CN114669568A

CN114669568A - 清扫系统

Info

Publication number: CN114669568A
Application number: CN202210300842.3A
Authority: CN
Inventors: 青山博司; 林田彻
Original assignee: Hallys Corp
Current assignee: Hallys Corp
Priority date: 2017-07-12
Filing date: 2018-07-06
Publication date: 2022-06-28
Also published as: CN113172066A; CN109248892A; CN109248892B; JP2019018127A; TWI710411B; TW201908023A

Abstract

一种清扫系统、透明基板的清扫方法及电子部件的制造方法，能高效可靠地清扫薄板表面。清扫系统去除附着于薄板表面的异物，包括：输送薄板的输送装置；以及清扫装置，具有与通过输送装置输送的薄板表面对置地配置的清扫部，清扫装置包括相对移动机构，该相对移动机构在为了清扫而使清扫部直接或间接地接触于薄板表面的状态下使清扫部反复进行与薄板表面相对的相对性的静止动作和移动动作。优选输送装置向一方向输送利用清扫装置的清扫状态的薄板表面，相对移动机构交替地反复进行一方向的移动动作以及相反方向的移动动作，在移动动作中，由相对移动机构移动的清扫部移动的最大移动速度比由输送装置输送的薄板表面的移动速度快。

Description

清扫系统

本申请是申请日为2018年7月6日、申请号为201810738124.8、发明名称为“清扫系统、透明基板的清扫方法及电子部件的制造方法”的专利申请的分案申请，其全部内容结合于此作为参考。

技术领域

本发明涉及清扫系统、透明基板的清扫方法及电子部件的制造方法。

背景技术

在便携电话、智能电话等电子设备中，使用玻璃基板。在电子设备的生产线中，作为对玻璃基板的表面进行清扫的清扫系统，已知有例如日本特开2006－272223号公报所记载的清扫系统。该公报所记载的系统为，在刮板上覆盖织物，一边通过刮板将织物(cloth)按压到玻璃基板上一边使玻璃基板移动，由此对玻璃基板的表面进行清扫。在该公报所记载的系统中，反复进行3次使刮板从玻璃基板的一端向另一端相对移动的动作。

专利文献1：日本特开2006－272223号公报

但是，当在玻璃基板的表面上附着有粘接剂等那样粘性较高的异物的情况、油等附着于玻璃基板的中央的情况下，存在如上述公报所记载的系统那样仅通过3次擦除也不能擦除的情况。

另外，在上述公报所记载的系统中，在将刮板从玻璃基板的一端向另一端相对移动后，为了下一擦除动作，再次将刮板返回到玻璃基板的一端后进行擦除动作，所以作业效率较差，为了对大量的玻璃基板进行擦除作业，需要非常长的时间。

发明内容

因此，本发明的技术问题在于提供一种能够高效可靠地清扫薄板表面的清扫系统及清扫方法以及电子设备的制造方法。

为了解决上述技术问题而完成的发明是一种清扫系统，将附着于薄板表面的异物去除，该清扫系统包括：

输送装置，输送所述薄板；以及

清扫装置，具有与通过所述输送装置输送的所述薄板表面对置地配置的清扫部，

所述清扫装置包括相对移动机构，所述相对移动机构在为了清扫而使所述清扫部直接或间接地接触于所述薄板表面的状态下使所述清扫部反复进行相对于所述薄板表面的相对性的静止动作和移动动作。

在该清扫系统中，通过所述相对移动机构，在所述清扫部直接或间接地接触于所述薄板表面的状态下反复进行所述清扫部相对于所述薄板表面的相对性的静止动作和移动动作，所以能够通过清扫部高效且可靠地去除薄板表面的异物。即，在该清扫系统中，相对于薄板表面，清扫部不仅进行相对性的移动动作还进行静止动作，所以不仅能够通过动摩擦进行异物的去除还能够通过静摩擦进行异物的去除，能够可靠地去除薄板表面的异物。在这里，所谓直接，意味着接触面直接接触于薄板而进行擦除，在清扫部为适于擦除薄板的构成的情况下，清扫部直接地接触于薄板而进行擦除。所谓间接，意味着在接触面与薄板之间配置有织物构件等1或多个另外的构件那样的情况，在接触面不是适于擦除薄板的构成的情况下等，清扫部间接地接触于薄板而擦除。

