JP2008284678A

JP2008284678A - パネル研磨装置

Info

Publication number: JP2008284678A
Application number: JP2008099919A
Authority: JP
Inventors: Nobukazu Hosogai; 信和細貝
Original assignee: Sanshin Co Ltd
Current assignee: Sanshin Co Ltd
Priority date: 2007-04-16
Filing date: 2008-04-08
Publication date: 2008-11-27
Also published as: CN101288945A; KR101143111B1; KR20080093390A; CN101288945B; TW200841987A

Abstract

【課題】パネルの表面及び裏面の両面をパネルを境にして上下に配置された上下一対の研磨機構の一対の研磨テープで挟み込み、パネルの両面を同時に研磨またはクリーニングすることができる。
【解決手段】パネルＷを連続的に水平搬送可能なパネル搬送機構１と、パネルの表面及び裏面の両面をパネルを境にして上下に配置された一対の研磨テープＴで挟み込み、パネルの両面を同時に研磨またはクリーニングする上下一対の研磨機構５が備えられ、研磨テープをパネルの搬送方向Ｈと交差する方向に移送可能なテープ移送機構６と、研磨テープの移送経路途中をパネルに押し付けるためのテープ押圧機構７を設けてなる。
【選択図】図１

Description

本発明は例えば液晶ディスプレイのガラス基板やプリント基板等の平坦なパネルの表面を研磨またはクリーニングするパネル研磨装置に関するものである。

従来、この種のパネル研磨装置として、例えば、連続的又は間欠的に移送される研磨テープをパネルの表面に押し付け、パネルを回転させてパネル表面を研磨したり、パネルの表面に付着している異物や汚れを取るためにクリーニングする構造のものが知られている。
特開平８−４７８４７号公報特開平１１−１９８５９号公報

しかしながら上記従来構造の場合、パネルの一方の表面を研磨加工する構造であり、研磨またはクリーニング速度の向上に一定の制約を受けることがあるという不都合を有している。

本発明はこのような課題を解決することを目的とするもので、本発明のうちで、請求項１記載の発明は、パネルを連続的に水平搬送可能なパネル搬送機構と、該パネルの表面及び裏面の両面をパネルを境にして上下に配置された一対の研磨テープで挟み込み、該パネルの両面を同時に研磨またはクリーニングする上下一対の研磨機構とが備えられ、上記一対の各研磨機構は、研磨テープをパネルの搬送方向と交差する方向に移送可能なテープ移送機構と、該研磨テープの移送経路途中を該パネルに押し付けるためのテープ押圧機構とからなり、該一対の各研磨機構における該テープ移送機構と該テープ押圧機構とは相互に分離独立した構造に構成され、該一対の上下の各テープ押圧機構を該研磨テープの移送方向としての上記パネルの搬送方向と交差する方向に互いに逆向きに水平往復運動させる異方向往復作動機構を設けてなることを特徴とするパネル研磨装置にある。

又、請求項２記載の発明は、上記異方向往復作動機構はクランク機構からなることを特徴とするものであり、又、請求項３記載の発明は、上記各テープ移送機構と上記テープ押圧機構との間に生ずる上記研磨テープの弛みを取り除くための弛み取り機構を設けてなることを特徴とするものであり、又、請求項４記載の発明は、上記各テープ押圧機構は上記研磨テープを上記パネルに押圧可能なパッド部材及びエアーシリンダ機構からなることを特徴とするものであり、又、請求項５記載の発明は、上記テープ移送機構は、上記研磨テープを間欠的又は連続的に移送可能な構造に構成されていることを特徴とするものであり、又、請求項６記載の発明は、上記上下一対の研磨機構により上記研磨またはクリーニングした後に上記パネルの表面及び又は裏面を清掃するための清掃機構を設けてなることを特徴とするものである。

