JP4128009B2 - テープ貼付装置 - Google Patents
テープ貼付装置 Download PDFInfo
- Publication number
- JP4128009B2 JP4128009B2 JP2002012747A JP2002012747A JP4128009B2 JP 4128009 B2 JP4128009 B2 JP 4128009B2 JP 2002012747 A JP2002012747 A JP 2002012747A JP 2002012747 A JP2002012747 A JP 2002012747A JP 4128009 B2 JP4128009 B2 JP 4128009B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tape
- workpiece
- head
- protective tape
- work
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired - Fee Related
Links
Images
Landscapes
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
Description
【発明の属する技術分野】
本発明は、ワークの表面を保護する保護テープを当該ワークに貼り付けるためのテープ貼付装置に係り、特に小型のワーク、例えば半導体チップに対して気泡やしわを入れることなく保護テープを貼り付けるためのテープ貼付装置に好適である。
【0002】
【従来の技術】
電子機器に使用される半導体チップを製造するプロセスは、リソグラフィ技術によって半導体ウェハ上に回路を形成する前工程と、かかる半導体ウェハから半導体チップを製造する後工程とを含む。後工程は、例えば、ダイシング工程やダイボンディング工程などを含み、これらの工程を経て個片化された半導体チップが製造される。これら製造された半導体チップは電子機器等に搭載され使用されるが、例えばCCD素子などは電子機器への組立実装前にその撮像表面に粉塵などが付着したり、当該粉塵が撮像表面に外傷をもたらしたりすることで、撮像性能を劣化させてしまうことがある。
【0003】
そこで、従来から、電子機器への組立実装されるまでの半導体チップなどのワーク表面に保護テープを貼り付けることで、これらの半導体チップを粉塵や外傷から保護することが行われている。一般的に、このような保護テープの貼り付け方法としては、吸着ヘッドで真空吸着された保護テープをワークに対して押圧し、かかる押圧作用を利用してワークへ保護テープを貼り付けたり、真空吸着された保護テープを回転可能な貼り付けローラで押し付けることによりワークへ保護テープを貼り付けたりしている。
【0004】
【発明が解決しようとする課題】
近年の電子機器の小型化により搭載される半導体チップも小型化が進んでおり、それに伴い、小型のワークに保護テープをスループットよく貼り付けることが望まれている。また、これらのワークに保護テープを貼り付ける際には、保護テープとワークの間に気泡やしわが入ることで保護テープに接着されている糊が気泡やしわの跡としてワーク表面に残ってしまうことがある。例えば、これらの糊の跡が、例えば、CCD素子の撮像表面に残ると撮像性能を劣化させてしまうため好ましくない。従って、これらの保護テープは気泡やしわなど無く、ワーク表面に均一に貼り付けられる必要がある。
【0005】
しかしながら、このような要求を満たしつつも近年の小型ワークに対応したテープ貼付方法は提案されておらず、また、ワークが小型化するとその分保護テープのサイズも小さくなるため従来の手法を用いたのでは小さいサイズのワークに保護テープを貼り付けることが困難であるという問題を有している。
【0007】
【課題を解決するための手段】
本発明は、小さいサイズのワークに気泡やしわなどを発生させずワーク表面にテープ貼り付けることを可能にするテープ貼付装置に関する。
【0008】
本発明の一側面としてのテープ貼付装置は、ステージに保持されたワークに、ヘッドに保持されたテープを貼り付けるテープ貼付装置において、前記ワークの表面に平行な方向に前記ヘッドを前記ステージに対して移動させる駆動機構を有し、前記ヘッドは、前記ワークの表面に対して傾斜し、前記テープを保持するテーパ面と、前記テープを前記ワークに押し当て可能な弾性体とを有し、前記テーパ面は前記テープを真空吸着する吸着孔を有し、前記ヘッドによって保持された前記テープを前記テーパ面において位置決めするテープ位置決め部を有し、前記テープ位置決め部は前記テープが突き当てられて直交する二方向で前記テープを整列する一対のブロックを有し、前記ステージは前記ワークと前記テープを位置合わせするために前記ワークの表面と垂直な方向に対して回転可能に構成され、前記テーパ面に保持された前記テープの一部を前記ワークに接着した状態で前記ヘッドが前記平行な方向に移動して前記弾性体が前記テープの残りを前記ワークに貼り付けることを特徴とする。かかるテープ貼付装置によれば、テープを弾性体によってワーク表面に押し当てたままヘッドをワーク表面に平行に移動させると弾性体がテープをワーク表面に貼り付ける。これにより、小型のワーク表面にしわや気泡入れることなくテープを貼り付けることができる。また、テープを貼り付ける際に、弾性体がクッションの役目をし、貼付面にかかる衝撃を吸収することができる。ワーク表面に貼り付けられたテープにはしわや気泡が入らず、また、貼付動作に伴いワーク表面を傷付けることが防止されるので、テープが貼付された高品位なワークを提供することができる。更に、ワーク表面に貼り付けられたテープにはしわや気泡が入ることがないので、テープをワークから剥がした場合であっても、糊の跡がワーク表面に残ることがない。
