JP2013193061A - 除塵装置および除塵方法 - Google Patents
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Abstract
【課題】動力を効率的に利用し、生産の効率を向上させながら、基板の表面に付着した塵埃を確実に除去することが可能な塵埃の除塵装置および除塵方法を提供する。
【解決手段】除塵装置は、基板10の表面に付着した塵埃を除去する除塵装置であって、基板10を搬送する受取コンベヤ1および搬出コンベヤ2と、受取コンベヤ1および搬出コンベヤ2によって搬送される基板10の表面に付着した塵埃を除去する除塵ユニット3,4と、基板10の搬送方向における除塵ユニット3,4の両側に設けられ、基板10の表面への塵埃の付着を検出可能な検出ユニット30,40とを備える。
【選択図】図1
【解決手段】除塵装置は、基板10の表面に付着した塵埃を除去する除塵装置であって、基板10を搬送する受取コンベヤ1および搬出コンベヤ2と、受取コンベヤ1および搬出コンベヤ2によって搬送される基板10の表面に付着した塵埃を除去する除塵ユニット3,4と、基板10の搬送方向における除塵ユニット3,4の両側に設けられ、基板10の表面への塵埃の付着を検出可能な検出ユニット30,40とを備える。
【選択図】図1
Description
本発明は、除塵装置および除塵方法に関し、特に、基板の表面に付着した塵埃を除去する除塵装置および除塵方法に関する。
基板の表面に付着した塵埃を除去する除塵装置が従来から知られている。このような除塵装置としては、たとえば、特開2003−332401号公報(特許文献1)および特開2005−296809号公報(特許文献2)に記載のものが挙げられる。
特許文献1,2に記載の除塵装置では、超音波エアを基板に向けて噴出させる機構と、上記エアによって飛散した塵埃を吸引する機構とを備えている。
特許文献1,2に記載の除塵装置は、除塵が確実になされたかを確認する機構を備えておらず、塵埃が付着したままの基板が後工程に送られる可能性が懸念される。
塵埃が付着したままの基板が後工程に送られる可能性を低減する観点から、除塵効果を高めるためには、常に除塵装置の出力を高く保つ必要がある。しかし、除塵対象の基板には、塵埃が付着していないものもあり、このような対象物に対しても除塵装置の出力を高く保っていたのでは、動力の無駄となる。
同様に、基板が後工程に送られる可能性を低減する観点から、除塵効果を高めるためには、個々の基板に対する除塵処理の時間を長くする必要がある。しかし、塵埃が付着していない基板に対しても除塵処理の時間を長くすると、生産効率が低下する。
本発明は、上記のような問題に鑑みてなされたものであり、本発明の目的は、動力を効率的に利用し、生産の効率を向上させながら、基板の表面に付着した塵埃を確実に除去することが可能な塵埃の除塵装置および除塵方法を提供することにある。
本発明に係る除塵装置は、基板の表面に付着した塵埃を除去する除塵装置であって、基板を搬送する搬送ユニットと、搬送ユニットによって搬送される基板の表面に付着した塵埃を除去する除塵ユニットと、基板の搬送方向における除塵ユニットの両側に設けられ、基板の表面への塵埃の付着を検出可能な検出ユニットとを備える。
1つの実施態様では、上記除塵装置において、搬送ユニットは、互いに逆方向である第1方向および第2方向に基板を搬送可能である。
1つの実施態様では、上記除塵装置において、搬送ユニットは、検出ユニットにより塵埃の付着が検出されたことに基づいて、第1方向および第2方向に基板を少なくとも1回往復移動させる。
1つの実施態様では、上記除塵装置において、除塵ユニットは、検出ユニットにより塵埃の付着が検出されたことに基づいて、塵埃を除去するための出力を増大させる。
1つの実施態様では、上記除塵装置において、搬送ユニットは、検出ユニットにより塵埃の付着が検出されたことに基づいて、基板の搬送速度を低下させる。
1つの実施態様では、上記除塵装置において、搬送ユニットは、検出ユニットにより塵埃の付着が検出されたことに基づいて、基板を間欠的に移動させる。なお、間欠的な移動とは、移動と停止とを繰り返す不連続な動作を意味する。
1つの実施態様では、上記除塵装置において、除塵ユニットは、基板の表面に気体を吹き付け、飛散した塵埃を吸引する。