本発明は上述の如く、請求項１記載の発明にあっては、パネル搬送機構によりパネルを連続的に搬送し、パネルの表面及び裏面の両面をパネルを境にして上下に配置された上下一対の研磨機構の一対の研磨テープで挟み込み、パネルの両面を同時に研磨またはクリーニングすることができ、この一対の各研磨機構は、研磨テープをパネルの搬送方向と交差する方向に移送可能なテープ移送機構と、研磨テープの移送経路途中をパネルに押し付けるためのテープ押圧機構とからなり、この一対の各研磨機構におけるテープ移送機構とテープ押圧機構とは相互に分離独立した構造に構成され、一対の上下の各テープ押圧機構を研磨テープの移送方向としての上記パネルの搬送方向と交差する方向に互いに逆向きに水平往復運動させる異方向往復作動機構を設けてなるから、テープ押圧機構によりパネルの表面及び裏面の両面に研磨テープが押し付けられた状態で、テープ押圧機構は異方向往復作動機構により上記パネルの搬送方向と交差する方向に互いに逆向きに水平往復運動し、このため、パネルの搬送方向への連続搬送並びに研磨テープの押圧及びパネルの搬送方向と交差する方向の研磨テープの水平往復運動からなる複合運動によりパネルの表面及び裏面を上下の研磨テープにより同時に研磨またはクリーニングすることができ、この際、一対の各研磨機構におけるテープ移送機構とテープ押圧機構とは相互に分離独立した構造に構成されているので、テープ移送機構とテープ押圧機構とが一体に構成されている構造の構成に比べ、テープ押圧機構たる往復運動部分の慣性力を低減することができ、テープ押圧機構の水平往復運動の往復運動速度をはるかに高速化することができ、それだけ、パネルの研磨またはクリーニングを良好に行うことができる。

又、請求項２記載の発明にあっては、上記異方向往復作動機構はクランク機構からなるので、構造の簡素化及びテープ押圧機構の更なる往復運動速度の向上を図ることができ、又、請求項３記載の発明にあっては、上記各テープ移送機構と上記テープ押圧機構との間に生ずる上記研磨テープの弛みを取り除くための弛み取り機構を設けてなるから、テープ移送機構とテープ押圧機構とが相互に分離独立した構造に構成されていること及びテープ移送機構は固定状態にあってテープ押圧機構が異方向往復作動機構により互いに逆向きに水平往復運動することにより生ずるテープ移送機構とテープ押圧機構との間の研磨テープの弛みを取ることができ、研磨テープの移送を円滑に行うことができ、又、請求項４記載の発明にあっては、上記各テープ押圧機構は上記研磨テープを上記パネルに押圧可能なパッド部材及びエアーシリンダ機構からなるので、テープ押圧機構の構造を簡素化することができると共に押圧力の調節を容易に行うことができ、又、請求項５記載の発明にあっては、上記テープ移送機構は、上記研磨テープを間欠的に連続的に移送可能な構造に構成されているから、この研磨テープを研磨またはクリーニング中に移送方向に連続的に移送することができることは勿論のこと、研磨またはクリーニング中には移送を停止し、研磨またはクリーニングを所定回数又は所定時間経過後に研磨テープを移送することができ、研磨テープの経済性を高めることができ、又、請求項６記載の発明にあっては、上記上下一対の研磨機構により上記研磨またはクリーニングした後に上記パネルの表面及び又は裏面を清掃するための清掃機構を設けてなるから、上記パネルの表面及び又は裏面に付着残存する研磨粒子滓等を除去することができる。

図１乃至図６は本発明の実施の形態例を示し、図１乃至図５は第一形態例、図６は第二形態例である。

図１乃至図５の第一形態例において、１はパネル搬送機構であって、この場合、機台２に複数個の搬送ロール３・・を横設すると共に搬送方向Ｈの入り側及び出口側に上下一対の挟装ロール４・４を横設し、これら複数個の搬送ロール３・・及び挟装ロール４・４の回転により液晶ディスプレイのガラス基板であるパネルＷを連続的に搬送するように構成している。

５・５は上下一対の研磨機構であって、上記パネルＷの表面及び裏面の両面Ｗ₁・Ｗ₁をパネルＷを境にして上下に配置された一対の研磨テープＴ・Ｔで挟み込み、パネルＷの両面Ｗ₁・Ｗ₁を同時に研磨する構造となっている。

この場合、上記一対の各研磨機構５・５は、上記研磨テープＴ・ＴをパネルＷの搬送方向Ｈと交差する方向に間欠的又は連続的に移送可能なテープ移送機構６・６と、研磨テープＴ・Ｔの移送経路途中をパネルＷに押し付けるためのテープ押圧機構７・７とから構成され、かつ、この一対の各研磨機構５・５におけるテープ移送機構６とテープ押圧機構７とは相互に分離独立した構造に構成され、一対の上下の各テープ押圧機構７・７を研磨テープＴ・Ｔの移送方向Ｋとしての上記パネルＷの搬送方向Ｈと交差する方向に互いに逆向きに水平往復運動させる異方向往復作動機構８を設けて構成している。