【0012】
本発明の他の目的及び更なる特徴は、以下添付図面を参照して説明される好ましい実施例によって明らかにされるであろう。
【0013】
【発明の実施の形態】
以下、添付図面を参照して本発明の例示的一態様であるテープ貼付装置10を説明する。ここで、図1は、本発明のテープ貼付装置10を示す概略正面図である。図2及び図3は、図1に示すテープ貼付装置10を示す概略側面図である。図4は、図1に示すテープ貼付装置10を示す概略上面図である。図5は、テープ貼付装置10を示す概略ブロック図である。
【0014】
本発明のテープ貼付装置10は、ワークW表面を保護する保護テープ1を当該ワークWに貼り付けるための装置である。例えば、本実施形態においては、ワークWは半導体チップであり、テープ貼付装置10は電子機器へ組立実装されるまでの半導体チップ、例えば、CCD素子や偏光板等の表面を保護するための保護テープ1を半導体チップに貼り付けることができる。
【0015】
テープ貼付装置10は、図5に示すように、ワーク供給系100と、テープ貼付系200と、ステージ300と、監視系400と、制御系500とを有する。なお、テープ貼付装置10は、表示系600や入力系700を更に有し、オペレータは表示系600を見ながら保護テープ1やワークWの位置を確認し、入力系700を操作しながら保護テープ1をワークWに貼り付けることができる。図1に良く示されるように、ワーク供給系100とテープ貼付系200はステージ300を介して相対するように配置され、また、監視系400はステージ300近傍に配置されている。
【0016】
ワーク供給系100は、ワークWをステージ300へ供給すると共に保護テープ1が貼り付けられたワークWを収納する。ワーク供給系100は、トレイテーブル110と、搬送ピックアップ部120とを有する。図1によく示されるように、搬送ピックアップ部120はトレイテーブル110の上方に配置されて、当該トレイテーブル110からワークWを取り出したり/ワークWを収納したりすることができる。
【0017】
トレイテーブル110はワークWが収納される及びワークWが収納されたトレイを載置するための紙面表裏方向(y方向)に移動可能なテーブルである。トレイテーブル110は、本実施例においては、例示的に、供給トレイ112と収納トレイ114とを載置している。供給トレイ112には保護テープ1が貼り付けられる前のワークWが収納されており、一方収納トレイ114には保護テープ1が貼り付けられた後のワークWが収納される。図4に示されるように、供給トレイ112及び収納トレイ114はマトリクス状に載置可能とされており、複数のワークWを効率よく配置及び収納することができる。
【0018】
搬送ピックアップ部120は、ワークWを供給トレイ112から取り出しステージ300へ搬送し、更にはステージ300からワークWを取り出し収納トレイ114へ搬送する。搬送ピックアップ部120は供給ヘッド122と収納ヘッド124とを有し、駆動機構により水平方向(図中のx方向)にトレイテーブル110からステージ300までの間を移動することができる。かかる駆動機構は当該周知の技術を適用することができるのでここでの詳細な説明は省略する。例えば、このような駆動機構としては、回転可能な一対のプーリに無端ベルトを掛回し、一端のプーリにはモータ等の回転可能な駆動装置が接続されており、この無端ベルトに搬送ピックアップ部120を接続し、駆動装置を回転駆動させることで無端ベルトが回転して当該搬送ピックアップ部120をx方向(図1左右方向)に移動させることができる。
【0019】
供給ヘッド122及び収納ヘッド124は、トレイ112及び114とステージ300間での搬送に際してワークWを保持する。供給ヘッド122はトレイテーブル110に載置された供給トレイ112からステージ300までワークWを搬送する際に当該ワークWを保持するヘッドであり、一方収納ヘッド124はステージ300から収納トレイ114まで保護テープ1が貼り付けられたワークWを搬送する際に当該ワークWを保持するヘッドである。供給ヘッド122及び収納ヘッド124は、図示しない真空源に接続された図示しない吸着孔が設けられており、各ヘッド122及び124は当該吸着孔によりワークWを吸着保持することができる。なお、供給ヘッド122及び収納ヘッド124は搬送ピックアップ部120に設けられた駆動装置によりz方向(図1上下方向)にリニア駆動することができる。但し、本実施形態においては、かかる駆動装置は搬送ピックアップ部120に設けられて供給ヘッド122及び収納ヘッド124をz方向にリニア駆動させるものであっても良いが、上述した搬送ピックアップ部120をx方向へ駆動させる駆動機構を相対的にz方向(図1中、上下方向)に移動させることで搬送ピックアップ部120全体を上下させてよいし、その他の手法を用いて各ヘッド122及び124をz方向に移動させてもよい。
【0020】
テープ貼付系200は、保護テープ1をワークW表面に貼り付ける。テープ貼付系200は、テープ供給部210と、テープピックアップ部220と、テープ位置決め部230とを有する。
【0021】