1つの実施態様では、上記除塵装置において、除塵ユニットは、基板の表面に間欠的に気体を吹き付ける間欠噴射を行なうことが可能であり、検出ユニットによる検出結果に基づいて、間欠噴射における噴射時間と停止時間との比率を調整する。なお、間欠的な吹き付けとは、気体の吹き付けと吹き付けの停止とを繰り返す不連続な動作を意味する。また、間欠噴射の比率の調整は、手動で行なわれてもよいし、自動で行なわれてもよい。
1つの実施態様では、上記除塵装置において、除塵ユニットおよび検出ユニットは、基板の表裏両面側に設けられる。
本発明に係る除塵方法は、搬送ユニットによって搬送される基板の表面に付着した塵埃を除去する除塵方法であって、搬送ユニットによって搬送される基板の表面に付着した塵埃を除去する工程と、搬送ユニットによって搬送される基板の表面への塵埃の付着を検出する工程とを備え、塵埃の付着を検出する工程は、塵埃を除去する工程の前に塵埃の付着を検出することと、塵埃を除去する工程の後に塵埃の付着を検出することとを含む。
1つの実施態様では、上記除塵方法において、塵埃を除去する工程の後に塵埃の付着が検出されたことに基づいて、基板を逆方向に搬送して塵埃を除去する工程を再度行なう。
1つの実施態様では、上記除塵方法において、塵埃を除去する工程の前に塵埃の付着が検出されたことに基づいて、塵埃を除去する工程における塵埃を除去するための出力を増大させる。
1つの実施態様では、上記除塵方法において、塵埃を除去する工程の前に塵埃の付着が検出されたことに基づいて、塵埃を除去する工程における基板の搬送速度を低下させる。
1つの実施態様では、上記除塵方法において、塵埃を除去する工程の前に塵埃の付着が検出されたことに基づいて、塵埃を除去する工程において基板を間欠的に移動させる。なお、上述のとおり、間欠的な移動とは、移動と停止とを繰り返す不連続な動作を意味する。
1つの実施態様では、上記除塵方法において、塵埃を除去する工程は、基板の表面に気体を吹き付け、飛散した塵埃を吸引することを含む。
1つの実施態様では、上記除塵方法において、板の表面に気体を吹き付けることは、基板の表面に間欠的に気体を吹き付ける間欠噴射を含み、塵埃を除去する工程の前における塵埃の付着の検出結果に基づいて、間欠噴射における噴射時間と停止時間との比率を調整する。なお、上述のとおり、間欠的な吹き付けとは、気体の吹き付けと吹き付けの停止とを繰り返す不連続な動作を意味する。また、間欠噴射の比率の調整は、手動で行なわれてもよいし、自動で行なわれてもよい。
1つの実施態様では、上記除塵方法において、基板の表裏両面に対して、塵埃を除去する工程および塵埃の付着を検出する工程を行なう。
本発明によれば、基板の搬送方向における除塵ユニットの下流側において、基板の表面への塵埃の付着を検出可能であるため、除塵が確実になされたかを確認することができる。この結果、塵埃が付着したままの基板が後工程に送られることを抑制可能である。
また、本発明によれば、基板の搬送方向における除塵ユニットの上流側において、基板の表面への塵埃の付着を検出可能であるため、除塵対象の基板に塵埃が付着しているかを検知し、この検知結果に基づいて、除塵装置の出力や除塵処理の時間を調整可能である。
よって、本発明によれば、動力を効率的に利用し、生産の効率を向上させながら、基板の表面に付着した塵埃を確実に除去することが可能である。
以下に、本発明の実施の形態について説明する。なお、同一または相当する部分に同一の参照符号を付し、その説明を繰返さない場合がある。
なお、以下に説明する実施の形態において、個数、量などに言及する場合、特に記載がある場合を除き、本発明の範囲は必ずしもその個数、量などに限定されない。また、以下の実施の形態において、各々の構成要素は、特に記載がある場合を除き、本発明にとって必ずしも必須のものではない。
(実施の形態1)
図1は、実施の形態1に係る除塵装置の構成を示す図である。図1に示すように、本実施の形態に係る除塵装置は、基板10の表面に付着した塵埃を除去する除塵装置であって、受取コンベヤ1と、搬出コンベヤ2と、除塵ユニット3,4と、検出ユニット30,40とを含む。
図1は、実施の形態1に係る除塵装置の構成を示す図である。図1に示すように、本実施の形態に係る除塵装置は、基板10の表面に付着した塵埃を除去する除塵装置であって、受取コンベヤ1と、搬出コンベヤ2と、除塵ユニット3,4と、検出ユニット30,40とを含む。