この場合、上記機台２の上下位置にテープ移送機構６・６を配設し、機台２に取付台９を取付け、取付台９に各テープ移送機構６・６の研磨テープＴ・Ｔの移送経路途中をパネルＷに押し付けるためのテープ押圧機構７・７をテープ移送機構６・６とは分離独立して配置して構成している。

すなわち、上記各テープ移送機構６は、機台２の上下位置に取付部材６ａ・６ａを取付け、取付部材６ａ・６ａに研磨テープＴの巻反が装着される繰出リール６ｂ及び繰出リール６ｂに装着された巻反から繰り出される研磨テープＴを巻き取る巻取リール６ｃを取付け、繰出リール６ｂはバックテンション用モータ６ｄにより繰出回転し、巻取リール６ｃは巻取用モータ６ｅにより巻き取り回転し、複数個の案内ロール６ｇにより研磨テープＴ・Ｔを間欠的又は連続的にパネルＷの搬送方向Ｈと交差する方向に移送するように構成されている。

又、上記テープ押圧機構７・７及び上記異方向往復作動機構８は、この場合、上記取付台９にパネルＷが通過する開口通路部９ａを形成し、この開口通路部９ａを境にして取付台９の上下位置に水平往復台８ａ・８ａをそれぞれ独立して直線軸受部８ｂ・８ｂにより水平往復運動自在に配置し、この水平往復台８ａ・８ａにパッド部材７ａ・７ａをガイド軸７ｂ及び軸受部７ｃにより上下移動自在に配置し、パッド部材７ａ・７ａのパネルＷ側に研磨テープＴの移送経路途中を押圧可能な押圧面７ｄ・７ｄを形成し、この押圧面７ｄ・７ｄにゴム等の弾性材が取替自在に貼着され、パッド部材７ａ・７ａの押圧面７ｄ・７ｄをパネルＷの表面及び裏面の両面Ｗ₁・Ｗ₁に押圧したり、または押圧を解除したりするためのエアーシリンダ機構７ｅのロッド７ｆを連結し、一方、機台２に往復動作用モータ８ｃを配設すると共に上下一対の駆動軸８ｄ・８ｄを横設し、往復動作用モータ８ｃと駆動軸８ｄ・８ｄとの間にベルトを三角環状に配したベルト伝動機構８ｅを介装し、駆動軸８ｄ・８ｄにクランク盤８ｆ・８ｆを取付け、クランク盤８ｆ・８ｆの適宜偏心位置とした半径上と上記水平往復台８ａ・８ａとの間にそれぞれ連結ロッド８ｇ・８ｇを枢着架設し、クランク盤８ｆ・８ｆの半径上と連結ロッド８ｇ・８ｇとの枢着位置は１８０度の位相差もって連結され、しかして、上記異方向往復作動機構８として、水平往復台８ａ、連結ロッド８ｇ及びクランク盤８ｆによりクランク機構Ｒ・Ｒを形成し、このクランク機構Ｒ・Ｒからなる異方向往復作動機構８により一対の上下の各テープ押圧機構７・７を研磨テープＴの移送方向Ｋとしての上記パネルＷの搬送方向Ｈと交差する方向に互いに逆向きに水平往復運動Ｑ・Ｑさせるように構成している。

１０は弛み取り機構であって、この場合、テープ移送機構６とテープ押圧機構７との間にして研磨テープＴの移送経路の繰出側及び巻取側に一対ずつ計四組設けられ、上記取付部材６ａに支軸１０ａによりレバー１０ｂを揺動自在に枢着し、レバー１０ｂの先端部に弛取ロール１０ｃを取付けると共にレバー１０ｂと取付部材６ａとの間にバネ１０ｄを掛架し、しかして、テープ移送機構６とテープ押圧機構７とは相互に分離独立した構造に構成され、テープ移送機構６は固定状態にあって、テープ押圧機構７・７が異方向往復作動機構８により互いに逆向きに水平往復運動Ｑ・Ｑすることによって生ずるテープ移送機構６とテープ押圧機構７との間の研磨テープＴの弛みをバネ１０ｄのバネ力と研磨テープＴの張力とによるレバー１０ｂの揺動によって取るように構成している。