ここで、保護テープ1はワーク表面に貼り付けられて当該ワークを保護するためのテープである。保護テープ1は、ワークWの貼り付け面(即ち保護される面)より若干大きめに形成されており、例えば略矩形形状を有するテープである。なお、保護テープ1は必ずしも貼り付け面よりも大きく形成される必要は無いが(即ち、貼り付け面と同等の大きさであってもよいが)、かかる保護テープ1を大きく形成することで余分なテープ部分が保護テープ1を剥ぎ取るための取手として利用することができるために好ましいという長所を有する。保護テープ1は、例えば、ナイロンや塩化ビニルなどの材料を使用することができるが、かかる材料以外にもワークW表面を保護するいかなる部材をも使用することができる。保護テープ1には片面に粘着層が施されており、かかる粘着層によりワークWに接着することができる。しかしながら、かかる接着層の形態は例示的であり、例えば紫外線硬化を利用するUVシートから構成される保護テープ1を利用した貼り付け方法などを排除するものではない。
【0022】
本実施形態において、保護テープ1はロール状に巻かれた帯状シート2に所定のピッチで貼付されており、ロール状に巻かれた帯状シート2を引き出すことで順次と新たな保護テープ1を利用可能にすることができる。
【0023】
テープ供給部210は、テープピックアップ部220に対して保護テープ1を供給する。本実施形態においてはテープ供給部210は上述した帯状シート2に貼付された保護テープ1をテープピックアップ部220に供給するための機構として実現されており、シート取り付け部212と、テンション部214a及び214bと、折り返し部216と、シート巻き取り部218とを有する。図1に良く示されるように、テープ供給部210は、シート取り付け部212に取り付けられて引き出された帯状シート2がテンション部214a、折り返し部216、テンション部214bを順次経由してシート巻き取り部218に取り付けられように構成されており、保護テープ1が折り返し部216に位置する際にかかる保護テープ1をテープピックアップ部220にて吸着することができる。
【0024】
シート取り付け部212は、ロール状に巻かれた帯状シート2が取り付けられる。シート取り付け部212はロール状の帯状シート2が引き出し可能となるように回転可能(又はシート取り付け部212に取り付けられたロール状の帯状シート2が回転可能)に構成されている。図1に示されるように、シート取り付け部212は、シート巻き取り部218に巻き取られることで時計回り方向に回転し、帯状シート2を順次繰り出すことができる。
【0025】
テンション部214a及び214bは、互いに押圧力を有する一対のローラより構成されており、当該一対のローラに帯状シート2を挟み込むことで帯状シート2の延在方向に所定のテンションを与えている。かかるテンション部214a及び214bは、帯状シート2にテンションを加えることでシートの弛みをなくすと共に、後述する折り返し部216と協働して作用することで保護テープ1を帯状シート2から剥がれ易くする効果を有する。本実施形態においては、テンション部214aはシート取り付け部212と折り返し部216との間に設けられ、一方テンション部214bは折り返し部216とシート巻き取り部218との間に設けられている。
【0026】
折り返し部216は、シート取り付け部212から延在する帯状シート2をシート巻き取り部218方向へ偏向させる。図6に示すように、折り返し部216が帯状シート2を変更させることは、帯状シート2が当該折り返し部216に沿って屈曲するので、保護テープ1が帯状シート2から部分的に剥離される。これにより後述するテープピックアップ部220が保護テープ1を吸着することができる。ここで、図6は、テープ貼付装置10におけるテープ貼付系200の折り返し部216の近傍を示す概略拡大図である。なお、かかる剥離動作において、上述したテンション部214a及び214bによって生じる帯状シート2へのテンションが、保護テープ1の剥離を助長させている。
【0027】
シート巻き取り部218は、帯状シート2が取り付けられて当該帯状シート2を引き出すために回転可能な部材であって、更には保護テープ1が剥離された帯状シート2を回収する。シート巻き取り部218は、図示しない回転機構(例えば、モータなど)に接続されて、回転駆動することできる。
【0028】
テープピックアップ部220は、テープ供給部210から供給された保護テープ1を取得してワークWに貼り付ける。テープピックアップ部220は、テープ貼付ヘッド222と、緩衝部228とを有する。図7に良く示されるように、テープ貼付ヘッド222と緩衝部228はボールスプライン226を介して接続されており、テープピックアップ部220は緩衝部228を介して駆動機構に接続されている。ここで、図7は、図1に示すテープピックアップ部220を示す拡大平面図である。テープピックアップ部220はかかる駆動機構により水平方向(図中x方向)に平行移動することで、テープ供給部210からステージ300まで保護テープ1を搬送し、またその保護テープ1をワークWに貼り付けることができる。
【0029】
テープ貼付ヘッド222は、保護テープ1を保持し当該保護テープ1をワークWへ貼り付けるための部材である。本実施形態においては、テープ貼付ヘッド222は、ヘッド本体223と、弾性体225とを有している。
【0030】
ヘッド本体223は、本実施形態においては、直方体形状を有し、その直方体の底面223aにおいて保護テープ1を保持することができる。より詳細には、底面223aには図示しない真空源に接続される吸着孔224が形成されている。ヘッド本体223は、かかる吸着孔224により真空吸着することで保護テープ1を保持することができる。また、底面223aは、保護テープ1が保持される領域にテーパが施されており、後述する動作の説明から明らかとなるようにテープピックアップ部220が貼付のために移動を行った際に、保護テープ1が弾性体225側に位置する側から順次貼り付けられるような加工となっている。
