JP2001062696A - 研掃方法及び装置 - Google Patents

研掃方法及び装置

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JP2001062696A
JP2001062696A JP23700799A JP23700799A JP2001062696A JP 2001062696 A JP2001062696 A JP 2001062696A JP 23700799 A JP23700799 A JP 23700799A JP 23700799 A JP23700799 A JP 23700799A JP 2001062696 A JP2001062696 A JP 2001062696A
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JP
Japan
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flat plate
tape
cleaning
cleaning liquid
sides
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JP23700799A
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English (en)
Inventor
Eiji Nakamura
英次 中村
Susumu Yamazaki
享 山崎
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Nihon Micro Coating Co Ltd
Original Assignee
Nihon Micro Coating Co Ltd
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Publication date
Application filed by Nihon Micro Coating Co Ltd filed Critical Nihon Micro Coating Co Ltd
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  • Liquid Crystal (AREA)
  • Polishing Bodies And Polishing Tools (AREA)
  • Finish Polishing, Edge Sharpening, And Grinding By Specific Grinding Devices (AREA)

Abstract

(57)【要約】 【課題】液晶表示器用の液晶カラーフィルター基板、液
晶パネル基板、等の平板の両面を短時間で高度に平坦且
つ清浄に研掃できる方法及び装置を提供することであ
る。 【解決手段】平板Pを前進Tさせながら、この平板の両
面に洗浄液を供給し、各硬度70以下の一対のプレスロ
ーラ42、52を介してこの平板を表裏両側から挟むよ
うにこの平板の両面に研掃テープSを押し付けるととも
にこれら研掃テープを平板の前進方向と逆方向に走行さ
せ、この平板の片側の面に押し付けた研掃テープをさら
に平板の前進方向と垂直な横方向Hに往復移動させて平
板の両面を同時に研掃する、研掃方法及び装置。

Description

【発明の詳細な説明】
【0001】
【発明の属する分野】本発明は、ガラス、等の平板の表
面を研掃して、平板に付着した異物や汚れ及び平板上の
突起を除去するための方法及び装置に関し、特に、液晶
表示器用の液晶カラーフィルター基板、液晶パネル基
板、等のように高度の平坦性及び清浄性が表裏両面に要
求される平板を研掃するための方法及び装置に関する。
【0002】
【従来の技術及び発明の解決しようとする課題】ディジ
タル表示器の一種である液晶表示器は、液晶材料を中央
にしてカラーフィルター及び透明電極を二枚のガラス基
板で挟み込んだものである。カラーフィルターは、印刷
法、等によりガラス基板表面に形成され、このカラーフ
ィルターの表面に酸化錫や酸化インジウム、等の透明導
電被膜を施して透明電極が設置される。また、表面に透
明導電被膜を直接施して透明電極を設置した二枚のガラ
ス基板(液晶パネル基板)の間に液晶材料を封入した液
晶表示器もある。
【0003】このような液晶表示器に使用される液晶カ
ラーフィルター基板や液晶パネル基板の表面は、その製