优选所述输送装置向一方向输送由所述清扫装置清扫的清扫状态的所述薄板表面。由此，能够一边通过输送装置向一方向输送薄板一边通过清扫装置对薄板的表面进行清扫。

在该情况下，优选所述相对移动机构在所述移动动作时使所述清扫部相对于所述薄板表面向所述一方向或者向所述一方向以及所述一方向的相反方向移动。通过使清扫部向所述一方向以与薄板相同速度移动，能够得到所述清扫部的静止动作，能够通过静摩擦进行异物的去除。另外，通过使清扫部向所述一方向的相反方向移动，清扫部与薄板的相对速度变快，能够有效且可靠地去除薄板表面的异物。

在该情况下，优选所述相对移动机构交替地反复进行所述一方向的移动动作以及所述相反方向的移动动作，在所述移动动作中，由所述相对移动机构移动的所述清扫部的最大移动速度比由所述输送装置输送的所述薄板表面的移动速度快。由此，能够通过相对移动机构使清扫部在所述一方向以及所述相反方向上振动，能够多次清扫薄板表面的相同部位。

优选所述清扫装置还包括切换机构，所述切换机构使所述清扫部在与所述薄板表面直接或间接地接触的状态和与所述薄板表面分离的状态间切换。由此，通过切换机构，能够在使清扫部直接或间接地接触于薄板表面的状态下进行清扫作业，在不进行清扫作业的情况下能够使清扫部移动到分离位置。

优选所述清扫部经由织物构件而间接地接触于所述薄板表面。由此，织物构件直接地接触于薄板表面，能够通过清扫作业使薄板表面的异物转移到织物构件。

优选所述清扫装置还包括向所述清扫部供给织物构件的供给机构。由此，薄板表面的异物转移到了织物构件时，通过供给机构向清扫部供给新的织物构件(的部分)，能够通过新的织物构件(的部分)进行清扫作业。

优选所述清扫装置还包括：柱状构件，其在前端面上具有所述清扫部；以及按压构件，其将织物构件按压到所述柱状构件，从而防止从所述供给机构向所述清扫部供给的长条状的织物构件相对于所述清扫部偏移。由此，能够通过上述按压构件向柱状构件的侧壁面侧按压长条状的织物构件，在清扫作业时难以产生织物构件相对于清扫部的偏移(清扫部上的织物构件的滑动)，进行精确的清扫作业。

在该情况下，优选所述柱状构件在所述柱状构件的前端面与侧壁面之间具有边缘。由此，能够通过位于边缘的织物构件精确地去除薄板表面的异物。另外，所谓“具有边缘”，意味着在与前端面以及侧壁面交叉的方向的截面形状上，不仅包含前端面以及侧壁面经由不连续点而连续的情况，还包含前端面以及侧端面经由曲率半径3mm以下的角而连续的情况。另外，上述曲率半径优选为2mm以下，更优选为1mm以下。

优选所述输送装置还具有向所述清扫部供给清洗液的供给喷嘴。由此，通过利用供给喷嘴向清扫部供给清洗液，能够进行利用清洗液的清扫。

优选所述输送装置还具有保持所述薄板的保持部和使该保持部向所述一方向行走的轨道。由此，能够在通过沿着轨道行走的保持部保持薄板的状态下通过清扫装置对薄板表面进行清扫。

优选在该清扫系统中，包括：第一所述输送装置，其从薄板表面中的一面保持所述薄板；第一所述清扫装置，其对通过第一所述输送装置输送的所述薄板的另一面进行清扫；第二所述输送装置，其从另一面保持通过第一所述清扫装置清扫了一面的所述薄板；以及第二所述清扫装置，其对通过第二所述输送装置输送的所述薄板的一面进行清扫。由此，能够通过第一清扫装置对薄板的另一面进行清扫，能够通过第二清扫装置对薄板的一面进行清扫，能够通过该清扫系统对薄板的两面进行清扫。

为了解决上述技术问题而完成的另外的发明，是对清扫透明基板的表面进行清扫的透明基板的清扫方法，其中，通过由上述构成构成的该清扫系统对所述透明基板的表面进行清扫。由此，能够通过该清扫系统容易且可靠地清扫透明基板的表面。