【0031】
弾性体225は、吸着孔224によって吸着された保護テープ1をワークWに貼り付けるために当該保護テープをワークWに対して押し当てるための押し当て部材である。弾性体225はヘッド本体223の底面223aに設けられて、その一部を底面223aより突出させている。本実施形態においては、弾性体225はヘッド本体223に対して固着的に取り付けられている。より詳細には、弾性体225は底面223aに形成されたテーパの延長上、即ち、保護テープ1が吸着孔によって吸着された際に当該保護テープ1の延長上に位置するように設けられている。(即ち、吸着された保護テープ1は弾性体225に当接されることになる。)弾性体225は、本実施形態においては、円筒形状を有し、例えば、ウレタンやナイロンなどの弾性部材より構成されている。
【0032】
後述する動作の説明から明らかとなるようにテープ貼付ヘッド222の弾性体225が保護テープ1を介してワークWに押し当てられた状態で、テープピックアップ部220を水平移動させれば、弾性体225が保護テープ1を介してワークW表面を押圧しながら移動し、ワークWに対して保護テープ1を貼り付けることができる。また、ワークWに保護テープ1を貼る際には、かかる弾性体225がクッション材として機能するので、貼り付け表面にかかる衝撃を吸収している。これにより本発明のテープ貼付装置10によれば、小型のワークW(例えば、5mm以下のワークW)であっても気泡やしわなどを入れることなくワークW表面に保護テープ1を貼り付けることを可能にしている。また、本発明の構成によれば、従来のテープ貼付装置のようにヘッド本体223に対して保護テープ1をワークWに貼り付けるためのローラなどの部材を組み込む必要がなくなるため、ローラや軸受などの構成が不要となり製造コストを低減させている。
【0033】
緩衝部228は、テープ貼付ヘッド222の上下方向(図中z方向)の衝撃を吸収する緩衝機構である。かかる緩衝部228は、テープ貼付ヘッド222をワークWに対して適度な押圧力で押し当てることができる。緩衝部228は、本実施例においては、スプリングを介して上下方向の衝撃を緩和している。但し、本明細書に示す緩衝部228の構成は例示的であり、例えば、油圧式のダンパなど当該周知の緩衝機構を適用することができる。
【0034】
テープ位置決め部230は、テープ貼付ヘッド222によって真空吸着される保護テープ1の所定の位置に矯正する。テープ位置決め部230は、ヘッド本体223の底面223aの直行する2辺と保護テープ1の2辺とが一致するように保護テープ1が吸着された状態で当該保護テープ1の位置を整合する。後述する動作の説明から明らかとなるように、テープ貼付ヘッド222が吸着する保護テープ1をワークW表面に張り付けるためには、テープ貼付ヘッド222が吸着する保護テープ1の向きと、ワークWの向きが正確に位置決めされている必要がある。即ち、ワークWの向きに対してテープ貼付ヘッド222が吸着した保護テープ1の向きがずれている場合には、どちらかの一方の向きを補正させ貼付しなければならず、作業効率上好ましくない。即ち、テープ貼付ヘッド222が吸着する保護テープ1は当該テープ貼付ヘッド222に対して正確に位置決めされて吸着されることが好ましい。しかしながら、小型のワークWに貼付される保護テープ1はその形状も小さく、テープ貼付ヘッド222でその向きなど位置を正確に把握して吸着することは困難である。また、これをオペレータに要求することは、作業効率を低下させ、結果としてスループットを落としてしまう。そこで、本実施形態においては、テープ貼付ヘッド222によって吸着された保護テープ1はその向きがテープ位置決め部230によって整合される。換言すれば、オペレータは保護テープ1の向きなどを気にせずに保護テープ1を取得しても、かかる位置決め部230により保護テープ1がテープ貼付ヘッド222の所定位置に機械的に整合される。
【0035】
図8に示すように、本実施形態において、位置決め部230は、テープ貼付ヘッド222によって吸着保持された保護テープ1をy方向に整列させる第1の位置決めブロック232(図8(b)参照)と、かかる保護テープ1をx方向に整列させる第2の位置決めブロック234(図8(a)参照)とを有する。ここで、図8(a)及び(b)は、位置決め部230を示す概略側面図と概略正面図である。
【0036】
図8に良く示されるように、第1の位置決めブロック232は、回転可能なアーム233に接続されて、ヘッド本体223の底面223aのy方向に延在する端部に突き当て可能に構成されている。一方、第2の位置決めブロック234はy方向に摺動可能であり、ヘッド本体223の底面223aのx方向に延在する端部に突き当て可能に構成されている。かかる位置決め部230により、テープ貼付ヘッド222に真空吸着された保護テープ1はその位置を底面223aの直行する2辺と保護テープ1の直行する2辺とが一致されるように整合させられる。
【0037】
ステージ300は、保護テープ1が貼り付けられるワークWを載置する。ステージ300には、ワークWとほぼ同等の大きさの凹部(ワーク保持部)310が設けられており、かかる凹部によりワークWを保持することができる。なお、ワーク保持部310の凹面には図示しない真空源に接続する吸着孔が設けられている。ワーク保持部310はかかる吸着孔と協働することで、ワークWを保持することができる。更に、ステージ300は、図中z方向(即ち、紙面に対して垂直方向)に移動可能であり、また載置されるワークWを中心に軸回転(θ方向に回転)することができる。