造時に突起が形成されることがあるため、この突起の研
磨を兼ねて表面に付着した異物や汚れをクリーニングす
る研掃が行われる。
【0004】このような研掃は、従来、ダミー板とよば
れる枠内に平板を嵌め込み、この平板の片面上にプレス
ローラを介して研磨テープを押し付けるとともにプレス
ローラを平板上で蛇行させて研掃が行われてきた(例え
ば、特開平11−28653号を参照)。
【0005】しかし、このような従来の研掃では、平板
上に研磨テープを押し付けたまま蛇行させるので、プレ
スローラを旋回させたときに、その旋回半径の内側と外
側の旋回速度が異なるため、研掃ムラが生じ、平板を高
度に平坦且つ清浄に研掃できない、という問題がある。
【0006】このような研掃ムラをなくすため、プレス
ローラを旋回させるときだけプレスローラを平板から離
すやり方があるが、このようなやり方では、研掃時間が
増大する、という問題が生じる。
【0007】また、平板の一方の面を研掃した後に、こ
の平板をダミー板から外し、裏返しにしてこの平板をダ
ミー板に嵌め込み、それから平板の他方の面を研掃する
ので、このような平板の嵌め込みに手間がかかるだけで
なく、平板を片面ずつ研掃しているので、研掃に時間が
かかる、という問題がある。
【0008】したがって、本発明の課題は、液晶表示器
用の液晶カラーフィルター基板、液晶パネル基板、等の
平板の両面を短時間で高度に平坦且つ清浄に研掃できる
方法及び装置を提供することである。
【0009】
【課題を解決するための手段】本発明は、表面に高度の
平坦性及び清浄性が要求される液晶表示器用の液晶カラ
ーフィルター基板、液晶パネル基板、等の平板の表裏両
面を研掃し、平板の両面に付着した異物や汚れ、及び平
板の製造過程で形成された突起を短時間で除去するため
の研掃方法及び装置である。
【0010】上記課題を解決する本発明の研掃方法は、
平板を前進させながら、この平板の両面に洗浄液を供給
し、この平板を表裏両側から挟むようにこの平板の両面
にそれぞれ研掃テープを押し付けるとともにこれら研掃
テープを平板の前進方向と逆方向に走行させて平板の両
面を研掃することを特徴とする。
【0011】ここで、一方の側の面に押し付けている研
掃テープを平板の前進方向と逆方向に走行させながら、
平板の他方の側の面に押し付けている研掃テープをこの
平板の前進方向と逆方向に走行させるとともにこの平板
の前進方向と垂直な横方向に往復移動させて平板の表裏
両面を研掃してもよい。
【0012】洗浄液には、水(又は界面活性剤を含有し
た水溶液)が使用される。洗浄液を平板の両面に供給す
ることにより、研掃が促進され、研掃テープによって除
去された異物や汚れ及び突起の平板面上への再付着やこ
れら異物や突起による平板面の傷付けが防止される。
【0013】本発明の研掃装置は、(1)平板の表側と
裏側とに、それぞれ、対向して配列した各硬度が70以
下の少なくとも一対のプレスローラ、(2)平板を、前
進させながら、対向して配列したこれらプレスローラの
各々の間を通過させる手段、(3)これらプレスローラ
の各々を介して研掃テープを平板の前進方向と逆方向に
走行させるための手段、(4)これら一対のプレスロー
ラの各々を介して研掃テープを平板の表裏両側から挟む
ようにして平板の両面に押し付けるための手段、及び
(5)平板の両面に洗浄液を供給するための手段、から
構成される。
【0014】本発明の研掃装置は、一対のプレスローラ
の各々を介して一方の側の面に押し付けている研掃テー
プを平板の前進方向と逆方向に走行させながら、平板の
他方の側の面に押し付けている研掃テープをこの平板の
前進方向と逆方向に走行させるとともにこの平板の前進
方向と垂直な横方向に往復移動させるための手段、をさ
らに含む。
【0015】平板の両面に洗浄液を供給するための手段
は、各プレスローラの表面に設けた、洗浄液供給源に連
通する複数の孔を含む。このとき、研掃テープには、プ
ラスチック繊維からなる織布テープが使用され、プレス
ローラ表面の孔から吹き出した洗浄液が織布テープを通
じて研掃テープと平板の両面との接面に供給される。
【0016】また、平板の両面に洗浄液を供給するため
の手段は、各プレスローラの前方及び/又は後方に配列
した、洗浄液供給源に連通するノズル、をさらに含み、
洗浄液がこのノズルを通じて平板の両面に供給される。
【0017】本発明の研掃方法及び装置に使用する研掃
テープは、プラスチック繊維からなる織布テープ、表面
に砥粒を固定した発泡ポリウレタンフィルムテープ、砥
粒を固定した研掃層をプラスチックフィルム表面に形成