另外，为了解决上述技术问题而完成的另外的发明，是制造包含透明基板的电子设备的电子设备的制造方法，其中，具有利用该透明基板的清扫方法的清扫工序。由此，能够容易且可靠地制造使用了被清扫后的透明基板的电子设备。

附图说明

图1是表示本发明的一个实施方式的清扫系统的示意性主视图。

图2是清扫系统的第一清扫装置的示意性主视图。

图3是清扫系统的第二清扫装置的示意性主视图。

图4A是将清扫装置的主要部分放大的示意性立体图。

图4B是将清扫装置的柱状构件的主要部分放大的示意性主视图。

图5是将清扫装置的主要部分放大的示意性立体图。

图6的(A)至(D)是用于对清扫装置的动作进行说明的说明图，图6的(A)表示织物构件的供给状态，图6的(B)表示通过按压构件按压织物构件的状态，图6的(C)表示供给清洗液的状态，图6的(D)表示清扫状态。

图7是用于对进行清扫作业时的薄板的移动速度以及清扫面的移动速度与时间的关系进行说明的概略说明图。

图8是用于对利用清扫装置的清扫状态进行说明的说明图。

附图标记说明

W：薄板，C：织物构件，1A：第一输送装置，1B：第二输送装置，3A：第一清扫装置，3B：第二清扫装置，5：供给机构，13：柱状构件，13a：清扫面(清扫部)，15：按压构件，17：切换机构，19：相对移动机构，25：保持部，27：轨道，100：清扫系统。

具体实施方式

[第一实施方式]

以下，适当参照附图对本发明的一个实施方式所涉及的清扫系统进行详细说明。

＜清扫系统＞

图1所示的清扫系统100是用于在生产线中对异物进行清扫的系统，该异物附着于在智能电话、便携电话等电子设备中使用的覆盖玻璃等玻璃板(薄板W)的表面。另外，作为清扫对象的薄板W并不限定于覆盖玻璃，能够将其他各种基板设为对象，该清扫系统100可合适地使用于俯视方形状的透明的薄板W的清扫。

清扫系统100包括：输送薄板W的输送装置1A、1B；以及清扫装置3A、3B，具有与通过输送装置1A、1B输送的薄板W的表面对置地配置的作为清扫部的清扫面13a(参照图2)。清扫系统100分别包括2个输送装置1A、1B以及清扫装置3A、3B。具体地说，清扫系统100包括：第一输送装置1A，其吸附保持薄板W的表面中的一面而进行输送；第一清扫装置3A，其对通过第一输送装置1A输送的薄板W的另一面进行清扫；第二输送装置1B，其吸附保持通过第一清扫装置3A清扫了一面的薄板W的另一面而进行输送；以及第二清扫装置3B，其对通过第二输送装置1B输送的薄板W的一面进行清扫。另外，在必要的情况下，也能够设置下述构件等：去除装置，其将通过清扫装置3A、3B清扫后的薄板W的面上的清扫产生的灰尘等去除；层叠装置，其在通过清扫装置3A、3B清扫后的薄板W的面上粘贴保护膜等。另外，该清扫系统100还包括控制输送装置1A、1B以及清扫装置3A、3B等各种装置的动作的控制装置(图示省略)。

第一输送装置1A将薄板W从从送入装置(未图示)接受薄板W的位置P1输送到向第二输送装置1B传递薄板W的位置P2。在接受薄板W的位置P1与传递的位置P2之间配设有第一清扫装置3A。第一清扫装置3A对通过第一输送装置1A输送的薄板W的一面(下表面)进行清扫。第一输送装置1A向一方向(从接受薄板W的位置P1朝向传递的位置P2的方向(X方向))输送利用第一清扫装置3A的清扫状态的薄板W的表面。在这里，所谓清扫状态，意味着正在通过清扫装置3A、3B清扫薄板W的表面的状态。另外，第一输送装置1A以一定的速度向一方向(以下，有时候称为输送方向)输送薄板W。