尚、上記研磨テープＴとしては、柔軟性を有するポリマーフィルム、紙、布、金属フィルム、バルカンファイバー、不織基材、これらの組み合わせからなる基材の表面に、溶融酸化アルミニウム、熱処理酸化アルミニウム、セラミック酸化アルミニウム、シリコンカーバイド、アルミナジルコニア、ガーネット、ダイヤモンド、立方体窒化ホウ素シリカ等からなる砥粒を、フェノール樹脂、アミノプラスト樹脂、ウレタン樹脂、エポキシ樹脂、アクリレート樹脂、アクリレート化イソシアヌレート樹脂、尿素−ホルムアルデヒド樹脂、イソシアヌレート樹脂、アクリレート化ウレタン樹脂、アクリレート化エポキシ樹脂等の結合剤により結合させた構造のものがあり、これらの中から研磨又はクリーニングの加工仕様に適したものが選択して使用される。

この実施の第一形態例は上記構成であるから、パネル搬送機構１によりパネルＷを連続的に搬送し、図示省略のセンサーがパネルＷの進入を検出すると、パネルＷの表面及び裏面の両面をパネルＷを境にして上下に配置された上下一対の研磨機構５・５の一対の研磨テープＴ・Ｔで挟み込み、パネルＷの両面を同時に研磨またはクリーニングすることができ、図示省略のセンサーがパネルＷの退出を検出すると、上下一対の研磨機構５・５の一対の研磨テープＴ・Ｔによる挟み込みが解除されることになり、この一対の各研磨機構５・５は、研磨テープＴ・ＴをパネルＷの搬送方向Ｈと交差する方向に移送可能なテープ移送機構６・６と、研磨テープＴ・Ｔの移送経路途中をパネルＷに押し付けるためのテープ押圧機構７・７とからなり、この一対の各研磨機構５・５におけるテープ移送機構６・６とテープ押圧機構７・７とは相互に分離独立した構造に構成され、一対の上下の各テープ押圧機構７・７を研磨テープＴ・Ｔの移送方向Ｋとしての上記パネルＷの搬送方向Ｈと交差する方向に互いに逆向きに水平往復運動させる異方向往復作動機構８を設けてなるから、テープ押圧機構７・７によりパネルＷの表面及び裏面の両面Ｗ₁・Ｗ₁に研磨テープＴ・Ｔが押し付けられた状態で、テープ押圧機構７・７は異方向往復作動機構８により上記パネルＷの搬送方向Ｈと交差する方向に互いに逆向きに水平往復運動し、このため、図５の如く、パネルＷの搬送方向Ｈへの連続搬送並びに研磨テープＴ・Ｔの押圧及びパネルＷの搬送方向Ｈと交差する方向の研磨テープＴの水平往復運動Ｑ・Ｑからなる複合運動によりパネルＷの表面及び裏面を上下の研磨テープＴ・Ｔにより同時に研磨またはクリーニングすることができ、この際、一対の各研磨機構５・５におけるテープ移送機構６・６とテープ押圧機構７・７とは相互に分離独立した構造に構成されているので、テープ移送機構６・６とテープ押圧機構７・７とが一体に構成されている構造の構成に比べ、テープ押圧機構７・７たる往復運動部分の慣性力を低減することができ、テープ押圧機構７・７の水平往復運動Ｑ・Ｑの往復運動速度をはるかに高速化することができ、それだけ、パネルＷの研磨またはクリーニングを良好に行うことができる。

この場合、上記異方向往復作動機構８はクランク機構Ｒ・Ｒからなるので、構造の簡素化及びテープ押圧機構７・７の更なる往復運動速度の向上を図ることができ、又、この場合、上記各テープ移送機構６・６と上記テープ押圧機構７・７との間に生ずる上記研磨テープＴ・Ｔの弛みを取り除くための弛み取り機構１０を設けてなるから、テープ移送機構６とテープ押圧機構７とが相互に分離独立した構造に構成されていること及びテープ移送機構６は固定状態にあってテープ押圧機構７・７が異方向往復作動機構８により互いに逆向きに水平往復運動Ｑ・Ｑすることにより生ずるテープ移送機構６とテープ押圧機構７との間の研磨テープＴの弛みを取ることができ、研磨テープＴ・Ｔの移送を円滑に行うことができ、又、この場合、上記各テープ押圧機構７・７は上記研磨テープＴ・Ｔを上記パネルＷに押圧可能なパッド部材７ａ及びエアーシリンダ機構７ｅからなるので、テープ押圧機構７・７の構造を簡素化することができると共に押圧力の調節を容易に行うことができ、又、この場合、上記テープ移送機構６・６は、上記研磨テープＴ・Ｔを間欠的又は連続的に移送可能な構造に構成されているから、この研磨テープＴを研磨またはクリーニング中に移送方向Ｋに連続的に移送することができることは勿論のこと、研磨またはクリーニング中には移送を停止し、研磨またはクリーニングを所定回数、所定時間経過後に研磨テープＴを移送することができ、研磨テープＴの経済性を高めることができる。