したテープ、又はプラスチックフィルム表面に植毛した
プラスチック繊維からなるパイルに砥粒を固定した植毛
テープである。
【0018】
【発明の実施の形態】<研掃装置> 本発明の研掃装置
は、図1及び図3(a)及び(b)に示すように、平板
Pを矢印Tの方向に送るための搬送システム10、及び
この搬送システム10により送られる平板Pの両面を研
掃するための研掃ヘッド40、50をそれぞれ有する上
下ユニット20、30、から構成される。
【0019】搬送システム10は、水平に並置した複数
の搬送ローラ11、電動モータ、等によりこれら搬送ロ
ーラ11を回転させるための駆動機構14、及び搬送ロ
ーラ11によって送られる平板Pを上から押さえるため
の補助ローラ12、から構成される。各搬送ローラ11
には、滑りどめ用のゴム製のリング13が取り付けられ
る。搬送ローラ11上に載せた平板Pは、搬送ローラ1
1の回転により、矢印Tの方向に送られる。補助ローラ
12は、プレスローラ42、52の間に平板Pが挟まれ
て研掃されるときに、平板Pが横方向にズレたり上下方
向に傾かないように、平板Pを押さえつけるためのもの
である。
【0020】上ユニット20は、図1及び図2(a)に
示すように、研掃テープSの送出ローラ22及び巻取ロ
ーラ23を収容したケース21、及び平板Pの表面を研
掃するための研掃ヘッド40、から構成される。
【0021】研掃テープSを送り出し、巻き取るための
送出ローラ22及び巻取ローラ23は、それぞれ、ケー
ス21の側面に固定した電動モータM1、M2によって
駆動される(図2(a))。
【0022】研掃ヘッド40は、左右側面、及びこれら
側面のそれぞれの上部を連結する左右方向に長い上面、
から構成される正面略コ字状のフレーム41を有し、こ
のフレーム41には、左右方向に長いプレスローラ42
が、フレーム41の左右側面に、軸棒43を介して回転
可能に取り付けられる(図2(a))。
【0023】この軸棒43の符号44で示す一端部は、
断面多角形状であり、軸棒43の一端部44と同形状の
開口を有する軸受け28内に矢印Hの方向に移動可能に
挿入される。
【0024】軸受け28にはプーリー26が固定され、
このプーリー26はケース21に固定した電動モータM
4に連結したプーリー25とベルト27を介して連結さ
れていおり、電動モータM4を駆動すると、プーリー2
5、26とベルト27を介して軸受け28が回転し、軸
受け28の開口内に挿入された軸棒43が回転する。
【0025】電動モータM1、M2、M4によって、研
掃テープSは、ケース21内の送出ローラ22からケー
ス21の底面に設けた開口(図示せず)を通過し、研掃
ヘッド40のプレスローラ42を介してケース21の底
面に設けた開口(図示せず)を通過し、ケース21内の
巻取ローラ23へ送られる(図1の矢印tで示す方
向)。
【0026】プレスローラ42を介して走行する研掃テ
ープSの速さやその引張具合は、これら電動モータM
1、M2、M4の出力を調節することによって適宜に調
節される。
【0027】ここで、研掃テープSには、太さ1デニー
ル以下のポリエステル、ナイロン、等のプラスチック繊
維からなる織布テープ、表面に砥粒を固定した発泡ポリ
ウレタンフィルムテープ(例えば、特開平9−5763
4号を参照)、砥粒を固定した研掃層をプラスチックフ
ィルム表面に形成したテープ、又はプラスチックフィル
ム表面に植毛したプラスチック繊維からなるパイルに砥
粒を固定した植毛テープ(例えば、PCT/JP95/
00253を参照)が使用される。
【0028】フレーム41の上面には、図2(b)に示
すような左右方向に真っ直ぐに貫通する断面I字状の凹
部を形成した二つの嵌合部材45が固定される。これら
嵌合部材45は、ケース21の底面に固定した図2
(b)に示すような断面I字状の左右方向に長いレール
24に貫挿され、これにより、研掃ヘッド40が、ケー
ス21に関して矢印Hで示す方向(すなわち、図1に示
す平板Pを送る矢印Tで示す方向と垂直な横方向)に移
動可能に、ケース21に取り付けられる。
【0029】また、フレーム41は、ケース21に固定
した電動モータM3により駆動される既知のピストン・
クランク機構46に連結され、このピストン・クランク
機構46を作動させることにより、研掃ヘッド40がケ
ース21に関して矢印Hで示す方向に往復移動される。
【0030】研掃ヘッド40のプレスローラ42は、上
述したように、フレーム41の左右側面に軸棒43を介
して回転可能に取り付けられる。この軸棒43の左右両