第二输送装置1B将薄板W从由第一输送装置1A传递薄板W的位置P2输送到向送出装置(未图示)传递薄板W的位置P3。在传递薄板W的位置P2与传递的位置P3之间配设有第二清扫装置3B。第二清扫装置3B对通过第二输送装置1B输送的薄板W的另一面(上表面)进行清扫。第二输送装置1B向一方向(从接受薄板W的位置P2朝向传递的位置P3的方向(X方向))输送利用第二清扫装置3B的清扫状态的薄板W的表面。另外，第二输送装置1B以一定的速度向一方向输送薄板W。

(第一清扫装置)

参照图2，第一清扫装置3A包括相对移动机构19，所述相对移动机构19为了清扫而在使清扫面13a直接或间接地接触于薄板W的表面的状态下使清扫面13a反复进行与薄板W的表面相对的相对性的静止动作和移动动作。清扫面13a经由长条状的织物构件C而间接地接触于薄板W的表面。织物构件C根据薄板W的种类、与薄板W的摩擦力、清洗液的吸收程度等而选择。

如图2所示，第一清扫装置3A还包括向清扫面13a供给织物构件C的供给机构5。供给机构5具有架设有织物构件C的主动辊7以及从动辊9，通过主动辊7的旋转在薄板W的清扫后将织物构件C卷绕到主动辊7侧，伴随于此从从动辊9排出未使用的织物构件C。另外，供给机构5还具有调整张力同时供给长条状的织物构件C的多种辊。

供给机构5如后述那样向两个柱状构件13的清扫面13a供给长条状的织物构件C。长条状的织物构件C首先被供给到之后接触于薄板W的清扫面13a，然后被供给到最先接触于薄板W的清扫面13a。换而言之，长条状织物构件C被向图2的箭头T的方向输送。即，主动辊7被设置得比从动辊9靠薄板W的输送方向的相反方向(－X方向)。

如图2以及图4A和图4B至图6所示，第一清扫装置3A包括分别具有清扫面13a的一对清扫构件11。具体地说，通过输送方向的上游侧(－X方向侧)的清扫构件11使用通过后述的供给喷嘴29供给的清洗液而对薄板W进行清扫，通过输送方向的下游侧(X方向侧)的清扫构件11将附着于薄板W的表面的擦拭痕迹和/或擦拭剩余物擦除。

各清扫构件11具有：柱状构件13，其在前端(图2中的柱状构件13的上表面)具有清扫面13a；以及按压构件15，其向柱状构件13的侧壁面13b侧按压从供给机构5向清扫面13a供给的长条状的织物构件C(参照图4A和图4B至图6)。在各清扫构件11，使一个柱状构件13从两侧通过一对按压构件15夹持织物构件C。

如图4B所示，相对于柱状构件13的前端面(清扫面13a)大致垂直地设有一对侧壁面13b，柱状构件13在前端面(清扫面13a)与侧壁面13b之间具有边缘R。具体地说，在与前端面以及侧壁面13b交叉的方向的截面形状上，前端面(清扫面13a)以及侧壁面13b经由曲率半径1mm以下的角而连续。

柱状构件13如图4A和图4B以及图5所示，在与薄板W的输送方向(X方向)以及薄板W的厚度方向(Z方向)双方正交的方向(Y方向)上延伸，该正交的方向的长度被设置成与薄板W的宽度(与输送方向正交的方向的长度)大致相同长度。柱状构件13的材料没有特别限定，能够使用硬质的树脂制的刮板。另外，柱状构件13的前端面(清扫面13a)的形状在与薄板W的输送方向(X方向)以及薄板W的厚度方向(Z方向)双方正交的方向(Y方向)上，被设为与薄板W相对应的形状。具体地说，在薄板W的表面形状为平面的情况下(薄板W的表面形状为Y方向的直线在X方向上连续的形状的情况下)，柱状构件13的前端面被设为平面，另外，在薄板W的表面形状的一部分为随着朝向Y方向而向Z方向弯曲的形状的情况下(薄板W的表面形状为Y方向的曲线在X方向上连续的形状的情况下)，柱状构件13的前端面被设为Y方向的曲线连续的形状(例如，鱼板形状)。

