 따른 제조원가가 절감되는 탁월한 효과가 있다.

이상, 본 발명의 기판 코터 장치를 바람직한 실시예 및 첨부된 도면에 의해 설명하였으나, 이는 발명의 이해를 돕고자 하는 것일 뿐 발명의 기술적 범위를 이에 한정하고자 함이 아님은 물론이다.

즉, 본 발명의 기술적 요지를 벗어나지 않고도 당해 발명이 속하는 기술 분야에서 통상의 지식을 가진 자라면 다양한 변형이나 개조가 가능함은 물론이고, 그와 같은 변경이나 개조는 청구범위의 해석상 본 발명의 기술적 범위 내에 있음은 말할 나위가 없다.

10 : 기판 코더 장치 100 : 베이스
200 : 스테이지 210 : 지지블럭
213 : 리프트핀 300 : 승강이동대
310 : 승강모터 400 : 노즐유닛
410 : 슬릿유닛 411 : 노즐몸체
412 : 수지공급관 413 : 캐비티
420,420' : 심 421,421' : 수지유로
422 : 분리막 423,423' : 토출구
424 : 폐쇄막 430 : 전도플레이트
440 : 휨방지프레임 450 : 보강블럭
460 : 가압부재 461 : 볼트
462 : 너트 463 : 가압패드
500 : 펌핑부 600 : Y축이송대
610 : 비젼카메라 620 : 측정센서
700 : 노즐클리어 G : LM가이드
P : 패널

Claims

베이스(100)와;
상기 베이스(100)에 배치되며, 다양한 크기의 패널(P)이 안착되는 소정의 넓이를 갖는 스테이지(200);
승강모터(310)가 구비된 상태로 상기 스테이지(200)의 양측에 각각 배치되어 상기 스테이지(200)의 X축방향으로 이동하는 한 쌍의 승강이동대(300);
승강모터(310)에 의해 상기 한 쌍의 승강이동대(300) 사이에 승강 가능하게 설치되며, 상기 스테이지(200)에 안착되는 다양한 크기의 패널(P)에 대응하여 수지를 토출하는 노즐유닛(400);
상기 베이스(100)의 일측에 배치되어 상기 노즐유닛(400)을 통해 토출되는 수지의 양과 속도를 제어하는 펌핑부(500); 및
상기 한 쌍의 승강이동대(300)의 일면에 가로질러 결합되며, 상기 스테이지(200)에 안착되는 패널(P)의 종류를 인식하는 비젼카메라(610)와 상기 패널(P)에 도포된 수지의 도포두께를 센싱하는 측정센서(620)가 Y축방향으로 이동 가능하게 설치된 Y축이송대(600);를 포함하며,
상기 노즐유닛(400)은, 상기 한 쌍의 승강이동대(300) 사이에 배치되어 상기 스테이지(200)에 안착된 상기 패널(P)에 수지를 토출하는 소정의 길이를 갖는 슬릿노즐(410); 양측이 상기 승강이동대(300)의 상기 승강모터(310)와 연결된 상태로 상기 슬릿노즐(410)의 상측에 안착되어 상기 슬릿노즐(410)의 직진도를 보강하는 'H'형상의 휨방지프레임(440); 상기 슬릿노즐(410)과 상기 휨방지프레임(440) 사이에 개재되어 상기 휨방지프레임(440)의 자중을 분산시켜 상기 슬릿노즐(410)과 상기 휨방지프레임(440)의 직진도를 유지시키는 복수개의 보강블럭(450); 및 상기 슬릿노즐(410)과 상기 휨방지프레임(440)을 상호결합시키며, 상기 슬릿노즐(410)을 통해 수지가 듀얼(Duel)로 토출될 때 상기 슬릿노즐(410)의 길이방향 중심부를 가압하여 수지가 고른 분포로 토출되도록 하는 한 쌍의 가압부재(460);로 구성된 것을 특징으로 하는 기판 코터 장치(10).
삭제
제1항에 있어서,
상기 슬릿노즐(410)은,
소정의 길이를 갖는 대응하는 형상으로 서로 마주하게 결합되며, 어느 하나의 내측에는 수지공급관(412)을 통해 공급되는 수지가 확산되도록 길이방향을 따라 캐비티(413)가 형성된 한 쌍의 노즐몸체(411); 및
판 상으로 상기 한 쌍의 노즐몸체(411) 사이에 개재되며, 상기 노즐몸체(411)로 공급된 수지가 분사되도록 안내하는 심(420,420')(shim);으로 구성된 것을 특징으로 하는 기판 코터 장치(10).
제3항에 있어서,
상기 심(420)은,
내측에 상기 캐비티(413)와 연통하는 소정의 길이를 갖는 수지유로(421)와, 상기 수지유로(421)의 길이방향 중심(420)을 양분하는 분리막(422)과, 분리된 상기 수지유로(421)의 하측으로 유입된 수지가 토출되는 토출구(423)와, 상기 토출구(423)의 하단으로부터 연장되어 상기 토출구(423)의 토출 길이를 설정하는 폐쇄막(424)으로 구성된 것을 특징으로 하는 기판 코터 장치(10).
제3항에 있어서,
상기 심(420')은,
내측에 상기 캐비티(413)와 연통하는 소정의 길이를 갖는 수지유로(421')와, 상기 수지유로(421')의 하측으로 유입된 수지가 토출되는 토출구(423')로 구성된 것을 특징으로 하는 기판 코터 장치(10).
제3항에 있어서,
상기 슬릿노즐(410)의 일측에는 내부를 유동하는 가열유체에 의해 가열되며, 가열된 열을 상기 슬릿노즐(410)로 전도하여 상기 슬릿노즐(410)의 온도를 설정온도까지 승온시킴으로써 공급되는 수지가 최적의 온도상태에서 토출될 수 있도록 하는 전도플레이트(430)가 구비된 것을 특징으로 하는 기판 코터 장치(10).
제4항에 있어서,
상기 한 쌍의 가압부재(460)는, 상기 슬릿노즐(410)과 상기 휨방지프레임(440)에 마주하게 배치되어 상기 슬릿노즐(410)과 상기 휨방지프레임(440)을 각각 관통하는 소정길이를 갖는 볼트(461)와 상기 볼트(461)에 체결되는 너트(462)에 의해 결합되는 것을 특징으로 하는 기판 코터 장치(10).
제7항에 있어서,
상기 한 쌍의 가압부재(460)와 접촉하는 상기 각 노즐몸체(411)의 일면에는 상기 가압부재(460)가 결합될 때 상기 노즐몸체(411)에 탄성적으로 가압되도록 가압패드(463)가 더 구비된 것을 특징으로 하는 기판 코터 장치(10).
제1항 또는 제3항에 있어서,
상기 베이스(100)에는 상기 슬릿노즐(410)을 통해 수지의 토출이 완료된 후 상기 슬릿노즐(410)의 토출구(423)에 잔류하는 수지를 제거하는 노즐클리어유닛(700)이 배치된 것을 특징으로 하는 기판 코터 장치(10).
제1항 또는 제3항에 있어서,
상기 스테이지(200)의 하부에는 상기 스테이지(200) 상면으로 출몰하면서 도포가 완료된 상기 패널(P)을 상기 스테이지(200) 상면으로부터 이격시키는 복수개의 리프트핀(213)이 더 구비된 것을 특징으로 하는 기판 코터 장치(10).