側には、図2(a)に示すように、フレーム41が上記
のピストン・クランク機構46の駆動により矢印Hで示
す方向に往復移動したとき、このフレーム41とプレス
ローラ42とが一体的に矢印Hで示す左右の方向に移動
するように、リング47が固定されている。ここで、電
動モータM3、M4を駆動すると、研掃ヘッド40が矢
印Hで示す方向に往復移動し、軸棒43が回転しながら
軸受け28の開口内を矢印Hの方向に移動する。
【0031】よって、上記した各電動モータM1〜4を
同時に駆動することにより、プレスローラ42を介して
研掃テープSを平板Pの前進方向(矢印T)と逆方向
(矢印t)に走行させながら、研掃テープSを往復移動
(矢印H)できる。
【0032】下ユニット30は、上ユニット20と同様
に、研掃テープSの送出ローラ32及び巻取ローラ33
を収容したケース31、及びこのケース31に固定した
研掃ヘッド50、から構成される。下ユニット30の研
掃ヘッド50は、ケース31に固定されているので、上
ユニット20の研掃ヘッド40のように、研掃ヘッド4
0を横方向に往復移動させるための構成(ピストン・ク
ランク機構46、軸受け28、等)を有さず、この構成
を除けば、下ユニット30は、上記の上ユニット20と
上下対称の構成である。
【0033】図3(a)及び(b)に示すように、上下
ユニット20、30の背面には、それぞれ、図2(b)
に示すような断面I字状の凹部を形成した嵌合部材2
9、39が固定され、これら嵌合部材29、39は、ハ
ウジング60の背面に固定した上下方向に延びる断面I
字状のレール61にそれぞれ貫挿され、上下ユニット2
0、30が、それぞれ個別にこれらレール61に沿って
上下移動できるようにハウジング60の背面に取り付け
られている。
【0034】図4に示すように、ベルト63の一端が下
ユニット30に固定され、このベルト63の他端はハウ
ジング60に固定したプーリー62を介して支持台66
に固定されている。支持台66には貫通口(図示せず)
が設けられており、支持台66は、この貫通口を通じて
上ユニット20に固定したネジ棒Bを自由に挿通できる
ようになっているが、ネジ棒Bに螺合したナットNによ
って上方向への移動が制限されている。
【0035】上ユニット20が下方向に移動すると、こ
れにともなって下ユニット30が上方向に移動し、上下
ユニット20、30のそれぞれの研掃ヘッドのプレスロ
ーラ42、52が図4に点線70で示す位置で接触す
る。この位置が、搬送システム10(図1)で送られて
くる平板の位置に一致するようように、ベルト63の長
さ、等が予め調節される。
【0036】平板の両面に適用されるプレスローラ4
2、52からの圧力は、上下ユニット20、30のそれ
ぞれに取り付けられる錘64、65の重さを調節した
り、プレスローラ42、52の間の距離を調節して行わ
れる。この圧力調節は、平板の厚さ程度の小さい範囲で
プレスローラ42、52の間の距離を調節して行われる
ので、この距離の微調節は、ネジ棒Bに螺合したナット
Nを回転させることによって行える。
【0037】各プレスローラ42、52には、研掃テー
プSを平板の両面に過度に押し付けて平板表面を傷つけ
ないように、硬度70以下のゴムローラ、等が使用され
る。
【0038】また、プレスローラ42、52の表面には
多数の孔(図示せず)が設けられる。この孔は、軸棒4
3、53の内部を通じて洗浄液供給源(図示せず)へ連
通し、研掃中に、研掃テープSと平板Pの両面との接面
に洗浄液を供給できるようになっており、これにより、
研掃された異物や汚れ及び突起が直ちに平板面から除去
される。このとき、研掃テープSには、プレスローラ4
2、52の孔から吹き出てくる洗浄液を平板の両面に一
様に供給するために、プラスチック繊維からなる織布テ
ープが使用される。
【0039】本発明の装置は、洗浄液を平板の両面に供
給するためのノズル(図示せず)を有する。このノズル
は、プレスローラ42、52の各々の間を通過する前及
び/又は後にこの平板の両面に洗浄液を供給できるよう
に、平板の表裏両側のプレスローラ42、52の前方及
び/又は後方にそれぞれ配置される。
【0040】<研掃方法> 図1〜4に示す本発明に従
った研掃装置を使用して平板の両面を研掃する。
【0041】予めプレスローラ42、52の間の距離を
調節し、研掃テープSが平板Pの両面に所定の圧力で押
し付けられるようにする。そして、電動モータM1、M
2、M4を駆動して研掃テープSを所定の速度で矢印t
の方向に走行させ、搬送システム10の駆動機構14を