第一清扫装置3A如图2所示，还包括切换机构17，所述切换机构17使各清扫构件11在经由织物构件C而间接地接触于薄板W的表面的状态和分离的状态间切换。具体地说，切换机构17由被连结于各清扫构件11(柱状构件13以及一对按压构件15)、使清扫构件11以及相对移动机构19上下运动的气缸构成，清扫构件11通过切换机构17而上升，由此清扫面13a经由织物构件C而间接地接触于被输送的薄板W的表面。

另外，切换机构17被设置成，能够使清扫面13a经由织物构件C而间接地接触于后述的第一输送装置1A的保持部25的表面。即，在清扫系统100中，能够通过清扫构件11对没有保持薄板W的保持部25(参照图1)进行清扫。

相对移动机构19是使清扫构件11沿着输送方向(X方向)往复运动的机构。在这里，图7表示清扫构件11的速度与时间的关系。图7中的直线K表示薄板W的输送速度。因此，在S1的部位，薄板W与清扫构件11以相同速度移动。相对移动机构19使清扫面13a交替地反复进行输送方向(X方向)以及其相反方向(－X方向)的移动动作，在移动动作中，相对移动机构19产生的清扫面13a的移动速度比第一输送装置1A产生的薄板W的表面的移动速度快(参照图7)。换而言之，相对移动机构19在使清扫面13a间接地接触于薄板W的表面的状态下使清扫面13a反复进行与薄板W的表面相对的相对性的静止动作(图7的S1)和移动动作。因此，在相对移动机构19中，与织物构件C的静摩擦力以及动摩擦力交替地作用于薄板W的表面。另外，相对移动机构19产生的清扫构件11的往复运动的振幅宽度为薄板W的10分之1到40分之1的长度，相对移动机构19驱动清扫构件11，使其在1分钟的时间内往复1000到2500之间的预定数。

相对移动机构19具体地说，具有：电动机(图示省略)；通过电动机的旋转力而旋转的凸轮21；和将该凸轮21的旋转力转换为使清扫构件11(柱状构件13以及一对按压构件15)往复运动的驱动力而向清扫构件11传递的传递构件23。因此，通过电动机的旋转力进行清扫构件11的往复运动。作为该相对移动机构19，具体地说能够使用例如曲柄摇杆机构。

(第一输送装置)

第一输送装置1A如图1所示，具有：通过吸附而保持薄板W的保持部25；沿着输送方向(X方向)设置保持部25行走的轨道27；和使保持部25行走的驱动部(图示省略)。而且，保持部25沿着轨道27在输送方向(X方向)上行走的同时一边薄板W被输送一边通过第一清扫装置3A清扫表面(下表面)。

另外，第一输送装置1A还具有向清扫面13a供给清洗液的供给喷嘴29。该供给喷嘴29在清扫面13a进行的薄板W的表面的清扫前向清扫面13a供给清洗液。具体地说，供给喷嘴29被设置于保持部25，与保持部25一起在输送方向(X方向)上移动。该供给喷嘴29在薄板W的输送时向清扫作业开始前的输送方向的上游侧(－X方向侧)的清扫面13a供给清洗液。另外，供给喷嘴29也可以向输送方向的下游侧(X方向侧)的清扫面13a也供给微量的清洗液，另外也可以不供给。供给喷嘴29被设置于保持部25的输送方向侧(X方向侧)。另外，供给喷嘴29在Y方向上延伸，该正交的方向的长度被设置为与清扫面13a的长度(Y方向的长度)大致相同长度。

第一输送装置1A在传递薄板W的位置P2具有为了传递薄板W而使保持部25下降的上下运动机构(图示省略)。

(第二清扫装置)

第二清扫装置3B包括与第一清扫装置3A大致同样的构成，对薄板W的清扫完毕的面的相反面(上表面)进行清扫。另外，第二清扫装置3B如图3所示，包括与第一清扫装置3A上下颠倒地配置的构成，对于具有与第一清扫装置3A相同构成或功能的构件在图3中使用相同附图标记，详细的说明省略。

(第二输送装置)

第二输送装置1B是包括与第一输送装置1A大致同样的构成、对通过第二清扫装置3B清扫的薄板W进行输送的装置。另外，在第二输送装置1B中，对于具有与第一输送装置1A相同构成或功能的构件使用相同附图标记，详细的说明省略。