【0038】
監視系400は、ワークWの位置状態を監視する。本実施形態においては、監視系400は、搬送ピックアップ部120の供給ヘッド122が保持するワークWの位置状態(即ち、x−y方向の位置ずれ)を監視するための第1の監視部410と、テープピックアップ部220のテープ貼付ヘッド222が保持する保護テープ1の位置状態(即ち、x−y方向の位置ずれ)を監視する第2の監視部420とを有する。第1及び第2の監視部410及び420は、例えば、当該周知の撮影装置(ビデオ又はCCDカメラ等)より構成されており、撮影装置によって撮影された映像は後述する表示系600に出力される。かかる監視系400により出力される映像を表示系600で確認することができるので、オペレータはワークWや保護テープ1の位置状態を確認しながら、入力系700を操作することでステージ300の位置を移動させたりして保護テープ1をワークWに貼り付けることができる。
【0039】
制御系500は、CPU、MPUなど名称の如何を問わない処理装置を広く含み、テープ貼付装置10の各部を制御する。制御系500は、後述する入力系700より入力される情報を取得して、取得した情報を反映すべくワーク供給系100、テープ貼付系200、ステージ300に接続される各駆動機構を制御することができる。
【0040】
表示系600は、監視系400より出力された映像を表示する。表示系600は、例えば、CRTやLCDなどの当該周知の表示装置を備えることができる。また、特に詳述しないが、表示系600は、その他にもテープ貼付装置10の各種状態を表示させるライトやLCDなどの機構を含む。かかるライトやLCDは、例えば、装置10が正常に動作している場合は青を点灯し、異常を示している場合は赤を点灯させるなどである。
【0041】
入力系700は、オペレータからの指示をテープ貼付装置10に入力する。入力系700は、キーボード、マウス、液晶タッチパネル、ポインティングデバイスなど当該周知の入力装置を適用することができる。また、入力系700は、ボタンやスイッチなどの入力機構を広く含むものである。
【0042】
以下、本発明のテープ貼付装置10を利用した保護テープの貼付動作について説明する。
【0043】
まず、ワーク供給系100において、オペレータは入力系700を操作して、トレイテーブル110に載置された供給トレイ112に格納されたワークWをステージ300に搬送する。より詳細には、オペレータは入力系700を操作して、搬送ピックアップ部120の供給ヘッド122を供給トレイ112に格納された所望とするワークW上に移動させる。なお、このときの供給ヘッド122のz方向の位置(高さ)を初期ポジションと定義する。次に、供給ヘッド122を初期ポジションから下方に移動させる。供給ヘッド122はワークWと当接するまで下方に移動し、供給ヘッド122がワークWに当接することで移動を停止する。このとき、ワークWは供給ヘッド122の吸着孔により真空吸着される。供給ヘッド122がワークを吸着保持すると、供給ヘッド122はワークWを吸着保持したまま初期ポジションに復帰すべく、供給ヘッド122を上方に移動させる。そして、供給ヘッド122が初期ポジションに復帰すると搬送ピックアップ部120は水平方向に移動し、供給ヘッド122に保持されたワークWはステージ300上まで搬送される。
【0044】
ステージ300上に供給ヘッド122が位置すると、オペレータは監視系400によって撮影された映像を表示系600で確認し、供給ヘッド122が保持するワークWの位置状態を把握することができる。そして、オペレータは入力系700を操作して、ステージ300をθ及びy方向に微調整し、供給ヘッド122に保持されたワークWとステージ300のワーク保持部310との位置関係がxy平面上で一致するように補正する。
【0045】
供給ヘッド122に保持されたワークWに対してステージ300のワーク保持部310の位置関係が調整されると、供給ヘッド122はワークWがステージ300のワーク保持部310に当接するまで下方に移動する。そして、ワークWがステージ300に当接することによりワークWはステージ300の吸着孔により真空吸着される。例えば、このとき供給ヘッド122の吸着力を300の吸着力より小とすることで、ワークWは供給ヘッド122から分離されてステージ300に載置される。そして、供給ヘッド122は初期ポジションに復帰する。
【0046】
一方、テープ貼付系200においては、オペレータは入力系700を操作して、テープ供給部210から供給される保護テープ1を取得させ、ワークWに保護テープ1を貼り付けさせる。より詳細には、まず、テープ供給部210のシート巻き取り部218を駆動させる。これにより、シート巻き取り部218が回転駆動することにより、シート取り付け部212に取り付けられた帯状シート2が順次引き出される。このとき、帯状シート2に貼付された保護テープ1も同期して移動し、折り返し部216に向かって搬送される。そして、帯状シート2に貼付された保護テープ1が折り返し部216まで搬送されると、図6に示すように、帯状シート2は折り返し部216により屈曲させられているため、保護テープ1は接着力が弱められて帯状シート2が屈曲させられた部分を境に保護テープ1が部分的に剥離する。これにともない、シート巻き取り部218の駆動を停止させる。
【0047】