受取コンベヤ1および搬出コンベヤ2は、基板10を搬送する「搬送ユニット」を構成する。受取コンベヤ1および搬出コンベヤ2は、基板10を正逆方向(図1中の矢印DR1方向)に搬送可能である。
除塵ユニット3,4は、受取コンベヤ1および搬出コンベヤ2によって搬送される基板10の表面に付着した塵埃を除去するものである。除塵ユニット3は、基板10の上面に付着した塵埃を除去する。除塵ユニット4は、基板10の下面に付着した塵埃を除去する。図1の例では、基板10の上側および下側の両方に除塵ユニットが設けられているが、除塵ユニットは、たとえば、図2に示すように、基板10の上側のみに設けられるものであってもよいし、図3に示すように、基板10の下側のみに設けられるものであってもよい。
検出ユニット30は、基板10の搬送方向(図1中の矢印DR1方向)における除塵ユニット3の両側に設けられる。同様に、検出ユニット40は、基板10の搬送方向(図1中の矢印DR1方向)における除塵ユニット4の両側に設けられる。検出ユニット30,40は、基板10の表面への塵埃の付着を検出可能である。塵埃の付着の検出手段としては、たとえば、画像処理による検出や、レーザ変位計による検出が利用可能である。
図4は、除塵ユニット3の構造を示す断面図である。なお、除塵ユニット4についても、図4に示すものと同様の構造を有する。
図4に示すように、除塵ユニット3は、超音波発生器31と、プレッシャーヘッド部32と、バキュームヘッド部33とを含む。
超音波発生器31およびプレッシャーヘッド部32は、超音波エアを基板10の表面に向けて噴出する。超音波エアは、図4に示すように、基板10の表面の延在方向に対して斜め方向に吹き付けられる。
上記超音波エアの吹き付けにより、基板10の表面に付着した塵埃が飛散する。バキュームヘッド部33は、飛散したエアを吸引する。これにより、基板10の上面に付着した塵埃が除去される。
本実施の形態に係る除塵装置の特徴は、基板10の搬送方向における除塵ユニット3,4の両側に検出ユニット30,40を設けたことにある。この点について、図6に示す比較例と対比しながら説明する。
図6に示す除塵装置は、基板10Aの表面に付着した塵埃を除去する除塵装置であって、受取コンベヤ1Aと、搬出コンベヤ2Aと、除塵ユニット3A,4Aとを含む。受取コンベヤ1Aおよび搬出コンベヤ2Aは、基板10Aを一方向(矢印DR1A方向)に搬送するものである。
図6に示す除塵装置は、基板10Aの塵埃が確実に除去されたかを確認する機構を備えていない。したがって、除塵ユニット3A,4Aを通過した後、塵埃が付着したままの基板10Aが後工程に送られる可能性を否定できない。
塵埃が付着したままの基板10Aが後工程に送られる可能性を低減する観点から、除塵効果を高めるためには、常に除塵ユニット3A,4Aの出力を高く保つ必要がある。しかし、順次搬送されてくる基板10Aの中には、塵埃が付着していないものもあり、このような基板10Aに対しても除塵ユニット3A,4Aの出力を高く保っていたのでは、動力の無駄が発生する。
また、除塵効果を高めるために、受取コンベヤ1Aおよび搬出コンベヤ2Aによる搬送速度を低下させることが考えられる。これにより、個々の基板10Aに対する除塵処理の時間が長くなる。しかし、塵埃が付着していない基板10Aに対しても、一様に搬送速度を低下させたのでは、生産効率が低下することになる。
これに対し、本実施の形態に係る除塵装置では、図1に示すように、除塵ユニット3,4の下流側に位置する検出ユニット30,40によって、基板10の除塵が確実になされたかを確認することができるため、塵埃が付着したままの基板10が後工程に送られることを抑制することができる。
また、除塵ユニット3,4の上流側に位置する検出ユニット30,40によって、除塵処理される前の基板10の状態(塵埃の付着状態)を検出可能であるため、この検知結果に基づいて、除塵ユニット3,4の出力や処理時間を調整可能である。この結果、動力を効率的に利用し、生産効率を向上させることが可能である。
次に、図5を参照しながら、本実施の形態に係る除塵方法のフローを説明する。まず、除塵ユニット3,4の上流側に位置する検出ユニット30,40によって、除塵処理される前の基板10の表面に塵埃が付着しているか(異物があるか)を検出する。