図６の第二形態例は別例構造を示し、上記第一形態例に加えて、上記上下一対の研磨機構５・５により上記研磨またはクリーニングした後に上記パネルＷの表面を清掃するための清掃機構１１を設けてなり、この場合、上記パネルＷの表面を清掃可能な清掃ブラシ１２と、清掃ブラシ１２を回転軸線Ｅを中心として回転させるブラシ回転機構１３と、清掃ブラシ１２を退避動作させる上下動機構１４とにより構成している。尚、清掃機構１１をパネルＷの上方位置及び下方位置に配置し、上記パネルＷの表面及び又は裏面に付着残存する研磨粒子滓等を除去するように構成することもできる。また、上記清掃機構１１として、上記清掃ブラシ１２に代えて、水等の洗浄液を噴射する構造とすることもある。

この第二形態例にあっては、上記第一形態例と同様な作用効果を得ることでき、加えて、上記上下一対の研磨機構５・５により上記研磨またはクリーニングした後に上記パネルＷの表面を清掃するための清掃機構１１を設けてなるから、上記パネルＷの表面に付着残存する研磨粒子滓等を除去することができる。

尚、本発明は上記実施例に限られるものではなく、例えば、パネル搬送機構１、テープ移送機構６、テープ押圧機構７、異方向往復作動機構８、清掃機構１１の構造等は適宜変更して設計されるものである。

又、上記実施の形態例においては、所謂、乾式の研磨またはクリーニングとなっているが、研磨またはクリーニング領域に、水、スラリー状砥粒剤、セリウム化学剤等の液体を供給したり、液体を湿した研磨テープＴを用いる、所謂湿式構造を採用することもできる。

以上、所期の目的を充分達成することができる。

本発明の実施の第一形態例の正面図である。本発明の実施の第一形態例の側断面図である。本発明の実施の第一形態例の平面図である。本発明の実施の第一形態例の拡大正面図である。本発明の実施の第一形態例の説明平面図である。本発明の実施の第二形態例の側断面図である。

符号の説明

Ｗパネル
Ｔ研磨テープ
Ｈ搬送方向
Ｋ移送方向
Ｑ水平往復運動
１パネル搬送機構
５研磨機構
６テープ移送機構
７テープ押圧機構
７ａパッド部材
７ｅエアーシリンダ機構
８異方向往復運動機構
１０弛み取り機構
１１清掃機構

Claims

パネルを連続的に水平搬送可能なパネル搬送機構と、該パネルの表面及び裏面の両面をパネルを境にして上下に配置された一対の研磨テープで挟み込み、該パネルの両面を同時に研磨またはクリーニングする上下一対の研磨機構とが備えられ、上記一対の各研磨機構は、研磨テープをパネルの搬送方向と交差する方向に移送可能なテープ移送機構と、該研磨テープの移送経路途中を該パネルに押し付けるためのテープ押圧機構とからなり、該一対の各研磨機構における該テープ移送機構と該テープ押圧機構とは相互に分離独立した構造に構成され、該一対の上下の各テープ押圧機構を該研磨テープの移送方向としての上記パネルの搬送方向と交差する方向に互いに逆向きに水平往復運動させる異方向往復作動機構を設けてなることを特徴とするパネル研磨装置。
上記異方向往復作動機構はクランク機構からなることを特徴とする請求項１記載パネル研磨装置。
上記各テープ移送機構と上記テープ押圧機構との間に生ずる上記研磨テープの弛みを取り除くための弛み取り機構を設けてなることを特徴とする請求項１又は２記載パネル研磨装置。
上記各テープ押圧機構は上記研磨テープを上記パネルに押圧可能なパッド部材及びエアーシリンダ機構からなることを特徴とする請求項１〜３のいずれか１項に記載パネル研磨装置。
上記テープ移送機構は、上記研磨テープを間欠的又は連続的に移送可能な構造に構成されていることを特徴とする請求項１〜４のいずれか１項に記載のパネル研磨装置。
上記上下一対の研磨機構により上記研磨またはクリーニングした後に上記パネルの表面及び又は裏面を清掃するための清掃機構を設けてなることを特徴とする請求項１〜５のいずれか１項に記載のパネル研磨装置。