次に、テープ供給部210の折り返し部216上方に位置するテープピックアップ部220を下降させる。なお、下降させる前のテープピックアップ部220のz方向の位置(高さ)を初期ポジションと定義する。テープピックアップ部220を初期ポジションから下降させると、テープ貼付ヘッド222が保護テープ1に当接する。テープ貼付ヘッド222が保護テープ1に当接すると、保護テープ1はテープ貼付ヘッド222の吸着孔224により真空吸着される。テープ貼付ヘッド222が保護テープ1を吸着保持すると、テープピックアップ部220は保護テープ1を吸着保持したまま初期ポジションに復帰する。
【0048】
かかる動作を経て、つぎに保護テープ1の位置決め動作を実行する。より詳細には、まず位置決め部230のアーム233を図中反時計回りに回転させる。これによりアーム233に接続された第1の位置決めブロック232も同期して回転し、かかる第1の位置決めブロック232がヘッド本体223の底面223aの端部に突き当たる。これにより、テープ貼付ヘッド222に吸着保持された保護テープ1がヘッド本体223の底面223aの端部に沿ってy方向に整列される。次に、第2の位置決めブロック234がy方向に摺動して、ヘッド本体223の底面223aの端部に突き当たる。これにより、テープ貼付ヘッド222に吸着保持された保護テープ1がヘッド本体223の底面223aの端部に沿ってx方向に整列される。かかる両位置決めブロック232及び234により、ヘッド本体223の底面223aの直行する2辺と保護テープ1の2辺とが一致するように保護テープ1がその位置を整合される。
【0049】
なお、本実施形態においては、第1の位置決めブロック232を先に動作させて次に第2の位置決めブロック234を動作させたが、両者の順番は逆であってもよい。即ち、第2の位置決めブロック234を動作させて保護テープ1をx方向に整列した後に、第1の位置決めブロック232を動作させて保護テープをy方向に整列させても良い。また、第1の位置決めブロック232及び第2の位置決めブロック234を同時に動作させて、保護テープ1をx及びy方向に同時に整列させても良い。
【0050】
この位置決め動作が終了すると、テープピックアップ部220が水平移動されて、テープ貼付ヘッド222に保持された保護テープ1はステージ300上まで搬送される。
【0051】
ステージ300上にテープピックアップ部220が位置すると、オペレータは監視系400によって撮影された映像を表示系600で確認し、テープ貼付ヘッド222が吸着保持する保護テープ1の位置状態を把握することができる。そして、オペレータは入力系700を操作して、ステージ300をθ方向に微調整し、図9(a)に示すように、テープ貼付ヘッド222に吸着保持された保護テープ1とワーク保持部310上に配置されたワークWとの位置関係がxy平面上で一致するように調整する。ここで、図9は保護テープ1の貼付動作を説明するための動作説明図である。
【0052】
テープ貼付ヘッド222に吸着保持された保護テープ1とワーク保持部310に保持されたワークWとの位置関係が調整されると、テープ貼付ヘッド222がワークWに押し当てられるまでテープピックアップ部220が下方に移動させられる(図9(b))。より詳細には、まず、テープ貼付ヘッド222が下方に移動することで、ワークWの端部に保護テープ1が当接する。そして、なおもテープピックアップ部220が下方に移動させられると、保護テープ1を挟み弾性体225がワークWに当接される。そして、テープピックアップ部220は、弾性体225が保護テープ1を適当な押し当て力で押し当てるまで押し下げて、下方向への駆動を停止させる。かかる状態において、弾性体225によって押し当てられた保護テープ1はその接着力によりワークWに接着している。
【0053】
次に、図9(c)に示すように、弾性体225が保護テープ1をワークWに押し当てた状態で、テープピックアップ部220をx方向に移動させる。このとき、保護テープ1はワークWに対する接着力により接着されており、保護テープ1の表面を弾性体225が滑るように移動する。これにより、弾性体225は、保護テープ1をワークWに順次押し当てられていき、弾性体225がワークWの端から端まで移動することで、保護テープ1はワークW表面に貼り付けられる。
【0054】
ワークWに対しての保護テープ1の貼付動作が終了すると、テープピックアップ部220は、初期ポジションへと移動する。
【0055】
次に、ワーク供給系100において、オペレータは入力系700を操作して、保護テープ1の貼り付けられたワークWを収納トレイ114に搬送する。より詳細には、搬送ピックアップ部120の収納ヘッド124をステージ300のワーク保持部310に保持されたワークW上に移動させる。なお、このときの収納ヘッド124のz方向の位置(高さ)を初期ポジションと定義する。そして、収納ヘッド124を初期ポジションから下方に移動させる。これにより、収納ヘッド124はワークWと当接するまで下方に移動し、収納ヘッド124がワークWに当接することによりワークWは収納ヘッド124の吸着孔により真空吸着される。例えば、このときステージ300の吸着力を収納ヘッド124の吸着力より小とすることで、ワークWはステージ300のワーク保持部310から分離されて収納ヘッド124に吸着される。
【0056】
収納ヘッド124がワークWを吸着保持すると、収納ヘッド124はワークWを吸着保持したまま初期ポジションに復帰する。そして、搬送ピックアップ部120が水平移動されて、収納ヘッド124に保持されたワークWは収納トレイ114上まで搬送される。
【0057】
搬送ピックアップ部120が収納トレイ114上まで移動すると、収納ヘッド124はワークWが収納トレイ114に当接するまで下方に移動する。そして、ワークWが収納トレイ114に当接する。そして、収納ヘッド124の吸着を停止させることで、ワークWは収納トレイ114に収納される。そして、供給ヘッド122は初期ポジションに復帰する。