第二输送装置1B具有载置有从第一输送装置1A接受的薄板W的保持部25。该保持部25从薄板W的下表面支承，具有吸附孔，通过吸附而保持薄板W。

另外，第二输送装置1B也可以在接受薄板W的位置P2具有为了接受薄板W而使保持部25上升的上下运动机构(图示省略)。

＜动作＞

接下来，对清扫系统100进行的动作进行说明。

首先，从送入装置向第一输送装置1A的保持部25传递薄板W(图1的位置P1)。然后，第一输送装置1A的保持部25向输送方向(X方向)移动的同时，在供给喷嘴29位于清扫面13a时从供给喷嘴29向第一清扫装置3A的清扫面13a(与其接触的织物构件C的一部分)供给清洗液。

在清扫时，向清扫面13a供给织物构件C的新的部分。具体地说，如图6的(A)所示，在一对按压构件15分离的状态(将按压构件15进行的对织物构件C的向柱状构件13的侧壁面13b侧的按压解除的状态)下，通过供给机构5的主动辊7旋转，从从动辊9排出未使用的织物构件C，向清扫面13a供给织物构件C的新的部分。然后，如图6的(B)所示，通过一对按压构件15向柱状构件13移动，由一对按压构件15将织物构件C向柱状构件13的侧壁面13b侧按压。在该状态下，织物构件C与柱状构件13作为一体而移动。换而言之，织物构件C不会相对于柱状构件13偏移。接下来，如上述那样，供给喷嘴29向清扫面13a供给清洗液(参照图6的(C))。然后，如图6的(D)那样，清扫构件11(柱状构件13以及一对按压构件15)通过切换机构17而向被输送的薄板W侧移动(上升)。

此时如图8的(A)那样，清扫面13a位于薄板W的输送方向端部。清扫构件11从该状态向－X方向移动。在如图8的(B)那样清扫构件11向－X方向移动预定的距离时，清扫构件11向X方向移动(图8的(C))。然后，清扫构件11向X方向移动预定距离后，再次向－X方向移动。在该动作之间薄板W被始终以预定速度向X方向输送。在该动作中，在薄板W与清扫构件11以相同方向以及速度移动的定时，通过清扫构件11，静止摩擦力作用于向薄板W以及薄板W上的异物。另一方面，在静摩擦力作用的定时以外，动摩擦力作用于薄板以及薄板W上的异物。由此进行清扫构件11的相对的移动动作以及静止动作进行的清扫，不仅进行利用动摩擦的异物的去除(擦除动作)还进行利用静摩擦的异物的去除(擦除动作)，对薄板W的下表面进行清扫。

薄板W相对于清扫构件11向X方向不断移动，在清扫构件11位于薄板W的－X方向侧端部(图8的(D))后，与此前同样，清扫构件11向X方向移动预定距离(图8的(E))。于是，之后清扫部向－X方向移动预定距离。在清扫构件11擦除几次薄板W的－X方向端部后，清扫构件11从薄板W分离(图8的(F)以及图8的(G))。另外，图8的(A)到图8的(G)为了理解构成以及动作而通过与实际的比例尺不同的比例尺表达。

通过第一清扫装置3A进行了上表面的清扫的薄板W被从第一输送装置1A向第二输送装置1B传递(图1的位置P2)。具体地说，第一输送装置1A的保持部25通过气缸而向下方移动(图1的W1)，在由保持部25保持的薄板W接触于第二输送装置1B的保持部25的时间点，第一输送装置1A的保持部25进行的吸附保持结束，同时开始第二输送装置1B的保持部25进行的吸附保持。

这样一来，在从第一输送装置1A向第二输送装置1B传递薄板W后，通过第二输送装置1B以及第二清扫装置3B，也进行与第一输送装置1A以及第一清扫装置3A同样的动作，进行薄板W的下表面的清扫。而且，通过第二清扫装置3B进行了下表面的清扫的薄板W被向送出装置传递(图1的位置P3)。

另一方面，将薄板W传递到第二输送装置1B的第一输送装置1A的保持部25返回到图1的位置P1。同样，将薄板W传递到送出装置的第二输送装置1B的保持部25返回到图1的位置P2。在保持部25返回到各位置时也能够通过清扫构件11清扫保持部25。