その結果、塵埃(異物)の付着が検知された場合には、塵埃を除去するための除塵ユニット3,4の出力を増大(吹付けパワーup、吸込みパワーup)させる。逆に、塵埃(異物)の付着が検知されなかった場合には、塵埃を除去するための除塵ユニット3,4の出力を低下(吹付けパワーdown、吸込みパワーdown)させる。
さらに、塵埃(異物)の付着が検知された場合には、コンベヤによる基板10の搬送速度を低下(搬送速度down)させる。逆に、塵埃(異物)の付着が検知されなかった場合には、コンベヤによる基板10の搬送速度を増大(搬送速度up)させる。
次に、除塵ユニット3,4の下流側に位置する検出ユニット30,40によって、除塵処理された後の基板10の表面に塵埃が付着しているか(異物があるか)を検出する。
その結果、塵埃(異物)の付着が検知された場合には、基板10を逆方向に搬送して塵埃を除去する工程を再度行なう(コンベヤ逆走)。これにより、1回目の除塵処理とは異なる方向から超音波エアが吹き付けられるので、除塵処理の効果を向上させることができる。コンベヤ逆走によって逆方向に搬送された基板10は、1回目の除塵処理が行なわれる前の位置に戻る、その後、上述した除塵処理のフローが繰り返される。
すなわち、上記の例では、1回目の除塵処理の後、塵埃が付着されていると認定された基板10には、3回の除塵処理が施されることになる。3回目の除塵処理が行なわれた後、依然として塵埃(異物)の付着が検知された場合には、再度コンベヤを逆走させてもよいし(この場合、少なくとも5回の除塵処理が施されることになる)、再度の除塵処理を行なわずに、当該基板10を払い出してもよい(処理終了)。
なお、1枚の基板10に対して、コンベヤ逆走を最大で何度繰り返すかについては、適宜設定が可能である。上述の例によれば、奇数回(1回、3回、5回、…)の除塵処理が行なわれることになる。
上述の例に対し、1つの変形態様として、たとえば、基板10の搬送速度を低下させること(搬送速度down)に代えて、または、搬送速度を低下させることに加えて、基板10を間欠的に移動させる(移動と停止とを繰り返すように不連続に動作させる)ことが考えられる。
また、他の変形態様として、たとえば、除塵ユニット3,4の出力を低下させること(吹付けパワーdown、吸込みパワーdown)に代えて、または、出力を低下させることに加えて、除塵ユニット3,4を間欠的に動作(パルス噴射)させることが考えられる。このとき、塵埃の付着の状況に応じて、上記間欠動作における気体の噴射時間と停止時間との比率を適宜調整することが可能である。
本実施の形態に係る除塵装置および除塵方法によれば、上述のとおり、動力を効率的に利用し、生産の効率を向上させながら、基板10の表面に付着した塵埃を確実に除去することが可能である。
(実施の形態2)
実施の形態2に係る除塵装置については、上述した実施の形態1と基本的構造は同一であるが(図1〜図4)、検出ユニット30,40によって基板10の割れ、欠けを検出するようにするようにしてもよい。
実施の形態2に係る除塵装置については、上述した実施の形態1と基本的構造は同一であるが(図1〜図4)、検出ユニット30,40によって基板10の割れ、欠けを検出するようにするようにしてもよい。
なお、その他の内容については、上述した実施の形態1と同様であるため、詳細な説明は繰り返さない。
(実施の形態3)
実施の形態3に係る除塵装置についても、上述した実施の形態1と基本的構造は同一であるが(図1〜図4)、検出ユニット30,40によって、塵埃の付着位置を特定し、多くの基板10についてのデータを蓄積することによって、特定の製造ラインにおける塵埃の付着位置の傾向などを出力し、かかる傾向に応じた対策を採るようにしてもよい。
実施の形態3に係る除塵装置についても、上述した実施の形態1と基本的構造は同一であるが(図1〜図4)、検出ユニット30,40によって、塵埃の付着位置を特定し、多くの基板10についてのデータを蓄積することによって、特定の製造ラインにおける塵埃の付着位置の傾向などを出力し、かかる傾向に応じた対策を採るようにしてもよい。
なお、その他の内容については、上述した実施の形態1と同様であるため、詳細な説明は繰り返さない。