【0058】
以上の動作を繰り返すことで、順次繰り返しワークWに保護テープ1を貼り付けることができる。
【0059】
かかるテープ貼り付け方法によれば、真空吸着された保護テープ1を弾性体225によってワークW表面に押し当てたまま、テープピックアップ部220をワークW表面に沿って移動させることで、弾性体225が保護テープ1をワークW表面に貼り付けることができる。これにより、小型のワークW表面にしわや気泡入れることなく保護テープ1を貼り付けることができる。また、保護テープ1を貼り付ける際に、かかる弾性体225がクッションの役目をし、貼付面にかかる衝撃を吸収することができる。よって、ワークW表面に貼り付けられた保護テープ1にはしわや気泡が混入せず、また、貼付動作に伴いワークW表面を傷付けることが防止されるので、保護テープ1でその表面が保護された高品位なワークWを提供することができる。更に、ワークW表面に貼り付けられた保護テープ1にはしわや気泡が混入していないので、かかる保護テープ1をワークWから剥がした場合であっても、糊の跡がワークW表面に残ることがない。なお、各工程を手動にて操作するものを記述したが、全てを全自動で行ってもよい。
【0060】
以上、本発明の好ましい実施例を説明したが、本発明はその要旨の範囲内で様々な変形や変更が可能である。例えば、本発明のテープ貼付装置10が貼付可能なワークWは半導体チップに限定されず、種種のワークWの保護テープ1を貼り付けることができる。また、テープ貼付装置10が貼付可能なテープも上述したような保護テープ1に限定されず、ワークWに所定の文字やデザインを施すためのテープを適用することができる。
【0061】
【発明の効果】
本発明のテープ貼付装置によれば、真空吸着された保護テープを弾性体によってワーク表面に押し当てたまま、テープ貼付部をワーク表面に沿って移動させることで、所定のテープをワーク表面に貼り付けることができる。これにより、小型のワーク表面にしわや気泡入れることなく保護テープを貼り付けることができる。
【図面の簡単な説明】
【図1】 本発明のテープ貼付装置を示す概略正面図である。
【図2】 図1に示すテープ貼付装置を示す概略側面図である。
【図3】 図1に示すテープ貼付装置を示す概略側面図である。
【図4】 図1に示すテープ貼付装置を示す概略上面図である。
【図5】 テープ貼付装置を示す概略ブロック図である。
【図6】 テープ供給系の折り返し部の近傍を示す概略拡大図である。
【図7】 図1に示すテープピックアップ部を示す拡大平面図である。
【図8】 位置決め部を示す概略平面図である。
【図9】 テープの貼付動作を説明するための動作説明図である。
【符号の説明】
10 テープ貼付装置
100 ワーク供給系
200 テープ貼付系
300 ステージ
400 監視系
500 制御系
600 表示系
700 入力系
Claims (2)
- ステージに保持されたワークに、ヘッドに保持されたテープを貼り付けるテープ貼付装置において、
前記ワークの表面に平行な方向に前記ヘッドを前記ステージに対して移動させる駆動機構を有し、
前記ヘッドは、
前記ワークの表面に対して傾斜し、前記テープを保持するテーパ面と、
前記テープを前記ワークに押し当て可能な弾性体とを有し、
前記テーパ面は前記テープを真空吸着する吸着孔を有し、
前記ヘッドによって保持された前記テープを前記テーパ面において位置決めするテープ位置決め部を有し、
前記テープ位置決め部は前記テープが突き当てられて直交する二方向で前記テープを整列する一対のブロックを有し、
前記ステージは前記ワークと前記テープを位置合わせするために前記ワークの表面と垂直な方向に対して回転可能に構成され、
前記テーパ面に保持された前記テープの一部を前記ワークに接着した状態で前記ヘッドが前記平行な方向に移動して前記弾性体が前記テープの残りを前記ワークに貼り付けることを特徴とするテープ貼付装置。 - 前記ヘッドは、前記弾性体の前記ワークに対する押圧力を一定に維持する緩衝手段を更に有することを特徴とする請求項1記載のテープ貼付装置。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002012747A JP4128009B2 (ja) | 2002-01-22 | 2002-01-22 | テープ貼付装置 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2002012747A JP4128009B2 (ja) | 2002-01-22 | 2002-01-22 | テープ貼付装置 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2003218193A JP2003218193A (ja) | 2003-07-31 |
JP4128009B2 true JP4128009B2 (ja) | 2008-07-30 |
Family
ID=27649873
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2002012747A Expired - Fee Related JP4128009B2 (ja) | 2002-01-22 | 2002-01-22 | テープ貼付装置 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP4128009B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