＜电子设备的制造方法＞

接下来，对使用上述的清扫系统100的电子设备的制造方法进行说明。该电子设备的制造方法具有使用清扫系统100对作为薄板W的透明基板进行清扫的工序。在该清扫工序中，使用清扫系统100，对透明基板的两面进行清扫。

＜优点＞

在利用清扫系统100的清扫时，如上述那样清扫面13a不但相对于薄板W的表面进行相对性的移动动作还进行静止动作，所以不但能够进行动摩擦所引起的异物的去除还能够进行静摩擦所引起的异物的去除，能够可靠地去除薄板W表面的异物。即，静摩擦在异物上作用比动摩擦更强的力，所以能够更有效地去除异物。

另外，清扫面13a相对于薄板W的表面沿着输送方向往复运动，清扫面13a向输送方向以及其相反方向的双方移动，所以与仅使力向一方向作用的情况相比，向不同的多个方向的力作用于异物，能够有效地去除异物。

即使在粘着力较强的异物附着于薄板W的情况下，也能够通过柱状构件13的边缘R多次向异物施加冲击力，所以容易去除粘着力较强的异物。

进而，清扫面13a在沿着输送方向的方向上相对于薄板W的表面移动，所以通过采用与薄板W的形状对应的清扫面13a，能够使用于各种薄板W的清扫。具体地说，例如，即使是液晶面板那样在玻璃的周围设有端子的清扫对象物(薄板W)、将玻璃基板嵌入到框中的清扫对象物(薄板W)、具有弯曲的曲面的3D玻璃(薄板W)等那样、不是仅由简单的平坦平面构成的清扫对象物，也能够通过设置沿着其形状的清扫面13a而进行精确的清扫。特别是，清扫装置3A、3B包括切换机构17，所以通过使清扫面13a仅在清扫对象的部分接触于薄板W、然后使其分离，对具有特殊形状的薄板W也能够精确地对清扫对象的部分进行清扫。

[其他的实施方式]

本次公开的实施方式应该被视为在所有的方面是例示而不是限制性的。本发明的范围并不限定于上述实施方式的构成和数值，通过权利要求书表示，其含义包含与权利要求书均等的意义以及范围内的所有的变更(构成的置换、附加以及删除)。

即，在上述实施方式中，对供给清洗液的供给喷嘴被设置于输送装置的情况进行了说明，但本发明并不限定于此。例如，供给喷嘴可以设置于清扫装置，具体地说，也能够将供给喷嘴设置成向一对清扫部之间的织物构件供给清洗液。另外，在将供给喷嘴设置于输送装置的保持部的情况下，也并不限定于将供给喷嘴设置于保持部的输送方向侧，也能够设置于输送方向的相反方向侧(－X方向侧)。

另外，在上述实施方式中对作为柱状构件使用树脂制的刮板进行了说明，但也能够不使用树脂而使用金属等而通过树脂、橡胶等覆盖于前端面那样的构件，或作为柱状构件采用垫板等。

进而，也可以在柱状构件的前端面(清扫面)上形成槽，而设为摩擦力等比前端面为平面的情况下更容易作用的构成。

在上述实施方式中对清扫面往复运动的方案进行了说明，但也能够使清扫面断续地向一方向移动、即反复进行向一方向移动以及停止的构成进行作用。进而，清扫面的移动方向并不限定于薄板W的输送方向(X方向)和/或其相反方向，也可以使其向其他的方向移动，换而言之，也可以为使其向3个方向以上的方向移动的构成。在该情况下，不同的方向的力作用于异物，所以更容易去除异物。

在上述实施方式中对以一定速度输送薄板W的同时清扫面往复运动而擦除薄板W的表面的构成进行了说明，但也可以为在清扫状态下不输送薄板W而柱状构件13移动的构成。

在上述实施方式中，使2个清扫构件11双方向X方向以及－X方向移动(往复运动)，但本发明并不限定于此。也可以是不使薄板W的输送方向上的后方侧的清扫构件11往复运动的构成。在使其往复运动的情况下，具有擦拭痕迹等在静摩擦作用的部位残留的可能性，但通过该构成能够防止擦拭痕迹残留。