以上、本発明の実施の形態について説明したが、今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。
1,1A 受取コンベヤ、2,2A 搬出コンベヤ、3,3A 除塵ユニット(上側)、4,4A 除塵ユニット(下側)、10,10A 基板、30,40 検出ユニット、31 超音波発生器、32 プレッシャーヘッド部、33 バキュームヘッド部。
Claims (17)
- 基板の表面に付着した塵埃を除去する除塵装置であって、
前記基板を搬送する搬送ユニットと、
前記搬送ユニットによって搬送される前記基板の表面に付着した塵埃を除去する除塵ユニットと、
前記基板の搬送方向における前記除塵ユニットの両側に設けられ、前記基板の表面への塵埃の付着を検出可能な検出ユニットとを備えた、除塵装置。 - 前記搬送ユニットは、互いに逆方向である第1方向および第2方向に前記基板を搬送可能である、請求項1に記載の除塵装置。
- 前記搬送ユニットは、前記検出ユニットにより塵埃の付着が検出されたことに基づいて、前記第1方向および前記第2方向に前記基板を少なくとも1回往復移動させる、請求項2に記載の除塵装置。
- 前記除塵ユニットは、前記検出ユニットにより塵埃の付着が検出されたことに基づいて、塵埃を除去するための出力を増大させる、請求項1から請求項3のいずれかに記載の除塵装置。
- 前記搬送ユニットは、前記検出ユニットにより塵埃の付着が検出されたことに基づいて、前記基板の搬送速度を低下させる、請求項1から請求項4のいずれかに記載の除塵装置。
- 前記搬送ユニットは、前記検出ユニットにより塵埃の付着が検出されたことに基づいて、前記基板を間欠的に移動させる、請求項1から請求項5のいずれかに記載の除塵装置。
- 前記除塵ユニットは、前記基板の表面に気体を吹き付け、飛散した塵埃を吸引する、請求項1から請求項6のいずれかに記載の除塵装置。
- 前記除塵ユニットは、前記基板の表面に間欠的に気体を吹き付ける間欠噴射を行なうことが可能であり、前記検出ユニットによる検出結果に基づいて、前記間欠噴射における噴射時間と停止時間との比率を調整する、請求項7に記載の除塵装置。
- 前記除塵ユニットおよび前記検出ユニットは、前記基板の表裏両面側に設けられる、請求項1から請求項8のいずれかに記載の除塵装置。
- 搬送ユニットによって搬送される基板の表面に付着した塵埃を除去する除塵方法であって、
前記搬送ユニットによって搬送される前記基板の表面に付着した塵埃を除去する工程と、
前記搬送ユニットによって搬送される前記基板の表面への塵埃の付着を検出する工程とを備え、
前記塵埃の付着を検出する工程は、前記塵埃を除去する工程の前に塵埃の付着を検出することと、前記塵埃を除去する工程の後に塵埃の付着を検出することとを含む、除塵方法。 - 前記塵埃を除去する工程の後に塵埃の付着が検出されたことに基づいて、前記基板を逆方向に搬送して前記塵埃を除去する工程を再度行なう、請求項10に記載の除塵方法。
- 前記塵埃を除去する工程の前に塵埃の付着が検出されたことに基づいて、前記塵埃を除去する工程における塵埃を除去するための出力を増大させる、請求項10または請求項11に記載の除塵方法。
- 前記塵埃を除去する工程の前に塵埃の付着が検出されたことに基づいて、前記塵埃を除去する工程における前記基板の搬送速度を低下させる、請求項10から請求項12のいずれかに記載の除塵方法。
- 前記塵埃を除去する工程の前に塵埃の付着が検出されたことに基づいて、前記塵埃を除去する工程において前記基板を間欠的に移動させる、請求項10から請求項13のいずれかに記載の除塵方法。
- 前記塵埃を除去する工程は、前記基板の表面に気体を吹き付け、飛散した塵埃を吸引することを含む、請求項10から請求項13のいずれかに記載の除塵方法。
- 記基板の表面に気体を吹き付けることは、前記基板の表面に間欠的に気体を吹き付ける間欠噴射を含み、前記塵埃を除去する工程の前における塵埃の付着の検出結果に基づいて、前記間欠噴射における噴射時間と停止時間との比率を調整する、請求項15に記載の除塵方法。
- 前記基板の表裏両面に対して、前記塵埃を除去する工程および前記塵埃の付着を検出する工程を行なう、請求項10から請求項16のいずれかに記載の除塵方法。
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