KR102112618B1 (ko) * | 2019-11-18 | 2020-05-19 | 제너셈(주) | 전자파 차폐막 형성 방법 및 이에 적용되는 보호 테잎 부착 장치 |
-
2002
- 2002-01-22 JP JP2002012747A patent/JP4128009B2/ja not_active Expired - Fee Related
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2003218193A (ja) | 2003-07-31 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5308433B2 (ja) | 部品実装装置及びその方法 | |
JP4819184B2 (ja) | 圧着方法 | |
WO2009122711A1 (ja) | 部品実装装置および方法 | |
TW201431762A (zh) | 基板固定裝置、基板作業裝置、及基板固定方法 | |
JP4071087B2 (ja) | 剥離装置、剥離・貼付方法および剥離・貼付装置 | |
KR20160135073A (ko) | 테이프 부착장치 및 이를 이용한 부착방법 | |
WO1998012908A1 (fr) | Procede et appareil pour la mise sous boitier des puces a circuit integre, et support en forme de bande conçu pour etre utilise a cet effet | |
KR100728442B1 (ko) | 다이 본드용 점착 테이프의 부착 방법 및 전자 부품의 장착방법 | |
JP3637350B2 (ja) | 粘着性テ−プ片の貼着装置 | |
KR200438569Y1 (ko) | 편광필름 부착장치 | |
CN106455473B (zh) | 托盘搬送装置以及安装装置 | |
TWI820117B (zh) | 對半導體晶圓貼附之保護膠帶的貼附裝置及貼附方法 | |
JP4128009B2 (ja) | テープ貼付装置 | |
JP4518257B2 (ja) | 半導体装置実装装置 | |
KR101144956B1 (ko) | 이방성 도전필름의 분할접착장치 및 방법 | |
KR101263338B1 (ko) | 구동용 회로기판의 본딩장치 | |
WO2013141388A1 (ja) | 電子部品の実装装置及び実装方法 | |
KR20220149190A (ko) | 로봇암이 구비된 디스플레이 제조 시스템 | |
KR20220149223A (ko) | 로봇암이 구비된 디스플레이 제조 시스템 | |
JP3711802B2 (ja) | 搬送用パレット、この搬送用パレットを備える搬送装置及びワーク固定方法 | |
JP4093854B2 (ja) | 電子部品実装装置 | |
JP2010272754A (ja) | 部品実装装置及びその方法 | |
TWI834137B (zh) | 電子零件安裝裝置 | |
TWI815370B (zh) | 電子零件安裝裝置 | |
JP2007108255A (ja) | 偏光板貼付装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20041130 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20070406 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20070417 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070531 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20070531 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20071009 |
|
A521 | Written amendment |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20071130 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20080513 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20080513 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110523 Year of fee payment: 3 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140523 Year of fee payment: 6 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20140523 Year of fee payment: 6 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
LAPS | Cancellation because of no payment of annual fees |