在上述实施方式中，说明了由相对移动机构19移动的清扫构件11的往复运动的振幅宽度为薄板W的10分之1到40分之1的长度、相对移动机构19以在1分钟的时间内往复1000到2500之间的预定数的方式驱动清扫构件11的构成，但本发明并不限定于此。振幅宽度也可以为薄板W的5分之1左右或50分之1左右，1分钟的时间内的往复次数也可以为500左右或3000左右。使其快速移动时，作用于异物的力变大，所以有效，但静摩擦力作用的次数较多一方容易去除异物。优选通过薄板的材质和/或清扫环境等确定最合适的条件。

另外，在上述实施方式中，对对薄板的两面进行清扫进行了说明，但也可以仅对薄板的一面进行清扫。在该情况下，可以采用第一清扫装置以及第一输送装置、或第二清扫装置以及第二输送装置。

在上述实施方式中，输送装置一边吸附保持一边输送薄板W，但本发明并不限定于此，也可以通过其他的技术方案保持·输送，例如，也能够采用机械的、物理地保持薄板W的构成。

在上述实施方式中，采用了通过清扫面清扫薄板的构成，但本发明并不限定于此，也能够采用线状或点状地接触于薄板而清扫的构成。

在上述实施方式中，对清扫平板状的薄板的情况进行了说明，但本发明并不限定于此，也能够适用于对在作为清扫对象的部位的周边配置有不需要清扫的构件的对象物进行清扫的情况、不是平板而设有突出部分的薄板。

进而，在上述实施方式中，对柱状构件具有与薄板的宽度大致相同长度的方案进行了说明，但本发明并不限定于此。例如，也能够设为柱状构件具有比薄板的宽度大的长度的方案，在该情况下，能够相对于各种宽度的薄板进行清扫。进而，在清扫宽度方向两端突出的形状的薄板时，通过采用长度比薄板的宽度短的柱状构件，能够避开突出部分，或一边擦除突出部分一边对清扫面进行清扫。

本发明的清扫系统，本发明的透明板清扫系统能够合适地利用于便携设备的表示装置所使用的玻璃基板等透明板的清扫。

Claims

1.一种清扫系统，去除附着于薄板表面的异物，所述清扫系统包括：

输送装置，输送所述薄板；以及

所述清扫部的清扫面的至少一部分的形状随着朝向与所述薄板的输送方向以及所述薄板的厚度方向双方正交的方向而向所述薄板的厚度方向弯曲。

2.根据权利要求1所述的清扫系统，其中，

所述清扫部随着所述薄板的输送方向而向所述薄板的厚度方向弯曲。

3.根据权利要求1所述的清扫系统，其中，

4.根据权利要求1所述的清扫系统，其中，

所述清扫部向3个方向移动。

5.根据权利要求1至4中任意一项所述的清扫系统，其中，

所述清扫装置还包括切换机构，所述切换机构使所述清扫部在与所述薄板表面直接或间接地接触的状态和与所述薄板表面分离的状态间切换。

6.根据权利要求1所述的清扫系统，其中，

所述清扫部隔着织物构件而间接地接触于所述薄板表面。

7.根据权利要求6所述的清扫系统，其中，

所述清扫装置还包括向所述清扫部供给织物构件的供给机构。

8.根据权利要求7所述的清扫系统，其中，

所述清扫装置还包括：

柱状构件，在所述柱状构件的前端面上具有所述清扫部；以及

按压构件，将织物构件按压到所述柱状构件而防止从所述供给机构向所述清扫部供给的长条状的织物构件与所述清扫部偏离。

9.根据权利要求1所述的清扫系统，其中，

所述输送装置还具有向所述清扫部供给清洗液的供给喷嘴。

10.根据权利要求1所述的清扫系统，其中，

所述清扫系统包括：

第一所述输送装置，从薄板表面中的一方的面保持所述薄板；

第一所述清扫装置，对通过第一所述输送装置输送的所述薄板的另一面进行清扫；

第二所述输送装置，从所述薄板的另一面保持通过第一所述清扫装置清扫了一面的所述薄板；以及

第二所述清扫装置，对通过第二所述输送装置输送的所述薄板的一面进行清扫。

11.根据权利要求1所述的清扫系统，其中，

所述薄板是玻璃板。