駆動する。
【0042】平板Pを搬送ローラ11上に載せ、矢印T
の方向に前進させる。平板Pを前進させながら、プレス
ローラ42、52の前方に配置したノズル(図示せず)
から平板Pの両面に洗浄液を供給する。
【0043】そのまま平板Pを前進させながら、矢印t
の方向に走行する研掃テープSをプレスローラ42、5
2を介して挟み込む。このとき、平板Pには、その前進
を妨げるように研掃テープSが走行するが、平板Pは、
補助ローラ12によって搬送ローラ11に押し付けられ
ているので、そのまま前進し、平板Pが横にズレたり上
下に傾くことなく、プレスローラ42、52の間を通過
する。
【0044】ここで、各プレスローラ42、52の孔か
ら洗浄液を吹き出し、研掃テープSに織布テープを使用
することにより、研掃中に平板Pから除去した異物や汚
れ及び突起をより確実に速やかに平板Pから排除でき
る。
【0045】また、平板Pがプレスローラ42、52の
間を通過するとき、ピストン・クランク機構46(図2
(a))を作動し、研掃ヘッド45を矢印Hの方向に往
復移動させてもよい。研掃ヘッド45の往復移動速度
は、電動モータM3の出力を調節して行える。
【0046】平板Pは、プレスローラ42、52の間を
通過しながら、プレスローラ42、52の後方に配列さ
れた搬送ローラ11及び補助ローラ12の間を通過す
る。このとき、平板Pには、上述のように、その前進を
妨げるように研掃テープSが走行するが、平板Pは、こ
の補助ローラ12によって搬送ローラ11に押し付けら
れてそのまま前進し、平板Pが横にズレたり上下に傾く
ことなく、プレスローラ42、52の間を通過して出て
いく。
【0047】このとき、プレスローラ42、52の後方
に配置したノズル(図示せず)から平板Pの両面に洗浄
液(水)を供給して、平板P上に浮いた異物や汚れ及び
突起を流し去る。
【0048】
【発明の効果】以上、本発明の研掃方法及び装置が以上
のように構成されるので、(1)平板を搬送ローラ上に
順次載せていくだけで、自動的に平板の両面を順次研掃
できるので手間がかからず、平板の両面を同時に研掃す
るので研掃が短時間で行うことができ、(2)プレスロ
ーラの硬度が70以下なので、研掃テープを平板面に押
し付けて走行させても平板面に傷を付けずに研掃でき、
平板の製造過程で形成された突起を研磨でき、表面に付
着した異物や汚れを拭き取ることができ、(3)平板面
に洗浄液が供給されるので、平板面から削られた突起及
び拭き取られた異物や汚れを飛散させることなく洗浄液
とともに直ちに除去できる、という効果を奏する。
【図面の簡単な説明】
【図1】図1は、本発明に従った装置の右側面の略図で
ある。
【図2】図2(a)は、本発明に従った装置の上ユニッ
ト及び研掃ヘッドを正面からみた略図であり、図2
(b)は、レールとこれに嵌挿した嵌合部材の断面図で
ある。
【図3】図3(a)は、本発明に従った装置の平面の略
図であり、図3(b)は、本発明に従った装置の右側面
の略図である。
【図4】図4は、本発明に従った装置の上下ユニットを
それぞれ上下移動させるための手段の略図である。
【符号の説明】 10・・・搬送システム 11・・・搬送ローラ 12・・・補助ローラ 13・・・ゴム製のリング 14・・・駆動機構 20・・・上ユニット 21・・・ケース 22・・・送出ローラ 23・・・巻取ローラ 24・・・レール 25、26・・・プーリー 27・・・ベルト 28・・・軸受け 29・・・嵌合部材 30・・・下ユニット 31・・・ケース 32・・・送出ローラ 33・・・巻取ローラ 39・・・嵌合部材 40・・・研掃ヘッド 41・・・フレーム 42・・・プレスローラ 43・・・軸棒 44・・・軸棒の一端部 45・・・嵌合部材 46・・・ピストン・クランク機構 50・・・研掃ヘッド 52・・・プレスローラ 53・・・軸棒 60・・・ハウジング 61・・・レール 62・・・プーリー 63・・・ベルト 64、65・・・錘 66・・・支持台 70・・・上下研掃ヘッド接触位置 B・・・ネジ棒 N・・・ナット P・・・平板 S・・・研掃テープ H・・・往復移動方向 T、t・・・送り方向 M1〜4・・・電動モータ
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き Fターム(参考) 2H088 FA18 FA21 FA30 HA01 HA12 MA20 3C058 AA05 AA09 AA11 AA12 AA14 AA16 AA18 AC04 CA01 CB03 DA02 3C063 AA03 AB07 BG01 BG08 BG22 EE01

Claims (12)

    【特許請求の範囲】
  1. 【請求項1】平板を前進させながら、この平板の両面に
    洗浄液を供給し、この平板を表裏両側から挟むようにこ
    の平板の両面にそれぞれ研掃テープを押し付けるととも
    にこれら研掃テープを平板の前進方向と逆方向に走行さ
    せて平板の両面を同時に研掃する、研掃方法。
  2. 【請求項2】前記平板の片側の面に押し付けた研掃テー
    プをこの平板の前進方向と逆方向に走行させながらこの
    平板の前進方向と垂直な横方向に往復移動させる、請求
    項1の研掃方法。
  3. 【請求項3】前記洗浄液が、水、又は界面活性剤を含有
    した水溶液、である、請求項1又は2の研掃方法。
  4. 【請求項4】前記研掃テープが、プラスチック繊維から
    なる織布テープ、表面に砥粒を固定した発泡ポリウレタ
    ンフィルムテープ、砥粒を固定した研掃層をプラスチッ
    クフィルム表面に形成したテープ、又はプラスチックフ
    ィルム表面に植毛したプラスチック繊維からなるパイル
    に砥粒を固定した植毛テープである、請求項1〜3のい
    ずれか1の研掃方法。
  5. 【請求項5】平板の両面を研掃するための研掃装置であ
    って、(1)平板の表側と裏側とに、それぞれ、対向し
    て配列した各硬度が70以下の少なくとも一対のプレス
    ローラ、(2)平板を前進させながらこれら対向して配
    列したプレスローラの間を通過させる手段、(3)これ
    らプレスローラの各々を介して前記研掃テープを平板の
    前進方向と逆方向に走行させるための手段、(4)これ
    ら一対のプレスローラの各々を介して研掃テープを平板
    の表裏両側から挟むようにして平板の両面のそれぞれに
    押し付けるための手段、及び(5)平板の両面に洗浄液
    を供給するための手段、から成り、平板を前進させなが
    ら、この平板の両面に前記洗浄液を供給し、前記一対の
    プレスローラを介してこの平板を表裏両側から挟むよう
    にこの平板の両面に前記研掃テープを押し付けるととも
    にこれら研掃テープを平板の前進方向と逆方向に走行さ
    せることによって、平板の両面が研掃される、研掃装
    置。
  6. 【請求項6】前記平板の片側の面に押し付けた研掃テー
    プをこの平板の前進方向と逆方向に走行させながらこの
    平板の前進方向と垂直な横方向に往復移動させるための
    手段、をさらに含む請求項5の研掃装置。
  7. 【請求項7】洗浄液を供給する前記手段が、前記プレス
    ローラの表面に設けられた、洗浄液供給源に連通する複
    数の孔、を含み、前記洗浄液がこれら孔を通じて前記プ
    レスローラの表面から吹き出す、請求項5又は6の研掃
    装置。
  8. 【請求項8】洗浄液を供給する前記手段が、前記プレス
    ローラの前方に配列した、洗浄液供給源に連通するノズ
    ル、を含み、前記洗浄液がこのノズルを通じて前記平板
    の両面に供給される、請求項5〜7のいずれか1の研掃
    装置。
  9. 【請求項9】洗浄液を供給する前記手段が、前記プレス
    ローラの後方に配列した、洗浄液供給源に連通するノズ
    ル、を含み、前記洗浄液がこのノズルを通じて前記平板
    の両面に供給される、請求項5〜8のいずれか1の研掃
    装置。
  10. 【請求項10】前記洗浄液が、水、又は界面活性剤を含
    有した水溶液、である、請求項5〜9のいずれか1の研
    掃装置。
  11. 【請求項11】前記研掃テープが、プラスチック繊維か
    らなる織布テープであり、前記孔を通じて吹き出した前
    記洗浄液が、この織布テープを通じて前記平板の両面に
    供給される、請求項7の研掃装置。
  12. 【請求項12】前記研掃テープが、プラスチック繊維か
    らなる織布テープ、表面に砥粒を固定した発泡ポリウレ
    タンフィルムテープ、砥粒を固定した研掃層をプラスチ
    ックフィルム表面に形成したテープ、又はプラスチック
    フィルム表面に植毛したプラスチック繊維からなるパイ
    ルに砥粒を固定した植毛テープである、請求項5、6、
    8、9又は10の研掃装置。
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